JPH04318992A_Description_20260712_1453_+++A_B_C_D_E_F_G_O_P_S_U_X_r+++.docx

对比文件的名称:JPH04318992A_Description_20260712_1453

目标专利的名称:1265具有改善的模式选择性的垂直腔表面发射激光器CN102187534B

本次调用的模型名称:DeepSeek

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断结果对比文件原文引用公开性论述
技术特征A:包括,衬底(2)《直接公开》段落[0008]:“n型半導体基板128”(n型半导体基板)。对比文件明确公开了设置在器件底部的n型半导体基板,相当于目标专利的衬底(2),作用相同,作为支撑和导电基底。
技术特征B:设置在该衬底上的第一布拉格反射器叠层(5)《直接公开》段落[0008]:“n型半導体多層膜127”(n型半导体多层膜),由λ/4厚的n-AlAs和n-GaAs交替层构成,形成布拉格反射器。对比文件公开了n型半导体多层膜(DBR)设置在n型半导体基板上,相当于目标专利的第一布拉格反射器叠层(5),作用相同,作为激光腔的一部分。
技术特征C:第二布拉格反射器叠层(9)《直接公开》段落[0008]:“p型半導体多層膜125”(p型半导体多层膜),由λ/4厚的p-AlAs和p-GaAs交替层构成,共15.5对。对比文件公开了p型半导体多层膜(DBR),相当于目标专利的第二布拉格反射器叠层(9),与第一DBR共同形成激光腔。
技术特征D:所述第一和第二布拉格反射器叠层(5,9)形成具有光轴(3)的激光腔《直接公开》段落[0008]描述活性层126被夹在p型半导体多层膜125和n型半导体多层膜127之间,形成垂直共振腔;段落[0002]提到“半導体基板に垂直な方向に発振する面発光半導体レーザ”(在垂直于半导体基板的方向上振荡的面发光半导体激光器)。对比文件公开了上下DBR构成垂直腔,光轴垂直于衬底,与目标专利一致。
技术特征E:在操作中激光束沿着该光轴发出《直接公开》段落[0004]:“光がGaAsからn型半導体基板428を通して、下側に出てくる”(光从GaAs通过n型半导体基板,从下侧出来)。对比文件明确激光束沿垂直方向从衬底侧出射,即沿光轴发出。
技术特征F:使布拉格反射器叠层(5,9)之一终止的金属性反射器层(15)《直接公开》段落[0004]:“98%近い反射率を有するAuをp型半導体多層膜425の上につけることで、p型半導体多層膜の層数を減らせられる”(通过将具有近98%反射率的Au附在p型半导体多层膜上,可以减少p型半导体多层膜的层数);段落[0008]:“Cr/Auから成るp型電極124”(由Cr/Au构成的p型电极)。对比文件公开了Au(或Cr/Au)层作为p型电极,同时由于其高反射率,在光学上终止了p型DBR,起到反射镜作用,与目标专利的金属性反射器层功能相同。
技术特征G:所述金属性反射器层(15)环绕所述光轴(3)定位并且覆盖一定区域《直接公开》段落[0008]:“トップの中央にだけ形成されている”(仅形成在顶部中央)、“p型電極は、円形の中心に5μmφの大きさで形成されている”(p型电极在圆形中心形成为5μm直径)。对比文件公开了金属性反射器层(p型电极)位于中心,环绕光轴,覆盖直径5μm的区域,直接对应于目标专利的环绕光轴定位并覆盖一定区域。
技术特征H:该区域不大于在其中TEM00激光模式的强度超过该TEM00激光模式的最大强度的三分之一的区域《未公开》段落[0007]:“基本モードのフィールドは断面内の中心で最も強くなる。それに対して高次モードは、中心ではなく、そこからはずれた位置にフィールドの最も強くなる点がくる”(基本模式的场在截面中心最强,而高次模式的场最强点不在中心,而在偏离的位置)。对比文件虽然公开了基本模式强度在中心最强、高次模强度在周边,但并未公开金属性反射器层尺寸与TEM00模式强度分布的具体量化关系,尤其是没有公开“不大于三分之一强度区域”这一特定条件。本领域技术人员不能直接从对比文件得出该尺寸限定,也无法合理推断出该具体数值,因此未公开。
技术特征I:其中被所述金属性反射器层(15)终止的布拉格反射器叠层(5,9)包括至多15对具有交替的较高和较低折射率的层;并且所述垂直腔表面发射激光二极管(1)还包括电流限制层(8)《未公开》关于层数:段落[0008]:“15.5ペアのp型半導体多層膜125”(15.5对p型半导体多层膜)。关于电流限制层:对比文件未公开具有电流孔的电流限制层。对比文件明确公开p型DBR为15.5对,超过15对,不符合“至多15对”的限定;且对比文件未公开任何电流限制层(如氧化层或离子注入层),实施例2中的p型扩散区域用于增加光吸收而非限制电流,因此未公开。
技术特征J:该电流限制层(8)具有横向地限制流过激光腔的电流的电流孔(81)《未公开》无。对比文件未公开任何具有电流孔的限制层,因此未公开。
