美光科技在欧洲正式起诉了江波龙的欧洲子公司。根据欧洲统一专利法院(UPC)2026年7月23日公布的案件信息显示,美光科技已经于7月14日向UPC曼海姆地方分院起诉了三家欧洲经销商:德国电脑零部件制造分销企业Ultron AG,雷克沙欧洲有限公司(Lexar Europe B.V.,雷克沙存储品牌欧洲运营主体),中国台湾的宇瞻科技欧洲子公司Apacer Technology B.V.,案号UPC-CFI-0002556/2026。此次涉案专利为美光科技于2011年申请的名为”包含源极栅极的装置及方法“的专利EP2745295,主要涉及3D NAND结构。
优先权日20110815
| 编号 | 名称 |
|---|
一种包括源极栅极的设备,其包括: 电荷存储装置串,其与包括半导体材料的柱相关联; 源极栅极装置,其耦合到源极,且经配置以控制所述电荷存储装置串的通道与所述源极之间的导电;及源极选择装置,其耦合于所述电荷存储装置串与所述源极栅极装置之间,所述源极选择装置经配置以控制所述通道与所述源极之间的导电。
综合前面英文、日文、韩文、中文四轮检索,并重新核对目标权利要求1、CN101651144A/KR20090128776A、JP2006049728A、CN102034829A、CN101595528A等关键文献后,我认为目前已经形成一套相当强的创造性无效证据链。
综合最优主组合,我建议确定为:
D1:CN101651144A(与KR20090128776A同族)
+
D2:JP2006049728A
这组比最初的US20060261404A1 + US5912489A、以及后来的CN102034829A + CN101595528A更适合作为第一主攻组合。核心原因是:D1本身就是“竖直半导体柱 + charge-trap NAND + 源侧下部选择线”,并且明确进一步提出在正常LSL之外使用dummy lower selection line;D2则把这种“增加第二源侧选择结构”具体落实为SGS1、SGS2两个源线侧选择栅,并明确说明其技术效果是降低选择晶体管漏电、提高截止性能。这样能够最大程度降低“用平面NAND事后拼接3D NAND”的风险。(谷歌专利)
我对该主组合单独成立创造性无效理由的概率评估为约80%~87%;如果同时提交下面建议的3~4条平行组合,综合考虑权利要求1被全部宣告无效的概率,我认为较合理的客观区间是约84%~90%,中心判断约87%。这一概率是案件强弱评估,不是统计学概率。
CN103782344B对应美国同族US8797806B2的权利要求1可以稳定拆成以下五项特征。其最早优先权日为2011年8月15日。(谷歌专利)
| 编号 | 权利要求1技术特征 |
|---|---|
| F1 | 电荷存储装置串与包含半导体材料的柱相关联 |
| F2 | 设置一个耦合到源极的source gate device |
| F3 | source gate device被配置为控制该电荷存储串的channel与source之间的导电 |
| F4 | 设置source select device,并且该器件位于电荷存储串与source gate device之间 |
| F5 | source select device同样被配置为控制所述channel与source之间的导电 |
权1本身没有限定source gate必须采用目标专利图3中的特定共享结构,也没有要求pillar必须延伸至well,这些内容分别出现在说明书实施方式或后续从属权利要求中。权1也没有限定source gate与source select device必须采用不同晶体管材料、特殊阈值、特殊长度或特殊偏压。(谷歌专利)
这正是现有无效路线很强的根本原因。
前面检索到的文件很多,其中若把同族文件也分别计数,会夸大证据数量。更合理的办法是按独立技术族和无效功能归类。
| 对比文件 | 价值判断 |
|---|---|
| CN101651144A / KR20090128776A | A++,目前首选D1。vertical active pillar、charge-storage film、NAND cell string、LSL控制pillar/source之间电连接,并进一步明确允许dummy lower selection line |
| CN102034829A | A++,最干净备用D1。柱形单晶半导体、charge-trap layer、串联垂直memory cells、lower select transistor、common source |
| JP2007266143A | A+。柱状半导体、ONO/charge-storage、纵向memory string、source-side SSTr |
| KR20110034816A | A+。vertical NAND charge-trap、垂直channel、GSL、source |
| US20100309729A1 | A+。active pillar、vertical charge-storage string、ground/source select gate、common-source/well |
| CN101800224A | A。vertical NAND channel、charge-storage结构、上下选择栅 |
| JP2010118580A | A。pillar NAND,并且对非选择string leakage/read accuracy问题有贡献 |
| KR20100133671A | A。vertical channel、charge-trap cells、lower select/common source |
| US20060261404A1 | A−~A。早期vertical/pillar charge-storage NAND及source-side selector |
| US20080237698A1 | A−~A。vertical NAND string及source-side selection结构 |
其中CN101651144A于2010年2月17日公开,明显早于2011年8月15日。其韩国同族进一步明确:active pillar形成垂直NAND;gate insulating film可以包含blocking layer、charge-storage film和tunnel layer;LSL控制source region与active pillar之间的电连接。(谷歌专利)
尤其重要的是,D1自己还明确说:
除正常upper/lower selection line以外,与最低/最高gate layer相邻的至少一个gate conductive layer,可以作为dummy lower selection line / dummy upper selection line。(谷歌专利)
这项公开是选择它做最佳D1的决定性原因。
| 对比文件 | 价值判断 |
|---|---|
| JP2006049728A | A++,目前最佳D2。明确把一个SGS变成SGS1+SGS2,且明确降低leakage、改善cutoff |
| CN101595528A / US7791952B2族 | A++。明确multiple source select FETs串联在common source与第一memory transistor之间 |
| US5912489A / JP2001518696A | A+。series select transistor + source select transistor串联于NAND source侧并分别控制 |
| US20070242515A1 / US7440321B2 | A+。多个串联select gates,拓扑非常贴近 |
| US20090011560A1 | A+。两个series-connected source-select gates |
| KR20060116909A | A+。memory cell与GST之间增加独立受控protection transistor,针对selector失去cutoff导致的channel leakage |
| CN101727977A / KR20100043484A相关技术 | A+。GST附近additional dummy transistors,针对common-source leakage/program disturb |
| CN1832046A / 韩国相关同族 | A。SST与第一memory cell之间增加独立DWL控制的dummy transistor |
| KR20060060528A | A。source selector与memory cells之间增加dummy transistor,抑制program disturb |
| KR20060074179A | A。source-side dummy transistor,具有独立dummy word line |
| JP2005235260A | A−。source-side select transistor与dummy gate串联并独立控制 |
| CN101681295A | A。再次说明multiple source select gates可串联在common source与第一memory transistor之间 |
| US20050128807A1 / JP2007513455A | A。多个series selection devices,并特别适合承担“并非仅限单一平面架构”的辅助启示 |
| KR20090088693A | B+。charge-trap NAND中的额外cutoff/control gate,作为技术兼容性辅助证据 |
这里最值得突出的是JP2006049728A。
该文献优先权日2004年8月6日,2006年2月16日公开。(谷歌专利)
其第三实施方式变形例2不是模糊说“可以增加一个gate”,而是明确把:
SGS
改成:
SGS1 + SGS2
两个源线侧选择栅,并明确说明两个source-side selection gates能够降低selection transistor的leakage current、提高cutoff performance。(谷歌专利)
这就是目前最强的D2。
下面按照权利要求1逐项比对。
| 技术特征 | D1:CN101651144A / KR20090128776A | D2:JP2006049728A | 公开性评价 |
|---|---|---|---|
| F1:charge-storage devices string与semiconductor pillar相关 | D1公开竖直active pillars;active pillar与word-line planes交叉形成memory cells,gate dielectric明确可包括blocking layer、charge-storage film、tunnel layer,并形成charge-trap型3D非易失memory | 无需D2 | 直接、明确公开。D1足以承担 |
| F2:source gate device耦合到source | D1的source region S位于well;lower selection line LSL设置在well/source侧,并控制pillar与source/well电连接 | D2进一步证明source-line-side selector属于成熟源侧控制器件 | 实质公开 |
| F3:source gate控制string channel与source导通 | D1明确指出LSL控制active pillar与source/well之间的electrical connection;LSL偏压可产生inversion region,从而建立或切断source—pillar conduction | 无需依赖D2 | 直接功能公开 |
| F4:第二个source select device位于string与source gate之间 | D1变形例已经明确:除了正常LSL之外,与最低gate layer相邻的gate layer可以用作dummy lower selection line,即在memory word lines与LSL之间增加另一源侧选择层 | D2明确把一个source-side SGS替换为两个SGS1、SGS2 | 组合后非常强;这是主要区别特征 |
| F5:第二source select device也控制channel与source导通 | D1对dummy LSL的这一功能没有像正常LSL那样逐字展开,因此单篇新颖性攻击存在风险 | D2的SGS1/SGS2均属于selection transistor控制结构;双SGS的目的就是降低leakage、增强cutoff | 由D2明确补足;创造性组合强 |
D1对F1以及正常LSL的source-channel控制非常清楚。其LSL能够通过控制well形成反型区,使source region与active pillar电连接;这与目标权利要求的“configured to control conduction between the channel and the source”在功能上高度吻合。(谷歌专利)
CN102034829A + CN101595528A仍然是非常好的备用组合,但我现在把它排在第二梯队。
CN102034829A于2011年4月27日公开,其pillar + charge-trap + lower/source selector结构非常干净。(谷歌专利)
CN101595528A于2009年12月2日公开。其美国同族的原文明示:
如果一个NAND string使用multiple source select gates,则这些source select gates将串联耦合在common source line与第一floating-gate transistor之间。(谷歌专利)
所以这组在“特征覆盖”上几乎没有问题。
但它存在一个比首选组合更明显的抗辩空间:
D1只显示一个vertical NAND source selector;
D2的multiple SGS来自普通NAND architecture;
为什么本领域技术人员一定要把D2加入vertical pillar结构?
而在CN101651144A + JP2006049728A中,这个问题明显弱化,因为D1自己已经提出normal LSL + dummy lower selection line。
换言之:
D2不是告诉技术人员“突然在3D NAND里多放一根gate”,
而是告诉技术人员如何实现D1自己已经提出的“additional lower selection line”,以及这样做具有何种已知技术效果。
这是首选组合最大的优势。
选择CN101651144A。
它与目标权1具有:
相同的3D/vertical memory技术领域;
semiconductor active pillar;
charge-storage memory cells;
NAND string;
source region;
source-side lower select/control structure。
并且已经提出additional dummy lower selection line。(谷歌专利)
谨慎表述时,不建议把区别写成:
“D1完全没有第二个lower select gate。”
因为D1已经提出dummy lower selection line。
更准确的区别应当确定为:
D1虽然提出在LSL之外使用dummy lower selection line,但没有像权利要求1那样明确、毫无疑义地限定该附加lower selection structure本身作为一个独立source select device,与靠source侧的source gate device串联,并同样被配置为控制string channel与source之间的导电。
这样既不夸大D1,也不会给专利权人留下“无效请求错误理解D1”的口实。
实际解决的技术问题建议确定为:
如何进一步改善垂直NAND string源侧的截止和隔离性能、减少非期望源侧导通或泄漏,同时保持对channel-source conduction的有效控制。
不要写成“如何增加第二个source gate”,否则容易构成事后分析。
JP2006049728A给出的启示非常直接:
普通一个source-side SGS可以改为两个SGS1、SGS2;
两个source-side selection gates能够降低selection transistor leakage并改善cutoff performance。(谷歌专利)
于是,本领域技术人员面对D1已经公开的:
charge-storage pillar → dummy lower-selection position → LSL → source
时,用D2成熟的双source-side selection transistor结构具体实现D1的additional lower selection line,是一条非常短的技术路径。
这已经不是典型的“拼图式组合”。
第一,“dummy lower selection line不是source select device”。
这是对方最有力的形式反驳。
但主组合并不依赖把D1中的dummy LSL直接强行解释为权1source select device。D1只负责证明3D pillar中已经存在设置additional lower selection line的明确方向;D2负责证明该位置可以具体实施成第二个源侧selection transistor,而且具有降低leakage、提高cutoff的功能。
因此这个抗辩对新颖性有较大影响,对创造性影响明显小很多。
第二,“JP2006049728A是平面floating-gate NAND,与vertical charge-trap NAND不同”。
这是整个无效案剩余最大的实质风险。
但D1自身已经把additional dummy lower selection line引入vertical pillar架构,因此不存在从零开始把二维双SGS硬移植到3D的问题。D2承担的是成熟source-side transistor结构及其功能启示。
第三,“source gate device不是第二个SGS”。
目标说明书确实给source gate赋予了较具体的well-control实施方式,但权利要求1本身只限定它:
coupled to a source;
controls conduction between string channel and source。
权1没有限定它必须是某一种特殊well gate,也没有限定它必须共享多个pillars。目标权1本身的文字是非常宽的。(谷歌专利)
这也是我认为专利权人不能轻易依靠名称差异逃脱的原因。
第四,“目标专利解决read disturb,而D2解决leakage/cutoff”。
目标专利说明书确实把source gate与read disturb联系起来。(谷歌专利)
但权1没有把“减少read disturb”写成结构或功能限定。创造性判断仍然应围绕区别结构客观产生的技术作用,而JP2006049728A已经明确提供source-side leakage/cutoff的改进动机。
我建议不要把六七篇文件放进一个组合,而是建立独立的两篇组合理由:
| 顺位 | 组合 | 综合评价 |
|---|---|---|
| 1 | CN101651144A + JP2006049728A | 最强。D1自己已有dummy lower selection line,D2明确双SGS及leakage/cutoff效果 |
| 2 | CN102034829A + JP2006049728A | D1结构极干净,D2动机强;缺点是存在一定平面→vertical迁移争议 |
| 3 | CN102034829A + CN101595528A | 技术特征覆盖最简单;multiple SGS拓扑几乎直接对应,但D2对“为什么增加”论证略弱 |
| 4 | CN101651144A + KR20060116909A | D1为pillar NAND,D2为额外受控source-side transistor并针对channel leakage;“protection transistor”名称存在解释争议 |
| 5 | vertical-pillar D1 + US5912489A/US20070242515A1 | 很好的传统备用路线,尤其适合证明两个source-side transistors及分别控制属于早期成熟技术 |
US20050128807A1/JP2007513455A、CN101727977A/KR20100043484A等不建议塞入主组合,更适合用于论证结合动机、降低common-source leakage、program disturb以及multiple-selection architecture属于已知设计手段。
经过本轮统一复核,我会稍微下调此前“88%~93%”的偏乐观评价。原因不是现有技术变弱,而是严格按无效审理标准看,权1仍有一个需要真正说服合议组的问题:
传统第二个source-side selection transistor,与目标权1所称“source gate device”之间是否属于本领域技术人员能够直接采用的等效/显而易见实现。
我目前会这样估计:
| 判断内容 | 概率评价 |
|---|---|
| F1:pillar + charge-storage NAND已经属于现有技术 | >95% |
| 单一source-side conduction-control gate已经公开 | >95% |
| NAND串与source之间设置两个串联source-side select devices已经公开 | >95% |
| 利用第二源侧器件改善leakage/cutoff具有明确启示 | 约90%~95% |
| 将这种结构用于vertical pillar charge-storage NAND具有结合动机 | 约85%~90% |
| “source gate device”可由这种第二source-side control device满足/显而易见实现 | 约78%~87% |
| 首选D1+D2组合单独成功 | 约80%~87% |
| 采用上述多条独立组合后,权1整体创造性无效 | 约84%~90% |
但我不建议主攻新颖性。CN101651144A虽然已经非常接近,而且有dummy lower selection line,但其对该dummy line是否像权1第二器件一样明确控制channel-source conduction的文字公开仍不够硬。单篇新颖性主张容易把案件带入不必要的“dummy是否实际起select作用”的争论。
最佳战略应当是:以创造性为绝对主攻,CN101651144A + JP2006049728A作为第一组合;CN102034829A + JP2006049728A和CN102034829A + CN101595528A作为两条平行备用理由。
这样证据链分别从**“3D结构本身已有第二lower-select启示”、“双SGS明确解决leakage/cutoff”以及“multiple SGS串联在common source与第一memory cell之间属于普通NAND架构”**三个不同角度夹击权利要求1。(谷歌专利)
我按您给出的 A/B/C/D 四个技术特征严格拆分,以 2011年8月15日之前已经公开 为硬截止条件,对 Google Patents 做了目标案同族、关键词、引用链、垂直 NAND/charge-trap/pillar、multiple source-select 等多轮交叉检索。
先给结论:本轮检索尚未确认到一件截止日前英文公开能够在同一文献中严格、完整地同时公开 A+B+C+D。 但已经找到一组相当强的“A/垂直柱结构 + BCD/双级源侧选择结构”组合证据,其中我认为最值得优先用于进一步制作无效证据表的是:
US20090230454A1 + US20070047312A1,其次是 US20070252201A1 + US20070253253A1,再其次是 US20070252201A1 + US5912489A。
目标案美国同族 US8797806B2 的权利要求1与您划分的 A–D 完全对应,最早优先权/申请日为 2011-08-15。因此以下文件的公开时间全部严格早于该日。 (Google Patents)
这里采用最保守规则:同一个现有技术晶体管不重复充当权利要求1中的两个不同装置。 对于只有一个源侧选择晶体管的文献,我将这个最靠近 source、直接控制 string-source 通路的晶体管优先映射到 B;因此不会再拿它重复满足 C/D。
| 优先级 | 英文对比文件 | 公开日 | A | B | C | D | 严格评价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| D1 | US20090230454A1, Memory array with a pair of memory-cell strings to a single conductive pillar | 2009-09-17 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | 最强 A+B 型文献 |
| D2 | US20070047312A1, Operation of multiple select gate architecture | 2007-03-01 | ❌ | ✅ | ✅ | ✅ | 最强 B+C+D 型文献之一 |
| D3 | US20070253253A1, Multiple select gates with non-volatile memory cells | 2007-11-01 | ❌ | ✅ | ✅ | ✅ | B+C+D 的结构表达尤其清楚 |
| D4 | US5912489A, Dual source side polysilicon select gate structure… | 1999-06-15 | ❌ | ✅ | ✅ | ✅ | 非常早的 B+C+D 基础证据 |
| D5 | US20070252201A1, Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof | 2007-11-01 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | A 的文字命中甚至比 D1 更直接 |
| D6 | US20100309729A1, Nonvolatile memory device and method of manufacturing the same | 2010-12-09 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | A+B 很接近目标案的垂直结构 |
| D7 | US20090097309A1, Nonvolatile semiconductor storage device… | 2009-04-16 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | 最接近“同篇出现额外选择晶体管”的 near miss |
| 补强 | US20060261404A1, Vertical NROM NAND flash memory array | 2006-11-23 | △ | ✅ | ❌ | ❌ | 很早的 vertical/charge-trap/source-select 背景证据 |
下面是为什么我这样判。
公开日:2009-09-17;优先权日:2008-03-13。 (Google Patents)
该文献公开:
hole 内形成 charge trapping layer 228;
再形成 conductive pillar 230,例如 polysilicon;
pillar + charge trapping layer + conductive layer 构成 SONOS;
每根 pillar 两侧形成串联 memory cells;
文献明确说 common pillar 将多个 memory cells in series 连接起来。 (Google Patents)
这对应:
A:电荷存储装置串,其与包括半导体材料的柱相关联
这里的 polysilicon 足以对应 semiconductor material;而 charge trap 直接对应 charge storage device 的一种实现。目标案权利要求6本身也明确允许 charge trap transistor。 (Google Patents)
US20090230454A1 的 source select transistor 216:
与串联 memory-cell string 相连;
selectively couples the lower end of conductive pillar 230 and thus the string to source line 200。 (Google Patents)
所以按功能和位置,可以把 216 映射为目标 B 的 source gate device:
string/channel → 216 → source line。
问题在这里。
US20090230454A1 只有一只明确的源侧 source select transistor 216,没有再公开一只位于:
charge-storage string → source-select device → source-gate device → source
中的第二源侧器件。 (Google Patents)
因此不能把 216 一会儿当 B,一会儿又当 C/D。
216 本身当然具有控制串与源线导通的功能;但既然已经把它映射为 B,就缺乏另一个作为 C 中“source select device”的独立器件,所以严格的 D 不能再由同一晶体管重复满足。
结论:D1 = A+B,非常强;缺口高度集中在 C+D 所需要的第二只串联源侧开关。
公开日 2007-03-01,Micron Technology。 (Google Patents)
这是本轮检索最重要的发现之一。
文献明确提出 NAND architecture 使用:
multiple series-coupled select gates on the drain and/or source ends of the NAND strings
并明确给出其目的之一是缓解 GIDL/current leakage/program disturb,同时可以减小单个 select gate 的尺寸。 (Google Patents)
其权利要求1进一步给出了非常清楚的源侧顺序:
NAND string → first source select gate → second source select gate → source line
其中:
first source select gate 位于 string 与 source line 之间;
second source select gate 位于 first source select gate 与 source line 之间。 (Google Patents)
因此映射极其自然:
将最靠近 source line 的:
second source select gate
映射为目标案的 source gate device。
它位于第一 source-select gate 与 source line 之间,并由栅电位控制。 (Google Patents)
将靠近 NAND string 的:
first source select gate
映射为目标案的 source select device。
其位置正是:
string → first SGS → second SGS → source
也就是:
string → C → B → source。 (Google Patents)
first source select gate 是串在 NAND string-source 导电路径上的选择晶体管,文献分别向第一、第二 source select gate 施加控制电位;其开/关直接控制该串联导电路径。 (Google Patents)
该文献是常规 NAND string/select-gate 架构,并未在这里公开目标 A 所要求的 semiconductor pillar。
所以:
D2 = B+C+D,非常干净。
而且其明确给出了“为什么在 source 端使用多个串联 select gates”的技术原因,这一点对 D1+D2 的组合价值很大。 (Google Patents)
公开日 2007-11-01,Micron Technology。 (Google Patents)
我认为它与 D2 至少同等级,在“器件相对位置”的文字表达上甚至更直接。
说明书明确写:
第一源选择栅 SGS-0 的 source region 与 source line 相连;
SGS-0 的 drain 与第二源选择栅 SGS-1 的 source 相连;
SGS-1 又被明确称为 “cell side select gate”;
SGS-1 与 NAND string 中的第一 memory cell 相邻并连接。 (Google Patents)
也就是:
source line — SGS-0 — SGS-1 — first memory cell — NAND string
反过来看:
NAND string → SGS-1 → SGS-0 → source
这几乎就是目标案 C/B 的顺序。
更关键的是权利要求15:
first select gate coupled to a source line;
second select gate coupled to the first memory cell of the string。 (Google Patents)
所以:
B = SGS-0:✅
C = SGS-1:✅
D = SGS-1 控制串联导电路径:✅
A:❌
此外,文献还明确说 source side 可采用 two select gates in series,并以缩小 layout size 为目的。 (Google Patents)
如果制作无效请求的技术特征表,我会:
D2 放主位,D3 放补强。
原因是 D2 的 claim language 用了连续两个 “interposed between”,和目标 C 的“coupled between”逻辑非常接近;D3 则用 SGS-0/SGS-1 和 “cell side select gate” 把物理次序说得更加形象。 (Google Patents)
公开日:1999-06-15。 (Google Patents)
它的重要价值不是垂直 NAND,而是证明:
“NAND string 的源侧串接两个独立选择晶体管”早在 1999 年已经公开。
权利要求1直接规定:
多个 data storage transistors 串联形成 NAND string;
series select transistor 的 drain 与 NAND string 最后一只 storage transistor 的 source 相连;
source select transistor 的 drain 与 series select transistor 的 source 相连。 (Google Patents)
因此拓扑就是:
NAND string → series select transistor → source select transistor → source/Vss
文献还进一步说明 source select transistor 的 source 接 Vss,并明确说当 series-select 和 source-select 两者均打开时,形成 array Vss 与 NAND string 之间的 conduction path。 (Google Patents)
所以严格映射:
B:✅ 最靠近 Vss/source 的 source select transistor
C:✅ 位于 NAND string 与前述器件之间的 series select transistor
D:✅ series select transistor 的 gate 对这条 NAND-string/source 通路进行通断控制
A:❌ 没有目标 semiconductor pillar
这个文件非常适合用来打击一种可能的论点——即“2011 年才想到在 NAND 串源端设置两级独立控制器件”。
公开日:2007-11-01;优先权日 2006-03-27。 (Google Patents)
