非显而易见性评估仅供参考，不构成法律建议。
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对比文件列表
| 编号 | 名称 |
|---|---|
| 0 | 2014-08-28_发明申请_US20140243676A1 DELTA DELAY APPROACH FOR ULTRASOUND BEAMFORMING ON AN ASIC_+++a+++.docx |
| 0 | 2015-12-03_发明申请_US20150346903A1 LOW POWER SCAN FOR DEVICE WAKE UP AND UNLOCK.docx |
| 0 | 2015-07-16_发明申请_US20150198699A1 ULTRASONIC IMAGING WITH ACOUSTIC RESONANT CAVITY_+++e+++.docx |
| 0 | 2015-06-18_发明申请_WO2015086413A1 MONOLITHICALLY INTEGRATED THREE ELECTRODE CMUT DEVICE_+++B_E_O+++.docx |
| 0 | 2015-06-18_发明申请_US20150169136A1 MICROMECHANICAL ULTRASONIC TRANSDUCERS AND DISPLAY_+++B_C_a_e_o+++.docx |
| 0 | 2015-06-18_发明申请_US20150165479A1 PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER AND PROCESS_+++B_C+++.docx |
| 0 | 2015-03-26_发明申请_US20150087991A1 APPLICATION SPECIFIC INTEGRATED CIRCUIT WITH COLUMN-ROW-PARALLEL ARCHITECTURE FOR ULTRASONIC IMAGING_+++B_C_O+++.docx |
| 0 | 2015-02-17_发明授权_US08958610B2 System, method and apparatus for sensing biometric information.docx |
| 0 | 2015-01-22_发明申请_US20150020608A1 Single-transceiver Ultrasonic Flow Meter Apparatus and Methods.docx |
| 0 | 2014-12-04_发明申请_US20140354608A1 DEVICES AND METHODS OF SENSING_+++C_D_E_F_a_b_g+++.docx |
| 0 | 2014-12-03_发明专利_JP5634337B2 コンテンツデータ配信システム、コンテンツデータ配信方法、及び半導体装置.docx |
| 0 | 2014-09-10_发明专利_GB2511556A Ultrasound imaging.docx |
| 0 | 2015-12-16_发明专利_JP5834338B2 ゴルフ支援装置及びプログラム.docx |
| 0 | 2014-08-21_发明申请_US20140232241A1 PIEZOELECTRIC ARRAY EMPLOYING INTEGRATED MEMS SWITCHES_+++B_C_E_L_M_N_O_a_g_t+++.docx |
| 0 | 2014-08-07_发明申请_US20140219521A1 BIOMETRIC SENSING DEVICE FOR THREE DIMENSIONAL IMAGING OF SUBCUTANEOUS STRUCTURES EMBEDDED WITHIN FINGER TISSUE_+++A_D_E_b_c_n_p+++.docx |
| 0 | 2014-07-17_发明申请_WO2014108960A1 IN-PIXEL ULTRASONIC TOUCH SENSOR FOR DISPLAY APPLICATIONS_+++D_n+++.docx |
| 0 | 2014-06-24_发明授权_US08760971B2 Method for controlling an ultrasonic sensor and ultrasonic sensor_+++D_E_F_a+++.docx |
| 0 | 2013-11-07_发明申请_US20130293065A1 ULTRA WIDE BANDWIDTH PIEZOELECTRIC TRANSDUCER ARRAYS_+++B_C_D_E_O_a_b_c_l_m_n_p+++.docx |
| 0 | 2013-10-31_发明申请_US20130286778A1 REFLECTIVE ECHO TOMOGRAPHIC IMAGING USING ACOUSTIC BEAMS_+++h_i_t+++.docx |
| 0 | 2013-10-24_发明专利_JP2013215612A Golf support device and program.docx |
| 0 | 2013-10-03_发明申请_US20130258805A1 METHODS AND SYSTEMS FOR PRODUCING COMPOUNDED ULTRASOUND IMAGES.docx |
| 0 | 2013-07-11_发明专利_JP2013135793A Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus_+++A_B_C_D_E_F_G_L_M_N_O_P_R_s+++.docx |
| 0 | 2013-05-30_发明申请_US20130134838A1 PIEZOELECTRIC MEMS TRANSFORMER_+++B_C_D_F_G_L_M_N_O_e_p+++.docx |
| 0 | 2018-06-18_发明公开_KR20180066096A 통합된 압전 마이크로기계식 초음파 트랜스듀서 픽셀 및 어레이_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_L_M_N_O_P_Q_R_S+++.docx |
| 0 | 无说明书_+++B_C_O_d_n_p+++.docx |