技术特征K:其中所述金属性反射器层(15)覆盖其大小不超过被所述孔(81)覆盖的区域的大小的区域《未公开》无。由于对比文件未公开电流限制层及孔,因此该特征未公开。
技术特征L:其特征在于,被所述金属性反射器层(15)覆盖的所述区域至少是被所述孔(81)覆盖的区域的1/10《未公开》无。对比文件未公开孔,因此未公开。
技术特征M:其特征在于,所述金属性反射器层(15)被沉积到绝缘层(13)上《未公开》段落[0008]:p型电极直接形成在p-GaAs层上,无绝缘层;段落[0004]:“ノンアロイのAuをつけておけば”(采用非合金的Au),未提及绝缘层。对比文件中金属性反射器层(p型电极)直接沉积在半导体层上,没有绝缘层,且未提到使用绝缘层,因此未公开。
技术特征N:其中所述绝缘层(13)是氧化硅层《未公开》无。对比文件未公开绝缘层,更未公开氧化硅层,因此未公开。
技术特征O:其特征在于,所述垂直腔表面发射激光二极管(1)是底部发射激光二极管《直接公开》段落[0004]:“光がGaAsからn型半導体基板428を通して、下側に出てくる”(光从GaAs通过n型半导体基板,从下侧出来);段落[0008]:图1结构,光从衬底侧出射。对比文件明确器件为底部发射(从衬底侧出光),与目标专利一致。
技术特征P:所述金属性反射器层(15)设置在沉积于所述衬底(2)上的最顶部布拉格反射器叠层(9)上《直接公开》段落[0008]:p型电极124设置在p型半导体多层膜125上,该多层膜位于器件顶部(远离衬底)。在底部发射VCSEL中,最顶部布拉格反射器叠层是p型DBR,对比文件金属性反射器层设置在其上,直接公开。
技术特征Q:其中所述金属性反射层(15)周边被环接触(11)围绕《未公开》段落[0008]:p型电极仅形成在中央,周边无其他电极;图1显示电极仅位于中央,未显示环接触。对比文件实施例中,金属性反射器层周围没有环接触,而是直接暴露或可能接触其他结构,但未公开环接触,因此未公开。
技术特征R:其中所述金属性反射器层(15)的折射率的实部低于0.5《隐含公开》段落[0004]和[0008]公开金属性反射器层使用Au(金)。对比文件公开了金属性反射器层使用Au,Au在VCSEL典型工作波长(如980nm)的折射率实部远低于0.5(例如约0.2),这是本领域公知常识。因此,本领域技术人员在知道材料为Au的情况下,可以合理推断出该金属层的折射率实部低于0.5。尽管对比文件未直接记载数值,但该技术特征由材料本身固有性质决定,且属于本领域技术人员无需创造性劳动即可认识到的事实,因此隐含公开。
技术特征S:其中所述金属性反射器层(15)的材料选自金、银、铜及其合金所构成的组《直接公开》段落[0008]:“Cr/Auから成るp型電極124”(由Cr/Au构成的p型电极);段落[0004]:“Au”(金)。对比文件公开了金属性反射器层使用金(Au),金属于所述组,因此直接公开了该材料选择特征。
技术特征T:其中所述金属性反射器层(15)的覆盖度从光轴(3)处的覆盖度沿着径向地向外的方向逐渐降低《未公开》段落[0008]:p型电极为均匀圆形,覆盖度恒定;段落[0010](实施例3):使用Cr和Au的组合,但中心为Au,周边为Cr,覆盖度呈台阶状变化,并非逐渐降低。对比文件实施例1中金属性反射器层覆盖度均匀,实施例3中覆盖度突变(台阶状),均未公开覆盖度从光轴向外逐渐降低,因此未公开。
技术特征U:其中所述金属性反射器层(15)形成电接触之一的至少一部分《直接公开》段落[0008]:“Cr/Auから成るp型電極124”(由Cr/Au构成的p型电极),该电极同时作为金属性反射器层。对比文件中的金属性反射器层(Cr/Au)本身就是p型电极,即电接触的一部分,直接公开。
技术特征V:其中所述垂直腔表面发射激光二极管是顶部发射激光二极管《未公开》对比文件所有实施例均描述光从衬底侧出射,为底部发射。对比文件仅公开了底部发射结构,未公开顶部发射结构,因此未公开。
技术特征W:所述金属性反射器层(15)埋置在所述第一和第二布拉格反射器叠层(5,9)之下《未公开》无。对比文件未公开金属性反射器层埋置在DBR之下的顶部发射结构,因此未公开。
技术特征X:还包括电接触层《直接公开》段落[0008]:“Cr/Auから成るp型電極124”(p型电极),以及“n型電極129”(n型电极)。对比文件明确公开了p型电极和n型电极作为电接触层,直接公开。
技术特征Y:该电接触层接触被所述金属性反射器层终止的布拉格反射器叠层并且包括与所述金属性反射器层相交的部分《未公开》段落[0008]:p型电极即金属性反射器层,直接接触p型DBR,但电极本身是金属性反射器层,不存在与自身相交的另一部分。对比文件中电接触层(p型电极)与金属性反射器层是同一结构,不存在“包括与金属性反射器层相交的部分”的特征。目标专利特征Y要求电接触层除接触DBR外,还包含与金属性反射器层相交的额外部分(如条状延伸),对比文件未公开此结构,因此未公开。

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