它的权利要求1几乎逐字给出了 A 的核心结构:
memory string;
plurality of electrically programmable memory cells connected in series;
pillar shaped semiconductor;
第一绝缘层;
charge storage layer;
第二绝缘层;
多层 electrodes。 (Google Patents)
因此:
从“文字对应程度”看,我认为 D5 是目前 A 的最佳文件之一,甚至比 D1 更适合单独证明“pillar comprising semiconductor material + charge-storage string”。
它同时还有:
source-side selection gate line SGS;
lower selection gate transistor SSTr;
SSTr 与下层 source line SL/最低层 memory array 的相对位置。 (Google Patents)
所以单个 source-side select transistor 可以承担 B 类控制功能。
但是:
同 D1 一样,尚未看到它在 source 端再串联第二只独立 select/source-gate device,从而形成目标要求的:
string → source select device → source gate device → source
因此不能用单个 SSTr 重复满足两个装置。
公开日 2010-12-09。 (Google Patents)
这件文献离截止日较近,但在结构上很有价值:
active pillar 422 comprises a single crystalline semiconductor;
gate patterns 沿 active pillar 侧壁堆叠形成 vertical cell string;
cell gate 与 active pillar 之间设置 charge storage pattern 430;
charge storage pattern 包括 tunnel dielectric、trap insulation、blocking insulation。 (Google Patents)
因此:
非常强。
在 source 侧,它又公开:
common source region 与 active pillar 电连接;
ground select gate pattern 441 位于 substrate/source-side 与最低 cell gate 之间;
ground select gate controls the electrical connection between the active pillar and the well。 (Google Patents)
因此:
从功能上,它已经是“耦合到 source-side region 并控制 vertical-pillar channel/source-side conduction”的门控器件。
但还是只有这一层明确的 source-side selection:
C:❌;D:❌(缺少第二个独立源侧装置)。
这件文献与 D2/D3 的组合也很值得保留。
公开日:2009-04-16。 (Google Patents)
它已经公开:
semiconductor pillar;
charge accumulation film;
一根 semiconductor pillar 上的 memory elements 构成 memory string;
memory cell transistors 由 semiconductor pillar 串联。 (Google Patents)
同时还出现:
source-side select transistor S1,source 接 common source line CELSRC;
一个额外的第三选择晶体管 S3。 (Google Patents)
乍看很像目标案。
但严格检查后,不能把它判成 C。
原因是第三选择栅 SGC/S3 明确位于:
WL08 与 WL09 之间,
即整个 memory string 的中部。文献甚至分别定义 SGC 上方和下方的 memory cells。 (Google Patents)
目标 C 要求的是:
source select device coupled between the string of charge storage devices and the source gate device
即:
完整 charge-storage string → C → B → source
而 S3 是把 memory string 从中间切开,不是处于完整 string 与 source-side gate S1 之间。
所以我的严格结论是:
A:✅
B:✅(S1)
C:❌
D:❌
这件文献非常适合作为“为什么不能把相似结构硬算成完全公开”的边界案例。
US20060261404A1,公开 2006-11-23。 (Google Patents)
它已经有:
vertical NROM NAND string;
substrate pillars;
memory cells 位于 pillar sidewalls;
trapping layer;
source/drain 端 select gates;
select gate 将 NAND string 选择性连接 source line。 (Google Patents)
但我只把 A 判作 △,而不是 ✓。
原因是它的 NAND string 是沿着一系列 substrate pillars 和 trenches形成,而目标 A 更自然地对应“一个包含半导体材料的柱与一个 charge-storage-device string 相关联”。D1、D5、D6 对这一点更干净,不需要用 D8 冒解释风险。 (Google Patents)
我目前将它排在第一。
| 目标特征 | D1:US20090230454A1 | D2:US20070047312A1 | 组合结果 |
|---|---|---|---|
| A | charge-trap memory-cell string + polysilicon pillar | — | 满足 |
| B | source-side transistor 将 pillar/string 选择性接到 source line | nearest-source 第二 SGS | 满足 |
| C | 缺第二源侧器件 | first SGS 位于 string 与 second SGS 之间 | 满足 |
| D | — | first SGS 为串联控制晶体管 | 满足 |
这个组合最重要的地方不是机械“拼图”,而是 D2 自己给出了采用多个 source-side select gates 的技术原因:
降低 GIDL/current leakage/program disturb,同时允许较小的 select-gate feature size。 (Google Patents)
也就是说,D1 已经具有:
vertical charge-storage pillar + 一个 source-side select device
而 D2 明确教导:
NAND string source end → 使用多个串联 select gates。
从纯技术检索角度看,这是目前我认为最需要优先深入论证的一条证据链。 (Google Patents)
这个组合的优势是文字对应非常漂亮:
D5 Claim 1 → A
D3 Claim 15 / Fig.3 → B+C+D
尤其 D5 直接使用 pillar shaped semiconductor + charge storage layer + memory string;D3 直接使用 source-line-side SGS-0 和 cell-side SGS-1。 (Google Patents)
如果要制作“权利要求1—证据逐特征对照表”,这一组可能比第一组更容易写得简洁。
优势在于时间跨度。
D5 证明 2007 年前已有 A;D4 则把 B+C+D 的双源侧串联选择器件一直推到 1999 年公开。 (Google Patents)
这对证明“双级源侧开关本身不是接近 2011 年才出现的技术思想”非常有帮助。
如果现在就要把检索结果转入 CN103782344B 权利要求1的无效证据体系,我会按下面的顺序投入精力:
首选主组合:US20090230454A1 + US20070047312A1。
其中第一篇解决垂直 charge-storage pillar,并已经有 string-to-source 单级门控;第二篇恰好教导把 NAND source end 做成两个串联 select gates,并明确给出技术动机。 (Google Patents)
第二组合:US20070252201A1 + US20070253253A1。 前者对 A 的 claim-level 文字公开最强,后者对 B/C 的相对位置最清晰。 (Google Patents)
US5912489A 建议作为重要补强证据保留。 它的 Claim 1 对“string → 第一选择晶体管 → 第二选择晶体管 → source”的公开非常早、非常直接。 (Google Patents)
另外需要特别说明:我前面检索过程中曾暂时把 D1 的单个 source select transistor 216 记作“对 D 有贡献”。经过最后的严格 distinct-device 校核后,我采用更保守的最终映射:216 优先映射 B,C/D 不再重复使用同一器件。 这更符合您要求的严格 A/B/C/D 划分,也避免在无效对照中出现“一只晶体管同时充当两个分别限定装置”的薄弱点。 (Google Patents)
以上是技术性现有技术检索和特征比对,不替代具体案件中的法律判断。
继续按您前面给出的 A/B/C/D 四个技术特征严格划分,并把 2011年8月15日之前已经公开的日本 JP 公报作为硬条件做多轮 Google Patents 检索后,这一轮出现了一个比前面英文组合更值得优先研究的结果:
JP2010192569A,公开日 2010-09-02,东芝,是目前检索到的最强日本单篇候选。按权利要求1的功能和相对位置解释,它有较强基础在同一篇文献内对应 A+B+C+D。(Google Patents)
而在组合证据方面,JP2007266143A + JP2001518696A 和 JP2007266143A + JPH06275800A 都非常值得保留。
| 优先级 | 日本公开公报 | 公开日 | A | B | C | D | 评价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| J1 | JP2010192569A | 2010-09-02 | ✅ | ✅ | ✅ | ✅ | 目前最强单篇候选 |
| J2 | JP2007266143A | 2007-10-11 | ✅ | △/✅ | ❌ | ❌ | A 极强 |
| J3 | JP2001518696A | 2001-10-16 | ❌ | ✅ | ✅ | ✅ | B+C+D 极强 |
| J4 | JPH06275800A | 1994-09-30 | ❌ | ✅ | ✅ | ✅ | 日本原始申请、非常早的 B+C+D |
| J5 | JP2010118580A | 2010-05-27 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | 3D NAND A+B 强 |
| J6 | JP2009224565A | 2009-10-01 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | A+B 很干净 |
| J7 | JP2010199314A | 2010-09-09 | ✅ | △/✅ | ❌ | ❌ | U形垂直 NAND + source select |
| J8 | JP2011514013A | 2011-04-28 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | A+B,截止日前公开 |
| 补充 | JP2009088446A | 2009-04-23 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | 有额外选择晶体管,但严格位置不满足 C |
以下重点解释。
公开号:JP2010192569A
名称:不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法
申请人:Toshiba Corp
优先权日:2009-02-17
公开日:2010-09-02。(Google Patents)
这件文献最重要,因为它不是简单的:
memory string + 一只 source select transistor
而是在 memory stack 与源极连接端之间设置了上下两层不同的选择栅晶体管。
JP2010192569A 明确公开:
半導体ピラー SP;
semiconductor pillar 作为 channel;
电荷蓄积层;
电荷蓄积层可以采用氧化硅/氮化硅/氧化硅结构;
semiconductor pillar 可采用 polysilicon;
SP1+SP2 连接成 U字形 NAND string。(Google Patents)
特别是说明书直接写:
第1、第2半导体柱形成 U字形状のNANDストリング
因此相对于:
A:电荷存储装置串,其与包括半导体材料的柱相关联
这是非常直接的公开。(Google Patents)
在 source 支路上,JP2010192569A 明确说:
SP2、SP3 接至 共通のソース配線 M0;
semiconductor pillar 本身构成选择栅晶体管的 channel;
通过 上层选择栅 SGA 和下层选择栅 SGB 对 semiconductor pillars 进行选择;
对选择栅施加不同电压能够选择/驱动相应的柱。(Google Patents)
所以,在与 source line M0 相连的 SP2 支路上,最靠 source 一侧的上层选择栅晶体管可对应:
B:source gate device coupled to a source
它不是存储晶体管,而是独立的 gate-controlled selection transistor。
JP2010192569A 明确规定:
第一选择栅晶体管 SGT1 位于 pillar 的端部;
第二选择栅晶体管 SGT2 位于:
第一选择栅晶体管 SGT1 与 memory stacked body ML 之间。(Google Patents)
也就是说,在 source-connected SP2 支路上,结构顺序可以表示为:
memory-cell stack / NAND string
→ SGT2
→ SGT1
→ source wiring M0
这与权利要求1的:
charge-storage string
→ source select device
→ source gate device
→ source
在相对位置上高度一致。
因此严格映射可以采用:
B = source-adjacent SGT1
C = SGT2
SGT2 明确位于 SGT1 与 memory stack ML 之间。(Google Patents)
这里没有使用“同一只晶体管重复映射 B 和 C”的问题。
文献进一步说明:
semiconductor pillar 是 SGT1~SGT4 的 channel;
改变 gate voltage / threshold 可以选择 semiconductor pillar;
上层和下层选择栅共同施加控制电压,可选择 source-connected pillars;
不同上下层栅电压组合决定哪根 pillar 被选择。(Google Patents)
因此 SGT2 并不是一个无关的结构层,而是实质参与 channel 通断/选择的选择晶体管。
这对应:
D:source select device configured to control conduction between the channel and source
具有很强技术对应关系。
我会把它定为:
A ✅ / B ✅ / C ✅ / D ✅,但 B/D 属于“功能+拓扑解释型完全对应”,不是文献使用了与目标案完全相同的 source gate/source select 命名。
这点很重要。
JP2010192569A 把两只器件称为:
第1選択ゲートトランジスタ
第2選択ゲートトランジスタ
而目标案把两只器件分别命名为:
source gate device
source select device
但目标权利要求1本身对两者的核心限制是位置和控制导通功能:source gate device 位于 source 一侧,而 source select device 位于 string 和 source gate device 之间。目标美国同族权利要求1的英文原文也正是这个拓扑。(Google Patents)
因此,JP2010192569A 是我认为最应该首先制作逐项证据表、逐图核对的日本文献。
公开日:2007-10-11,东芝。(Google Patents)
它的摘要几乎可以直接拿来对 A:
多个 electrically rewritable memory cells 串联形成 memory strings;memory string 包含 柱状半導体,其周围形成绝缘层、電荷蓄積層、第二绝缘层和多层电极。(Google Patents)
因此:
A:✅ 极强
而且不是依靠实施例拼出来,而是摘要/核心发明结构直接写明:
memory string + 柱状半导体 + charge-storage layer。
这是此前英文 US20070252201A1 的日本原始同族,所以在需要“日本公开文件”时,优先直接使用 JP2007266143A。
该文献也有 source-side selection transistor,因此对 B 有贡献;但严格采用“两只不同器件”的标准:
C/D 不满足。
公开号:JP2001518696A
公开日:2001-10-16。(Google Patents)
题名本身就是:
デュアルソースサイド多結晶シリコン選択ゲート構造…
而说明书非常明确:
在 floating-gate NAND string 的末端;
设置 直列選択トランジスタ;
再设置 ソース選択トランジスタ;
两者串联;
series select transistor 接 NAND string 最后一只 memory transistor;
source select transistor 接 array Vss。(Google Patents)
结构就是:
NAND string
→ series select transistor
→ source select transistor
→ Vss/source
与目标案可以直接对应:
B = 靠 Vss/source 的 source select transistor
C = 靠 NAND string 的 series select transistor
更关键的是,文献明确说两只晶体管的 gate 都升高时,在:
array Vss 与 NAND string 之间提供导电路径
而且明确说每个 NAND cell 在数据存储晶体管与 ground source 之间有两只串联 source-side selection transistors。(Google Patents)
所以:
B:✅
C:✅
D:✅
A:❌
这是我认为目前日本文本里 BCD 文字对应最直接的一件。
唯一要注意的是,它属于日本国家阶段公开,而不是东芝这种日本本土原始申请。但作为 JP 日文公开公报没有问题。
特开平6-275800
公开日:1994-09-30
申请人:Toshiba Corp。(Google Patents)
这件的价值很高,因为时间非常早,而且是日本原始申请。
说明书明确说:
NAND cell 由具有 charge-storage layer/control gate 的多个 memory cells 串联构成;
NAND cell 的一端通过第二选择结构连接 source line。(Google Patents)
然后进一步公开:
source-line 一侧的“第2选择晶体管”并不是一只器件;
而是由 E型 transistor + D型 transistor 两只晶体管串联组成。(Google Patents)
实施例再次确认:
source line 22;
source-line-side 第2 selection transistor 21;
该 selection transistor 由 E型 transistor 11 与 D型 transistor 12 串联组成;
NAND memory cells 位于 drain-side selection structure 与 source-side selection structure 之间。(Google Patents)
因此在 source 一侧完全可以拆成:
NAND string
→ source-side transistor #1
→ source-side transistor #2
→ source line
从严格器件角度:
B:✅
C:✅
D:✅
A:❌
它非常适合作为“双级源侧控制结构早已属于 NAND 技术方案”的早期基础证据。
公开日:2010-05-27,东芝。(Google Patents)
它明确公开:
memory string MS;
memory string 由 MTr1~MTr4 串联组成;
source-side select transistor SSTr;
source-side selection-transistor layer;
source-side pillar-shaped semiconductor;
source diffusion Ba1 作为 source line SL;
source-side conductive layer 作为 SGS/control gate。(Google Patents)
因此:
A:✅
B:✅
C:❌
D:❌
原因还是同样严格:明确的 source-side selection transistor 只有一级,不应同时当作权利要求1中的两个独立源侧器件。
这件文件值得保留的另一个原因是:它本身就在目标专利美国同族的 Google Patents 引用体系中,因此技术关联度很高。
公开日:2009-10-01,东芝。(Google Patents)
它明确记载:
memory strings MS;
每个 string 有 柱状半导体 CLmn;
pillar 从 substrate 垂直形成;
四只 memory transistors 串联;
source-side select transistor SSTr;
source of SSTr 连接 source line SL。(Google Patents)
其 memory cell 又采用 charge-storage structure。
所以:
A:✅
B:✅
C:❌
D:❌
如果需要用另一件日本公报补强 JP2007266143A 的 A,JP2009224565A 是很好的选择。
公开日:2010-09-09,东芝。(Google Patents)
摘要直接给出:
memory string MS;
U字状半導体層 35;
tunnel insulating layer;
charge storage layer 34b;
word-line conductive layers;
source-side selection transistor SSTr;
source-side pillar semiconductor 47b。(Google Patents)
因此:
A:✅
对 B 也有明显贡献,因为 source-side selection transistor 位于 U-shaped memory string 的源端。
但是目前严格检索下没有看到独立的第二只 source-side device:
C:❌
D:❌
所以它的价值主要是进一步证明:截止 2011-08-15 很久以前,“vertical/U-shaped semiconductor channel + charge-storage NAND string + source selection transistor”已经非常成熟。
Google Patents 明确记载:
JP2011514013A 于 2011-04-28 公开,仍严格早于 2011-08-15。(Google Patents)
其技术内容包括:
conductive pillar,可为 polysilicon;
pillar 构成 memory string channel;
charge-trapping/charge-storage structure;
source select transistor。(Google Patents)
因此:
A:✅
B:✅
C/D:❌
因为依然缺少目标案要求的第二只串联 source-side device。
公开日:2009-04-23。(Google Patents)
它比较特别,因为确实:
有垂直 semiconductor pillar;
有 charge-storage memory string;
有 source-side select transistor;
还有额外的第三 select transistor。
但是继续核图后,第三 select transistor 位于 memory string 内部,把存储串分成上下部分,并不是:
完整 charge-storage-device string
→ source-select device
→ source-gate device
→ source
所以我仍然坚持严格判定:
A ✅ / B ✅ / C ❌ / D ❌。
这件文献不宜为了追求“单篇覆盖”而强行把内部选择晶体管解释成 C。
这是这一轮检索的最大升级。
建议首先按以下映射制作逐项表:
| CN103782344B 权利要求1 | JP2010192569A |
|---|---|
| A | semiconductor pillars SP + charge-storage layers + U-shaped NAND string |
| B | source-connected SP2 上靠 source M0 的 upper selection-gate transistor |
| C | lower selection-gate transistor SGT2,明确处于 SGT1 与 memory stack ML 之间 |
| D | SGT2/SGT1 以 pillar 为 channel,受 gate voltage 控制,对 source-connected pillar 执行选择和驱动 |
文献明确证明 source-connected SP2 接 M0;又明确规定 SGT2 位于 SGT1 与 memory stack 之间;同时上下选择栅通过栅压选择相应 pillar。(Google Patents)
这已经不是“单个 SGS 重复映射两次”的情况,而是两个物理上不同的 gate transistor/tier。
这是文字层面非常舒服的一组:
JP2007266143A:A
明确:
memory strings + 柱状半导体 + 电荷蓄积层。(Google Patents)
JP2001518696A:B+C+D
明确:
NAND string → series select transistor → source select transistor → array Vss,并明确两只栅控制 Vss/string 间导电路径。(Google Patents)
如果 J1 的“source gate device”命名问题成为争议,这一组组合证据非常重要。
这组的特点是两件都是非常强的日本技术文献:
J2 提供 3D pillar charge-storage string;
J4 在 1994年已经明确在 NAND source line 一侧采用两只 E/D transistor 串联的 selection structure。(Google Patents)
因此它特别适合支持这样一条技术演进链:
垂直 charge-storage NAND string 已知
NAND source-side double selection transistor 已知
→ 将已知双级 source selection 用到已知 vertical NAND source end。
这属于技术上的现有技术组合分析,最终法律评价还应结合无效程序中采用的新颖性/创造性标准。
第一优先:JP2010192569A
这是目前唯一一件我认为值得认真主张“单篇 A+B+C+D”的日文公开候选。
第二优先:JP2007266143A + JP2001518696A
A 与 BCD 的逐字对应度最好。
第三优先:JP2007266143A + JPH06275800A
日本原始技术链更早,而且双级 source-side structure 可追溯到 1994 年。
补强文件:JP2010118580A、JP2009224565A、JP2010199314A、JP2011514013A。
其中尤其值得注意:JP2010192569A 和 JP2010118580A 本身就出现在目标案美国同族的相关引用体系中,因此下一步做无效检索时,应重点围绕这两件的前向/后向引用、发明人交叉申请以及 Toshiba 2008–2010 年同族群继续向外扩展,而不是只停留在目前这 8 件上。(Google Patents)
按之前确定的 A/B/C/D 严格划分标准,我又针对 Google Patents 的韩国 KR 公报、韩文关键词、英/日强文献的韩国同族,以及 Samsung/Hynix/Micron 的 3D NAND 申请做了多轮交叉检索。
截至这轮检索,尚未确认一件在 2011-08-15 之前公开的 KR 韩文公报能够严格、单篇同时公开 A+B+C+D。但已经形成一组很强的韩国证据链:
首选组合:KR20100135796A + KR20010015679A
前者非常强地覆盖 A+B,后者非常干净地覆盖 B+C+D。
另外,KR20070096972A + KR20010015679A 也是非常值得使用的一组纯 KR 组合,其中 KR20070096972A 对 A 的文字公开尤其直接。
| 优先级 | KR公开号 | 公开日 | A | B | C | D | 评价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| K1 | KR20100135796A | 2010-12-27 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | 目前最强 A+B 韩国文献之一 |
| K2 | KR20010015679A | 2001-02-26 | ❌ | ✅ | ✅ | ✅ | 目前最强 B+C+D 韩国文献 |
| K3 | KR20070096972A | 2007-10-02 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | A 的文字对应极强 |
| K4 | KR20100104908A | 2010-09-29 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | Samsung 韩国本土 3D NAND |
| K5 | KR20110034816A | 2011-04-06 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | Samsung vertical charge-trap NAND,很强 |
| K6 | KR20110015339A | 2011-02-15 | ✅ | △/✅ | ❌ | ❌ | Hynix,vertical floating-gate string |
| K7 | KR20110013699A | 2011-02-10 | ✅ | △ | ❌ | ❌ | Hynix,vertical charge-trap structure |
| 补强 | KR20080053531A | 2008-06-13 | △ | △ | ❌ | ❌ | 很早的 vertical NAND NROM/pillar 文献 |
以下是严格比对。
KR20100135796A,Micron,优先权日 2008-03-13,韩国公开日 2010-12-27,明显早于 2011-08-15。Google Patents 明确列出该 KR 公开公报。(Google 专利)
该文件公开:
conductive pillar 230;
pillar 可以是 polysilicon;
pillar 两侧设置 charge-trap structures;
memory cells 在 pillar 上构成第一、第二 serially connected NAND strings;
charge-trap layer 包括 oxide/nitride/oxide,形成 SONOS memory cells。(Google 专利)
因此目标 A:
电荷存储装置串,其与包括半导体材料的柱相关联
对应关系非常直接:
charge-trap memory cells → NAND string → polysilicon pillar。
文献明确说明 source select transistor 216:
与 memory-cell string 相连;
通过 conductive pillar 与 string 相接;
将 pillar 的下端以及相应 serial memory-cell string 选择性连接到 source line 200。(Google 专利)
权利要求/方法部分也明确限定 selection transistor:
被设置在 source line 与第一、第二 serially-connected memory-cell strings 的端部之间。(Google 专利)
所以:
B:✅
而且这是 functional language 的直接公开——不是单纯从图中推测。
严格来看,仅明确存在一只 source-side select transistor 216。
缺少:
memory string → 独立 source select device → 独立 source gate device → source
这样的两级源侧结构。
所以不能把 216 同时拿来满足 B 与 C。
按照我们已经确定的“不重复映射同一器件”原则,既然 216 已用于 B,就没有第二个 source select device 可承担 C+D。
结论:K1 = A+B。
KR20010015679A
名称:Dual source side polysilicon select gate structure and programming method
公开日 2001-02-26。(Google 专利)
这是目前韩国证据中对 B/C/D 最重要的一件。
韩文摘要直接公开:
NAND string 末端串联设置 series select transistor 和 source select transistor;
并进一步明确:
series select transistor 连接 NAND string 中最后一个 memory transistor;
source select transistor 连接 array Vss;
两只晶体管串联。(Google 专利)
拓扑没有歧义:
NAND memory string
→ series select transistor
→ source select transistor
→ Vss/source
这与目标权利要求1可以严格对应为:
把最靠近 Vss/source 的:
source select transistor
对应为权利要求中的:
source gate device。
其 source-side connection 是直接公开的。(Google 专利)
把靠近 NAND string 的:
series select transistor
对应为:
source select device。
位置正是:
NAND string → C → B → source
完全符合 C 要求的“source select device coupled between string and source gate device”。(Google 专利)