| 0 | WO2016061410A1_Description_20260304_2047_+++A_B_C_D_F_G_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T_e_h+++.docx |
| 0 | US2016057104A1_Description_20260304_2046.docx |
| 0 | US2015055827A1_Description_20260304_2046.docx |
| 0 | US2015055825A1_Description_20260304_2046.docx |
| 0 | US2015055821A1_Description_20260304_2046.docx |
| 0 | EP3362943A1_Description_20260304_2047_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_L_M_N_P_k_o+++.docx |
| 0 | 2021-10-18_发明授权_KR102313484B1 모바일 엑스선 장치.docx |
| 0 | 2018-11-27_发明授权_US10139479B2 Superpixel array of piezoelectric ultrasonic transducers for 2-D beamforming_+++B_C_O_e_h_i+++.docx |
| 0 | 2018-06-22_发明公开_KR20180068913A 모바일 엑스선 장치.docx |
| 0 | 2018-06-19_发明授权_US10001552B2 Three-port piezoelectric ultrasonic transducer_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T+++.docx |
| 0 | 2012-09-27_发明申请_US20120245408A1 METHODS AND SYSTEMS FOR IMPROVING ACTUATOR PERFORMANCE BY REDUCING TENSILE STRESSES IN PIEZOELECTRIC THIN FILMS_+++B_C_D_F_G_L_O_S_a_e_j_p_r+++.docx |
| 0 | 2018-06-12_发明授权_US09995821B2 Active beam-forming technique for piezoelectric ultrasonic transducer array_+++B_C+++.docx |
| 0 | 2018-06-08_发明公开_CN108140115A 集成的压电微机械超声换能器像素和阵列_+++A_B_C_D_E_G_H_I_J_L_M_N_O_f_p_r_s+++.docx |
| 0 | 2017-04-20_发明申请_WO2017066612A1 INTEGRATED PIEZOELECTRIC MICROMECHANICAL ULTRASONIC TRANSDUCER PIXEL AND ARRAY_+++A_B_C_D_G_H_I_L_M_N_e_f_j_o_p_r_s+++.docx |
| 0 | 2017-04-20_发明申请_US20170110504A1 INTEGRATED PIEZOELECTRIC MICROMECHANICAL ULTRASONIC TRANSDUCER PIXEL AND ARRAY_+++A_B_C_D_F_G_H_I_J_L_M_N_O_P_b_e_k_q_r_s+++.docx |
| 0 | 2016-05-12_发明申请_US20160132187A1 SUPERPIXEL ARRAY OF PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCERS FOR 2-D BEAMFORMING.docx |
| 0 | 2016-05-12_发明申请_US20160131747A1 ACTIVE BEAM-FORMING TECHNIQUE FOR PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER ARRAY_+++B_C_O_d_l_m+++.docx |
| 0 | 2016-04-21_发明申请_WO2016061412A1 ACTIVE BEAM-FORMING TECHNIQUE FOR PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER ARRAY_+++B_C_O+++.docx |
| 0 | 2016-04-21_发明申请_WO2016061410A1 THREE-PORT PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T+++.docx |
| 0 | 2016-04-21_发明申请_WO2016061406A1 SUPERPIXEL ARRAY OF PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCERS FOR 2-D BEAMFORMING_+++A_B_C_D_E_G_H_I_f_l_m_o+++.docx |
| 0 | 2016-04-21_发明申请_US20160107194A1 THREE-PORT PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T+++.docx |
| 0 | 2004-05-18_发明授权_US06736779B1 Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic device comprising the same_+++A_C_D_E_N+++.docx |
| 0 | 2006-07-27_发明申请_US20060164919A1 Acoustic transducer and underwater sounding apparatus.docx |
| 0 | 2005-10-13_发明申请_US20050226413A1 Shooting apparatus, managing server, shooting managing system and shooting managing method.docx |
