目标专利:1411压印组合物和使用该组合物形成图案化层的方法
专利公开号:CN112272795B
专利权人:皇家飞利浦电子股份有限公司
无效请求书提交日期:2026年
非显而易见性评估仅供参考,不构成法律建议。
| 编号 | 名称 |
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一种压印组合物,包含溶胶,所述溶胶包括无机氢氧化物和/或醇盐的水解产物;以及添加剂,所述添加剂用于在压印期间在15℃和120℃之间的压印温度下促进所述组合物的凝胶化,所述添加剂是质子酸和接受质子的碱的可逆反应产物;其中,当与等体积的去离子水混合并且在20℃和1atm下测量时,所述组合物具有4至7的pH;并且其中,在所述压印温度下所述酸的蒸汽压高于所述碱的蒸汽压,从而能够在所述压印期间碱化所述组合物。
根据权利要求1所述的组合物,其中所述溶胶包含三烷氧基硅烷和四烷氧基硅烷中的至少一种的水解产物。
根据权利要求2所述的组合物,其中所述溶胶包含所述三烷氧基硅烷和所述四烷氧基硅烷的水解产物;并且所述四烷氧基硅烷与所述三烷氧基硅烷的摩尔比率为1:1至0.45:0.55。
根据权利要求2所述的组合物,其中所述四烷氧基硅烷选自四甲氧基正硅酸酯和四乙氧基正硅酸酯;并且所述三烷氧基硅烷选自甲基三甲氧基硅烷和甲基三乙氧基硅烷。
根据权利要求3所述的组合物,其中所述四烷氧基硅烷选自四甲氧基正硅酸酯和四乙氧基正硅酸酯;并且所述三烷氧基硅烷选自甲基三甲氧基硅烷和甲基三乙氧基硅烷。
根据权利要求1所述的组合物,其中所述溶胶包含钛醇盐、锆醇盐和铪醇盐中的至少一种的水解产物。
根据前述权利要求1至6中任一项所述的组合物,其中所述碱包括三乙醇胺。
根据权利要求2至4中任一项所述的组合物,其中所述碱包括烷氧基甲硅烷基官能化胺;并且所述溶胶包含所述水解产物和所述烷氧基甲硅烷基官能化胺的缩合产物。
根据前述权利要求1‑6任一项所述的组合物,其中所述酸包括由式1表示的化合物和由式2表示的化合物中的至少一种; 式1 1 其中R是氢、甲基或丙基; 式2 2 3 其中R和R各自选自氢和C1‑C3烷基。
根据前述权利要求1‑6任一项所述的组合物,其中所述酸包括由式1表示的化合物和由式2表示的化合物中的至少一种; 式1 1 其中R是氢、甲基或丙基; 式2 2 3 其中R和R各自选自氢和C1‑C3烷基; 其中所述碱包括三乙醇胺。
根据前述权利要求1‑6任一项所述的组合物,其中所述酸包括由式1表示的化合物和由式2表示的化合物中的至少一种; 式1 1 其中R是氢、甲基或丙基; 式2 2 3 其中R和R各自选自氢和C1‑C3烷基; 其中所述碱包括烷氧基甲硅烷基官能化的胺,并且所述溶胶包括所述水解产物和所述烷氧基甲硅烷基官能化胺的缩合产物。
根据前述权利要求1‑6任一项所述的组合物,其中所述溶胶包含醇;其中所述醇是1‑丙醇、2‑丙醇、1‑丁醇、2‑丁醇、叔丁醇以及1‑甲氧基‑2‑丙醇中的至少一种。
根据前述权利要求1‑6任一项所述的组合物,其中所述溶胶包含水。