这两只选择晶体管是真正的 gate-controlled transistor;说明书进一步详细讨论 series select transistor、source select transistor 的 gate bias、channel、电场和截止状态。(Google 专利)
因此靠 string 的 series-select device 本身参与控制 NAND string/source 导电通路。
所以:
KR20010015679A = B+C+D,非常强。
它属于平面 floating-gate NAND,没有目标 A 要求的 semiconductor pillar。
KR20070096972A,Toshiba
优先权日 2006-03-27,公开日 2007-10-02。(Google 专利)
其韩文摘要几乎可以直接逐字对应目标 A:
복수의 전기적으로 프로그램가능한 메모리 셀들이 직렬로 접속된 스트링
기둥형 반도체
第一绝缘层
전하 축적층
第二绝缘层
多层电极。(Google 专利)
因此:
而实施例进一步明确:
memory string 10 包含多个 memory transistors;
这些 memory transistors 围绕 柱状半导体11;
insulating layer 12 作为 charge storage layer,可为 ONO;
charge 保持在 SiN traps 中。(Google 专利)
从逐字证据角度看,这一件比很多“从结构图推 pillar/string”的文件更适合作为 A 的主文件。
同一 memory string 还包含 source-side selection transistor SSTr,由 source-side select gate SGS 控制;文献同时公开 source line SL,并描述 SSTr 在 source-side operation 中的作用。(Google 专利)
所以以普通源侧选择晶体管对应 B,有相当扎实的基础。
源端仍只有一层明确 SSTr。
另一个 SDTr 位于bit-line/drain 一侧,不能把它搬到 source 一侧承担 C。
所以:
K3 = A+B;不满足严格 C。
KR20100104908A,Samsung Electronics,公开日 2010-09-29。(Google 专利)
该文件明确公开:
semiconductor pillar;
pillar 穿过多层 conductive/insulating layers;
pillar 与导电层之间具有 floating gates;
memory cells 沿垂直方向串联成 string。(Google 专利)
而 floating gate 显然承担电荷存储功能,因此:
source side 更明确:
each string 包含 upper select transistor UST 和 lower select transistor LST,memory cells 串联于两者之间,且 LST 的 source 连接 common source line CSL。(Google 专利)
因此:
UST 在另一端接 bit line,而不是与 LST 一起串联在 source 端。
不能采用:
UST = C、LST = B
因为这会违反 C 所要求的物理位置。
所以:
A ✅ / B ✅ / C ❌ / D ❌。
这是非常好的韩国本土 A+B 补强文件。
KR20110034816A
名称:Vertical NAND Charge Trap Flash Memory Device and Manufacturing Method
优先权 2009-09-29;公开日 2011-04-06。(Google 专利)
它是非常值得保存的一件。
权利要求/说明书直接公开:
pillar-shaped single-crystal semiconductor channel;
vertically stacked cell transistors;
tunnel oxide;
charge trap film;
control gates;
charge trap 存储电荷;
GSL 位于 substrate/source 侧;
SSL 位于顶部。(patents.google.com)
所以:
尤其 semiconductor pillar 不是泛称 conductor,而是:
single-crystal semiconductor channel / single-crystal silicon
因此对 A 中“包括半导体材料的柱”非常干净。(Google 专利)
底部 GSL electrode 环绕靠 source/substrate 一侧的 semiconductor channel,并作为 ground/source-side selection structure;common source line 连接各 string 下端。(Google 专利)
一个很容易出现的误判是:
GSL + SSL = B+C
这不成立。
因为 KR20110034816A 的:
GSL 在 source/bottom end;
SSL 在 top/bit-line end;
二者处于 string 相反两端。(Google 专利)
目标 C 要求两只相关器件连续排列在同一 source side。
所以只能:
A ✅ / B ✅ / C ❌ / D ❌。
KR20110015339A,Hynix Semiconductor,公开日 2011-02-15。(Google 专利)
它明确给出:
channel 从 substrate 垂直突出;
沿 channel 堆叠多个 floating gate electrodes;
floating gate 中保存电荷;
plurality of memory cells;
memory cells 串联在 lower select transistor LST 与 upper select transistor UST 之间,构成一个 string。(Google 专利)
因此:
A:✅
文献还明确存在:
source region S;
lower select transistor LST;
对 lower select line LSL 施加控制电压。(Google 专利)
所以:
B:△/✅
如果用于正式对照,我会把它排在 K1/K3/K4 后面,而不是用它做 B 的主证据,因为 K1 的“selectively connects string to source line”文字要干净得多。
C 仍然没有:
C/D:❌。
KR20110013699A,Hynix,公开日 2011-02-10。(Google 专利)
其韩文说明书记载:
substrate/source-side lower structures;
lower select transistor;
channel trench;
charge blocking film;
charge trap film;
tunnel insulating film;
channel;
沿 channel 堆叠多个 memory cells。(Google 专利)
因此对于 A:
A:✅
但它作为 B 的文字对应程度弱于 K1、K3、K4,所以我只标:
B:△
而不是为了增加命中数硬判完全公开。
KR20080053531A,Micron,公开日 2008-06-13,最早优先权 2004-02-24。(Google 专利)
它明确公开:
vertical NAND NROM memory string;
substrate pillars;
memory cells 位于 pillar sidewalls;
trapping layer;
多个 memory cells 串联;
select gates。(Google 专利)
但是这里要严格一点:
它的 NAND string 沿一系列 pillars/trenches蜿蜒布置,而不是像 K1/K3/K4 那样,一根 semiconductor pillar 就清楚关联一个垂直 memory-cell string。(Google 专利)
所以我建议:
A:△,只作补强,不作 A 的第一主文件。
这是目前我的第一选择。
| CN103782344B 权1 | KR20100135796A | KR20010015679A |
|---|---|---|
| A | ✅ charge-trap NAND strings + polysilicon pillar | — |
| B | ✅ source select transistor 将 string 选择性连接 source line | ✅ source-adjacent source select transistor |
| C | — | ✅ series select transistor 位于 NAND string 与 source select transistor 之间 |
| D | — | ✅ series select transistor 为独立 gate-controlled device |
K1 本身已经把:
3D pillar charge-storage string → source-side transistor → source
公开得很完整。(Google 专利)
K2 则在早至 2001 年的韩国公开中直接教导:
NAND string → series select transistor → source select transistor → Vss
也就是在普通 NAND source end 上使用两只串联控制晶体管。(Google 专利)
因此,这是一条非常值得重点研究的技术组合路线。
这组的优势是 A 的语言最接近目标权利要求。
K3 的韩文摘要已经明确出现:
memory string + pillar-shaped semiconductor + charge-storage layer。(Google 专利)
再用 K2 补:
series select transistor + source select transistor + Vss。(Google 专利)
因此可以做成非常整齐的:
K3:A(并辅助 B)
K2:B+C+D
逐特征对照表。
优势是 K4 是 Samsung 韩国本土申请:
vertical semiconductor pillar;
floating-gate charge-storage cells;
vertical string;
source-connected lower select transistor。(Google 专利)
再结合 2001 年已经公开的 source-side dual-select structure,技术演进关系也很清楚。(Google 专利)
如果现在要从韩国文件中选证据,我建议优先级明确设为:
第一主文件:KR20100135796A——A+B。
它最大的优势是 claim/description 直接说:
source select transistor selectively connects the serially-connected strings to the source line,
同时又有 polysilicon pillar、charge trap、serial NAND strings。(Google 专利)
第二主文件:KR20010015679A——B+C+D。
它最大的优势是 source 端的两个器件完全分离、次序明确:
NAND string → series select transistor → source select transistor → Vss。(Google 专利)
第三:KR20070096972A——A 的强补充/替代主文件。
其“串联 memory cells + 柱状半导体 + 电荷存储层”的韩文公开几乎逐词对应 A。(Google 专利)
第四梯队:KR20100104908A、KR20110034816A。 两件都是韩国本土非常强的 vertical NAND A+B 文件,适合证明截至 2010–2011 年垂直 semiconductor channel/pillar、charge-storage string 与 source-side gate 已经属于成熟技术结构。(Google 专利)
最重要的是:本轮没有为了追求“单篇全部命中”而把位于 bit-line 一端的 SSL/UST强行解释成 C,也没有把同一只 source select transistor 同时映射 B 与 C/D。在目前检索到的韩国材料中,真正的技术缺口仍集中在“3D pillar NAND 文献中的第二只 source-side 串联控制器件”;而 KR20010015679A 很早就把这个缺口作为独立 NAND source-side 技术明确公开了。(Google 专利)
以上属于专利检索及技术特征比对,不代替具体无效案件中的法律判断。
继续严格按您已经确定的 A/B/C/D 四项技术特征,并把 2011年8月15日之前已经公开的 CN 中文公开文本作为硬截止条件,对 Google Patents 做了中国同族反查、中文关键词、Samsung/Toshiba/Micron 等 3D NAND 申请以及双源侧选择结构的交叉检索。
本轮的核心结论是:
目前尚未确认到一件截止日前的中文 CN 公报,可以在不重复解释同一器件、不把位线端选择栅搬到源极端的前提下,单篇严格覆盖 A+B+C+D。
但是已经找到一组很强的“中文纯 CN”组合:
CN101971324A + CN1519938A。
前者非常强地覆盖 A+B,后者非常清楚地覆盖 B+C+D。
| 优先级 | 中文公开文件 | 公开日 | A | B | C | D | 当前评价 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| C1 | CN101971324A | 2011-02-09 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | 首选 A+B 主文件 |
| C2 | CN1519938A | 2004-08-11 | ❌ | ✅ | ✅ | ✅ | 首选 B+C+D 主文件 |
| C3 | CN101055875A | 2007-10-17 | ✅ | △/✅ | ❌ | ❌ | A 的逐字公开最漂亮 |
| C4 | CN102034829A | 2011-04-27 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | 单晶半导体柱+charge trap+源侧 GSL |
| C5 | CN101814508A | 2010-08-25 | ✅ | ✅ | ❌ | ❌ | Samsung 垂直 charge-trap NAND |
| C6 | CN101800224A | 2010-08-11 | ✅ | △/✅ | ❌ | ❌ | 垂直 NAND 柱形沟道补强 |
上述公开日都严格早于 2011-08-15。例如 CN101971324A 的公开日为 2011-02-09,CN1519938A 为 2004-08-11,CN101055875A 为 2007-10-17,CN102034829A 为 2011-04-27。(Google 专利)
CN101971324A,《具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列》,Micron,最早优先权 2008-03-13,公开日 2011-02-09。(Google 专利)
权利要求1直接公开:
一个或多个 导电柱230;
多个 电荷存储节点229;
电荷存储节点位于导电柱和激活线之间;
在同一给定导电柱两侧形成第一、第二 串联耦合存储器单元串。(Google 专利)
说明书进一步明确:
导电柱230可为 多晶硅;
其外围具有 电荷捕获层228;
二者与控制电极形成 SONOS;
电荷捕获层包括 oxide/nitride/oxide。(Google 专利)
所以 A 的映射非常直接:
电荷存储装置串 → serially coupled memory-cell string
包含半导体材料的柱 → polysilicon conductive pillar 230
严格来看,“conductive pillar”这个名称不影响其材料是 polysilicon/semiconductor 的事实。
文献的权利要求3~5明确:
第一选择晶体管216连接存储串第一端;
216形成在选择线204和第二导电柱214之间;
第二导电柱214进一步连接 source line 200。(Google 专利)
权利要求9进一步直接规定:
第一选择晶体管216将第一、第二串联存储器单元串选择性地耦合到源极线200。(Google 专利)
说明书同时明确 216 是 FET,其控制栅、栅介质和沟道均有明确结构。(Google 专利)
因此对于:
B:源极栅极装置,其耦合到源极,且经配置以控制所述电荷存储装置串的通道与所述源极之间的导电
这是非常强的功能性对应。
这里必须继续保持严格。
C1 的 source side 明确只有一只独立的 source-select transistor 216。另一只 selection transistor 280 位于另一端并连接 data line 290。(Google 专利)
因此不能:
216 = B
之后又把同一个 216 = C+D。
也不能把 drain/data-line 端的 280 移到 source side。
所以最终:
CN101971324A = A✅ + B✅;C❌ + D❌
这是这一轮中文检索里非常重要的一件。
CN1519938A,《非易失性半导体存储装置及其制造方法和半导体集成电路及系统》,Toshiba,优先权日 2003-02-05,公开日 2004-08-11。(Google 专利)
它明确公开 NAND string 的同一 source side 上有两只独立串联选择晶体管。
文献对图9的描述写得非常清楚:
NAND 串包含串联的多个 M0~M15;在一侧连接两只位线侧选择晶体管 SG11、SG12;在另一侧连接两只源线侧选择晶体管 SG21、SG22。(Google 专利)
随后分别规定:
SG21 gate → SGS1;
SG22 gate → SGS2;
SG22 的源极连接公共源线 CS。(Google 专利)
因此实际拓扑就是:
NAND memory-cell string
→ SG21
→ SG22
→ common source line CS
这恰恰是权利要求1最关键的 B/C 拓扑。
把最靠 source CS 的 SG22 对应为目标权利要求的:
source gate device
理由很强:
SG22 source → common source line CS,同时 SG22 有独立 gate SGS2。(Google 专利)
也就是说:
SG22 = 与源极耦合的源侧 gate-controlled device。
SG21 是另一个独立物理晶体管。
因为结构为:
memory string → SG21 → SG22 → CS
所以 SG21 正好:
coupled between the string of charge storage devices and the source gate device
即:
存储串 → C(SG21) → B(SG22) → 源极CS。
这不是将一只晶体管重复解释两次。
文献不只是画了两只栅。
它明确指出源线一侧由两个晶体管构成,而且两个 selection transistors 实质串联;两只晶体管串联后可以取得与一个 2F 长沟道晶体管相当的截止特性。(Google 专利)
更直接地说,文献认为:
通过串联相邻的两个选择晶体管,可以确保所需晶体管特性和截止特性。(Google 专利)
所以靠 memory string 的 SG21 明显参与:
string ↔ source
这一串联通路的导通/截止控制。
这正是 D 所要求的功能。
因此我将 C2 严格判为:
CN1519938A:A❌ / B✅ / C✅ / D✅
它的问题只有一个:这是平面 NAND,没有 semiconductor pillar,所以不能承担 A。
CN101055875A,《非易失性半导体存储器件及其制造方法》,Toshiba,公开日 2007-10-17。(Google 专利)
它的摘要几乎可以逐句拿去对目标 A:
多个存储串;
多个电可编程存储单元串联连接;
存储串包括柱状半导体;
柱状半导体外围存在第一绝缘膜、电荷存储层、第二绝缘膜以及多个电极。(Google 专利)
也就是说:
甚至从中文“字面对照”的角度,我认为它比 C1 更漂亮:
“存储串” + “柱状半导体” + “电荷存储层”
三个核心词都在摘要里。
说明书进一步公开:
每个存储串10具有柱状半导体;
存储晶体管 MTr1~MTr4;
source-side selection transistor SSTr;
source-side selection gate SGS。(Google 专利)
所以它对 B 也有辅助价值。
但是 source side 仍然只有明确的一只 SSTr;SDTr 是另一端器件。因此严格:
A✅ / B△~✅ / C❌ / D❌
如果做正式特征表,我更愿意:
C3 专职证明 A;C1 专职证明 A+B。
这样论证最干净。
CN102034829A,《垂直型非易失性存储器件及其制造方法》,Samsung,公开日 2011-04-27。(Google 专利)
文献公开:
柱形单晶半导体图案150;
材料可为单晶 silicon;
semiconductor pattern 直接接公共源线区域;
一个 semiconductor pattern 上形成一个 cell string。(Google 专利)
每个 cell string 内:
多个 cell transistors 垂直串联;
cell transistor 包含 charge-trap layer;
最下面 memory cell 接 lower select transistor;
lower gate electrode 115 是 GSL / ground source line;
顶端另有 SSL。(Google 专利)
因此:
A:✅
B:✅
但:
C:❌
原因不能忽视:
这里的另一只 upper select transistor 是在 string 顶部/另一端,不是与 lower select transistor 连续布置在同一个 source side。
所以不能用:
lower select = B,upper select = C。
CN101814508A,《具有选择晶体管的集成电路存储器器件》,公开日 2010-08-25。(Google 专利)
该文献直接定义:
非易失性 memory cells 的 vertical NAND-type string;
下串选择晶体管位于该 vertical NAND string 与 substrate/source-side 之间;
存在公共源区。(Google 专利)
其垂直有源层/有源图案由:
silicon;
silicon-germanium;
germanium
等半导体材料形成。(Google 专利)
而 memory-cell gate dielectric 明确包括:
tunnel dielectric;
charge-trapping layer;
blocking dielectric。(Google 专利)
所以对 A 是一件很好的旁证。
另一方面,它明确描述 lower select gate + public source region,故对 B 也有相当贡献。(Google 专利)
但还是同样的问题:
一只 lower/source-side select transistor + 一只 upper/opposite-end select transistor
并不是:
source side 两只串联晶体管。
因此:
A✅ / B✅ / C❌ / D❌
CN101800224A,《包括垂直NAND沟道的非易失性存储器装置》,Samsung,公开日 2010-08-11。(Google 专利)
说明书对所谓“存储串”的定义非常有用:
其结构包括:
形成 channel 的 active region;
tunnel insulating layer;
charge-storage layer;
blocking insulating layer;
control gate conductive layer;
并明确称这种结构为 “存储串”或“串”。(Google 专利)
权利要求15进一步明确 vertical NAND channel 可以是:
柱形沟道或圆柱形沟道
权利要求18则明确:
lower select gate line 与每个 vertical NAND channel 结合。(Google 专利)
所以它至少:
A:✅
对 B 可作辅助。
但其 upper/lower select gate 设计仍属于串两端的选择结构,不应强行解释为 source 端两个连续器件。因此 C 不成立。
这是我目前最建议投入无效比对精力的一组。
| CN103782344B 权1 | CN101971324A | CN1519938A | 组合 |
|---|---|---|---|
| A | charge-storage nodes + serial memory-cell strings + polysilicon pillar | 平面结构 | ✅ |
| B | source-select transistor 216 将串选择性耦合至 source line 200 | SG22→common source CS | ✅ |
| C | 缺第二 source-side device | SG21 位于 NAND string 与 SG22 之间 | ✅ |
| D | — | SG21 与 SG22 串联,具有独立栅并提供截止/导通选择作用 | ✅ |
C1 已经把:
vertical charge-storage string
→ source-side selection transistor
→ source
完整公开。(Google 专利)
而 C2 很早在 2004 年公开就明确告诉本领域:
memory-cell NAND string
→ source-side SG21
→ source-side SG22
→ common source CS
并且明确说明采用两只实质串联选择晶体管的作用,是取得所需要的选择晶体管及截止特性。(patents.google.com)
从技术检索角度,这一组合明显比“找一件只有一个 source select transistor 的 3D NAND,然后把同一晶体管重复解释成 B 和 C”要稳得多。
这组特别适合制作逐字特征对照表。
CN101055875A 直接给:
存储串 + 柱状半导体 + 电荷存储层。(Google 专利)
CN1519938A 则直接给:
NAND string → SG21 → SG22 → source CS。(Google 专利)
所以可以非常简单地分工:
A → CN101055875A
B/C/D → CN1519938A
而且两篇分别早在 2007-10-17 和 2004-08-11 就已公开。(Google 专利)
这个组合的优势是主 3D 文献非常接近 2011 年目标技术状态。
CN102034829A 同时有:
单晶半导体柱 + charge trap cells + vertical cell string + lower source-side select transistor + common source region。(Google 专利)
然后只需要用 CN1519938A 补入:
source 端再串接一个独立 gate-controlled selection transistor。(patents.google.com)
这组也值得作为创造性组合的备选。
现阶段我会把中文证据体系定为:
第一核心文件:CN101971324A——A+B
第二核心文件:CN1519938A——B+C+D
第三核心文件:CN101055875A——强化 A,尤其适合字面对照
然后用 CN102034829A、CN101814508A、CN101800224A 证明在 2010~2011 年以前,vertical semiconductor channel/pillar + charge-storage NAND string + source-side selection gate 已经不是孤立方案,而是多家厂商反复公开的技术结构。(Google 专利)
特别需要保留的严格判断是:截至这一轮,我不建议主张 CN101971324A、CN101055875A、CN102034829A、CN101814508A 或 CN101800224A 任一单篇独立覆盖 C。它们的第二只选择晶体管/选择栅通常在 bit-line 端或 string 的另一端,而目标 C 要求的是另一只装置明确处于:
电荷存储装置串 → source select device → source gate device → source
的同一 source-side 串联路径。真正把这个拓扑用中文公开得非常清楚的是 CN1519938A。(Google 专利)
以上属于专利现有技术检索及技术特征对应分析,不替代无效程序中的具体法律判断。
综合前面已经找到的英文、日文、韩文和中文对比文件,并重新逐项核对 A/B/C/D 后,我认为权利要求1目前已经进入一个无效风险较高的状态。尤其是重新深挖 JP2010192569A / US20100207194A1 同族后,证据体系比此前单纯“A+B 文献 + B+C+D 文献”的组合更强。
目标权利要求1的真正核心并不是一般的 3D NAND,而是很窄的拓扑关系:
charge-storage string → source select device → source gate device → source
并要求 string 与 semiconductor pillar 关联。目标美国同族的 claim 1 正是这四个限定,最早优先权日为 2011-08-15。(Google 专利)
我建议无效请求不要只打一条理由,而采用“三层攻击”:
第一层——新颖性主攻:
US20100207194A1 / JP2010192569A 单篇。
第二层——创造性最强组合:
CN101971324A + US20080253187A1。
第三层——全中文创造性备份:
CN101971324A + CN1519938A。
基于目前检索到的证据、但尚未考虑专利权人可能提交的审查档案、专家意见和具体口审策略,我对权利要求1最终被宣告无效的技术/证据层面概率估计为约 75%–88%,中心判断约 82%。
其中我对:
单篇新颖性攻击:55%–70%
最强创造性组合:75%–85%
多组理由并行后的总体无效前景:75%–88%
这个概率不是统计意义上的法院/国知局胜率,而是根据当前证据强度做的案件风险评级。
这是目前所有文件里最危险的一件。
US20100207194A1 公开于 2010-08-19,优先权日 2009-02-17,对应日本公开 JP2010192569A,因此时间上没有障碍。(Google 专利)
重新严格核对实施例后,我认为它已经有相当充分的基础逐项对应:
| 权1 | US20100207194A1 | 判断 |
|---|---|---|
| A | charge-storage layer + semiconductor pillar + NAND string | 强 |
| B | source-connected pillar 上靠 source 的 SGT1 | 强 |
| C | SGT2 明确位于 SGT1 与 memory stack ML 之间 | 极强 |
| D | SGT2 为 selection-gate transistor,pillar 本身为 channel,栅压控制选择/电流 | 强 |
文献明确:
每个 cell transistor 有 charge-storage layer;
semiconductor pillar 可由 polysilicon 形成;
charge-storage layer 位于 electrode WL 与 semiconductor pillar 之间;
SP1/SP2 连成 U-shaped NAND string。(Google 专利)
所以基本结构已经是:
charge-storage memory cells + semiconductor pillar + NAND string。
文献明确说:
SP2/SP3 连接 common source line M0;
source-connected pillars 可以通过 upper/lower selection gates 进行选择和驱动;
semiconductor pillars 本身构成 channels。(Google 专利)
而 SGT1 位于该 pillar 的最外端,SGT2 再位于 SGT1 与 memory stack 之间。(Google 专利)
因此 source 分支可以画成:
memory cells / ML
→ SGT2
→ SGT1
→ SP2端部
→ source line M0
这和目标权1:
string
→ source select device
→ source gate device
→ source
高度吻合。
文献不是靠附图猜测,而是明确写:
SGT2 provided between SGT1 and the stacked body ML.
也就是:
memory stack → SGT2 → SGT1。(Google 专利)
所以:
SGT1 = B
SGT2 = C
完全不存在“同一只晶体管重复对应两个器件”的问题。
US20100207194A1 明确记载 semiconductor pillars form the channels,且 source-connected pillars 由 upper/lower selection gates 的操作进行选择;还以 gate voltage–drain current 的方式描述 selection gate transistors。(Google 专利)
因此 SGT2 作为串联 channel 上的 selection transistor 对 channel/source 导通进行控制,是非常自然的技术理解。
主要有两个可以被专利权人抓住的争议点。
US20100207194A1 的首选实施例是:
SP1 + SP2 构成 U-shaped NAND string
即一个完整 U-string 与两个 vertical pillar legs 相关。
专利权人可能主张:
权利要求1中的一个 string 应当对应“一根 pillar”,而不是一个 U-shaped string 对应两个 pillar。
这个反驳有一定空间。
但其弱点也很明显:权1只说:
“associated with a pillar comprising semiconductor material”
并没有限定:
“the entire string is formed on only one pillar”。
而且该现有技术本身也明确每个 semiconductor pillar 与多层 WL 的交叉处具有 memory cells,并明确进一步允许各 semiconductor pillar 构成独立 rectilinear NAND string。(Google 专利)
所以这是一个真实争点,但不是很强的逃生口。
目标实施例里 source gate 350 位于 SGS 与 silicon well 310 之间,并且可以围绕一个 block 的多个 pillars;说明书还强调 source gate 配合 SGS 可以减小 read disturb。(Google 专利)
专利权人最可能主张:
source gate device 不能等同于另一只普通 source select transistor;它应该是专利说明书中的特殊 shared/global source gate。
问题是权利要求1自己并没有写入这些限制。
权1没有要求:
source gate 必须共享于多个 strings;
source gate 必须环绕多个 pillars;
source gate 必须位于 silicon well 内;
source gate 与 source select 必须使用不同控制信号;
source gate 必须实现某个特定 read-disturb bias scheme。
这些内容是在后续权利要求或具体实施例中进一步限定的,而权1的文字只要求器件的位置和控制导通功能。(Google 专利)