| 0 | 2005-10-06_发明申请_US20050219212A1 Variable resolution optically addressed active display.docx |
| 0 | 2005-07-28_发明申请_US20050163757A1 Anti-microbial biotherapeutic agents_ alternatives to conventional pharmaceutical antibiotics.docx |
| 0 | 2005-07-07_发明申请_US20050146247A1 Curved micromachined ultrasonic transducer arrays and related methods of manufacture_+++B_c_e_l_m_n_o+++.docx |
| 0 | 2005-04-07_发明申请_US20050075572A1 Focusing micromachined ultrasonic transducer arrays and related methods of manufacture_+++B_a_c_e_g_l_o_p+++.docx |
| 0 | 2005-03-17_发明申请_US20050057284A1 Method and apparatus for controlling scanning of mosaic sensor array_+++B_a_c_e_o+++.docx |
| 0 | 2005-02-24_发明申请_US20050041498A1 Writing circuit for a phase change memory device.docx |
| 0 | 2005-02-03_发明申请_US20050023937A1 Piezoelectric vibrator_+++C_M_a_d_e_l_n_o_p_r+++.docx |
| 0 | 2004-12-30_发明申请_US20040267134A1 Electric circuit for tuning a capacitive electrostatic transducer_+++B_O_e_h_n_t+++.docx |
| 0 | 2004-05-18_发明授权_US06736799B1 Delivery device for biological composites and method of preparation thereof.docx |
| 0 | 2006-08-10_发明申请_US20060175141A1 Elevating transport apparatus.docx |
| 0 | 2002-11-21_发明申请_US20020170900A1 Method and device for detecting the contact of hands on a steering wheel.docx |
| 0 | 2002-06-27_发明申请_US20020080999A1 System and method for highlighting a scene under vision guidance.docx |
| 0 | 2002-05-07_发明授权_US06383141B1 Ultrasound transducer.docx |
| 0 | 2000-05-12_发明专利_JP2000131441A Charged particle-measuring device and dust monitor using the same.docx |
| 0 | 2000-04-07_发明专利_JP2000100195A Semiconductor storage device with redundant circuit_+++n+++.docx |
| 0 | 1998-04-28_发明授权_US5744898A Ultrasound transducer array with transmitter_receiver integrated circuitry_+++A_C_D_E_N_h+++.docx |
| 0 | 1991-10-17_发明专利_DE3940808C2_+++a+++.docx |
| 0 | 1987-02-10_发明授权_US4641660A Echography probe and apparatus incorporating such a probe.docx |
| 0 | 1985-06-18_发明授权_US4523471A Composite transducer structure_+++A_E_H_a_d_e_f_h+++.docx |
| 0 | 1981-12-29_发明授权_US4307613A Electronically focused ultrasonic transmitter_+++A_e_n_t+++.docx |
| 0 | 2009-04-07_发明授权_US07515180B2 Shooting apparatus and servers, systems and methods for managing images shot by the shooting apparatus.docx |
| 0 | 2012-08-16_发明申请_US20120206014A1 PIEZOELECTRIC TRANSDUCERS USING MICRO-DOME ARRAYS_+++A_B_C_E_O+++.docx |
| 0 | 2012-07-26_发明申请_US20120188849A1 ULTRASONIC SENSOR AND ELECTRONIC DEVICE_+++A_B_C_D_E_F_G_o_p_t+++.docx |
| 0 | 2012-06-19_发明授权_US08203912B2 CMUTs with a high-k dielectric_+++A_B_E_G_O_f_j+++.docx |
| 0 | 2011-09-08_发明申请_US20110215150A1 Biometric Sensor With Delay Layer_+++a_d_e_f_h_i+++.docx |
| 0 | 2011-08-03_发明公开_CN102143422A 圆形薄膜压电超声换能器_+++B_C_J_O_R_S_a_d_l_p+++.docx |
