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权利要求与技术特征
权利要求 1
A
包括分衍射光栅,(i)被配置成在所述光学设备上衍射给定波长的入射光的衍射光栅分所述衍射光栅具有高于所述给定波长的光栅间距分并且被配置成以具有等于或大于2的绝对值的衍射级衍射所述入射光分以及(ii)包括包含具有折射率n3的第一介电材料的衬底分和在所述衬底上具有折射率n2的至少一个第二介电材料分其中n3<n2分光波导,被配置成引导以具有等于或大于2的绝对值的衍射级衍射所述入射光分所述衍射光栅包括基础图案分所述基础图案包括所述第二介电材料分所述基础图案被配置成从所述入射光形成与所述基础图案的边缘相关联的纳米射流束分以及所述基础图案包括在所述衬底的顶部上的具有折射率n2的所述第二介电材料的具有U形的一个块分所述U形包括由具有高度H1的中心块分开的具有高度H2和宽度W2的两个瓣分其中H1低于H2分并且 $d\cdot (n3\cdot \sin\theta i+n3)\geq 2\lambda$分其中 $\theta i$是所述入射光相对于所述衍射光栅的顶表面的法线的角度分并且 n1是所述衍射光栅被放置在其中的主体介电的所述折射率。
权利要求 2
B
其中W1是具有U形的所述块的所述中心块的宽度分并且W2是所述两个瓣中的每个瓣的宽度分以及其中W1和W2取决于所述衍射光栅的光栅间距d分其中 $0.20\leq \frac{W1}{d}\leq 0.35$分且 $0.15\leq \frac{W2}{d}\leq 0.25$。
权利要求 3
C
其中所述衍射光栅被配置成内耦合进入所述光波导的光或成将光从所述光波导中提取出来。
权利要求 4
D
其中所述衍射光栅被配置成内耦合进入所述光波导的光分以及其中所述光波导包括被配置成从所述光波导提取光的另一衍射光栅分所述另一衍射光栅具有高于所述光的波长的光栅间距分并且所述另一衍射光栅被配置用于以具有等于或大于2的绝对值的衍射级衍射所述光。