所以这是我认为专利权人最重要、但未必最终成功的抗辩方向。
如果让我只选两件文件组成最强创造性组合,我目前会选这一组。
公开日 2011-02-09,Micron。
它已经有:
conductive/polysilicon pillar;
charge-storage nodes;
串联 memory-cell strings;
source select transistor 216;
216 selectively couples the strings to source line 200。(Google 专利)
所以:
D1 = A+B
而且和目标专利同属非常接近的 3D NAND / Micron 技术路线。
从 D1 出发,权1真正剩下的区别可以非常简洁地表述为:
在现有 source-side selection transistor 与 memory string 之间/源极路径上,再设置一个独立的串联 gate-controlled selection device。
这使创造性分析非常干净。
US20080253187A1 公开于 2008-10-16,也是 Micron 的 NAND memory 技术。(Google 专利)
它的 Claim 13 几乎就是为这个案子准备的:
first select gate 与 NAND string 第一 memory cell 串联;
second select gate 与 first select gate 串联;
second select gate interposed between the first select gate and a source line。(Google 专利)
因此结构明确是:
NAND string
→ first select gate
→ second select gate
→ source line
映射:
C = first select gate
B = second select gate
D = first select gate 的 FET 通断功能
没有结构解释上的跳跃。
更重要的是,它还给出了为什么要这么做的明确技术理由。
该文件直接提出在 NAND string 的 source/drain end 使用 multiple series-coupled select gates,以在缩小器件尺寸的同时维持对 GIDL 和其他 leakage current 的抑制。(Google 专利)
这使得组合不是:
“因为看过目标专利,所以事后找一个第二晶体管拼进去。”
而是:
D1 已经有 3D NAND string + source selection;D2 明确告诉本领域人员 NAND string source end 可以、而且有理由使用两个串联 select gates。
这是非常关键的组合动机。
当前 CNIPA 对创造性判断仍强调:
找最接近现有技术;
确定区别特征及实际解决的技术问题;
判断现有技术整体是否给出了将区别特征用于最接近现有技术的技术启示。(国家知识产权局)
而且最新典型案件继续强调,判断第二文件是否给出技术启示时,要看该技术手段在第二文件中所起的作用/解决的问题是否相同或相近,而不是只看结构名称相同。(国家知识产权局)
本案可以这样构造:
最接近现有技术:CN101971324A
区别:
source side 增加第二个独立的串联选择/栅控器件。
实际技术问题不要写成:
“如何设置一个 source gate device”。
这会把答案写进问题里,容易被认定为事后分析。
更合适的是:
如何改善 NAND memory string 源极端的导通/截止控制和隔离性能。
然后 D2 明确告诉技术人员:
NAND string source end 使用多个串联 select gates,可改善 leakage/GIDL isolation,同时允许器件缩小。(Google 专利)
这个三步法链条相当完整。
如果考虑中国无效程序中的证据提交便利、翻译争议和口审表达,这组应作为独立备份理由。
CN1519938A 公开于 2004-08-11。(Google 专利)
其中文字非常清楚:
NAND 串另一侧连接两个源线一侧选择晶体管 SG21、SG22;
并进一步明确:
SG22 的源极连接公共源线 CS。(Google 专利)
所以:
NAND string → SG21 → SG22 → CS
可严格映射:
C = SG21
B = SG22
source = CS
它还明确说:
相邻两个选择栅可分别独立控制;
source side 可以配置两个选择栅以处理 leakage;
串联两个选择晶体管能获得所需要的截止特性。(Google 专利)
从“第二文件给出技术启示”的角度,CN1519938A 实际上非常好。
我把它排在 US20080253187A1 后面,主要不是因为公开不足,而是后者的权利要求本身把:
first select gate → second select gate → source line
写得尤其干净,而且对 GIDL/current leakage 的技术动机表述很集中。(Google 专利)
经过把各国语言同族去重后,我不会把此前几十个公开号当成几十件“独立发明”来堆数量。很多实际上属于同一专利家族。
我会这样分层:
US20100207194A1 / JP2010192569A
→ 单篇 A+B+C+D 候选。
CN101971324A / US20090230454A1 / KR20100135796A 同族
→ 最强 A+B 基础。
US20080253187A1
→ 极强 B+C+D + 明确组合动机。
CN1519938A
→ 极强中文 B+C+D。
包括此前找到的:
CN101055875A / JP2007266143A / KR20070096972A 同族;
US20100309729A1;
CN101800224A;
CN101814508A;
CN102034829A;
Samsung/Hynix 的 KR2010–2011 vertical NAND 文件。
这些文件的共同作用不是补 C,而是证明:
2011-08-15 前,“semiconductor pillar + charge storage string + source-side selection transistor”已经被多家公司、多技术路线反复公开。
因此专利权人很难把 A+B 本身塑造成创造性核心。
包括:
US5912489A;
KR20010015679A;
JP2001518696A;
CN1519938A;
Micron multiple-select-gate family。
其中 US5912489/KR/JP 那组早在约 1999–2001 年已经明确给出:
NAND string → series select transistor → source select transistor → Vss。
它们非常适合作为“技术发展历史”和进一步补强,但没必要全部作为主组合同时提交。
例如 US20090097309A1 / JP2009088446A。
它虽然出现额外选择晶体管 S3,但 S3 位于 memory string 内部,而不是完整 string 与 source gate 之间。因此我仍不建议把它硬解释成 C。
这个判断保持不变。
影响胜率最大的已经不是“有没有对比文件”,而是权利要求解释。
如果合议组接受:
source gate device 必须理解成目标说明书里独立于 ordinary source-select transistor 的、靠 well/common-source 的特殊 shared gate,
那么:
US20100207194A1 的单篇新颖性攻击会明显变弱;
US20080253187A1 中两只普通 source select FET 的组合论证也会受到一定影响。
这种情况下,我会把无效成功率降到大约:
55%–70%。
但从权1本身文字看,这种窄解释面临一个问题:它没有写入 shared、well、block-wide、lateral channel、independent bias 等限定。(Google 专利)
目标说明书明确说源栅结构可以降低 read disturb:未选 string 的 SGS 关闭,使其与 well 隔离。(Google 专利)
专利权人可能据此说:
D2 解决的是 GIDL/leakage/缩小尺寸,不是 read disturb,因此没有组合动机。
这个抗辩有一定力量。
但 D2 的核心作用本身就是:
通过 source-side 串联 gates 提高 channel/source 通路的隔离、减少 leakage。
而 CN1519938A 又进一步明确 source-side 两个 gates、独立控制和提高截止特性。(Google 专利)
所以我认为这个抗辩更可能影响“胜率高低”,而不是彻底切断创造性组合。
如果由我现在整理权利要求1的无效理由,我会采用这个顺序:
理由1——不具备新颖性
对比文件1:US20100207194A1(或其 JP2010192569A)
逐项主张:
A → semiconductor pillar + charge-storage NAND cells/string
B → source-connected pillar 的 SGT1
C → 位于 SGT1 与 ML 之间的 SGT2
D → SGT2 对 semiconductor-pillar channel 的选择/导通控制
这条要放第一,因为一旦成立,根本不需要讨论组合动机。(Google 专利)
理由2——不具备创造性,最强主组合
CN101971324A + US20080253187A1
逻辑:
D1 已有 A+B → 区别仅剩 source side 第二 gate-controlled selection device → D2 明确教导在 NAND source end 使用两个串联 select gates,并给出 leakage/GIDL/isolation 的技术理由 → 得到权1拓扑。
这是我认为整体最稳的一条。
理由3——不具备创造性,全中文独立备份
CN101971324A + CN1519938A
优点是所有关键 B/C/D 拓扑及“两个 source-side gate 改善截止/泄漏”的理由都有中文原文,口审时非常好展示。(Google 专利)
理由4——替换最接近现有技术
CN101055875A + US20080253187A1 / CN1519938A
用于防止合议组不接受 CN101971324A 中某个 pillar/charge-storage 对应关系。
我的最终判断是:
权利要求1无效风险:高。
在现有文件正式取得、公开日期及译文证据链完整的前提下:
新颖性无效:约 55%–70%
创造性无效:约 75%–85%
综合至少一种理由成功使权利要求1无效:约 75%–88%
我个人会把当前案件的中心值放在 约 82%。
真正应该投入后续精力的已经不是继续大量寻找普通“A+B”文献,而是两件事:第一,继续深挖 US20100207194A1/JP2010192569A 的 Fig.1–6 与操作表,把 SGT1/SGT2 在 source-connected SP2 上的通断链完全钉死;第二,围绕 2005–2011 年继续找“vertical pillar NAND + two source-side select gates”且明确讨论 read-disturb/isolation 的单篇文献。 如果再找到后一类文件,权利要求1的无效风险会进一步显著提高。
找到了。按您这次的严格条件,目前最值得立即升级为权利要求1核心单篇对比文件的是 CN102148059A / US20110194357A1 同族。其中 CN102148059A 于 2011-08-10 公开,仅比 2011-08-15 截止日早 5 天;美国同族 US20110194357A1 于 2011-08-11 公开,也在截止日前。 两件是同一专利家族,不应算作两篇独立现有技术。(Google 专利)
更准确地说,它是一个非常强的:
vertical semiconductor pillar NAND + charge-trap storage + two source-side ground-select transistors + explicit electrical isolation / source-side GIDL reduction
单篇文件。
但需要区分:它没有字面出现 “read disturb”;明确讨论的是 electrical isolation 和 GIDL/leakage 抑制。Google Patents 全文检索也没有命中 “read disturb”。(Google 专利)
文献明确公开柱 113;该柱与绝缘层和多层导电线一起形成 NAND string。更关键的是,绝缘层116为 ONO,其中硅氮化物层118明确作为 charge storage layer / charge-trapping layer,柱113的 P型硅层114作为 transistor body/channel。文献还明确说这些 NAND strings 沿着垂直于衬底的方向延伸。(Google 专利)
因此权利要求1的 A:
电荷存储装置串,其与包括半导体材料的柱相关联
可以非常直接地映射为:
A → NAND string + pillar 113 + P-type silicon 114 + charge-storage/charge-trapping layer 118。
我目前对 A 的命中评价是 强直接公开,比很多此前找到的垂直 NAND 文献更干净。(Google 专利)
这是这篇文献真正改变案件证据强度的地方。
其 Fig.14 实施例明确写道:
在每个 NAND 串中,字线 WL1–WL6 与共源线 CSL 之间存在两条 ground selection lines。
例如第二行 NAND strings NS21–NS23 同时连接:
GSL12 + GSL22。
第三行则连接:
GSL13 + GSL23。(Google 专利)
而且文献进一步把两个 source-side gates 的位置明确区分:
GSL12/GSL13:邻近 common source line CSL
GSL22/GSL23:邻近 word lines WL1–WL6
因此第二行的一条实际导电路径就是:
memory cells / WL1–WL6
→ GST controlled by GSL22
→ GST controlled by GSL12
→ common source line CSL
这和 CN103782344B 权利要求1的:
charge-storage string
→ source select device
→ source gate device
→ source
在拓扑上几乎一一对应。(Google 专利)
我建议无效比对时就固定使用第二行 NS21–NS23:
B = GSL12 所控制的、邻近 CSL 的 GST
C = GSL22 所控制的、邻近 memory-cell WL 的 GST
这样就形成:
memory string → C(GSL22/GST) → B(GSL12/GST) → CSL
不存在此前很多文献中的“一只 SGS 重复承担 B+C”问题,也不存在把 bit-line-side SSL 搬到 source side 的问题。
这是两个不同物理位置的 source-side gate/transistor。(Google 专利)
文献对 ground select transistor GST 的工作过程直接说明:
向 GSL 施加高于 GST 阈值的正电压后,pillar/body 114 中形成 GST channel N1;该 channel 延伸并与掺杂区域连接,随后:
common source line CSL 与 GST channel N1 电连接。
因此这不只是一个“图上位于 source 旁边的 gate”,而是明确通过 gate voltage:
形成/切换 semiconductor-pillar channel ↔ CSL 的导电连接。(Google 专利)
所以:
B:source gate device coupled to source and configured to control conduction between channel and source
的功能性限定也有相当直接的支撑。
GSL22/GST 位于:
memory cells 与 source-adjacent GSL12/GST 之间
因此 C 的相对位置是直接公开的。(Google 专利)
D 要求该 source select device:
configured to control conduction between channel and source。
这里 GSL22 对应的是一只独立 ground selection transistor,而 GST 的工作原理就是栅压超过阈值后在 semiconductor body 114 中形成 channel。由于 GSL22/GST 与 GSL12/GST 串联在 memory string→CSL 的唯一串联路径上,GSL22/GST 的通断必然控制该 string channel 与 CSL 之间的导电。文献同时在双-GSL实施例中分别给靠 source 的 GSL12/GSL13 与靠 word-line 的 GSL22/GSL23施加不同电压,说明它们确实是可独立电控制的两级器件,而非同一电极的两个名称。(Google 专利)
因此我现在对 CN102148059A 的严格 A–D 判断是:
A ✅ 强直接公开
B ✅ 强直接/功能公开
C ✅ 强直接位置公开
D ✅ 强功能+串联拓扑公开
换句话说,它比我们此前重点研究的 JP2010192569A / US20100207194A1 更适合直接攻击权利要求1的新颖性。
这正是您要求进一步搜索的内容。
CN102148059A 明确讨论未选择 NAND string 的 GST:
给 ground selection line 施加 erase-inhibit voltage 后形成 GST channel INV,而:
GST channel 可以将 vertical body 114 与 substrate 111 electrically isolate;
这样 substrate 上的 erase voltage 不会传到 body 114,memory cells 不会被错误擦除。(Google 专利)
这不是我们自己推导“选择栅应该具有隔离作用”,而是说明书明确使用 electrical isolation 的功能描述。
因此,如果您要求的是:
vertical pillar NAND + two source-side select gates + 明确 isolation
那么:
比“普通隔离”更有价值的是 Fig.14/15。
在已经明确设置两条 source-side GSL的实施例中,文献规定:
靠 CSL 的 GSL12/GSL13 → Vm3
靠 memory WL 的 GSL22/GSL23 → Vm4
且 Vm3 可以高于 Vm4。(Google 专利)
然后文献明确解释这样设置后:
靠 common source line CSL 的 GSL12/GSL13 与 substrate 之间的 voltage difference 减小,因此该处的 GIDL can be reduced。(Google 专利)
这一段尤其有杀伤力,因为它把三个东西放在同一个实施例里:
① two ground/source-side select gates
+
② source-adjacent gate
+
③ GIDL/leakage reduction
不是用另一篇平面 NAND 来补组合动机。
这里不要过度主张。
我全文核过 CN102148059A:
没有找到字面 “read disturb”。 (Google 专利)
它解决/明确讨论的是:
unselected-string/body electrical isolation;
erase inhibit;
GIDL/leakage reduction;
source-side gate voltage control。(Google 专利)
所以如果您的检索条件:
“read-disturb/isolation”
中的 / 表示 read-disturb 或 isolation 任一明确技术问题
那么 CN102148059A 完全符合,且非常强。
如果您的意思是:
必须在同一篇截止日前文献中字面明确讨论 read disturb,并把 two source-side gates 与 read-disturb suppression 直接绑定
那么截至这一轮,我还没有找到严格满足这一更窄条件的截止日前文献。
US20110199825A1,Samsung 是极其接近的文件。
它明确公开:
two ground selection transistors GST1 and GST2 provided between memory cells and common source line CSL in each NAND string。 (Google 专利)
而且它非常明确、反复讨论:
unselected read voltage 导致 threshold shift,read disturb may occur,甚至可能导致 stored data lost。(Google 专利)
也就是说,它是真正的:
3D NAND + two source-side GST + literal “read disturb”
非常接近您要的终极文件。
但是它的美国公开日是:
2011-08-18
比目标截止日 2011-08-15 晚3天,因此不能作为满足您截止条件的公开现有技术来使用。(Google 专利)
这个时间点非常值得记录,因为它说明我们现在已经检索到技术演进的边界。
CN102148059A 应当立即从“补强文件”升级成“第一梯队、单篇新颖性主攻文件”。
我目前会把无效文件优先顺序改成:
CN102148059A——单篇新颖性首攻
A:vertical semiconductor pillar + charge-storage NAND
B:CSL-adjacent GST/GSL12
C:WL-adjacent GST/GSL22
D:两只 GST 串联控制 semiconductor-pillar channel→CSL
额外:明确 electrical isolation + source-side GIDL reduction
公开日 2011-08-10。(Google 专利)
US20110194357A1——同族英文文本
技术内容相同,公开日 2011-08-11
很适合帮助解释英文 claim language,但无效证据上不要把它和 CN102148059A 当成两个独立技术来源。(Google 专利)
CN101971324A + US20080253187A1/CN1519938A
继续作为创造性备份组合。
这次检索实际上找到了此前证据体系缺少的那类文件:不是“vertical NAND 一篇 + dual source select 另一篇”,而是在截止日前同一件 vertical NAND 公报中明确具有 source-side 两级选择栅,而且还说明 source-side isolation/GIDL 技术作用。
因此,就目前证据而言,我认为 CN102148059A 已经比我们此前找到的大多数文件更值得用于权1的单篇新颖性攻击。真正剩下需要攻坚的是把 Fig.14/Fig.15 的 GSL12/GSL22 与 CN103782344B 的 source gate device/source select device 做逐图、逐段、逐功能的证据闭环,尤其把 D 的“control conduction between channel and source”论证压缩到没有解释空间。
结合新补到的 CN102148059A / US20110194357A1,我会把此前对 CN103782344B 权利要求1的无效成功率从约 75%–88%,上调到 88%–94%,中心判断约 91%。这里评估的是现有权利要求1按当前文字被整体宣告无效的概率,不是对修改后的从属方案或专利整体存续率的预测。
核心变化在于:现在已经不再只是“A+B 一篇、B+C+D 另一篇”的创造性拼接,而是出现了截止日前同一篇文献对 A–D 都有很强直接公开基础的情况。
| 攻击路径 | 我目前的成功概率判断 | 评价 |
|---|---|---|
| CN102148059A 单篇破坏新颖性 | 75%–85% | 已经是主攻理由 |
| US20100207194A1 / JP2010192569A 单篇新颖性备份 | 55%–70% | 辅助单篇攻击 |
| CN102148059A 基础上的创造性攻击 | 85%–93% | 即使新颖性未被接受仍然很强 |
| CN101971324A + US20080253187A1 | 80%–88% | 成熟的创造性备份 |
| CN101971324A + CN1519938A | 78%–86% | 全中文备份、口审友好 |
| 权利要求1总体无效 | 88%–94% | 高风险,中心约91% |
这些路径高度相关,所以不能简单把各概率相乘或相加。
首先,时间条件非常干净。目标同族 US8797806B2 的最早优先权日是 2011-08-15;CN102148059A 的公开日是 2011-08-10,提前5天,美国同族 US20110194357A1 则于 2011-08-11 公开。中国专利法第二十二条规定,申请日前在国内外为公众所知的技术属于现有技术,因此至少从公开时间这一层面,CN102148059A 没有明显障碍。(Google 专利)
更关键的是,它对 A 的公开很完整。CN102148059A 明确有贯穿堆叠层的 pillar 113,柱的表层114为 P型硅;同一柱、绝缘层和导电层形成垂直 NAND string;ONO 中的氮化硅层118被明确称为电荷存储层/电荷俘获层。这对应“电荷存储装置串 + 包括半导体材料的柱”几乎没有结构性缺口。(Google 专利)
对 B,它也不是仅有一条“ground select line”的名称。文献明确描述:向 GST 的 GSL 加超过阈值的电压后,在柱体114中形成沟道 N1,该沟道可连接到掺杂源区,从而使 common source line CSL 与 GST channel 电连接;整条 NAND string 的 channel、GST channel 和 CSL 因此可以电连接。这正是“耦合到源极并控制 string channel 与 source 之间导通”的功能。(Google 专利)
真正具有决定意义的是 C。Fig.14 实施例明确写:
每个 NAND 串中,在字线 WL1–WL6 和 common source line CSL 之间有两条 ground select lines。
第二行 NAND strings 使用 GSL12 和 GSL22;其中 GSL12 邻近 CSL,GSL22 邻近 memory word lines。所以真实顺序就是:
charge-storage cells → GSL22/GST → GSL12/GST → CSL。
这几乎可以机械映射成:
A string → C source-select device → B source-gate device → source。
而且这不是只存在于说明书附图。CN102148059A 的权利要求6、8明确进一步要求“第二地选择线”和“第二地选择晶体管”,权利要求15还限定两个地选择线与共源线之间的相对位置。(Google 专利)
D 同样很强。两只 GST 都是阈值控制晶体管,位于同一串联 channel→CSL 路径中;文献分别向靠 CSL 的 GSL12 与靠 WL 的 GSL22施加不同电压。对其中任意一个 GST 关断,整个 string-to-source 路径都不能保持连续导通。因此,将靠 memory string 的 GSL22/GST 对应为 C+D,不需要把同一只器件重复用于 B 和 C。(Google 专利)
目标权利要求1本身写得相当宽。它只要求:
charge-storage string + semiconductor pillar;
source gate device 耦合 source 并控制 channel/source conduction;
source select device 位于 string 与 source gate device 之间并控制同一导电通路。
权利要求1本身没有限定 source gate 必须:
被多个 strings 共用;
环绕整个 block;
在 silicon well 中形成特殊横向 channel;
专门在 read operation 工作;
专门用于防止 read disturb。
这些更具体的内容出现在目标说明书实施例和后续权利要求,而不是 claim 1 的上述文字中。(Google 专利)
这点直接削弱了最可能的抗辩:“CN102148059A 的两只器件都叫 ground select transistor,而本专利一只叫 source gate device、另一只叫 source select device。”
专利技术比对真正危险的地方在于,名称不同,但物理位置和功能高度相同。目标 claim 1 没有要求 source gate device 必须属于某种特殊命名或特殊结构类别。(Google 专利)
这里仍应客观看待。
目标说明书明确说,其 source gate 350 配合 SGS 关闭未选柱,可将未选 pillars 与 silicon well 基本隔离,从而防止 read disturb。(Google 专利)
而 CN102148059A 的双 GSL 实施例主要讨论的是:
erase inhibit;
semiconductor body 的 electrical isolation;
source-side voltage control;
减少 GIDL。
例如它明确说 GST channel 可以使 body 114 与 substrate 电隔离;在双 GSL 实施例中,提高邻近 CSL 的 GSL 电位可以降低该区域的 GIDL。(Google 专利)
所以专利权人很可能主张:
CN102解决的是擦除/GIDL,而目标发明解决的是读取扰动,因此两者技术构思不同。
这个论点对创造性比对有一定作用,因为 CNIPA 当前“三步法”要求客观确定实际技术问题,并考察现有技术是否存在解决该技术问题的技术启示;不能单纯事后拼接结构。CNIPA近年的典型案件仍然坚持这一判断框架。(国家知识产权局)
但对权利要求1的新颖性,这个抗辩明显较弱,因为 claim 1 根本没有把“read operation”或“prevent read disturb”写进权利要求。它要求的是设备的结构关系和“控制 channel/source conduction”的功能,而 CN102已经非常接近直接公开这些内容。(Google 专利)
因此我把单篇新颖性成功率提高到 75%–85%,而不是之前的约55%–70%。
CN102148059A 自己已经同时给出了:
vertical pillar + charge trap NAND + two serial source-side select transistors + source-side isolation/GIDL control。
这意味着如果合议组认为它与权1之间仍存在某个语义性区别,例如坚持“source gate device”应比普通 GST 更特殊,那么这个区别已经非常窄。
与此同时,US20080253187A1 明确教导 NAND string 的 source end 使用多个串联 select gates,Claim 13甚至直接给出:
memory string → first select gate → second select gate → source line
并明确解释多个串联 select gates 用于维持对 GIDL 和其他 current leakage 的保护。(Google 专利)
CN1519938A 则早在 2004 年就在中文文本中公开:
NAND string → SG21 → SG22 → common source CS
其中明确说一侧连接两个 source-line-side selection transistors,且 SG22 source 接 CS。(Google 专利)
再加上 CN101971324A 已于 2011-02-09 公开“电荷陷阱 + 多晶硅柱 + 串联 NAND memory-cell strings + source-side selection transistor”的 A+B 基础结构,现有技术链已经非常完整。(Google 专利)
所以现在实际上出现了两条彼此独立的攻击逻辑:
第一条:CN102148059A 单篇已经公开权1。
第二条:即使“source gate”被作较窄解释,2011年前的技术状态已经同时具备 vertical charge-trap NAND、source-side 双串联 gate,以及为了 isolation/GIDL/leakage 而采用双 gate 的明确技术动机。
这是我把创造性攻击提高到约 85%–93% 的主要原因。
最大的剩余不确定性不是技术文献数量,而是权利要求解释。
如果合议组认为“source gate device”是目标说明书中特别定义的技术概念,并据此读入一些 claim 1 没有明写的结构含义,例如它必须区别于两个普通串联 source-select transistors、必须形成特定 well-side channel,那么 CN102148059A 的单篇新颖性攻击会受到影响。
第二个不确定因素是 CN102148059A 双 GSL 实施例的技术目的主要是 erase isolation/GIDL,而目标说明书重点强调 read-disturb isolation。创造性三步法中,技术效果和实际解决的技术问题如何认定,会明显影响“技术启示”强度。(Google 专利)
第三,我目前还没有核对 CN103782344B 中国授权审查档案、无效历史、专利权人此前对“source gate device”作过什么解释或区别陈述。如果授权阶段曾经通过非常具体的解释才克服相近对比文件,这既可能成为专利权人的抗辩材料,也可能反过来限制其现在扩大解释的空间。因此在没看完整 file wrapper 之前,我不建议把案件评成接近必胜。
以目前权利要求1原文为对象,以已经核实的截止日前文件为基础,我目前会把案件评级定为:
权利要求1:高概率无效。
其中我会采用:
单篇新颖性主攻:CN102148059A
创造性第一备份:CN102148059A + US20080253187A1
创造性第二备份:CN101971324A + US20080253187A1
全中文备份:CN101971324A + CN1519938A
综合成功概率我给 88%–94%,中心约91%。
相比补充检索前,最大的变化不是又多了一篇普通对比文件,而是 CN102148059A 把此前最难补齐的 C 特征——“完整 memory string 与 source-side outer gate 之间还有一只独立 source-side transistor”——直接放进了截止日前同一个 vertical charge-trap NAND 实施例中,而且还同时公开了隔离/GIDL控制作用。 (Google 专利)
这已经使权利要求1从“主要依赖两篇组合攻击创造性”,变成了“单篇新颖性有较高胜算 + 创造性有多重后备”的证据格局。
以CN102148059A作为最接近的现有技术、以US20080253187A1作为补充对比文件,对CN103782344B权利要求1提出不具备创造性的无效理由,整体成功可能性较高。
我的专业估计为:
| 无效路径 | 估计成功率 |
|---|---|
| CN102148059A单独破坏新颖性 | 60%~70% |
| CN102148059A+US20080253187A1破坏创造性 | 75%~85% |
| 同时提出上述两条理由后,权利要求1整体被宣告无效 | 约80%,合理区间75%~85% |
该概率不是统计结果,而是基于权利要求解释、逐项技术比对和组合启示强度作出的案件判断。最大不确定性不在于是否存在“两只源端串联晶体管”,而在于合议组如何解释权利要求1中的**“源极栅极装置”**:是按权利要求文字作较宽解释,还是结合说明书将其限缩为控制垂直柱通道和衬底阱通道的特定公共源极栅结构。
CN103782344B主张的最早优先权日为2011年8月15日;其授权权利要求1保护的是“半导体柱上的电荷存储装置串+源极栅极装置+位于两者之间的源极选择装置”。(Google Patents)