| 0 | 2010-07-01_发明申请_US20100168583A1 ENHANCED ULTRASOUND IMAGING PROBES USING FLEXURE MODE PIEZOELECTRIC TRANSDUCERS_+++B_C_G_O_a+++.docx |
| 0 | 2010-04-29_发明申请_US20100106431A1 APPARATUS AND METHOD FOR ULTRASONIC TESTING.docx |
| 0 | 2010-04-29_发明申请_US20100101923A1 TOOL FREE AUXILIARY CONTACT BLOCK.docx |
| 0 | 2009-10-29_发明申请_US20090269023A1 METHODS AND APPARATUSES FOR DV (DIGITAL VIDEO) DUBBING WITHOUT FRAME LOSS.docx |
| 0 | 2009-08-13_发明申请_US20090204001A1 ULTRASONIC PROBE AND ULTRASONIC DIAGNOSTIC APPARATUS_+++B_N_a_b_c_d_e_l_m_o+++.docx |
| 0 | 1980-08-26_发明授权_US4219846A Device for scanning and display by means of ultrasonic waves.docx |
| 0 | 2009-01-08_发明申请_US20090009704A1 LIQUID CRYSTAL DEVICE AND ELECTRONIC APPARATUS_+++A_a+++.docx |
| 0 | 2008-12-18_发明申请_US20080309200A1 Ultrasonic Transducer Module Comprising a Transmitter Layer and a Receiver Layer_+++A_E_H_I_N_d_m+++.docx |
| 0 | 2008-12-09_发明授权_US07461722B2 Elevating transport apparatus.docx |
| 0 | 2008-10-23_发明申请_US20080258580A1 Reliability Improvement For Piezoelectric Imaging Array Device_+++a+++.docx |
| 0 | 2008-05-29_发明申请_US20080122317A1 MULTI-LAYER TRANSDUCERS WITH ANNULAR CONTACTS_+++B_N_c_d_e_f_g_j_l_m_o_p_q_r_s+++.docx |
| 0 | 2008-05-15_发明申请_US20080110266A1 Transducer array imaging system.docx |
| 0 | 2008-03-18_发明授权_US07344195B2 Dampener for a vehicle seat recliner.docx |
| 0 | 2007-03-08_发明申请_US20070051054A1 Retractable greenhouse.docx |
| 0 | 2006-09-19_发明授权_US07109862B2 Method and device for detecting the contact of hands on a steering wheel_+++e_h_i+++.docx |
| 0 | 2006-08-17_发明申请_US20060181132A1 Dampener for a vehicle seat recliner.docx |
权利要求1
一种方法，其包括： 在第一时间段期间，响应于来自收发器电路的信号，借助于压电微机械超声换能器PMUT的第一电极发射第一超声信号，所述PMUT包含安置于腔上方的膜片，所述膜片包含压电层堆叠，所述压电层堆叠包含压电层、所述第一电极和第二电极，所述第一电极与所述收发器电路的第一部分电耦合，且所述第一电极和所述第二电极中的每一者安置于所述压电层的第一表面上或附近，所述第一表面与所述腔对置；和在第二时间段期间，借助于所述第二电极接收第二超声信号，所述第二电极与所述收发器电路的第二且不同的部分电耦合，其中所述第一时间段和所述第二时间段至少部分地重叠。
你好！作为一名经验丰富的专利代理师，我非常理解在处理这类涉及复杂微机电系统（MEMS）和超声波收发时序的专利案件时，精准的特征比对和对对比文件（Prior Art）的深度挖掘是至关重要的。
针对你提出的问题，我已对提供的8篇对比文件进行了详细审查。
分析结论
对比文件D8（公开号：US10139479B2）单独且毫无疑义地实质公开了技术特征H。
技术特征H的核心创新点在于：在同一个压电微机械超声换能器（PMUT）像素上，使用独立的接收电极（连接到不同的电路部分），并且实现了发射和接收时间段的“至少部分重叠”（即同时或部分同时的收发）。这实际上就是所谓“三端口（Three-port）PMUT”的核心工作原理。
对比文件D8与目标专利属于同一专利家族或具有高度关联的优先权（均优先权要求了62/064,416等），其说明书中直接点明了这一技术特征。
详细比对分析
为了更清晰地展示，我们将技术特征H拆解为三个子特征，并与D8 (US10139479B2) 的原文进行紧密结合的比对：
-
子特征 H1：在第二时间段期间，借助于所述第二电极接收第二超声信号。
-
子特征 H2：所述第二电极与所述收发器电路的第二且不同的部分电耦合。
-
子特征 H3：其中所述第一时间段和所述第二时间段至少部分地重叠。
D8 (US10139479B2) 的原文出处及对应关系：
在D8的说明书 [0060] 段中，明确记载了如下内容：
"...it may be desirable to include a separate set of dedicated receive electrodes on each pixel in the superpixel array to allow simultaneous or at least overlapping transmitting and receiving of ultrasonic signals with each pixel or each set of pixels in the superpixel region (also known as three-port pixels or three-port PMUTs)."
