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权利要求与技术特征

M 其中所述阀是泄漏阀
N 所述泄漏阀被配置为当所述泄漏阀被打开时将由所述泵输出的所述气体流的部分传递到大气
O 其中所述泄漏阀的流动阻力是固定的
P 所述控制单元被配置为控制对所述泄漏阀的切换
Q 控制所述泵
R 以调节所述泵的所述输出流率
S 从而以所述所需的流率向所述出口提供气体流

T 其中所述控制单元被配置为当所述所需的流率低于所述泵的最小流率时打开所述泄漏阀
U 以便将由所述泵输出的所述气体流的部分传递到大气

V 其中所述控制单元被配置为基于顺应性值打开所述泄漏阀
W 以便将由所述泵输出的所述气体流的部分传递到大气

X 其中所述阀是比例阀
Y 所述比例阀被配置为当所述比例阀被打开时将由所述泵输出的所述气体流的部分传递到大气；并且中所述控制单元被配置为控制所述比例阀的所述流动阻力
Z 从而以所述所需的流率向所述出口提供气体流
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