CN102148059A的优先权日为2010年2月9日,公开日为2011年8月10日,比目标专利优先权日早5天;US20080253187A1的优先权日为2005年8月31日,公开日为2008年10月16日。因此,即使承认目标专利2011年8月15日的优先权,两篇文件仍均属于在先公开的普通现有技术。(Google Patents)
按照目标专利申请时适用的《专利法》第二十二条,新颖性要求一篇现有技术单独公开全部特征;两篇文件的“组合”只能用于评价创造性,不能用来拼接评价新颖性。(国家知识产权局)
授权权利要求1可以拆成四组限定:
一种包括源极栅极的设备;
电荷存储装置串与包含半导体材料的柱相关联;
源极栅极装置耦合到源极,并配置为控制该串的通道与源极之间的导电;
源极选择装置位于电荷存储装置串与源极栅极装置之间,并同样配置为控制该通道与源极之间的导电。(Google Patents)
目标专利说明书的具体实施例比权利要求1更窄:源极选择装置位于存储单元串与源极栅极之间;源极栅极可以控制柱中的第一通道和衬底中的第二通道,并且一个源极栅极线可以连接一个块内的多个串。(Google Patents)
但上述“公共源极栅极线”“控制衬底第二通道”“连接多个串”等内容,没有写入授权权利要求1。这是本组合成功率较高的重要原因。
| 权利要求1限定 | CN102148059A | US20080253187A1 | 判断 |
|---|---|---|---|
| 电荷存储装置串 | 明确公开多个垂直NAND串,每个串包括多个晶体管/存储单元 | 明确公开串联的非易失性存储单元串 | 已公开 |
| 与半导体材料柱相关联 | 柱113贯穿绝缘层,表层包括P型硅;柱、绝缘层和导电线共同形成NAND串,ONO结构形成电荷俘获存储晶体管 | 主要是平面NAND结构,不承担该特征 | CN102直接公开 |
| 串源端具有两个串联控制装置 | 图14明确记载每个NAND串在字线与共源线之间具有两条地选择线,并分别区分邻近共源线和邻近字线的地选择线 | 明确公开源端两个串联选择FET 210、211 | 两篇均公开 |
| 外侧装置耦合到源极 | 图14中外侧GSL邻近共源线CSL;基础结构中GST沟道与CSL电连接 | 外侧源极选择栅211的源极直接连接共源线216 | 强公开 |
| 内侧装置位于存储单元串与外侧装置之间 | 邻近字线的内侧GSL位于存储单元与邻近CSL的外侧GSL之间 | 内侧栅210位于第一存储单元与外侧栅211之间 | 强公开 |
| 两个装置均控制串通道与源极之间的导电 | CN102明确说明GST形成沟道并将存储单元串通道连接到CSL;两个GST串联时,任一关断均必然阻断通向CSL的串电流 | 两个装置明确为串联FET,结构上分别控制串到源线的导电 | 结构上必然具备 |
CN102148059A对垂直柱、NAND串及电荷俘获晶体管的公开十分明确。(Google Patents)
更关键的是,CN102的图14明确记载:每个NAND串在字线与共源线之间具有两条地选择线,其中一条邻近共源线,另一条邻近字线,并对二者施加不同电压;权利要求6、8还明确将第二条地选择线对应到“第二地选择晶体管”。(Google Patents)
CN102的基础结构还说明,地选择晶体管形成沟道后,该沟道与作为共源线的掺杂区域电连接,从而将存储单元通道连接至共源线。(Google Patents)
US20080253187A1则以更加直接的电路语言公开了同一拓扑:源端两个串联FET 210、211,外侧FET 211的源极接共源线216,外侧FET的漏极接内侧FET 210的源极,而内侧FET的漏极接第一存储单元。其权利要求13也明确限定第二选择栅位于第一选择栅与源线之间。(Google Patents)
CN102实际上已经给出了以下完整结构:
垂直半导体柱上的电荷存储单元串
→ 邻近字线的内侧地选择晶体管
→ 邻近共源线的外侧地选择晶体管
→ 共源线CSL
把其中:
邻近字线的内侧GST解释为权利要求1的“源极选择装置”;
邻近CSL的外侧GST解释为权利要求1的“源极栅极装置”;
即可覆盖权利要求1全部结构关系。外侧GST与CSL相连,两个GST均为控制通道导电的晶体管,其功能也符合权利要求1的功能性限定。
因此,CN102单篇的主要问题并不是缺少结构,而是部件名称不一致:CN102把两个器件都称作“地选择晶体管”,目标专利分别称作“源极选择装置”和“源极栅极装置”。
部件名称本身通常不是决定性差异。只要现有技术中的装置具有权利要求所限定的结构、位置和功能,即使名称不同,仍可能构成相同技术特征。
专利权人很可能主张:
“源极栅极装置”不是普通的第二地选择晶体管;
目标专利的源极栅极设置在源极选择栅与硅阱之间;
它不仅控制柱中的通道,还控制衬底阱中的横向通道;
一个源极栅极可以围绕或控制一个块中的多个柱;
CN102的两个GST均为每个NAND串的普通地选择晶体管,不能将其中一个任意改称为“源极栅极装置”。
目标专利说明书确实将源极栅极描述为位于源极选择栅与硅阱之间、控制柱与硅阱之间导电的独立栅层,这给上述限缩解释提供了一定支持。(Google Patents)
最高人民法院的相关裁判规则也表明,权利要求术语应当结合权利要求、说明书、附图及发明目的,按照本领域技术人员理解的通常含义进行解释;在说明书对某一用语具有明确说明时,不能完全脱离说明书只作机械的最宽解释。(最高人民法院知识产权法院)
不过,专利权人的抗辩仍有明显弱点:授权权利要求1没有限定公共栅线、多个串、衬底第二通道、硅阱位置关系或读取干扰操作。若把这些实施例特征全部读入权利要求1,容易构成对权利要求的不当限缩。
因此,我对CN102单独破坏权利要求1新颖性的判断为:
成功率约60%~70%。
其优势是结构高度吻合;其风险集中在“源极栅极装置”的术语解释。
不建议以US20080253187A1作为主对比文件,因为其主要实施例为平面NAND结构,缺少权利要求1的垂直半导体柱。
CN102同时具有:
垂直半导体柱;
电荷俘获存储单元串;
共源线;
源端两个地选择晶体管;
内外两个源端控制栅的位置区分。
因此,CN102与目标专利的结构接近程度明显更高,应当作为最接近现有技术。
无效请求中不宜承认CN102“没有第二个源端栅极”,因为这与图14的明确记载相矛盾。
更稳妥的表述是:
即使认为CN102未明确把邻近共源线的外侧地选择晶体管命名或划分为独立的“源极栅极装置”,其与权利要求1的区别至多在于对两个串联源端栅极的功能划分和部件称谓。
对应的实际技术问题应当确定为:
如何进一步改善垂直NAND串源端的关断、隔离和漏电控制。
不宜把技术问题写成“如何设置源极栅极装置”,否则容易把区别特征本身写入技术问题,产生事后分析风险。CNIPA现行创造性判断要求从最接近现有技术、区别特征的技术效果和实际技术问题出发判断是否存在技术启示,并避免在技术问题中直接包含区别特征。(国家知识产权局)
US20080253187A1明确教导:
在NAND串的源端设置两个串联选择FET;
外侧FET连接共源线;
内侧FET位于存储单元串与外侧FET之间;
两个FET能够提供相同或更好的关断性能;
通过中间电势减小GIDL和其他漏电;
即使增加一个栅极,仍可通过缩小栅长降低阵列面积。(Google Patents)
该技术手段在US文件中承担的作用,与权利要求1两个源端装置控制串通道至源极导电的作用基本一致。
同时,CN102自己的图14也说明,邻近共源线的GSL采用特定电压,可以减小该地选择线与衬底之间的GIDL。也就是说,CN102与US文件不仅属于相同的NAND存储器领域,而且涉及相同的源端漏电、隔离和关断问题。(Google Patents)
这使组合动机明显强于一般的“相同技术领域即可结合”式论证。
专利权人可能抗辩US20080253187A1属于平面NAND,而目标专利和CN102属于垂直NAND,二者结构不同。
这一抗辩力度有限,因为:
不是把US的整套平面结构直接搬入垂直结构;
CN102已经提供垂直柱结构和两个源端GST;
US仅用于证明两个串联源端晶体管的已知连接关系、导电控制功能及技术效果;
对本领域技术人员而言,不需要重新设计整套垂直存储结构,只需按照US已知的功能划分理解或配置CN102已有的内外两个源端栅极。
因此,组合后的结构和效果具有较强可预见性。
目标专利说明书强调的主要效果是降低读取干扰:在读取选定串时,关断未选串的源极选择装置,使未选串与衬底阱隔离。(Google Patents)
专利权人可能据此主张:
CN102主要解决擦除禁止和擦除时的GIDL问题;
US主要解决漏电及阵列面积问题;
二者没有给出利用公共源极栅极减少读取干扰的启示。
但该抗辩难以完全挽救权利要求1,因为权利要求1没有限定:
读取操作;
选定串或未选串;
读取干扰;
多个串共用源极栅极;
关断未选串的具体偏置方法;
源极栅极控制衬底横向通道。
权利要求1实际限定的效果仅是两个装置均“控制通道与源极之间的导电”。CN102和US均能满足这一宽泛功能。专利权人不能一方面维持如此宽的权利要求,另一方面仅以说明书中的较窄读取干扰实施例维持创造性。
CN103782344A最初公布的权利要求1只要求:
半导体柱上的电荷存储装置串;
源极栅极装置;
位于串与源极栅极装置之间的源极选择装置。
授权权利要求1进一步加入:
源极栅极装置耦合到源极;
源极栅极装置控制串通道与源极之间的导电;
源极选择装置也控制该导电。(Google Patents)
因此,无效请求书不能只证明“两条GSL”或“两个串联栅极”,还应当把以下逻辑写透:
两个GSL均形成实际晶体管,而不是只有导电线;
外侧GST通过其沟道连接共源线;
内外两个GST串联;
任一GST关断都会阻断电荷存储串通道到共源线的导电;
因而两个GST分别满足授权权利要求新增的功能性限定。
CN102的图14、图15、关于GST沟道连接CSL的段落以及权利要求6、8,应当组合引用,而不能只引用图14的一句“两条地选择线”。
以下因素使我没有把成功率评估为90%以上:
目标专利说明书将其描述成位于SGS和硅阱之间的特定栅层,并可能控制柱通道及衬底通道。合议组若认为这是该术语的特定技术含义,而不是任意外侧GST,CN102单篇的新颖性攻击会明显变弱。
US20080253187A1虽然结构上极为吻合,但其术语仍然是第一、第二source select gate,而不是明确区分source select gate与source gate。若“source gate”被限缩解释为目标专利特定的块级栅层,US文件的补强作用会下降。
Google Patents显示,目标专利美国同族的引用列表中已有多篇“multiple select gate architecture”相关文献。这说明多个串联选择栅本身显然属于成熟技术,但也意味着专利权人可能主张授权机关已经注意到一般的多栅结构,目标发明的区别在于特定的垂直源极栅/阱通道结构。(Google Patents)
另一方面,Google Patents在CN103782344B页面列出的三篇正式“Patent Citations”中并没有CN102148059A或US20080253187A1。但Google的引用数据不能等同于完整审查档案,不能据此绝对断言中国审查员从未接触过这些文件。(Google Patents)
以CN102148059A单独评价权利要求1:
柱113=半导体柱;
柱上的电荷俘获晶体管=电荷存储装置串;
邻近字线的内侧GST=源极选择装置;
邻近CSL的外侧GST=源极栅极装置;
外侧GST耦合CSL;
两个GST均必然控制串通道至CSL的导电。
以CN102148059A作为最接近现有技术+US20080253187A1:
CN102提供完整的垂直柱式NAND基础结构及两个源端GST;
若外侧GST尚未被明确识别为独立源极栅,US明确给出内外两个串联源端FET的连接关系和功能划分;
两篇文件均解决源端漏电、GIDL、关断或隔离问题;
组合不需要结构重构,效果可预见;
权利要求1没有记载能够支撑意外效果的读取干扰、公共源极栅或阱通道等进一步限定。
该组合属于目前较强的权利要求1无效组合。
我的最终中心判断是:
CN102148059A+US20080253187A1成功无效CN103782344B权利要求1的概率约为80%,合理区间为75%~85%。
其中:
采用较宽、偏权利要求文字的“源极栅极装置”解释时,成功率可接近或超过85%;
若合议组结合说明书将“源极栅极装置”限缩为块级公共栅、同时控制柱通道和硅阱横向通道的特殊结构,成功率可能下降到50%~60%;
就通常的权利要求解释尺度而言,授权权利要求1未写入这些特殊结构,因此较宽解释及无效结论更有说服力。
**权利要求11—25不能整体、原文直接套用权利要求1—10已经撰写的无效理由。**更准确地说,应当区分三个层面:
对比文件可以复用:有可能;
部分技术特征的比对段落可以复用:权利要求11、14、15、16以及权利要求23—25中的部分结构特征可以;
完整无效结论和论证链可以直接复制:原则上不可以。
原因在于,权利要求11、16、23、24、25均是新的独立权利要求,不从属于权利要求1;权利要求12—15从属于权利要求11,权利要求17—22从属于权利要求16。它们与权利要求1—10之间只有技术内容上的交叉,并不存在形式上的引用关系。附件显示的权利要求体系如下:权利要求1为独立设备权利要求,权利要求2—10均直接引用权利要求1;权利要求11为另一独立设备权利要求,权利要求12—15引用权利要求11;权利要求16为第三项独立设备权利要求,权利要求17—22直接或间接引用权利要求16;权利要求23—25分别是独立方法权利要求。
现行《专利法实施细则》第六十九条要求无效宣告请求结合证据具体说明无效理由,并指明每项理由所依据的证据。因此,实务上至少应当为每一项被请求无效的权利要求建立清楚的“权利要求特征—证据公开—法律结论”对应关系,不能仅写“权利要求11—25基于相同理由无效”。(国家知识产权局)
附件未包含已经完成的权利要求1—10无效理由及所使用的对比文件,所以下面能够判断的是权利要求结构和技术特征层面的可复用程度;同一组对比文件是否实际足以覆盖权利要求11—25,还需要结合具体证据内容判断。
权利要求1
├─权利要求2
├─权利要求3
├─权利要求4
├─权利要求5
├─权利要求6
├─权利要求7
├─权利要求8
├─权利要求9
└─权利要求10
权利要求11
├─权利要求12
├─权利要求13
├─权利要求14
└─权利要求15
权利要求16
├─权利要求17
│ └─权利要求18
├─权利要求19
├─权利要求20
│ └─权利要求21
└─权利要求22
权利要求23:独立方法权利要求
权利要求24:独立方法权利要求
权利要求25:独立方法权利要求
因此,即使权利要求1—10全部被宣告无效,权利要求11—25也不会仅因前述权利要求无效而当然无效。尤其是从属权利要求,仍然必须评价其附加技术特征。国家知识产权局的无效决定通常也是先认定被引用权利要求的结论,再逐项判断从属权利要求的附加技术特征是否被现有技术公开或者是否属于显而易见。
权利要求11—15主要涉及“多个竖直存储串+环绕柱的漏极选择栅极、源极选择栅极和源极栅极”的设备结构。
| 后续权利要求 | 与权利要求1—10的主要对应 | 新增或不对应的技术特征 | 是否能够直接套用 |
|---|---|---|---|
| 11 | 核心串联关系对应权利要求1;漏极选择结构对应权利要求2;多个串及源极选择结构对应权利要求9、10 | 多个串分别关联多个半导体柱;漏极选择栅极、源极栅极和源极选择栅极均“至少部分地环绕”相应柱;使用“栅极”而非权利要求1、2中的“装置” | 不能直接套用,但可高度复用权1、2、9、10的核心比对段落 |
| 12 | “多个串”概念与权利要求9、10相关 | 明确限定为两个串;三个栅极中的每一个至少部分环绕与两个串相关联的两个柱,即共享栅极环绕两个柱的结构 | 不能直接套用,必须补充两个串及共享环绕结构的证据 |
| 13 | 权利要求1—10无直接对应 | 串块包括子块;子块通过扩散区域与相邻子块分离 | 基本不能复用,需要单独证据和理由 |
| 14 | 漏极选择装置对应权利要求2;源极选择装置对应权利要求1 | 漏极选择栅极为漏极选择装置的一部分;源极选择栅极为源极选择装置的一部分 | 可以采用“引用前述理由+补充说明”的简写,但不能零补充直接套用 |
| 15 | 源极栅极装置对应权利要求1 | 源极栅极为源极栅极装置的一部分 | 可较大程度复用权1理由,但仍需说明栅极与装置的部件关系 |
权利要求11并不是简单地把权利要求1、2、10合并在一起。存在两个重要差别:
第一,权利要求1、2使用的是“源极栅极装置”“源极选择装置”“漏极选择装置”,而权利要求11使用的是“源极栅极”“源极选择栅极”“漏极选择栅极”。权利要求14、15又专门进一步限定“栅极包括相应装置的一部分”,说明不能不经论证就把权利要求11中的栅极与权利要求1、2中的整个装置完全等同。
第二,权利要求11增加了三个栅极“至少部分地环绕相应柱”的三维空间结构。这是权利要求1—10没有明确限定的内容,通常需要从三维NAND、环栅或同轴柱状存储器对比文件中单独寻找公开。
因此,对权利要求11的合理写法应当是:
权利要求11中的电荷存储装置串、源极栅极与源极选择结构,可援引权利要求1的相关论述;漏极选择结构可援引权利要求2的相关论述;多个串之间的配置可援引权利要求9或10的相关论述。但是,权利要求11还进一步限定三个栅极至少部分环绕相应柱,对该附加结构应结合对比文件的具体附图和说明书段落另行评述。
权利要求16是另一项独立设备权利要求,围绕“多个块、块之间的导电部件、共用源极以及柱中的漏极选择装置—存储串—源极选择装置—源极栅极装置”展开;权利要求17—22进一步限定衬底掺杂、扩散区、导电部件形状及材料。
| 后续权利要求 | 与权利要求1—10的主要对应 | 新增或不对应的技术特征 | 是否能够直接套用 |
|---|---|---|---|
| 16 | 源极侧串联关系对应权利要求1;漏极选择装置对应权利要求2;柱从衬底延伸与权利要求7部分相关;多个串对应权利要求9、10 | 多个块,每块包括多个串;导电部件耦合至位于多个块群组之间的衬底;导电部件偏置串的共用源极;源极栅极装置位于源极选择装置与共用源极之间 | 不能直接套用,但核心结构可高度复用权1、2、7、9、10的理由 |
| 17 | 仅与权利要求7中的“衬底/阱”有弱对应 | p型衬底;导电部件耦合至p型衬底中的n+型扩散区域 | 不能直接套用 |
| 18 | 无直接对应 | p型衬底中的多个n+型扩散区域 | 不能直接套用 |
| 19 | 无直接对应 | 导电部件具有从衬底突出的壁形状 | 不能直接套用 |
| 20 | 无直接对应 | 导电部件包括半导体材料 | 不能直接套用 |
| 21 | 权利要求8也使用“多晶硅”材料,但限定对象不同 | 权利要求8限定“柱包括多晶硅”;权利要求21限定“导电部件包括多晶硅” | 不能套用权8理由,除非证据同时公开导电部件为多晶硅 |
| 22 | 无直接对应 | 导电部件包括金属 | 不能直接套用 |
权利要求16可以将已有理由拆成两个部分:
直接复用部分
电荷存储装置串及半导体柱:权利要求1、7;
漏极选择装置:权利要求2;
源极选择装置和源极栅极装置的串联位置及控制功能:权利要求1;
多个串:权利要求9、10。
必须新增的部分
多个“块”及每块多个串;
多个块的群组之间设置导电部件;
导电部件与衬底耦合;
导电部件用于偏置共用源极;
该结构与源极栅极装置、源极选择装置之间的整体关系。
如果已经用于权利要求1—10的最接近现有技术仅仅公开了“独立源极栅极+源极选择晶体管”,而没有公开块间共用源极导电壁或源极接触结构,则同一理由不足以完整攻击权利要求16。
不能因为权利要求8和权利要求21都出现“多晶硅”就认为理由相同:
权利要求8的多晶硅限定的是存储串所关联的柱;
权利要求21的多晶硅限定的是用于偏置共用源极的导电部件。
现有技术公开“多晶硅沟道柱”,不能当然证明其还公开“多晶硅共用源极导电部件”。二者属于不同部件、承担不同功能,必须分别比对。
权利要求23—25均是独立方法权利要求,虽然其执行对象包含与权利要求1、2、9、10类似的漏极选择、源极选择、源极栅极和多个存储串结构,但它们的核心限定是具体的电压施加和浮置操作:
权利要求23限定第一、第二串群的不同偏置,并通过选定存取线读取电荷存储装置,实质上是读取方法;
权利要求24限定选定存取线采用更高的第三电压对电荷存储装置编程,实质上是编程方法;
权利要求25限定衬底施加擦除电压,同时多个栅极和共用源极浮置、存取线约为0伏,实质上是擦除方法。
| 后续权利要求 | 可复用内容 | 必须单独处理的内容 | 结论 |
|---|---|---|---|
| 23 | 权1的源极侧结构、权2的漏极选择结构、权9/10的多个串结构 | 第一、第二漏极选择栅极的不同电压;共用源极约0伏;源极栅极第二电压;第一、第二源极选择栅极的不同电压;选定和未选定存取线电压及读取步骤 | 不能直接套用,必须形成完整的读取电压状态比对 |
| 24 | 同上 | 共用源极处于0伏与第一电压之间;源极栅极约0伏;源极选择栅极的中间电压;选定存取线采用第三电压执行编程 | 不能直接套用,必须形成完整的编程电压状态比对 |
| 25 | 同上 | 漏极选择栅极、共用源极、源极栅极及源极选择栅极浮置;衬底施加擦除电压;存取线约0伏以擦除存储单元 | 不能直接套用,必须形成完整的擦除状态比对 |
即使对比文件公开了与权利要求1相同的存储器结构,也不必然公开权利要求23—25的具体操作方法:
对新颖性而言,不能仅以“该装置理论上能够这样操作”代替对具体电压步骤的公开;
除非该操作是装置运行时必然发生、能够直接且无疑义地确定的过程,否则不能认定方法步骤已被隐含公开;
对创造性而言,可以继续把同一装置文献作为起点,但仍需证明现有技术对所述读取、编程或擦除偏置序列给出了技术启示。
国家知识产权局在新颖性判断中强调单独对比原则,不能从相互独立的不同实施方式中任意拼接出一项完整技术方案。(国家知识产权局) 创造性判断则需要针对完整权利要求重新确定最接近现有技术、区别特征、实际技术问题和技术启示,不能仅因部分结构相同就直接沿用原结论。(国家知识产权局)
通常不能直接套用。
针对权利要求11、16、23、24、25,必须确认同一项现有技术是否公开其全部技术特征:
权利要求11:是否公开三个栅极至少部分环绕相应柱;
权利要求16:是否公开块间导电部件及共用源极偏置结构;
权利要求23—25:是否公开完整读取、编程或擦除电压序列。
如果已经用于权利要求1的新颖性对比文件没有这些内容,即使其足以破坏权利要求1,也不足以破坏后续独立权利要求的新颖性。
可以复用原有对比文件、最接近现有技术以及部分技术启示,但必须重写区别特征和结合逻辑。
例如:
权利要求11可以采用“权1核心结构+权2漏极选择+权10多串结构”的原有论述,再增加环绕柱栅极证据;
权利要求16可以采用“权1+权2+权7+权9/10”的原有论述,再增加块间共用源极导电部件证据;
权利要求23—25可以沿用装置结构证据,再增加公开相应偏置表或操作流程的文献。
不能仅写:
权利要求11与权利要求1技术方案实质相同,因此基于权利要求1相同理由不具备创造性。
更稳妥的写法应当是:
权利要求11中的特征A—D与权利要求1、2、10中的相应特征一致,相关证据公开及结合理由参见前述第×部分。权利要求11进一步限定特征E,即三个栅极至少部分地环绕相应柱;证据D3的图×及第×段公开了……。因此,在权利要求1、2、10所述技术方案的基础上进一步采用该环绕柱栅极结构,对本领域技术人员而言是显而易见的。
只有在后续权利要求包含完全相同的缺陷用语或完全相同的原始公开问题时,才可以引用前述理由。
例如,若权利要求1中“源极栅极装置经配置以控制导电”的功能性限定被主张缺乏支持,则可研究该问题是否同样存在于权利要求16;但权利要求23—25又增加了具体电压和操作步骤,仍需结合其自身内容重新判断。
最节省篇幅且风险较低的写法是:
权利要求11单独成节
引用权利要求1、2、10中相同特征的证据分析,新增“栅极环绕柱”的独立分析。
权利要求12—15分别用短段落处理
每项明确写出附加技术特征、对应证据及结论,不能只写“同权利要求11”。
权利要求16单独成节
复用权利要求1、2、7、9、10的结构分析,新增“多个块—导电部件—共用源极”分析。
权利要求17—22逐项处理材料、掺杂和形状特征
权利要求17、18适合共用一组衬底和扩散区证据;权利要求20、21适合共用一组半导体导电部件证据,但权利要求21必须明确多晶硅限定对象是导电部件。
权利要求23—25分别建立读取、编程、擦除电压比对表
不建议把三个方法合并成一句“操作条件属于常规选择”,因为三者的偏置对象、浮置状态和技术目的明显不同。
| 分类 | 权利要求 | 处理结论 |
|---|---|---|
| 可较大程度复用,但必须改写补充 | 11、14、15、16 | 可引用权1、2、7、9、10的相关段落,但不得直接复制完整结论 |
| 需要新增较多特征证据 | 12、13、17—22 | 权1—10没有完整对应,必须增加结构、掺杂、形状或材料证据 |
| 基本需要重新撰写独立无效理由 | 23—25 | 只能复用装置结构背景,读取、编程、擦除电压步骤必须单独比对 |
| 可以不加任何内容直接套用 | 无 | 本案权利要求11—25中不存在可以完全零修改套用的权利要求 |
因此,最准确的结论是:
权利要求1—10已经完成的无效理由可以作为权利要求11—25的“基础模块”,但不能作为其完整无效理由直接套用。尤其是权利要求11、16、23、24、25必须分别建立独立的完整论证链;权利要求12—15、17—22必须分别处理其附加技术特征。
将已完成的权利要求1—10无效理由及对比文件组合一并提供后,可进一步形成逐项的“原文可引用段落—必须新增段落—是否需要新增证据”清单。
根据权利要求1所述的设备,其进一步包括耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
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检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
· 本轮对象:权利要求2,即权利要求1的全部技术特征A-D,再加新增技术特征E。
· 时间界限:只采用公开日严格早于2011年8月15日的专利文献;优先权日或申请日不能替代公开日。
· 数据库:已实际访问 Google Patents,分别执行中文、英文、日文、韩文检索,并逐篇打开重点文献详情页核验。
· 首轮核心结论:CN102148059A可提出单篇破坏新颖性的主张。该文献在同一垂直NAND架构中公开半导体柱、电荷存储串、源端两条地选择线(内外串联栅控级)以及串与位线之间的串选择晶体管。若合议组对“外侧地选择晶体管=源极栅极装置”的术语映射采取严格态度,则以CN102148059A + US20080253187A1主张创造性不成立;US文献直接明示“串—两个源端选择栅—源线”和“串—两个漏端选择栅—位线”的连接次序、结合动机及技术效果。
· 最终无效成功概率:92%。达到统一尺度中“单篇明确公开全部关键特征,并有组合证据补强”的90%-95%档,本轮不触发补充检索。
说明:本报告中的概率是基于证据完整度、术语解释风险和组合抗辩空间作出的诉讼/无效程序判断,不是统计学频率。
权利要求2:
根据权利要求1所述的设备,其进一步包括耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置。
结合权利要求1,完整技术特征为:
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编号 |
技术特征 |
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A |
设备包括电荷存储装置串,该串与包括半导体材料的柱相关联。 |
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B |
源极栅极装置耦合到源极,并经配置以控制电荷存储装置串的通道与源极之间的导电。 |
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C |
源极选择装置耦合在电荷存储装置串与源极栅极装置之间。 |
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D |
源极选择装置经配置以控制同一通道与源极之间的导电。 |
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E |
漏极选择装置耦合在电荷存储装置串与数据线之间。 |
解释要点:权利要求没有要求“源极栅极装置”和“源极选择装置”采用不同材料、不同阈值、不同控制信号或特定读取时序。判断现有技术构件时,应以其在串—源极电流路径中的位置及栅控功能为准,而不能仅以文献是否使用完全相同的名称为准。
所有检索均加入 Google Patents 的 before=publication:20110815 条件。该条件用于排除2011年8月15日及之后公开的文献。
· 精确检索式:"半导体柱" NAND "源极选择" "漏极选择"
· Google Patents URL:打开中文检索
· 实际页面状态:Google Patents显示“Before: publication 2011-08-15”“Language: CHINESE”,约1项结果;命中CN101911297A。该结果对柱式NAND有帮助,但源端双栅证据弱于CN102148059A,未提升为主证。
· 精确检索式:"semiconductor pillar" NAND "source select gate" "drain select gate"
· Google Patents URL:打开英文检索
· 实际页面状态:约3项结果,包括US20090109752A1、CN101971324A的韩国家族KR20100135796A及KR20110009014A。结合直接公开号核验,US20080253187A1的双端多选择栅教导更强。
· 初始精确短语检索:"半導体柱" NAND "ソース選択ゲート" "ドレイン選択ゲート",实际返回0项。
· 经网站结果验证后采用的有效检索式:半導体ピラー NAND ソース選択 ドレイン選択
· Google Patents URL:打开日文检索
· 实际页面状态:约76项结果,前列包括JP2011014817A、JP4455615B2、JP2011066110A等东芝垂直柱式非易失性存储文献。它们多为单个源端/漏端选择晶体管或偏重制造/擦除,未优于CN102148059A的单篇双源端选择线披露。
· 精确检索式:반도체 필러 NAND 소스 선택 게이트 드레인 선택 게이트
· Google Patents URL:打开韩文检索
· 实际页面状态:约33项结果,前列包括KR100921287B1、KR100983451B1、KR20110009014A等。KR100921287B1明确垂直柱两端选择晶体管,但仍缺少比CN102更明确的源端内外两个栅控级,故仅作筛查背景。
检索结果页之后,又分别实际打开以下 Google Patents 专利页核验全文、附图说明、权利要求及著录事项:
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
严格早于截止日 |
Google Patents |
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CN102148059A |
非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
是(早5日) |
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|
CN101971324A |
具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列 |
2008-03-13 |
2009-03-12 |
2011-02-09 |
是 |
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|
US20080253187A1 |
Multiple select gate architecture(多选择栅架构) |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
是 |
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|
CN1519938A |
非易失性半导体存储装置及其制造方法和半导体集成电路及系统 |
2003-02-05 |
2003-02-14 |
2004-08-11 |
是 |
时间风险:CN102148059A仅比关键日早5日,但Google Patents著录事项明确列出2011年8月10日的公开事件。正式无效请求应以CNIPA公开文本首页/公报固定该日期,不宜仅提交网页打印件。
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特征 |
原文证据位置及对应关系 |
同一实施例 |
强度 |
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A |
说明书图3-5:柱113贯穿绝缘材料112并连接衬底;柱表层114为P型硅。导电材料、ONO绝缘层及柱形成晶体管;氮化硅层118为电荷存储/俘获层。说明书图3-7进一步记载柱113及相邻栅层形成垂直NAND串,柱的P型硅层114构成主体/通道。可定位短语:“多个柱113……贯穿绝缘材料112”“硅氮化物层118可以用作电荷俘获层”。 |
是。图3-7为同一存储块BLKi的结构、晶体管截面、等效电路及单串截面。 |
强 |
|
B |
说明书图14-15:相对于图6,每个NAND串在字线与共源线CSL之间设置两条地选择线;其中GSL1x邻近CSL,作为外侧栅控级。说明书明确对邻近CSL和邻近字线的两条GSL施加不同电压。外侧GSL对应的选择晶体管位于源极一侧,并以阈值以上/以下栅压控制柱通道。 |
是。图14明示“与图6相比”而仅在同一垂直架构的源端增加第二GSL。 |
强;唯一争议是其名称仍为GSL,而权利要求称“源极栅极装置”。 |
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C |
图14-15中,内侧GSL2x邻近字线WL,外侧GSL1x邻近共源线CSL,电流次序为“存储单元串—内侧GSL2x晶体管—外侧GSL1x晶体管—CSL”。权利要求15又明确第二地选择线位于第三地选择线与共源线之间;依内外次序可分别映射为源极栅极装置和源极选择装置。 |
是 |
强 |
|
D |
图15分别给两条GSL施加第三、第四擦除禁止电压;权利要求8明确“第二地选择晶体管”的阈值电压。图7对GST说明:超过阈值的栅压使柱主体反型形成沟道并连接CSL,低于阈值则截止。两个串联GST中任一截止均阻断串通道到源极的导电。 |
是 |
中强至强;功能由FET位置和独立偏置直接、无歧义得出。 |
|
E |
图3-7及等效电路图6:串选择晶体管SST连接在存储单元串与相应位线BL之间;说明书记载SST沟道与漏极320、位线331-333连接。图16还明确字线与位线之间可有两条串选择线。权利要求10的串位于位线与共源线之间,说明书图6/14给出完整连接。 |
是;图14保留图6的漏端SST,仅改变源端GSL数量。 |
强 |
是。证据链不是从互斥方案中拼凑:图3-7建立垂直柱式NAND存储块BLKi;图14的文字明确以图6为基础,只把每个NAND串中“字线与共源线之间”的地选择线增加为两条;图15继续说明两条地选择线相对CSL/字线的位置及不同偏压。漏端SST来自被图14继承的图6电路。图16关于两条漏端串选择线是额外加强证据,权利要求2本身只需一个漏极选择装置。
CN102148059A在单一、连续实施架构中直接公开A-E。其外侧地选择晶体管虽然在名称上仍称GST/GSL,但其位置为内侧地选择晶体管与共源线之间,且栅压控制串通道至源极的导通/截止,满足权利要求对“源极栅极装置”的全部结构和功能限定。因此,可主张权利要求2相对于CN102148059A不具备新颖性。
主要抗辩风险仅有两点:
1. 专利权人可能要求把“源极栅极装置”限缩为涉案说明书中特定、邻接阱/扩散区且可能跨多个柱的层,而排斥普通第二地选择晶体管;但这些几何、共享范围及专门驱动关系均未写入权利要求。
2. 专利权人可能称图14是电路变形、图3-7是结构实施例,不能合并;但图14原文明示“与图6的存储块相比”,且仅说明每串增加两条GSL,属于对图6同一垂直存储块的明确变形,不是无指引拼接。
单篇新颖性无效成功概率:90%。
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特征 |
原文证据位置及对应关系 |
同一实施例 |
强度 |
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A |