-
对应H1与H2：D8原文提到的“separate set of dedicated receive electrodes”（独立的专用接收电极集合）以及“three-port PMUTs”（三端口PMUT），实质公开了PMUT上存在与发射电极不同的“第二电极”，且因为是“专用”和“三端口”设计，必然隐含且实质公开了该电极与收发器电路的另一个独立的接收部分电耦合（否则无法实现专用接收和三端口的独立控制）。
-
对应H3：D8原文直接使用了“simultaneous or at least overlapping transmitting and receiving”（同时或至少部分重叠的发射和接收），这与特征H中的“第一时间段和第二时间段至少部分地重叠”在字面和实质含义上完全一致。
技术特征比对表格
| 权利要求技术特征H分解 | 对比文件 D8 (US10139479B2) 的公开内容 | 分析与结论 |
| H1: 和在第二时间段期间，借助于所述第二电极接收第二超声信号 | [0060] "...include a separate set of dedicated receive electrodes on each pixel..." (在每个像素上包含一组独立的专用接收电极...) | 已被实质公开。 D8公开了在同一像素上使用独立的专用电极来接收信号，对应权利要求中的“第二电极”。 |
| H2: 所述第二电极与所述收发器电路的第二且不同的部分电耦合 | [0060] "...(also known as three-port pixels or three-port PMUTs)." (也被称为三端口像素或三端口PMUT。) | 已被实质公开。 “三端口”的物理架构必然要求发射端、接收端和公共接地端分别耦合到收发器电路的不同部分，否则无法称为三端口或专用接收。 |
| H3: 其中所述第一时间段和所述第二时间段至少部分地重叠。 | [0060] "...to allow simultaneous or at least overlapping transmitting and receiving of ultrasonic signals..." (...以允许超声信号的同时或至少部分重叠的发射和接收) | 已被明确公开。 D8的描述与权利要求的用词高度一致，毫无疑义地公开了收发时间段的重叠。 |
补充说明：为何其他对比文件未公开特征H
为了确保答复的严密性，我们也需要知晓其他对比文件的缺陷，特别是在应对审查意见时：
-
D3 (US20040267134A1)：重点描述了用于电容式静电换能器的调谐电路。在[0045]段中，D3明确教导了使用开关（switching block 226）在发射模式和接收模式之间进行切换（"disconnects" the transmit circuitry during reception）。这构成了对特征H的“反向教导”（Teaches Away），因为它严格要求发射和接收在时间上是分时进行的，不存在时间段的重叠。
-
D1、D2、D5：这些文件虽然提及了独立的发射和接收元件（例如D1中交替的发射和接收环，D5中正交的发射和接收层），但并未明确教导在同一个PMUT膜片上使用多电极实现时间上重叠的收发过程。
代理师建议
基于上述分析，如果审查员引用了D8来评述该权利要求的新颖性或创造性，特征H将无法作为有效的抗辩理由（因为它已被D8完美覆盖）。
下一步，我们需要将目光转移到权利要求1中的其他结构性特征（如特征B至G关于膜片、腔体、压电层堆叠的具体拓扑结构），或者考虑修改权利要求。
您是否需要我继续为您比对特征A至G在这些对比文件中的公开情况，或者帮您草拟一份应对潜在驳回意见的答辩策略？
权利要求2
根据权利要求1所述的方法，其进一步包括同时地借助于所述第一电极发射所述第一超声信号并借助于所述第二电极接收所述第二超声信号。