图2及说明书[对应Google Patents正文图2段]公开串联的非易失性存储单元208及浮栅/电荷存储层234,但为平面NAND,没有公开与半导体柱相关联的串。 |
是 |
部分,缺“柱” |
|
B |
图2:外侧源选择栅211的源极连接公共源线216,漏极连接内侧源选择栅210;两者均为FET并有控制栅。 |
是 |
强 |
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C |
图2及权利要求13、16:第一选择栅与串的第一存储单元串联;第二选择栅与第一选择栅串联并位于第一选择栅与源线之间。由此,内侧210位于串与外侧211之间。 |
是 |
强 |
|
D |
说明书背景及图2-5说明两个串联选择栅改善截止、穿通、GIDL及泄漏保护;任一FET均控制唯一串联电流路径。 |
是 |
强 |
|
E |
图2:漏端选择栅212、213串联在串与局部位线204之间;213的漏极连接位线,212连接末端存储单元。权利要求13/16同样明确第三、第四选择栅与位线的相对次序。 |
是 |
强 |
关键原文短语为:“multiple series-coupled select gates on the drain and/or source ends”。图2的210/211、212/213及图4的414/415均围绕同一发明构思,非跨实施例拼凑。
单篇评价:因缺少半导体柱,不能单独破坏A-E整体新颖性;但对B-E提供极强的结构、功能及结合动机证据。
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特征 |
原文证据位置及对应关系 |
同一实施例 |
强度 |
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A |
摘要、图2B-2C、图4及权利要求1:导电柱230(例如多晶硅)形成一对串联耦合电荷存储单元450串的通道;电荷陷阱229位于柱与控制栅424之间。 |
是 |
强 |
|
B |
图2A-2C的源极选择晶体管216把柱230下端及其两侧的存储串选择性耦合到源极线200,因而公开一个控制串—源导电的源侧FET。 |
是 |
部分;只有一个源侧装置 |
|
C |
未直接公开两个彼此分立的源侧装置,故没有“串—内侧源极选择—外侧源极栅极—源极”的完整次序。 |
是 |
缺失核心区别 |
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D |
晶体管216的导电层204、栅介质212和柱214分别形成控制栅、栅介质和沟道,并“选择性地耦合”存储串到源极线,公开单一源侧装置的控制功能。 |
是 |
强(针对一个装置) |
|
E |
图2C、权利要求6-9:漏极选择晶体管280耦合柱230上端和位线/数据线290,并选择性地把存储单元串耦合到数据线。 |
是 |
强 |
图2A-2C是同一结构的连续制造阶段;柱、存储串、源极选择晶体管216、漏极选择晶体管280和位线290均在同一实施方案中。
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特征 |
原文证据位置及对应关系 |
同一实施例 |
强度 |
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A |
实施例1图5A/5B、图9公开多个浮栅存储单元晶体管M0-M15串联为NAND串,但采用平面有源区,没有半导体柱。 |
是 |
部分,缺“柱” |
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B |
实施例1图9:源线侧有SG21、SG22两个选择晶体管,外侧SG22的源极连接公共源线CS。 |
是 |
强 |
|
C |
图9连接次序为“存储串—SG21—SG22—公共源线CS”,SG21位于串与外侧SG22之间。 |
是 |
强 |
|
D |
说明书第16页(本地PDF物理页26)记载相邻两个选择栅极可由不同定时分别控制;第19页(物理页29)记载串联两个栅长F晶体管获得与栅长2F晶体管相同特性及截止特性。 |
是 |
强 |
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E |
同一图9还在位线侧设置SG11、SG12两个选择晶体管,外侧SG12的漏极连接数据线/位线DQ。 |
是 |
强 |
上述内容均来自实施例1的图5A、图5B、图6-9及其连续说明。Google Patents文本页与本地公开PDF第16-19页的图文相互核对一致。
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特征 |
CN102148059A |
US20080253187A1 |
CN101971324A |
CN1519938A |
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A 柱式电荷存储串 |
明确:柱113、P型硅表层114、ONO电荷存储层、垂直NAND串 |
缺柱 |
明确:多晶硅柱230、SONOS/电荷陷阱229、串450 |
缺柱 |
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B 外侧源极栅极装置 |
明确/名称争议:邻近CSL的外侧GSL晶体管 |
明确:外侧211接公共源线216 |
仅一个源侧216 |
明确:外侧SG22接CS |
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C 内侧源极选择装置 |
明确:邻近字线的内侧GSL位于串与外侧GSL之间 |
明确:210位于串与211之间 |
缺第二源侧装置 |
明确:SG21位于串与SG22之间 |
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D 两装置控制串—源导电 |
明确:两个GST、不同偏压/阈值控制 |
明确:串联FET、截止/GIDL功能 |
单个216明确 |
明确:分别控制、串联截止 |
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E 串—数据线间漏极选择装置 |
明确:SST—漏极320—位线BL |
明确:212/213—位线204 |
明确:280—数据线290 |
明确:SG11/SG12—位线DQ |
CN102同时、直接公开A-E,且图14明确承接图6的垂直NAND电路。权利要求2没有要求外侧装置必须称为“source gate”而不能称为第二个ground/source select gate;也没有限定外侧装置必须共享多个柱或采用特殊几何。因此,按构件位置、连接次序及门控功能判断,CN102的外侧GST满足B,内侧GST满足C-D,SST满足E。
结论:权利要求2相对于CN102148059A不具备新颖性,成功概率90%。
· US20080253187A1、CN1519938A缺少半导体柱,不能单篇覆盖A。
· CN101971324A只有一个源端选择晶体管,不能单篇覆盖彼此分立的B、C两个源端栅控级。
以CN102为最接近现有技术。若合议组不接受CN102外侧GSL直接等同于“源极栅极装置”,则至多把区别概括为:在垂直柱式NAND串的源端,以两个具有明确内外次序的串联FET实现源侧选择/门控,并把外侧FET作为耦合源极的源极栅极装置。E已由CN102的SST—位线连接直接公开。
如何在保持垂直NAND高密度的同时,提高源端通路的关断隔离、穿通/GIDL及泄漏抑制能力,而不过度增加选择器件尺寸。
US文献技术领域直接写明其涉及NAND串漏端和/或源端的多个选择栅;背景把器件缩小导致的GIDL、program disturb和泄漏作为问题;随后明确以每端增加一个选择栅获得相同或更好的截止/泄漏保护并减小阵列占用。CN102本身也讨论串/地选择线、GIDL、不同选择线电压及垂直阵列密度。两文献的问题、位置和功能完全对应。
保留CN102的柱113、ONO电荷存储层、垂直串、共源线CSL以及串—位线间SST;按US图2/图4的教导,把源端门控段明确实现为两个串联FET:内侧FET邻近存储单元串,外侧FET邻近CSL。CN102图14事实上已经提供两个垂直源端栅层,因此组合不要求把US的平面版图整体移植,只需采用其明确的电气角色和内外映射。沿CN102现有柱通道重复栅介质/栅层与其层叠制造框架相容。
两个串联FET分担电压,任一关断均能增加隔离;US已明确预期改善截止、GIDL及其它泄漏保护。所得效果不是不可预见的协同效果。
创造性无效成功概率:93%。
CN101提供同一实施例中的多晶硅柱230、电荷陷阱229、串联存储单元450、源端晶体管216以及漏端晶体管280—数据线290;区别仅为源端第二栅控级。US明确教导在NAND串源端增加第二选择栅并给出“串—内侧210—外侧211—公共源线216”的次序,且目的正是解决缩小器件时的泄漏、穿通和阵列面积问题。
具体路径:保留CN101原有、邻近源极线200的晶体管216作为外侧源极栅极装置;在串450与216之间沿同一柱通道增设内侧源极选择FET。漏端280及数据线290保持不变。US提供电路拓扑及动机,CN101提供垂直器件实现;权利要求未限定具体掩模、材料厚度或独特时序。
创造性无效成功概率:89%。主要风险是从平面US向CN101垂直柱结构的工程迁移论证,但US的教导属于源端电气拓扑,CN101已示范柱与横向栅层形成FET,技术相容性较好。
该组合的基础与组合二相同;CN151的实施例1以图5A/5B和图9明确给出“串—SG21—SG22—CS”及位线侧SG11/SG12,并给出独立控制、串联分压、截止和微细化效果。其优势是可直接提交中文公开文本;弱点同样是CN151为平面NAND,仍需说明电路拓扑向CN101柱式结构的常规实现。
创造性无效成功概率:87%。
回应:权利要求用功能和连接限定装置,没有规定“源极栅极装置”必须具有不同于选择FET的特殊物理结构。CN102外侧GST位于内侧GST与CSL之间,耦合源极并通过栅压控制串—源路径,正好满足B;内侧GST满足C-D。US和CN151进一步证明,在关键日前,把源端两个串联选择栅按内外位置区分是成熟的NAND架构。
回应:“控制”不等于单独无条件建立完整通路。串联开关中任一FET关断即可阻断整体通路,栅压改变会改变该路径的导电状态;CN102对两个GSL施加不同电压,US/CN151还明确说明串联分压和分别控制。
回应:图14的正文明确表述“与图6的存储块BLKi相比”,仅说明每串字线和CSL之间有两条GSL。图6又是图3-5结构的等效电路。因此,图14是在同一垂直柱存储块上增加源端选择线的明确变形,不是从无关实施例中任选特征。
回应:这些材料、几何和共享范围没有写入权利要求2。涉案权利要求只要求耦合源极并控制通道—源极导电。把说明书实施例的附加细节读入权利要求会不当缩小保护范围。
回应:第二文献提供的是NAND串端部的串联FET拓扑、相对次序和泄漏/截止作用,而非要求移植整套平面工艺。CN102和CN101都已在半导体柱与横向栅层交叉处形成栅控FET;增加同类栅控级不改变存储原理。权利要求也未限定器件方向或制造方法。
回应:专利公开文本一经公布即向公众开放;Google Patents著录事项明确显示2011年8月10日公开。正式程序中提交CNIPA公报首页、完整公开文本及公开日证明即可固定证据链。时间接近不降低其现有技术资格。
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评价路径 |
概率 |
判断 |
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CN102148059A单篇新颖性 |
90% |
A-E在同一垂直NAND架构中明确公开,主要仅有术语映射抗辩。 |
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CN102148059A + US20080253187A1创造性 |
93% |
组合动机、连接次序、功能效果及技术相容性均明确。 |
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CN101971324A + US20080253187A1创造性 |
89% |
强备选,存在平面教导向垂直结构实施的有限争议。 |
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CN101971324A + CN1519938A创造性 |
87% |
全中文备选,证据表达方便,迁移争议同上。 |
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权利要求2最终无效成功概率 |
92% |
符合90%-95%档:单篇覆盖并有明确组合备援。 |
因为最终概率已经高于75%,依任务规则:
· 不制定第二轮补充检索策略;
· 不启动下一轮子agent检索;
· 建议后续工作仅限于证据固定:下载/提交CN102、CN101、US20080253187及CN151的完整公开文本和附图,固定公开日,并为US关键段落制作逐句中文译文。
3. 第一无效理由:权利要求2相对于CN102148059A不具备新颖性。
4. 第二无效理由(备援):即使认为CN102对“源极栅极装置”的名称/角色公开不够直接,权利要求2相对于CN102148059A结合US20080253187A1不具备创造性。
5. 第三无效理由(备援):权利要求2相对于CN101971324A结合US20080253187A1不具备创造性。
6. 第四无效理由(全中文备援):权利要求2相对于CN101971324A结合CN1519938A不具备创造性。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim2\round1.md
经多轮检索 Google Patents,并按“漏极选择晶体管/漏极选择栅极/SGD/选择晶体管 + NAND串/电荷存储 + 位线/数据线”,以及“垂直NAND/上选择栅极 + 位线”反向扩展检索后,结论比较明确:
技术特征 E 在 2011 年 8 月 15 日之前已经被非常充分地公开。就该技术特征单独而言,我评估其被现有技术成功公开的概率约为 98%–99%。
而且并非仅有“惯常 NAND 的概念性暗示”,至少 CN101176164A、CN1720588A、CN1444231A、CN101416253A、CN102150216A 都能形成相当直接的结构对应;此外还有 CN101800224A、CN101681884A 两篇 3D/垂直 NAND 文献用于应对可能的窄解释。
以下均严格采用公开日早于 2011-08-15的中国公开文本;没有把 2011-08-15 当日或之后的文件列入有效对比文件。
一、最重要的检索结果
对比文件 公开日 与技术特征 E 对应的核心公开 评价
D1:CN101176164A《具有源极线偏置误差补偿的非易失性存储器及方法》 2008-05-07 NAND链由串联存储晶体管构成;每一存储晶体管均具有电荷存储元件;一对选择晶体管 S1、S2 位于串两端;明确记载“当漏极选择晶体管S2导通时,NAND链的漏极端子耦合至存储器阵列的位线”。
Google Patents
+1
★★★★★ 最强,几乎逐项覆盖 E
D2:CN1720588A《每一存储单元电荷存储元件具有双重控制栅极的闪速存储单元阵列》 2006-01-11 明确公开NAND串含多个浮动栅极电荷存储元件;每串两端各有选择晶体管,其中另一端通过 T0D-T4D 选择晶体管连接到相应 BL0-BL4 位线;还明确说明位线承担写入数据电压及读取检测。
Google Patents
+1
★★★★★
D3:CN1444231A《减少非易失性存储器的编程和读取干扰的操作技术》 2003-09-24 16个浮动栅晶体管串联形成NAND存储单元单位;其一端经第一选择晶体管连接对应位线,且该选择晶体管的栅极明确耦合于“漏极选择门线SGD”。
Google Patents
+1
★★★★★,且公开极早
D4:CN101371314A《减少非易失性存储装置的读取干扰》 2009-02-18 NAND串的多个晶体管均具有控制栅和浮动栅;明确“选择栅极120将NAND串连接到位线接点126”,该选择栅极连接选择线 SGD。
Google Patents
+1
★★★★☆
D5:CN101416253A《减少编程干扰的影响》 2009-04-22 NAND串夹在第一“漏极选择栅极120”与源极选择栅极122之间;漏极选择栅极120经位线接点将NAND串连接至位线;串内晶体管均有浮动栅极;其他实施例又明确“漏极侧选择栅极324经由位线接点334将NAND串连接到对应位线”。
Google Patents
★★★★★
D6:CN101553877A《NAND快闪存储器单元阵列及使用自适应存储器状态分割的方法》 2009-10-07 用语尤其接近:多个“电荷存储晶体管”作为存储器单元形成 NAND串,且该存储器单元串“通过任一端处的选择晶体管连接在位线与参考电位之间”。
Google Patents
+1
★★★★★,对“电荷存储装置串”解释非常有利
D7:CN101800224A《包括垂直NAND沟道的非易失性存储器装置》 2010-08-11 属于垂直 NAND。明确将包括有源区、隧穿绝缘层、电荷存储层、阻挡绝缘层和控制栅的结构称为“存储串/串”;制造步骤又明确在沟道上先形成上选择栅极线 USG,其后才形成横跨沟道的位线2400,并直接说明上选择栅极位于“位线和沟道之间”。
Google Patents
+2
Google Patents
+2
★★★★★(3D证据)
D8:CN101681884A《三维NAND存储器及其制造方法》 2010-03-24 明确公开ONO、浮栅等电荷存储区;形成多级垂直NAND存储单元,在最上级上方形成位线;并明确可在“位线137下方、最上级存储单元上方”设置“上选择晶体管”。
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★★★★☆(3D证据)
D9:CN102103889A《NAND编程技术》 2011-06-22 Intel 文献。浮置栅极/浮置节点FET串联形成NAND串;NAND串两端形成选择栅极104,并明确由“选择栅漏SDS”控制将NAND串耦合到位线BL。
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★★★★☆,申请人来源独立,佐证价值较高
D10:CN102150216A《具有降低的数据存储要求的存储器的多遍编程》 2011-08-10 距截止日仅5天。明确NAND串夹在“第一(漏极侧)选择栅极120”和源极侧选择栅极122之间;“选择栅极120经由位线触点126将NAND串连接到位线”;串内晶体管有浮置栅极。
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★★★★★
此外还检索到 CN1610976A(2005-04-27),其公开了电介质电荷存储 NAND 结构,串两端设选择晶体管,其中一个端子连接独立位线,可作为进一步的累积证据。
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二、对技术特征 E 的逐项比对
目标特征:
E:其进一步包括耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置。
以最强的 CN101176164A 为例:
技术特征 E 的子特征 CN101176164A 是否公开
E1:存在“电荷存储装置串” NAND链50由M1、M2…Mn串联存储晶体管构成,并明确“每一存储晶体管均具有一电荷存储元件” 明确公开
E2:存在漏极选择装置 明确称为“漏极选择晶体管S2” 文字直接公开
E3:漏极选择装置与电荷存储装置串耦合 S1、S2经NAND链的源极端子54、漏极端子56控制存储晶体管链与外部的连接 明确公开
E4:另一侧耦合数据线 S2导通时“NAND链的漏极端子耦合至存储器阵列的位线” 明确公开
E5:漏极选择装置位于串与数据线之间 电气连接顺序为 NAND存储晶体管链 → 漏极端子56/S2 → 位线 直接且无歧义
上述内容均来自该文献对图1D NAND链的直接说明。
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因此,仅 CN101176164A 一篇文献就已经足以对技术特征 E 形成很强的单篇直接公开。
三、“数据线”与“位线”是否会成为争议点
我认为风险很低。
目标专利使用“数据线”,而上述中国在先文献大量使用“位线 BL”。但 CN1720588A 不仅称其为位线,还明确说明列控制电路向每一位线施加“代表拟写入的特定数据”的电压,并在读取时检测位线上的电压或电流,也就是说,该位线事实上就是承担数据写入/读取功能的数据线路。
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因此在 NAND 存储器这一具体语境下,把目标专利的 data line(数据线)对应为 bit line(位线),技术上具有很强基础。除非 CN103782344B 的说明书对“数据线”作出了明显区别于普通位线的特殊定义,否则专利权人仅依赖名称差异抗辩的成功空间较小。
四、二维 NAND 与三维/垂直 NAND 两种解释下的结果
这一点对无效实务很重要。
如果按照通常、较宽的解释,将“电荷存储装置串”理解为由具有浮栅、电荷俘获层等电荷存储元件的存储器件构成的串,那么 CN101176164A、CN1720588A、CN1444231A、CN101416253A、CN101553877A、CN102150216A 已经反复直接公开该结构。
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即使专利权人进一步主张 CN103782344B 所述“电荷存储装置串”应结合说明书解释成垂直/柱状 NAND 串,仍存在 CN101800224A:它明确把带电荷存储层的垂直 NAND 构造定义为“存储串”,并将上选择栅极设置在垂直沟道与位线之间;另有 CN101681884A 明确公开在最上层电荷存储单元与位线之间增加上选择晶体管。
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因此,3D 限缩并不能从根本上挽救特征 E。
五、客观概率评估
我的最终评价为:
评估事项 概率
技术特征 E 按通常含义已在 2011-08-15 前被公开 约99%
存在单篇中文专利直接、完整公开 E 约98%–99%
“位线”能够对应目标专利“数据线” 约97%–99%
即使限缩至垂直/3D NAND,仍有文献公开实质相同结构 约92%–96%
E 仍可被认定为真正具有新颖性的区别技术特征 低于5%
最值得用于正式无效理由的顺序
第一梯队:
CN101176164A > CN101416253A ≈ CN102150216A > CN1720588A
其中我尤其推荐 CN101176164A。它的优势不是简单出现“SGD”三个字,而是在一个连续段落中同时公开:
电荷存储元件 → NAND存储晶体管链 → 漏极选择晶体管S2 → 位线
这与技术特征 E 的逻辑关系高度一致。
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第二梯队,用于应对“目标专利是3D/垂直结构”的抗辩:
CN101800224A + CN101681884A。前者尤其值得保留,因为它明确把具有电荷存储层的垂直 NAND 构造称为“存储串”,并把上选择栅极放在位线与沟道之间。
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最终结论
技术特征 E 基本不应当被视为 CN103782344B 的有效创新贡献点。 从目前中文专利检索结果看,它属于在目标日期之前已经反复公开的 NAND 存储器基本连接结构,而且既有传统二维 NAND 的明确文字证据,也有垂直/3D NAND 的针对性证据。
如果后续是在构造权利要求1整体的最优无效组合,E 这一项实际上已经可以视为“高置信度解决”,后续检索资源更应集中于权利要求1中那些涉及源极感应装置、源极选择装置以及二者具体串联/耦合位置关系的真正区别特征。
检索结论
我对 Google Patents 中 KR 韩国公开文本进行了多轮交叉检索,重点反复使用了“드레인 선택 트랜지스터(漏极选择晶体管)”“SGD/DSL”“비트라인(位线)”“NAND 스트링”“플로팅 게이트(浮栅)”“전하 저장(电荷存储)”以及“串—选择晶体管—位线”的结构关系进行筛选,并严格剔除了 2011年8月15日之后公开的文件。
结论非常明确:技术特征 E 在 2011年8月15日前已经被多篇韩文专利文献单篇完整或近乎完整公开。
CN103782344B 的技术特征 E 本身是:
“进一步包括耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置。”
目标专利实施例进一步说明,漏极选择装置 126 位于电荷存储装置与数据线130之间;其“数据线”用于感测电荷存储装置的状态。
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在此前韩国文献中,“data line”通常表述为 bit line(비트라인,位线)。考虑到这些位线正是用于存储单元编程、读出和状态感测的列线,将其对应于目标专利的“数据线”在技术上具有很强依据。
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一、最有价值的韩文对比文件
排名 韩国公开文献 公开日 与 E 对应的核心公开 评价
1 KR20100028019A 2010-03-11 明确公开 NAND 串由串联存储晶体管组成;每个存储晶体管具有用于存储预定电荷量的电荷存储元件;漏极选择晶体管 S2 导通时,NAND 串漏极端耦合到位线。
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A+,几乎逐项对应 E
2 KR20060066396A 2006-06-16 明确公开存储单元具有用于存储电荷的浮栅;一个 NAND 串包括串联存储单元;并明确记载“位线—连接于位线的漏极选择晶体管 DSL—与 DSL 串联的单元”。
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A+,结构关系极直接
3 KR20090002483A 2009-01-09 明确公开:漏极选择晶体管、多个存储单元及源极选择晶体管串联构成 cell string;漏极选择晶体管的漏极接位线,源极接第一存储单元;存储单元为浮栅晶体管。
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A+,直接形成“串—DST—BL”
4 KR20100089512A 2010-08-12 浮栅存储单元串联设置于漏极选择晶体管 DST 与源极选择晶体管 SST 之间;DST 的漏极明确连接位线 BL。
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A+,单篇完整覆盖
5 KR100811278B1 2008-03-07 更直接地表述:在位线 BL 与多个浮栅存储单元晶体管之间设置 string select transistor;该晶体管的控制线明确为漏极选择线 DSL。
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A+,位置关系最直观之一
6 KR20110037935A 2011-04-13 NAND 串包括串联的浮栅存储元件;选择栅120控制 NAND 串与位线126的连接,且该选择栅明确连接 SGD(drain select gate);还明确说明 NAND 串经 SGD 控制的选择晶体管连接各自位线。
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7 KR20080089459A 2008-10-06 多个串联浮栅晶体管组成 NAND 串,选择栅120将 NAND 串连接到位线126,且选择栅120由 SGD 控制。
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A,强公开
8 KR20060002801A 2006-01-09 NAND 串为位于两个选择栅之间的串联晶体管;选择栅120将 NAND 串耦合到 bit line 126;各存储晶体管具有浮栅。
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A,强公开
9 KR20050086293A 2005-08-30 明确记载各 NAND 串中源极选择晶体管、多个存储单元和漏极选择晶体管串联,且漏极选择晶体管漏极区域与位线连接。
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A−,结构补强
10 KR20110060361A 2011-06-08 NAND 结构中存在漏极选择线 DSL/漏极选择晶体管,并通过选择位线对相应 cell string 预充电;属于截止日前较接近的 NAND 结构补强文献。
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11 KR20090123481A 2009-12-02 明确描述 NAND 串的漏极选择晶体管及 DSL 邻接位线 BL,对于漏极侧选择结构具有补强作用。
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B+
其中,**前6篇已经足以证明 E 并非偶然的一次公开,而是截止日前 NAND 存储结构中的成熟常规拓扑。**尤其是 KR20100028019A、KR20060066396A、KR20090002483A 和 KR20100089512A,均无需依赖多篇组合即可建立完整的结构对应。
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二、技术特征 E 逐项比对
技术特征 E 的子要素 CN103782344B KR20100028019A KR20060066396A KR20090002483A KR20100089512A KR100811278B1 KR20110037935A
E1:存在电荷存储装置串 电荷存储装置118串110 NAND串中的每个存储晶体管具有电荷存储元件20 NAND串由多个串联单元组成,每个单元的浮栅存储电荷 cell string 中多个浮栅存储晶体管串联 多个浮栅存储单元串联构成 string 多个浮栅存储单元晶体管串联 NAND串包括多个浮栅storage elements
E2:存在漏极选择装置 drain select device 126 drain select transistor S2 drain select transistor DSL drain select transistor 110/311 drain select transistor DST string select transistor 110,控制线为DSL select gate120,控制线为SGD / drain select gate
E3:漏极选择装置位于电荷存储串的漏极侧 位于串顶部 S2 控制 NAND 串漏极端 DSL 与串联单元直接串接 DST 源极连接第一存储晶体管 存储单元串位于 DST 与 SST 之间 明确位于 bit line 与存储单元之间 SGD 选择晶体管位于存储串位线侧
E4:漏极选择装置另一侧连接数据线 data line 130 bit line bit line bit line BL bit line BL bit line BL bit line 126/321等
E5:形成“电荷存储串—漏极选择装置—数据线”关系 明确 明确 明确 明确 明确 明确 明确
综合覆盖程度 — 100%/A+ 100%/A+ 100%/A+ 100%/A+ 约98%/A+ 100%/A+
上述判断分别有以下最关键原文基础:KR20100028019A 同一段同时出现 NAND 串、charge storage element、drain select transistor 和 bit line;KR20060066396A 同时给出“浮栅存储电荷”以及“bit line—DSL—串联单元”的拓扑;KR20090002483A 则直接给出 DST 漏极连位线、源极连第一浮栅存储晶体管;KR20100089512A 明确把一串浮栅存储单元布置在 DST 与 SST 之间,并把 DST 漏极连接至 BL。
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三、最优对比文件排序
对于单独证明技术特征 E 已被公开,我建议证据使用顺序为:
KR20100028019A——首选
这是目前韩文检索中最干净的一篇。它没有仅仅使用“memory cell”这种可能需要进一步解释的表述,而是明确说每一串联存储晶体管具有存储预定电荷量的“전하 저장 소자 / charge storage element”,随后同一段又明确说明漏极选择晶体管 S2 将 NAND 串漏极端耦合到 bit line。与目标的“charge storage device string—drain select device—data line”具有非常强的一一对应。
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KR20060066396A——第二首选
该文件的优势在于结构表述极清楚:“bit line → drain select transistor DSL → series unit cells”,同时前文明确说明各 memory cell 的 floating gate 用于存储电荷。因此几乎不存在需要通过隐含公开来补足的环节。
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KR20090002483A——第三首选
其结构关系尤其直接:DST 的漏极连接 bit line,源极连接第一个 floating-gate cell transistor。若争议焦点是“coupled between”究竟是否真正要求漏极选择器件物理/电气上处于二者之间,这篇文件的抗辩能力很强。
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KR20100089512A——第四首选
明确公开“浮栅存储单元串联于 DST 和 SST 之间”以及“DST drain connected to BL”,也是非常完整的单篇证据。
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KR100811278B1 也非常值得保留,因为它甚至直接使用了“位线与存储单元晶体管之间设置 string select transistor”的空间/电气位置描述,而且该 transistor 的线明确称为 DSL。唯一极小的文字差异是器件称为“string select transistor”而非直接叫“drain select transistor”。
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四、“bit line”是否能够对应目标专利的“data line”
这是 E 唯一值得提前防范的文字争议。
我认为对应关系非常强。目标专利没有赋予“data line”一种区别于普通 NAND bit line 的特殊结构;相反,其说明书明确说明 data lines 232/233 用于感测电荷存储装置的状态,并在 SGD 与存储装置串的漏极侧连接。
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而韩国现有技术中的 bit line 同样承担存储单元编程、预充电、读出和状态感测功能。例如 KR20090002483A 通过选定位线预充电并检测位线电压变化来判断存储单元状态;KR20060066396A 甚至直接将 bit line 描述为信息传输手段。
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因此,在 E 的语境下:
目标专利 data line ≈ NAND 现有技术 bit line
属于非常有力的功能及结构对应,而不是牵强的事后解释。
五、客观概率评估
对于问题严格限定为:
“技术特征 E 在 2011-08-15 前是否已经被韩文专利文献成功公开?”
我的评估为:
成功公开概率:约 98%(极高)
这不是统计学概率,而是基于专利无效检索中“明确程度、单篇完整性、术语对应程度、公开日期及潜在抗辩空间”给出的经验性置信度。
主要原因是:
不只一篇,而是至少6篇强文献能够在单篇内基本完整形成 E 的结构;
KR20100028019A 直接使用“charge storage element”,消除了“普通 memory cell 是否属于电荷存储装置”的主要术语争议;
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KR20060066396A、KR20090002483A、KR20100089512A 又分别从不同表述方式明确给出“bit line—drain select transistor—series memory cells”的关系;
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所有上述核心文献的公开时间均明显早于 2011-08-15。
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剩余约 2% 的不确定性主要不是技术结构本身,而是无效程序中可能出现的极端解释,例如试图将目标专利“data line”解释得比普通 NAND bit line 更窄,或者将其他权利要求中的“三维柱结构”限制不适当地引入 E 的解释中。
最终判断
技术特征 E 不应当被视为 CN103782344B 的实质性创新点。就 E 单独而言,韩国在先专利文献已经形成非常扎实的公开证据链。
在后续正式无效比对中,我会优先采用:
KR20100028019A > KR20060066396A > KR20090002483A > KR20100089512A
其中 KR20100028019A 最适合作为 E 的首选单篇对比文件;如果希望最大限度降低“data line/bit line”或“charge storage device/memory cell”术语争议,则以 KR20100028019A + KR20060066396A + KR20090002483A 作为相互印证的证据组最稳妥。
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综合评级:E = A+级已公开特征;成功证明在先公开的把握约 98%。
经过多轮检索和交叉核验,我的结论比较明确:技术特征 E 本身并不是 CN103782344B 在 2011 年 8 月 15 日时的新颖技术点。日本公开专利中已经存在多篇在截止日前明确或近乎逐字公开该结构关系的文献。
目标专利对 E 的具体描述是:串110由串联耦合的电荷存储装置118构成,串顶部具有漏极选择装置126,并且“漏极选择装置126耦合于电荷存储装置118与数据线130之间”。
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我将 E 拆分为三个必须同时满足的子特征:
E1:存在由多个电荷存储装置/存储单元构成的串;
E2:存在漏极选择装置/漏极选择晶体管;
E3:该漏极选择装置位于上述串与数据线/位线之间,即通过该漏极选择装置将串连接到数据线。
一、最重要的检索结果
1. JP2011514013A——目前检索到的最强日文对比文件
公开号:JP2011514013A
公开日:2011-04-28,明确早于 2011-08-15。申请人为 Micron Technology。
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这篇文献的价值非常高,因为它不是单纯的传统二维 NAND,而是已经涉及单一导电柱上的存储单元串/三维结构,与 CN103782344B 的技术背景尤其接近。
文献明确说明,闪存单元利用诸如浮栅或俘获层的电荷存储节点存储数据。
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更关键的是,其实施例明确形成:
漏极选择晶体管280;
单独的数据线,例如位线290;
源极选择晶体管216与漏极选择晶体管280之间的连续连接存储单元串。
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而且原文进一步明确:
各漏极选择晶体管280将导电柱上端以及相应的连续连接存储单元串选择性连接到位线290。
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权利要求层面甚至直接使用“数据线”表述:第二选择晶体管280将第一、第二连续连接的存储单元串选择性耦合到数据线290。
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因此,这篇文献实际上已经形成:
电荷存储单元串 → 漏极选择晶体管280 → 数据线/位线290
与技术特征 E 的结构关系几乎是一一对应。
评价:S+,最优。
2. JP2009515289A——单篇即可非常完整地覆盖 E
公开号:JP2009515289A
公开日:2009-04-09。
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该文献的图5B描述非常直接:
NAND 串50a由多个存储晶体管M1~Mn串接形成;一对选择晶体管S1、S2控制 NAND 串的源端和漏端;其中漏极选择晶体管S2导通时,NAND串的漏极端连接到存储器阵列的位线。并且,每个存储晶体管均具有用于积累电荷、表示存储状态的电荷存储元件。
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也就是说,该文献直接公开:
多个具有电荷存储元件的存储晶体管串 → 漏极选择晶体管S2 → 位线
这也是对 E 的完整公开。
评价:S+。
3. JP2006509327A——术语与 E 极其接近
公开号:JP2006509327A
公开日:2006-03-16。
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其图3直接说明:
多个存储晶体管311串联在漏极选择装置315与源极选择装置319之间;
这样的存储单元列又称为 NAND chain/string;
存储装置可以是浮栅 Flash、EEPROM、EPROM,也可以是 NROM、SONOS 等;
图4进一步说明,每列的多个存储单元位于漏极选择装置和源极选择装置之间,而漏极选择装置连接至漏极线DL或位线BL。
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这里甚至直接使用了“ドレイン選択装置/drain select device”这一概念,而不仅仅是普通“selection transistor”。
因此:
电荷存储装置串 → drain select device → bit line
已经非常明确。
评价:S+。
二、其他高价值日文专利
日文专利 公开日 E1:电荷存储装置串 E2:漏极选择装置 E3:位于串与数据线/位线之间 贡献等级
JP2011514013A 2011-04-28 明确:连续连接的存储单元串+电荷存储节点 明确:drain select transistor 280 明确:将串选择性耦合至数据线/位线290 S+
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JP2009515289A 2009-04-09 明确:NAND串中的各单元具有电荷存储元件 明确:漏极选择晶体管S2 明确:S2导通使NAND串漏端连接位线 S+
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JP2006509327A 2006-03-16 明确:NAND string;存储器可为浮栅/SONOS等 明确:drain select device 明确连接DL/BL S+
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JP2009070461A 2009-04-02 明确:电荷蓄积层+多个MT串联 ST1位于最靠漏极端,栅接SGD ST1漏极连接位线BL S
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JP2008187051A 2008-08-14 明确:浮栅用于电荷存储,多个单元组成NAND串 明确为位线侧选择晶体管 选择晶体管位于NAND串与位线之间 S
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JP2008047219A 2008-02-28 多个可重写存储单元构成memory cell unit;浮栅结构 明确:drain-side select gate transistor 明确“将memory cell unit连接至bit line” S
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JP2005276407A 2005-10-06 明确:多个多值NAND单元串联形成cell string 明确:drain selection transistor 20 明确“connected between drain terminal of cell string and bit line BL” S
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JP2005327434A 2005-11-24 多个NAND Flash单元构成cell string 明确:drain select transistor 明确:bit lines连接各drain select transistor A+
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JPH02235295A 1990-09-18 明确:多个浮栅FAMOS存储单元构成NAND cell 位线侧selection MOS 选择MOS位于串端与bit line之间 A+
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三、其中哪几篇最适合实际无效使用
如果目的不是单纯证明“NAND 中通常存在漏极选择晶体管”,而是尽可能严密地针对 CN103782344B 的 E,我建议优先级为:
第一优先:JP2011514013A。
它的优势最大,因为同时具备三维/导电柱存储单元串、charge storage node、drain select transistor、data line/bit line。尤其“第二选择晶体管将连续连接的存储单元串选择性耦合到数据线290”的表述,与目标特征“漏极选择装置耦合于电荷存储装置串与数据线之间”几乎只存在翻译表达差异。
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第二优先:JP2009515289A。
它直接说明每个 NAND 串存储晶体管具有电荷存储元件,并明确漏极选择晶体管S2使 NAND 串漏端与位线连接,证据链十分完整。
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第三优先:JP2006509327A。
它在术语层面特别强:直接使用“drain select device”“NAND string”“bit line”,并明确存储装置可以是浮栅或SONOS等电荷存储装置。
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JP2009070461A、JP2008047219A、JP2008187051A、JP2005276407A则非常适合作为交叉印证/常规技术证据,证明“电荷存储 NAND 串的漏极端通过漏极侧选择晶体管连接位线”在截止日前已经属于非常成熟的结构。
四、与目标技术特征 E 的最强单篇比对
CN103782344B 技术特征 E JP2011514013A 结论
电荷存储装置 明确公开 charge storage node,包括浮栅或俘获层 明确公开
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多个电荷存储装置构成“串” 明确公开连续连接的 memory cell strings 明确公开
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漏极选择装置 明确公开 drain select transistor 280 明确公开
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数据线 明确称 individual data lines,例如 bit line 290 明确公开
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漏极选择装置耦合在串与数据线之间 drain select transistor 280 将连续连接的memory-cell string选择性耦合至bit line/data line 290 几乎逐字公开
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公开时间≤2011-08-15 2011-04-28 满足日期限制
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五、客观概率评估
仅针对你本次指定的技术特征 E,而不是对整个权利要求1作结论,我认为:
“E 已被截止日前日本专利单篇明确公开”的概率:约 98%~99%。
其中,单独以 JP2011514013A 对 E 作直接公开认定,我会给出约 98% 的技术比对把握;如果同时考虑 JP2009515289A、JP2006509327A、JP2009070461A 等多篇交叉印证,则“E 在 2011-08-15 前属于已经公开的 NAND 常规结构”的证明强度接近 99%+。
剩余的约1%~2%不确定性主要不是技术事实问题,而是权利要求解释问题。例如权利人可能试图将“电荷存储装置串”限制为目标专利特定的立体柱式结构。但这种抗辩对 JP2011514013A 尤其困难,因为该文献本身已经是导电柱上的存储单元串,并同时公开了电荷存储节点、漏极选择晶体管以及数据线/位线关系。
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因此,本轮日文检索的核心结论是:特征 E 可以视为已经找到非常强的直接公开证据,继续把大量检索资源集中在 E 上的边际收益已经很低。最值得纳入正式无效证据分析的日文文献是 JP2011514013A + JP2009515289A + JP2006509327A,其中 JP2011514013A 应放在首位。
需要注意,这一结论只说明 E 本身的现有技术公开强度极高;能否据此成功无效整个权利要求1,仍取决于同一对比文件是否覆盖其他必要特征,或者多个对比文件之间是否存在充分的结合启示。
经多轮交叉检索,我把“drain select device / drain-side select gate / drain select transistor / select device + bit line/data line/global bit line”以及二维 NAND、vertical NAND、pillar NAND、NROM/SONOS 等表述分别进行了回溯。结论很明确:技术特征 E 在 2011-08-15 之前已经被多篇英文专利文献直接、明确公开,而且其中存在与 CN103782344B 的柱状/垂直 NAND 架构高度接近的文献。
CN103782344B 中该特征实际对应权利要求2:“a drain select device coupled between the string of charge storage devices and a data line”;说明书也明确描述漏极选择装置126位于电荷存储装置118与数据线130之间。
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一、结论先行
我认为,仅针对技术特征 E 本身,被现有技术成功公开的概率约为 98%–99%。
其中最值得用于无效的英文文献是:
首选:US20090230454A1。它不仅是截止日前公开,而且同时出现了“charge storage nodes / serially-coupled string / conductive pillar / drain select transistor / data line”这些与目标专利极为接近的概念。其说明书明确称 drain select transistor 280 将串联存储单元串选择性耦合至 bit line 290;权利要求15进一步直接写明“drain select transistor”选择性地将 data line 与导电柱第一端连接。
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该文献公开日为 2009-09-17,明显早于2011-08-15。
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尤其值得注意的是,CN103782344B 的 Google Patents 页面本身也把 US20090230454A1 列入其引用文献,同时还列出了 US20060261404A1。这个事实本身不等同于已经认定缺乏新颖性,但说明两篇文件与目标技术方案具有很强的技术相关性。
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二、重点英文对比文件及特征比对
排名 对比文件 公开日 对“电荷存储装置串”的公开 对“漏极选择装置”的公开 对“位于串与数据线之间”的公开 E匹配度
D1 US20090230454A1 – Memory array with a pair of memory-cell strings to a single conductive pillar 2009-09-17 明确公开 serially-coupled string,并在权利要求中公开 plurality of charge storage nodes 明确为 drain select transistor 280 明确称 drain select transistor 将串耦合至 bit line 290;权15直接写成将 data line 选择性耦合至导电柱第一端 ★★★★★ 99%
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D2 US20080112226A1 – Non-volatile memory with boost structures 2008-05-15 NAND string含多个 storage elements;存储单元为浮栅非易失存储单元 明确为 drain-side select gate 明确写明 NAND string 一端通过 drain select gate 连接 corresponding bit line;还写明相应 bit lines 521/541/561 通过 select transistors 连接 ★★★★★ 98–99%
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D3 US20050090085A1 – NAND memory arrays 2005-04-28 明确为 series string of floating-gate memory cells 明确为 drain select gate 权利要求明确:drain select gate 的 drain 接 bit line,source 接串中最后一个 floating-gate memory cell ★★★★★ 98–99%
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D4 US20050259468A1 – Select lines for NAND memory devices 2005-11-24 NAND string 206由 floating-gate transistors 208 构成 明确为 drain select gate 212/FET drain 接 local bit line 204,source 接 NAND string 最后一个 floating-gate transistor 208N;拓扑关系完全清楚 ★★★★★ 98–99%
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D5 US20070165459A1 – Flash memory array using adjacent bit line as source 2007-07-19 series string 104/105 为 floating gate memory cells 明确为 drain select gate 112/113 明确称每个 series string 由 drain select gate 耦合至 individual bit line BL1-BLN ★★★★★ 98%
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D6 US20060261404A1 – Vertical NROM NAND flash memory array 2006-11-23 vertical NROM NAND memory cell string;NROM单元具有 trapping layer,属于电荷存储型单元 权利要求明确 first/second select transistor 权4/9等明确首、末存储单元经 select transistor 接 bitline/source line;说明书称串端 select gate 将 NAND string 接至 bit line contact ★★★★★ 97–98%,且结构背景高度接近目标专利
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D7 US20050133851A1 – Vertical NAND flash memory array 2005-06-23 明确为 vertical NAND floating gate memory string 串两端明确设置 select gates 明确称一端 select gate 将 NAND floating-gate string 耦合至 bit line contact 112/212 ★★★★☆ 96–97%
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D8 US20050128807A1 – NAND memory array incorporating multiple series selection devices 2005-06-16 明确 NAND string,且权利要求明确 memory cell transistor 具有 charge storage dielectric 明确 one or more series select devices / block select device 明确第一组选择器件将 NAND string 一端耦合至 global bit line ★★★★☆ 95–97%
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三、为什么 US20090230454A1 是最强文件
这篇文献与技术特征 E 的对应关系可以直接拆成四步:
技术特征 E 的子特征 US20090230454A1
电荷存储装置 权利要求1明确为 plurality of charge storage nodes
形成串 这些存储单元形成 serially-coupled string of memory cells
漏极选择装置 明确存在 drain select transistor 280
耦合于串与数据线之间 说明书称 drain select transistor 将串耦合至 bit line 290;权利要求15进一步直接使用 data line,并由 drain select transistor 选择性耦合该 data line 与柱端
上述内容不是通过复杂推理拼接出来的,而是在同一文献、同一结构中连续公开。
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而且它还使用 conductive pillar。这非常重要,因为CN103782344B的基础结构就是与半导体柱相关联的电荷存储装置串;因此如果专利权人试图以“普通二维NAND中的 drain select gate 与本专利柱状结构不同”为由进行区分,D1明显比普通二维 NAND 文献更难回避。目标专利自身也将US20090230454A1列为引用文献。
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四、US20060261404A1也非常值得保留
如果希望选择一篇更早、并且同样具有“vertical + pillar + charge-storage NAND + select transistor + bitline”背景的文件,我认为 US20060261404A1 应当重点保留。
其权利要求1公开 vertical NROM NAND memory cell string;权利要求2进一步限定 raised areas 为 pillars;权利要求3限定 bitline;权利要求4则明确第一、最后NROM memory cells分别通过第一和第二 select transistor 接到 bitline/source line。
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说明书进一步明确:NROM 单元具有 trapping layer,并由多个单元组成 NAND string;位于串端的 select gates 将该串选择性耦合到 bit line contact 和 source line contact。
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因此,虽然它没有像D1那样逐字使用“drain select transistor + data line”,但从串的位置关系看,位于 bitline 一端的那个 select transistor 实质上就是漏极侧选择器件。对E而言几乎不存在实质性技术差异。
五、二维 NAND 文献同样形成非常强的冗余证据链
例如US20050259468A1没有停留在“某个 select gate 可能连接 bit line”的抽象层面,而是明确规定:
NAND string → 最后一个 floating-gate transistor → drain select gate 212 → local bit line 204。
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US20050090085A1甚至在权利要求中明确规定 drain select gate 的 source 接最后一个 floating-gate memory cell、drain 接 bit line。
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US20080112226A1则采用几乎和技术特征E一样的功能性描述:NAND string 的一个端子通过 drain select gate 连接相应 bit line。
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因此,即使不使用三维/垂直结构文献,“电荷存储NAND串—漏极选择器件—数据/位线”这一拓扑关系,在2005年前后就已经是明确公开的结构。
六、客观概率评估
我会将不同层次的结论区分如下:
判断事项 概率评估 原因
“bit line”能够对应技术特征E中的“data line” 99% D1的说明书使用bit line,而权利要求又直接使用data line描述同一类连接关系,基本消除了术语争议。
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“floating-gate / charge-trap / NROM memory cells”属于电荷存储装置 98–99% 多篇文件明确采用浮栅、电荷俘获层或charge storage dielectric;目标专利自身也明确称charge storage device可以采用charge trap或floating gate。
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现有技术公开“电荷存储装置串” >99% 多篇文件明确为series-connected NAND strings。
现有技术公开“漏极选择装置” >99% D1–D5均有明确drain select transistor/gate。
公开“漏极选择装置位于串与数据线之间”这一空间/电连接关系 98–99% D1–D5均是直接连接关系,不依赖复杂推断。
技术特征E整体被至少一篇截止日前英文文献直接公开 约99% D1本身已经非常接近逐字公开,另有多篇相互独立的冗余文献。
最终判断
技术特征 E 可以认为属于“高置信度已经被现有技术公开”的技术特征。
我给出的综合概率为:
成功证明技术特征 E 已于2011-08-15之前公开:98%–99%。
其中,若只选择一篇文件,我建议优先:
US20090230454A1 > US20060261404A1 > US20080112226A1 > US20050259468A1 / US20050090085A1。
其中 US20090230454A1 最有价值,因为它同时具备“charge storage nodes + serial string + pillar + drain select transistor + data line/bit line”,可以最大程度压缩专利权人的解释空间。
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不过需要把结论范围限定清楚:上述 98%–99% 是“技术特征E本身被成功公开”的评估,并不等于某一完整权利要求具有98%–99%的无效概率。完整权利要求是否能被无效,还要看其余技术特征能否由同一文件公开,或者不同文件之间是否存在充分的结合启示。就E本身而言,后续检索的边际价值已经比较低,当前证据链已经很强。
我按照“互联网档案馆直接检索 → Archive 全文/AllPriorArt 反复关键词检索 → 以公开日前专利全文交叉核验”的路径进行了多轮检索。结论比较明确:技术特征 E 在 2011 年 8 月 15 日之前已经被多件文献非常明确地公开,且并非只靠推断,而是存在“串—漏极选择晶体管—位线/数据线”的直接文字记载。
就技术特征 E 单独而言,我评估其被现有技术成功公开的概率约为 99% 以上。这里需要区分:这意味着“E 本身缺乏新颖性/至少属于非常成熟的现有结构”的证据极强,并不等同于 CN103782344B 某一完整权利要求一定能够由这些文献单篇无效。
一、检索结论
技术特征 E 是:
“其进一步包括耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置。”
从专利解释角度可以拆为:
子特征 含义
E1 存在由多个电荷存储单元构成的串,即 NAND/string
E2 存在 drain select device / drain select transistor / drain select gate
E3 该漏极选择器件位于所述串的漏端与数据线之间
E4 data line 可由 bit line / local bit line / column bit line 对应
E5 最强公开形式是:漏极选择器件一端连接串中最后一个存储单元,另一端连接 bit line
我检索到至少 5 组具有较高价值且公开日早于 2011-08-15 的独立技术证据。其中最值得用于 E 的是:
WO2008124760A2
US20080159005A1 / US7539059B2
JP2005276407A / JP4707386B2
US20110101441A1
CN1744232A / CN100511481C
另有 US20050279983A1 等更早文献形成进一步印证。
其中前三件已经足够把 E 的公开问题做得很扎实。
二、最强对比文件 1:WO2008124760A2
名称: Non-volatile memory and method for predictive programming
公开日:2008-10-16,明显早于 2011-08-15。
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这是我认为此次检索中针对 E 最干净、最直接的一件文献之一。
其说明书明确记载:
NAND string 包括一串 memory transistors;
每个 memory transistor 都是 memory cell;
每个 memory transistor 具有 charge storage element 20;
当 drain select transistor S2 导通时,NAND string 的 drain terminal 被耦合到 memory array 的 bit line。
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尤其是说明书进一步明确:
drain select transistor S2 导通时,NAND string 的漏端与 bit line 耦合;每个串中的 memory transistor 都是具有 charge storage element 的 memory cell。
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这几乎逐项复制了 E 的逻辑:
电荷存储装置串 → drain select transistor S2 → bit line
因此它不仅公开“漏极选择晶体管”这个名词,而且明确公开了位置关系和连接关系。
对 E 的评价:极强,约 99%
从 E 单独来看,几乎不存在实质性的技术解释空间。
三、最强对比文件 2:US20080159005A1 / US7539059B2
名称: Selective bit line precharging in non volatile memory
优先/申请日:2006-12-29
A1 公开日:2008-07-03。
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其文字甚至比很多 NAND 教科书式结构描述更适合做无效比对:
“a bit line 300 is coupled to a series of non-volatile floating gate transistor memory cells ... via drain select transistor 304.”
并紧接着明确:
这串 memory cells 可以称为 a string。
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也就是说,该文献直接给出了:
bit line 300
↓
drain select transistor 304
↓
series of non-volatile floating-gate transistor memory cells 302₁–302ₙ (= string)
这里:
non-volatile floating gate transistor memory cell → 电荷存储装置;
series → 串;
drain select transistor 304 → 漏极选择装置;
bit line 300 → 数据线。
没有必要经过复杂推理。
对 E 的评价:极强,约 99%
如果只针对 E 制作无效特征比对表,我会把它列在第一梯队。
四、最强对比文件 3:JP2005276407A
名称: Multilevel NAND flash memory cell read method and circuit
公开日:2005-10-06。
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该文献尤其重要,因为公开时间非常早。
其说明书首先公开:
多个用于存储多级信息的 cells 串联形成 cell string 10;
bit line BL 与 cell string 的 drain terminal 对应。
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随后直接给出:
drain selection transistor 20 connected between the drain terminal of the cell string 10 and the bit line BL,并受 drain selection signal DSL 控制。
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更重要的是,这一结构不只是实施例的偶然描述,在权利要求对应文本中也再次出现:
“A drain selection transistor connected between the drain terminal of the cell string and the bit line...”
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因此,对于“耦合于串与数据线之间”这一空间/电连接限定,其公开相当直接。
对 E 的评价:极强,约 98–99%
唯一比 WO2008124760A2 稍弱的地方,是“charge storage element”字面表达没有后者那么漂亮;但作为 NAND Flash memory cells,本身技术含义仍然非常清楚。
五、强对比文件 4:US20110101441A1
该文献于 2011-05-05 公开,仍然早于截止日 2011-08-15。
其说明书明确描述 NAND strings,并明确说明:
每个 drain select line 包含 drain select gate;
each drain select gate is connected to a data line, such as column bit line;
drain select gate 的另一侧连接 NAND string 中最后一个 floating-gate transistor;
memory cells 具有 charge storage node。
因此其连接关系实际上就是:
charge-storage NAND string → drain select gate → data line / column bit line
它的额外优势在于直接使用了 “data line” 这个上位概念,而不是只有 bit line。
对 E 的评价:极强,约 99%
如果后续需要反驳“权利要求中的 data line 不应等同于 bit line”的抗辩,这件文献会特别有价值,因为其自身明确写成 “data line, such as column bit line”。
六、强对比文件 5:CN1744232A / CN100511481C
该中国同族申请 CN1744232A 于 2006-03-08 公开。
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说明书明确描述典型 NAND cell block:
多个 unit strings;
多个 bit lines;
在 unit string 与 bit line 之间设置 drain select transistor。
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具体实施例再次说明:
unit strings 110a、110b 由多个 cells 串联组成;
多个 drain-side select transistors 位于 unit strings 与 bit line BL 之间。
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Google 的英文机器翻译对 source/drain select 的部分术语翻译得有些混乱,但**“between unit strings and the bit line”这一核心拓扑关系非常清楚**。
对 E 的评价:强,约 95–98%
如果正式提交无效请求,应优先使用 CN1744232A 的中文原始公开文本,而不是依赖英文机器翻译。
七、另一件非常早的证据:US20050279983A1
这也是很有价值的一件早期文献。
公开文本描述:
NAND string 中存在多个作为非易失存储单元的 floating-gate transistors;
这些 transistor 串联;
每个 drain select gate 与 local bit line 相连接;
drain select gate 的 source 又连接到相应 NAND string 最后一个 floating-gate transistor 的 drain。
因此电连接顺序完全是:
floating-gate memory-cell string → drain select gate → local bit line
其公开时间为 2005-12-22,远早于截止日。
这一族还存在 US20070290255A1 等后续同族文件,也有同样清楚的连接关系。实际无效中应避免把这些同族文件当成多个“独立技术来源”人为增加证据权重,但可以选择文字最清楚的一件作为主证据。
八、互联网档案馆中直接发现的非专利历史资料
这部分我专门进行了多轮 Archive.org、Archive 全文及 AllPriorArt 索引检索。
1. EDN Magazine,2005-10-27
Internet Archive 保存的 EDN Magazine Issue 2005-10-27 全文明确介绍 NAND Flash:
Toshiba 提出的 NAND Flash 将多个 memory transistors in series;
电流沿串联的 drain-source 路径流动;
该串联结构直接影响 bit line 的电位;
文中还比较了 NAND 与 NOR 的结构差别。
Internet Archive
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这足以证明到 2005 年时,“串联存储晶体管 + bit line”的 NAND 结构已经属于公开技术知识。
但是它没有在目前可检索文字中明确说出独立的 drain select transistor 位于 string 与 bit line 之间。
因此:
不建议拿 EDN 2005 单独证明完整 E。
它的价值更适合:
用来证明 NAND string、series memory cells、bit line 这些概念及其连接关系属于当时的成熟背景知识,从而辅助解释专利文献中的术语。
单独公开 E 的概率我只给 约 50–60%。
2. IEEE Press,1998
Internet Archive 中还能确认 1998 年 IEEE Press 出版的:
Nonvolatile Semiconductor Memory Technology: A Comprehensive Guide to Understanding and to Using NVSM Devices
其目录已经包含 floating-gate flash devices 等内容,Archive 条目确认出版时间为 1998 年,并且该副本在 2010 年已经被数字化保存。
但目前 Archive 对该书完整正文访问有限,我没有取得足以直接证明“drain select transistor between string and bit line”的连续原文,因此不把它列为 E 的核心证据。
这一点反而需要保守处理:不能仅因为教材涉及 NAND/flash,就声称其必然公开了完整 E。
九、特征比对表
对比文件 公开日 电荷存储装置串 E1 漏极选择装置 E2 位于串与数据线之间 E3/E4 对 E 的评价
WO2008124760A2 2008-10-16 是;NAND string,memory transistor 含 charge storage element 是;S2 明确;S2 使 NAND string drain terminal 耦合至 bit line 完全公开,★★★★★
US20080159005A1 2008-07-03 是;series of non-volatile floating-gate memory cells,明确称 string 是;drain select transistor 304 逐字明确;bit line 通过 304 耦合至 memory-cell string 完全公开,★★★★★
JP2005276407A 2005-10-06 是;串联的 NAND Flash cells 是;drain selection transistor 20 逐字明确;connected between cell-string drain terminal and bit line BL 完全公开,★★★★★
US20110101441A1 2011-05-05 是;NAND string、charge-storage memory cells 是;drain select gate 明确;连接 data line,例如 column bit line,并接 string 最后一单元 完全公开,★★★★★
CN1744232A 2006-03-08 是;多个 cell 串联形成 unit string 是 明确;位于 unit string 与 bit line 之间 基本/完全公开,★★★★½
US20050279983A1 2005-12-22 是;floating-gate nonvolatile cells 组成 NAND string 是;drain select gate 明确;一端 local bit line,一端 string 最后的 floating-gate transistor 完全公开,★★★★★
EDN Magazine 2005-10-27(IA) 2005-10-27 是;memory transistors in series 未明确 串与 bit line 的关系有公开,但缺独立 drain-select transistor 辅助证据,★★½
IEEE NVSM Guide(IA) 1998 背景上高度相关 当前可核实正文不足 当前证据不足以作完整比对 仅背景证据
对于 WO2008124760A2,其公开日及完整 NAND-string/charge-storage/drain-select/bit-line 关系均可直接核实。
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对于 US20080159005A1,其“bit line—drain select transistor—floating-gate memory cell string”关系属于直接公开。
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JP2005276407A 则直接使用“drain selection transistor connected between ... cell string ... and bit line”的表述。
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十、最优证据排序
如果目标只是在无效程序中证明技术特征 E 已经公开,我建议优先级如下:
第一选择:WO2008124760A2
优势最大,因为一件文献同时把三件事情写清楚:
NAND string + charge storage element + drain select transistor coupling NAND-string drain to bit line。
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第二选择:US20080159005A1
它的文字极适合制作特征比对表:
bit line → via drain select transistor → series of non-volatile floating-gate memory cells (= string)。
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第三选择:JP2005276407A
最有价值之处在于 2005 年就已经逐字公开“漏极选择晶体管位于 cell string drain terminal 与 bit line 之间”。
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如果需要强调“数据线”而不仅是“位线”,则可加入 US20110101441A1,因为它直接将 drain select gate 与 data line,例如 column bit line 联系起来。
十一、客观概率评估
我会把结论分成三个层次:
判断问题 概率评估
2011-08-15 前已经存在“漏极选择器件连接 NAND string 与 bit line”的现有技术 >99.9%
至少有一件公开日前单篇文献能够直接、无歧义公开完整技术特征 E 约99%
用上述文献在正式无效程序中成功证明“E 已被现有技术公开” 约97–99%
之所以最后不是写 100%,主要保留三类程序性/解释性风险:
权利人可能试图对 “电荷存储装置串” 作比通常 NAND floating-gate string 更窄的解释;
可能争论 “data line”与“bit line” 的对应关系,不过 US20110101441A1 这类文献实际上已经大幅削弱这一抗辩;
正式无效证据还涉及公开文本版本、译文、证据形式及具体权利要求上下文,而不仅是工程技术判断。
但从技术内容本身看,E 是非常典型、非常成熟的 NAND 漏端选择结构,不属于本案真正困难的区别特征。
最终结论
技术特征 E 被优先权日前现有技术成功公开的概率:约 99%。
而且这不是“多篇文献拼凑后才勉强得到”的情况;至少 WO2008124760A2、US20080159005A1、JP2005276407A、US20110101441A1 均可以在单篇文献内部构造相当完整的 E 比对。
从后续 CN103782344B 的整体无效策略看,没有必要继续投入大量检索资源寻找 E 本身更强的文件;现有证据已经充分。更值得把检索资源集中到该权利要求中真正稀缺的“源极侧多器件关系/源极感应或双源侧选择结构”等区别特征上。
检索结论
在严格限定 arXiv + 2011-08-15之前公开 的条件下,我经过多轮关键词扩展、同义词检索以及对高相关候选 PDF 的全文复核后,没有找到一篇能够直接、明确、完整公开技术特征 E 的 arXiv 文献。
目标专利中的 E 不是泛泛的“NAND 有位线”,而是明确的三段式拓扑关系:
电荷存储装置串 → 漏极选择装置 → 数据线(bit line/data line)
CN103782344B 的说明书明确记载:每一串顶部具有漏极选择装置126,并且“漏极选择装置126耦合于电荷存储装置118与数据线130之间”;权利要求中也直接采用了“drain select device coupled between the string of charge storage devices and a data line”的表述。
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+1
一、反复检索的结果
我针对 arXiv 进行了包括以下概念的交叉检索:NAND flash、NAND memory、NAND string、floating gate、charge storage、charge trap、bit line/bitline、drain select、drain select gate、select transistor、string select、SGD、DSL、BSL、vertical NAND 等。
结果非常明显:arXiv 对器件级 NAND 阵列结构的早期覆盖很薄。精确组合 "drain select" + NAND 和 "select transistor" + NAND 没有命中;"NAND string" 的命中文献最早已经到2024年;"bit line" + NAND 的命中也主要是2025年以后。
arXiv
+3
arXiv
+3
arXiv
+3
因此,我没有仅依赖 arXiv 的题名/摘要检索,而是继续对截止日前最接近的 flash/NAND 候选文献进行了 PDF 全文复核。
二、截止日前最值得关注的 arXiv 文献
arXiv文献 arXiv时间 与E有关的公开内容 电荷存储/NAND串 漏极选择装置 位于“串—数据线”之间 对E的贡献
arXiv:0911.3992, Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories 2009-11-20 明确涉及 NAND flash、floating-gate cells、block/page △:明确NAND/浮栅,但没有明确“string”结构 × × 本轮最接近,但仅为背景性公开
arXiv:1103.6051, Atomistic Simulations of Flash Memory Materials Based on Chalcogenide Glasses 2011-03-30 Flash memory 材料及原子级模拟 × × × 极低
arXiv:1107.3372, Snake-in-the-Box Codes for Rank Modulation 2011-07-18 Flash memory、cell charge level、rank modulation × × × 极低
cond-mat/0407329, Multi-Dot Floating-Gates for Nonvolatile Semiconductor Memories 2004-07-13 浮栅、Si纳米晶、非易失存储器材料 △:仅电荷存储器件层面 × × 极低
arXiv:1108.2741, Compressed Encoding for Rank Modulation v1标记2011-08-13 Flash cells及电荷等级编码 × × × 不建议作为截止日前证据;且内容也不公开E
其中最值得进一步说明的是 arXiv:0911.3992。它在2009年已经明确写到 NAND flash、floating-gate cells,以及 NAND flash 的 block/page 组织,因此能证明“NAND浮栅存储器”这一技术背景早已存在。
arXiv
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但是,我进一步对其9页 PDF 全文检索了 select、drain、bit line、bitline、string 和 transistor,上述关键术语全部没有命中。因此不能从该文献直接建立“电荷存储装置串—漏极选择装置—数据线”的结构关系。
arXiv
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arXiv
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arXiv
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arXiv:1107.3372 的 v1 日期为2011-07-18,属于截止日前文献,但它本质上是基于 flash memory 的 rank-modulation 编码研究。PDF 全文中没有命中 NAND、bit line、select transistor、drain、string,所以基本不能用于证明 E。
arXiv
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arXiv
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arXiv
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arXiv:1103.6051 在2011-03-30提交,研究的是 Ge₂Sb₂Te₅、Ge-Se-Cu-Ag 等 flash memory 材料的原子级模拟,而非 NAND string 与 bit line 的连接拓扑,因此对 E 没有实质证明价值。
arXiv
2004年的 cond-mat/0407329 同样主要研究多点浮栅、Si纳米晶及其制备形貌,可以证明早期电荷存储技术背景,但没有形成 E 所要求的阵列连接关系。
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三、一个需要特别注意的日期问题
arXiv:1108.2741 的页面虽然显示 “Submitted on 13 Aug 2011”,但“submission timestamp”本身不应直接等同于法律意义上的公众可获得日。arXiv 官方说明,新提交文件是在计划的 announcement/public availability 流程中才向公众开放,提交时间戳与实际公开存在区别。
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arXiv Info
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因此,在“2011-08-15之前”这一严格证据条件下,我建议保守地不把1108.2741列入有效对比文件。更何况其 PDF 中也没有 NAND、bit line、select transistor、drain 或 string,即便解决公开日问题也不能证明 E。
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四、特征 E 的最终逐项比对
技术特征E的子特征 CN103782344B要求 0911.3992 1103.6051 1107.3372 0407329
E1 电荷存储装置构成串 明确要求 △ NAND/浮栅背景,但未明确string × ×
E2 设置漏极选择装置 明确要求 × × ×
E3 漏极选择装置与该串耦合 明确要求 × × ×
E4 漏极选择装置还与数据线耦合 明确要求 × × ×
E5 拓扑顺序为“串—漏极选择装置—数据线” 明确要求 × × ×
完整公开E — 否 否 否 否
五、客观概率评估
如果问题严格限定为:
“能否从2011-08-15以前已经公开的 arXiv 文献中,找到单篇文献直接、明确地公开完整技术特征 E?”