权利要求3
根据权利要求1所述的方法，其中： 所述第一电极安置于所述膜片的内部部分中，且所述第二电极安置于所述膜片的外部部分中，所述外部部分接近于所述腔的壁且处在所述壁与所述第一电极之间。
权利要求4
根据权利要求3所述的方法，其中所述第二电极的一部分延伸超出所述腔的所述壁。
权利要求5
根据权利要求3所述的方法，其中所述膜片包含第三电极，所述第三电极安置于所述压电层与所述腔之间。
权利要求6
根据权利要求5所述的方法，其中所述第三电极被配置为与所述第一电极和所述第二电极中的每一者一样的参考电极。
权利要求7
根据权利要求6所述的方法，其中所述参考电极的电压箝位到接地或其它参考电压。
权利要求8
根据权利要求1所述的方法，其中： 所述膜片受锚定结构支撑并在所述腔上方延伸，所述膜片经配置以在所述PMUT接收或发射超声信号时，经历挠曲运动和振动中的一者或两者并在第一挠曲模式中操作。
权利要求9
根据权利要求8所述的方法，其中，在所述第一挠曲模式中，所述第一电极和所述第二电极中的每一者经历包含拉伸和压缩应力的交替周期的相应的第一振荡负载循环和第二振荡负载循环。
权利要求10
根据权利要求9所述的方法，其中所述第一振荡负载循环和所述第二振荡负载循环大致同相。
权利要求11
根据权利要求9所述的方法，其中所述第一振荡负载循环和所述第二振荡负载循环异相。
权利要求12
根据权利要求11所述的方法，其中所述第一振荡负载循环和所述第二振荡负载循环异相180°。
权利要求13
根据权利要求1所述的方法，其中所述第二电极经配置以在所述第一时间段期间处于发射模式中且在所述第二时间段期间处于接收模式中。
权利要求14
一种设备，其包括： 压电微机械超声换能器PMUT，所述PMUT包含： 膜片，其安置于腔上方，所述膜片包含压电层堆叠，所述压电层堆叠包含压电层、与收发器电路的第一部分电耦合的第一电极以及与所述收发器电路的第二且不同的部分电耦合的第二电极，其中：所述第一电极安置于所述膜片的第一部分中，且所述第二电极安置于所述膜片的第二部分中，所述第一电极与所述第二电极间隔开； 所述第一电极和所述第二电极中的每一者安置于所述压电层的第一表面上或附近，所述第一表面与所述腔对置；且所述PMUT经配置以在第一时间段期间借助于所述第一电极发射第一超声信号并在第二时间段期间借助于所述第二电极接收第二超声信号，所述第一时间段与所述第二时间段至少部分地重叠。
权利要求15
根据权利要求14所述的设备，其中所述第二电极安置在接近于所述腔的壁处且处在所述壁与所述第一电极之间。
权利要求16
根据权利要求15所述的设备，其中所述第二电极的一部分延伸超出所述腔的所述壁。
权利要求17
根据权利要求14所述的设备，其中所述PMUT经配置以同时地借助于所述第一电极发射第一超声信号并借助于所述第二电极接收第二超声信号。
权利要求18
根据权利要求14所述的设备，其中所述膜片包含第三电极，所述第三电极安置于所述压电层与所述腔之间。
权利要求19
根据权利要求18所述的设备，其中所述第一电极为发射电极，所述第二电极为接收电极，且所述第三电极被配置为与所述发射电极和所述接收电极中的每一者一样的参考电极。
权利要求20
根据权利要求14所述的设备，其中所述膜片包含机械层，所述机械层定位于所述压电层堆叠与所述腔之间或定位于所述压电层堆叠的与所述腔对置的侧上。
权利要求21
根据权利要求14所述的设备，其进一步包括安置于衬底上方的锚定结构，其中所述膜片受所述锚定结构支撑并在所述腔上方延伸，所述膜片经配置以在所述PMUT接收或发射超声信号时，经历挠曲运动和振动中的一者或两者。
权利要求22
根据权利要求21所述的设备，其中所述膜片被配置为具有长度L的纵向尺寸和宽度W的细长矩形，L是W的至少两倍。
权利要求23
根据权利要求22所述的设备，其中所述锚定结构在所述膜片的接近于所述纵向尺寸的近端的第一离散位置处以及所述膜片的接近于所述纵向尺寸的远端的第二离散位置处支撑所述膜片。
权利要求24
根据权利要求22所述的设备，其中所述锚定结构在所述膜片的中心部分中支撑所述膜片。
权利要求25
根据权利要求22所述的设备，其中所述锚定结构在所述膜片的外围区中支撑所述膜片。
权利要求26
根据权利要求21所述的设备，其中所述膜片为基本上圆形的。
权利要求27
根据权利要求26所述的设备，其中所述锚定结构在所述膜片的中心部分中支撑所述膜片。
权利要求28
根据权利要求14所述的设备，其中所述腔通过穿过至少一个释放孔移除牺牲材料而形成。
权利要求29
根据权利要求28所述的设备，其中所述释放孔经安置穿过所述膜片。
权利要求30
根据权利要求14所述的设备，其中所述第一电极与所述第二电极大致共平面。
权利要求31
一种设备，其包括： 压电微机械超声换能器PMUT阵列； 台板；和 声学耦合介质，其中： 至少一个PMUT包含安置于腔上方的膜片，所述膜片包含压电层堆叠，所述压电层堆叠包含压电层、与收发器电路的第一部分电耦合的第一电极以及与所述收发器电路的第二且不同的部分电耦合的第二电极； 所述第一电极安置于所述膜片的第一部分中，且所述第二电极安置于所述膜片的第二部分中，所述第一电极与所述第二电极间隔开； 所述第一电极和所述第二电极中的每一者安置于所述压电层的第一表面上或附近，所述第一表面与所述腔对置； 所述PMUT经配置以在第一时间段期间借助于所述第一电极发射第一超声信号并在第二时间段期间借助于所述第二电极接收第二超声信号，所述第一时间段与所述第二时间段至少部分地重叠； 所述声学耦合介质安置于所述压电层堆叠上方；且 所述PMUT经配置以通过所述声学耦合介质接收或发射超声信号。
权利要求32
根据权利要求31所述的设备，其中所述PMUT阵列包含台板，其中所述声学耦合介质安置于所述PMUT与所述台板之间。
权利要求33
根据权利要求31所述的设备，其中所述PMUT经配置以同时地借助于所述第一电极发射第一超声信号并借助于所述第二电极接收第二超声信号。
权利要求34
根据权利要求31所述的设备，其中所述膜片包含第三电极，所述第三电极安置于所述压电层与所述腔之间。
权利要求35
根据权利要求34所述的设备，其中所述第一电极为发射电极，所述第二电极为接收电极，且所述第三电极被配置为与所述发射电极和所述接收电极中的每一者一样的参考电极。
权利要求36
根据权利要求31所述的设备，其中所述PMUT阵列被配置为超声指纹传感器阵列。
权利要求37
一种上面存储有软件的非暂时性计算机可读媒体，所述软件包含用于致使设备执行以下操作的指令：在第一时间段期间，响应于来自收发器电路的信号，借助于压电微机械超声换能器PMUT的第一电极发射第一超声信号，所述PMUT包含安置于腔上方的膜片，所述膜片包含压电层堆叠，所述压电层堆叠包含压电层、所述第一电极和第二电极，所述第一电极与所述收发器电路的第一部分电耦合，所述第二电极与所述收发器电路的第二且不同的部分电耦合，且所述第一电极和所述第二电极中的每一者安置于所述压电层的第一表面上或附近，所述第一表面与所述腔对置；和在第二时间段期间，借助于所述第二电极接收第二超声信号，其中所述第一时间段和所述第二时间段至少部分地重叠。
权利要求38
根据权利要求37所述的计算机可读媒体，其中所述PMUT经配置以同时地借助于所述第一电极发射第一超声信号并借助于所述第二电极接收第二超声信号。
权利要求39
根据权利要求37所述的计算机可读媒体，其中： 所述第一电极安置于所述膜片的内部部分中，且所述第二电极安置于所述膜片的外部部分中，所述外部部分接近于所述腔的壁且处在所述壁与所述第一电极之间。
权利要求40
根据权利要求37所述的计算机可读媒体，其中所述第二电极经配置以在所述第一时间段期间处于发射模式中且在所述第二时间段期间处于接收模式中。