我的评估为:
成功公开概率约 5%~10%,评价:低。
其中最强的 arXiv:0911.3992 对 E 的证明力也只有大约 10%~15%:它只能证明 NAND floating-gate flash 的一般背景,无法证明决定性的“drain select device”和“string—drain select—data line”连接拓扑。
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不过,这个结论只针对 arXiv 数据库,不代表技术特征 E 在2011年前的整个现有技术中没有被公开。恰恰相反,本轮扩大检索时,较晚的 arXiv 文献在回顾早期 NAND 技术时已经引用了 1996年的 NAND select-gate array architecture 等文献;较新的器件文献则明确描述 NAND string 通过 drain select gate 接到 bit line。这说明 E 很可能属于在专利、IEEE JSSC、IEDM/VLSI 等器件级文献中早已成熟的 NAND 基本结构,只是早期 arXiv 对这类半导体阵列电路论文收录非常有限。该线索不能作为本轮截止日前的直接证据,但非常值得继续向 IEEE/会议论文方向追溯。
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最终结论:本轮 arXiv 检索不建议选取任何文献作为技术特征 E 的主对比文件。 如果用于无效,arXiv:0911.3992最多只能承担“NAND/浮栅存储器技术背景”的辅助作用;E 本身应优先依靠 2011-08-15前的 NAND 专利、IEEE JSSC、IEDM、VLSI Symposium 等器件/阵列架构文献寻找直接公开。基于目前检索结果,我对“继续在 arXiv 内深挖还能找到一篇截止日前、明确完整公开 E 的文献”的预期已经很低。
在仅基于目前这四份对比文件、以 CN103782344B 现有权利要求文本进行解释、且暂不考虑尚未审阅的授权审查案卷中是否存在特殊限缩性陈述的前提下,我对权利要求2整体被无效的成功概率评为约 89%~94%,中心值约 91%。
其中最值得重视的是:CN102148059A 已经非常接近“单篇覆盖权利要求2全部技术特征”。因此,无效策略不宜只做创造性组合,而应当采取“CN102148059A 单篇破坏新颖性为主攻 + 两套创造性组合为保险”的结构。
CN103782344B 权利要求2实际上是在权利要求1的基础上只增加了一个限定,即进一步包括**“耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置”。 这个新增限定本身在现有对比文件中非常成熟,因此权利要求2相对于权利要求1增加的抗无效能力很有限**。
| 权2技术特征 | CN102148059A | CN101971324A | US20080253187A1 | CN1519938A | 判断 |
|---|---|---|---|---|---|
| A. 电荷存储装置串与包括半导体材料的柱相关联 | 强直接公开:多个柱113、垂直NAND串,柱表层为掺杂硅并形成晶体管主体 | 强直接公开:导电柱230、SONOS电荷存储结构、柱两侧形成NAND串 | 弱,主要为平面NAND | 弱,主要为平面NAND | 已公开 |
| B. 源极栅极装置耦合到源极,并控制通道与源极之间的导电 | 很强:GSL控制GST沟道形成,并使沟道与共源线CSL电连接 | 单一源极选择晶体管216选择性耦合柱与源极线200 | 两级源侧选择栅之一直接连公共源线 | 两个源线侧选择晶体管,外侧SG22接公共源线CS | 已公开 |
| C. 另有源极选择装置,位于存储串与上述源极栅极装置之间 | 非常关键:明确公开每个NAND串在字线与CSL之间具有两条GSL,并区分“邻近CSL”和“邻近字线”的两条地选择线 | 没有明确第二个独立源侧选择器件 | 直接公开:210、211两个源选择FET串联,210处于NAND串与211之间 | 直接公开:SG21、SG22两个源侧选择晶体管 | 强公开 |
| D. 该源极选择装置也控制通道与源极之间的导电 | 强,但存在一点解释空间:两个GSL均为GST,GST受栅压控制通道;但针对第二个器件“控制通道—源极导电”的表述主要来自其串联功能关系 | 不适合单独补足 | 很强:两个串联选择FET共同实现截止/抑制泄漏 | 很强:两个选择晶体管实质串联、共同提高截止特性 | 实质已公开 |
| E. 漏极选择装置耦合于存储串与数据线之间 | 直接公开:SST连接位线BL,存储单元位于SST与GST之间 | 直接公开:漏极选择晶体管280把存储串选择性连接到位线290 | 直接公开:212/213位于NAND串与bit line之间 | 直接公开:SG11、SG12位于存储单元串和数据线DQ之间 | 几乎无争议 |
这里最重要的不是特征E,而是CN102148059A 的图14实施例实际上已经出现了目标专利最危险的“双源侧选择器件”拓扑:每个NAND串在字线和共源线之间设置两条地选择线,而且明确区分一个邻近共源线、一个邻近字线。
换句话说,如果把目标专利中的“source gate device / 源极栅极装置”理解为靠近源极的那个GST,把“source select device / 源极选择装置”理解为它与存储串之间的另一个GST,则CN102148059A 在结构上几乎是一一对应的。
我对这一路线给出的成功概率是约 82%~88%。
CN102148059A 不只是一般性地公开了垂直NAND。它明确公开了柱113、柱中的硅主体、电荷存储结构、垂直NAND串、串选择晶体管SST、地选择晶体管GST、位线BL和共源线CSL。 更关键的是,其进一步实施例明确在每个NAND串中设置两条地选择线,而且一条邻近共源线CSL、另一条邻近字线。 权2新增的漏极选择装置则由SST直接满足。
时间上也成立。CN103782344B首页记载的优先权日是2011年8月15日。 CN102148059A 的公开日是2011年8月10日,优先权为2010年2月9日,即在目标优先权日前5天公开。(Google 专利)
之所以我没有把单篇新颖性概率直接评到95%以上,主要存在一个真正值得专利权人抗辩的点:CN102148059A 把两个器件均称为“地选择晶体管/地选择线”,而目标权利要求刻意分别称为“源极栅极装置”和“源极选择装置”。专利权人很可能主张两者并非简单的两个GST,而是功能或结构上不同的器件。
不过这个抗辩的力量有限,因为权利要求本身没有进一步限定“源极栅极装置”必须具有特殊材料、特殊结构或者与普通GST不同的形成方式,主要限定仍然是位置关系+导电控制功能。CN102148059A 的两个串联GST在结构和功能上与之高度重合。因此我认为这是“有争议,但明显偏向请求人”的问题,而不是五五开的解释问题。
这套组合我给约90%~94%,是我认为最稳妥的无效理由。
US20080253187A1 的价值恰恰在于把 CN102 中可能被专利权人抓住的“两个GSL到底是不是权利要求中的两个不同装置”这一语言争议彻底击穿。它明确公开:NAND存储单元串位于串联的两个source select gates 210、211和两个drain select gates 212、213之间;外侧source select gate 211连接公共源线,而内侧source select gate 210位于存储单元串和211之间。
而且它不是偶然画了两个晶体管,而是明确说明增加额外选择栅的目的在于,在缩小器件尺寸的同时保持或改善截止、穿通及GIDL性能。 两个串联选择栅形成中间电位,从而降低第二选择栅上的GIDL并保持截止性能。
US20080253187A1 于2008年10月16日公开,优先权追溯至2005年8月31日。(Google 专利)
因此,即便合议组认为 CN102148059A 没有“直接、毫无疑义”地把两个GST分别对应成权利要求中的两种源侧装置,创造性论证也会非常自然:
CN102148059A 提供垂直柱式NAND基本架构;US20080253187A1明确教导在NAND串源侧采用两个串联、分别位于“存储串—内侧选择栅—外侧选择栅—公共源线”的选择器件。
二者属于完全相同的NAND非易失存储器领域,解决的也是源侧选择晶体管导通/截止、泄漏和可靠性问题。这里不存在明显的跨领域拼接,也基本不需要重新设计存储原理,所以“结合启示”较强。
我给这套组合约86%~91%。
CN101971324A 是一个非常干净的三维柱式基础文献。它明确公开柱230、电荷捕获层228和字线形成SONOS存储单元,并在柱两侧形成串联NAND存储单元串。 它还非常明确地公开:源极选择晶体管216把NAND串下端选择性连接到源极线200,而漏极选择晶体管280把上端选择性连接到位线290。 CN101971324A 的公开日是2011年2月9日,明显早于目标优先权日。(Google 专利)
它真正缺少的主要就是“在现有源侧选择晶体管和存储串之间再增加一个独立的串联源侧选择晶体管”。这个区别恰好被 US20080253187A1 极其明确地给出。
因此这是一套非常符合常规创造性三步法的组合:
CN101971324A作为最接近现有技术 → 区别为增加第二个串联source select device → US20080253187A1直接教导该区别并明确给出其技术效果。
它的弱点只在于 US20080253187A1 的实施方式主要是平面NAND,专利权人会主张将平面双选择栅结构移植到三维柱式NAND并非简单替换。但考虑到该区别实际上主要是电路拓扑和选择晶体管串联关系,而不是三维存储单元本身的制造结构,我认为这个抗辩成功概率不高。
CN1519938A 非常适合用来防止对方把 US20080253187A1 说成孤立方案。
它明确公开一个NAND串的存储单元两端分别配置两个位线侧选择晶体管SG11、SG12和两个源线侧选择晶体管SG21、SG22,其中SG22连接公共源线CS。 它还明确解释,两个选择晶体管实质串联,因此可以分担漏源电场并提高截止/穿通性能。 更直接地说,它指出两个栅长为F的串联晶体管能够取得与一个栅长2F晶体管相当的截止特性。
因此,CN101971324A + CN1519938A我大致评价为84%~89%;CN102148059A + CN1519938A则可达到约88%~92%。从提交策略看,CN1519938A非常值得作为中文文献的备用结合证据,但我不会把它放在 US20080253187A1 前面作为第一组合。
这一点对策略很重要。
权利要求2新增的E特征,在四份文献里几乎全部已经明确出现。特别是 CN102148059A 的SST直接位于存储单元与位线之间, CN101971324A 也明确由漏极选择晶体管280把串连接至位线290, 而 US20080253187A1 和 CN1519938A 甚至都公开了两个串联漏极/位线侧选择晶体管。
所以从无效角度看,权2没有因为增加E而形成真正有力的新区别特征。案件最终几乎仍然会集中在权1中的两个源侧器件究竟如何解释。
综合证据强度后,我认为可以这样定级:
| 无效路径 | 成功概率 | 推荐程度 |
|---|---|---|
| CN102148059A单篇 → 权2不具备新颖性 | 82%~88% | 主攻理由 |
| CN102148059A + US20080253187A1 → 不具创造性 | 90%~94% | 最强保险组合 |
| CN102148059A + CN1519938A → 不具创造性 | 88%~92% | 很强中文备份 |
| CN101971324A + US20080253187A1 → 不具创造性 | 86%~91% | 独立第二路线 |
| CN101971324A + CN1519938A → 不具创造性 | 84%~89% | 第二备份 |
| 四份证据并行提出后,权2最终被无效 | 约89%~94%,中心约91% | 高概率 |
因此,我会把CN103782344B权利要求2归入“高无效风险”档,而不是“稳固有效”档。与很多需要三篇以上文献才能勉强拼出的案件不同,这里最大的优势是:CN102148059A自身已经接近完整单篇覆盖,US20080253187A1和CN1519938A又分别把“双源侧串联选择器件”的结构、功能和技术动机公开得非常直接。
如果后续进入正式无效请求书阶段,我认为最佳证据组织方式应当是:**第一无效理由用CN102148059A单独攻击权2新颖性;第二无效理由用CN102148059A + US20080253187A1攻击创造性;第三无效理由再用CN101971324A + US20080253187A1形成一条与第一路线相对独立的备用创造性链。**这样即使合议组对“source gate device”的名称和功能解释采取较窄口径,仍有较强的后备路线。
根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括存储器装置。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
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检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
· 检索对象:权利要求3,即权利要求1的技术特征 A-D,加上技术特征 F“其中所述设备包括存储器装置”。
· 现有技术截止日:公开日严格早于 2011-08-15。检索 URL 均使用 Google Patents 的 before=publication:20110815 条件,并另行核验每篇文献的公开日。
· 最佳单篇文献:CN102148059A(同族英文公开 US20110194357A1)。CN 文献公开日为 2011-08-10,早于截止日 5 天。其图3-7给出与半导体柱113相关联的垂直电荷陷阱 NAND 串;图14明确把图6的同一存储块改为在每一 NAND 串的字线与共源线之间设置两条地选择线;说明书还明确说明向地选择线加高于阈值的电压会形成沟道并把沟道与共源线电连接。图14不是脱离图3-7的另一不相干方案,而是明确称为“图6的存储块”的变型。
· 最佳无效路径:
1. 主张 CN102148059A 单篇破坏新颖性;
2. 备选主张 CN102148059A + US20080253187A1 破坏创造性。后者的权利要求13/16和说明书图2把两个串联源端选择栅、其相对源线的位置及采用双栅抑制 GIDL/漏电的动机写得非常直接,可消解“源极栅极装置”名称解释争议。
· 统一概率评估:权利要求3最终无效成功概率 88%。其中,单篇新颖性路线约 82%;创造性组合路线约 91%。按统一尺度属于“80-89:高度接近且组合明确”。因已达到 75%,本轮不触发补充检索。
重要限定:概率是基于当前检得文本、通常的权利要求解释及无效程序实务作出的案件评估,不是结果保证。最大不确定性不是 F,而是审查者是否把 CN102148059A 中靠近共源线的地选择栅接受为权利要求中的“源极栅极装置”。
本轮依据以下本地文件确认权利要求文字:
· 权利要求3.docx:根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括存储器装置。
· 1000016包含源极栅极的设备及方法_技术特征.docx:A-D、F 的拆分如下。
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标号 |
技术特征 |
|
A |
电荷存储装置串,其与包括半导体材料的柱相关联。 |
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B |
源极栅极装置,其耦合到源极,且经配置以控制所述电荷存储装置串的通道与所述源极之间的导电。 |
|
C |
源极选择装置,其耦合于所述电荷存储装置串与所述源极栅极装置之间。 |
|
D |
所述源极选择装置经配置以控制所述通道与所述源极之间的导电。 |
|
F |
所述设备包括存储器装置。 |
解释上,B、C 分别要求源端串联路径上的两个装置:靠源极的一只可映射为“源极栅极装置”,靠存储串的一只可映射为“源极选择装置”。权利要求没有限定二者的名称、具体材料、环绕角度、独立驱动方式或必须使用不同控制信号;其核心是相对位置与控制导电的功能。
· 精确检索式:(vertical NAND "ground select" "second ground select" pillar)
· Google Patents URL:英文检索结果(公开日前限定)
· 实际页面结果:约 25 个结果。命中 US20110194357A1、US20100315875A1、KR20100089022A 等;其中 US20110194357A1 是 CN102148059A 的英文同族公开,便于精确核对段落号和原始英文。
· 有效放宽式:(NAND 柱 "地选择线" "源极线")
· Google Patents URL:中文检索结果(公开日前限定)
· 实际页面结果:约 10 个结果;命中 CN101681884A 等三维 NAND 文献。高精度式 ("垂直NAND" 柱 "地选择线" "第二地选择线" "共源线") 因中文译词过严返回 0,故采用上式放宽并结合公开号核验 CN102148059A。
· 有效放宽式:(NAND "柱状半導体" "ソース選択")
· Google Patents URL:日文检索结果(公开日前限定)
· 实际页面结果:2 个结果,包含 JP2010225222A、JP2011070730A。高精度式使用“第1/第2グラウンド選択線”未命中,说明日文全文的“接地/ソース選択”译词分散,故以柱状半导体和源选择的概念式扩展。
· 有效放宽式:(수직 NAND "접지 선택 트랜지스터")
· Google Patents URL:韩文检索结果(公开日前限定)
· 实际页面结果:约 104 个结果,直接出现 KR100909968B1、KR20100089022A、KR20110012806A 等。高精度式使用“반도체 필러/제1·제2 접지 선택 라인”因译词过严未命中,故以“垂直 NAND + 地选择晶体管”放宽。
· 四语高精度式共同暴露出同一问题:专利译文在“柱/ピラー/기둥/필러”和“地选择/源选择/グラウンド選択/접지 선택”之间摆动;仅靠同一译词会漏检。
· 本轮没有发现比 CN102148059A 更强的独立单篇公开。英文检索确认了其 US 同族在 2011-08-11 也已公开,并提供规范段落号;韩文检索还出现多篇垂直 NAND/双地选择候选,但其披露没有超过 CN102148059A 图3-7加图14的完整链条,故不作无谓穷举。
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请/国际申请日 |
公开日 |
截止日前? |
角色与强度 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
CN:2011-02-09;US:2011-01-06 |
CN:2011-08-10;US:2011-08-11 |
是 |
最强,近似单篇全特征。CN申请号 CN201110034906.1;US申请号 US12/985,695。 |
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Multiple select gate architecture |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
是 |
B-D、F 极强;A 缺柱。申请号 US12/141,718。作为创造性辅证最合适。 |
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|
具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列 |
2008-03-13 |
PCT:2009-03-12 |
2011-02-09 |
是 |
A 极强;只有一层明确源极选择晶体管,B/C 双装置不完整。CN申请号 CN200980108602.6。 |
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CN1519938A(授权文本 CN1292480C) |
非易失性半导体存储装置及其制造方法和半导体集成电路及系统 |
2003-02-05 |
2003-02-14 |
2004-08-11 |
是 |
多个相邻选择晶体管和存储器/系统披露较强,但为平面结构,A 缺柱;低于 US20080253187A1。 |
说明:优先权日只用于技术谱系核验;作为本案现有技术的关键日期是公开日。上述公开日均由 Google Patents 的 Info/事件时间线复核。
以下段落号取自同族英文公开 US20110194357A1;技术内容与 CN102148059A 对应。中文文本可在 CN 页面图3-7、图14及权利要求10核对。
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特征 |
原始披露位置与附图标号 |
比对结论 |
同一实施例? |
证据强度 |
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A |
[0068]:柱113的表面层114含硅半导体材料;[0076] 的关键原文为“pillars 113 may form NAND strings”;[0077]-[0078] 说明 ONO 中氮化层118为电荷存储/俘获层,柱114为晶体管本体;图3-5。 |
由柱113、邻近绝缘层116和导电线共同形成 NAND 串,电荷俘获层围绕柱沟道,直接对应“与包括半导体材料的柱相关联的电荷存储装置串”。 |
是,图3-5的同一结构。 |
强 |
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B |
[0107]:图14在图6的同一 NAND 串中、字线 WL1-WL6 与共源线 CSL 之间设置“two ground select lines”;[0108]-[0109] 明确区分靠共源线的 GSL12/GSL13;[0092]-[0093]、[0096] 说明对 GSL 加高于阈值的电压形成沟道,并使 CSL 与沟道电连接。图6、图7、图14、图15。 |
将靠 CSL 的远端地选择晶体管/栅作为“源极栅极装置”:它与共源线相邻、耦合并控制柱沟道至源极的导电。结构和功能均满足,仅名称不同。 |
是;[0107] 明称图14是图6存储块的变型。 |
中强至强(唯一争议为术语映射) |
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C |
[0107]-[0108]:两条 GSL 均位于字线与 CSL 之间;[0108] 进一步称一条邻近 CSL,另一条邻近 WL1-WL6。 |
邻近字线/存储串的 GSL22/GSL23 位于电荷存储串与靠 CSL 的 GSL12/GSL13 之间,直接对应源极选择装置的相对位置。 |
是,图14/15同一串。 |
强 |
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D |
[0092]-[0093]、[0096]:GSL 电压高于 GST 阈值即形成沟道,并使该沟道与 CSL 电连接;[0108] 还分别对两级 GSL 施加电压。 |
邻近字线的第二级 GSL 同样是地选择晶体管,按明确披露的 GST 工作机理控制串通道与源极的导通/截止。 |
是;同一器件类型和图14串联路径。 |
强(功能对同类 GST 的适用存在轻微“通用说明”争议) |
|
F |
[0058] 图1明确是非易失性存储器件100;CN102148059A 权利要求10以“一种非易失性存储器件”起首,并包括存储单元阵列、驱动器和读写电路。 |
直接披露设备包括存储器装置;F 基本没有独立区分力。 |
是,图1器件包含图3-17的存储块。 |
强 |
该比对不是把互不相关的实施例拼凑起来:
3. [0064]-[0065] 的图2存储阵列指向图3的具体存储块;
4. [0076]-[0081] 的图3-5定义柱113、半导体沟道、ONO电荷俘获层及垂直 NAND 串;
5. [0084]-[0085] 的图6明确是图3-5存储块的等效电路,串连接在位线与共源线之间;
6. [0091]-[0096] 的图7给出同一串的 GST 导电控制机理;
7. [0107] 明确把图14称为“图6的存储块”的实施方式,并只把源端修改为两条 GSL;因此图14继承图3-7的柱/电荷存储串结构;
8. [0108]-[0110] 明确两条 GSL 的相对位置和偏压,完成 B-D。
因此,CN102148059A 单篇新颖性攻击具有可诉性,而不是依赖跨文献组合。
|
特征 |
原始披露位置 |
比对结论 |
同一实施例? |
证据强度 |
|
A |
[0023]-[0024]、图2披露 NAND 非易失性单元串和电荷存储层,但未披露与半导体柱相关联。 |
仅覆盖“电荷存储装置串”,缺“柱”。 |
是 |
弱/缺口 |
|
B |
[0023]-[0024]:源端有串联的选择栅210、211,选择栅211的源极连接共源线216;权利要求13/16。 |
外侧选择栅211直接对应耦合源线的源极栅极装置。 |
是,图2。 |
强 |
|
C |
[0024]:选择栅210连接第一浮栅晶体管,选择栅211串联在其外侧;权利要求13/16明确第二选择栅位于第一选择栅与源线之间。 |
以外侧211为源极栅极、内侧210为源极选择装置时,内侧210明确位于串与211之间。 |
是 |
强 |
|
D |
[0028]、[0034]:双选择栅用于改善关断、穿通和 GIDL;[0023]-[0024]给出串联导电路径。 |
两只 FET 选择栅按控制信号导通/截止该路径,直接支持控制串沟道与源线之间导电。 |
是 |
强 |
|
F |
权利要求13、16均以“a memory device”起首;图8/9还给出含存储器装置的系统/模块。 |
直接披露存储器装置。 |
是 |
强 |
该文献还给出清楚的技术动机:[0028] 说明每端增加一个选择栅,可在缩短单栅沟道、减小阵列占地的同时保持或改善关断和漏电保护;[0034] 进一步说明双栅间中间电位降低 GIDL。这与 CN102148059A [0108]-[0109] 使用两条地选择线降低 GIDL 的目的高度一致。
|
特征 |
证据与判断 |
|
A |
摘要及说明书图2A-2C、图4:单个导电柱230作为两串存储单元450的共同沟道,电荷俘获层229位于柱与控制栅之间;A 很强。 |
|
B |
图2A的源极选择晶体管216把柱下端选择性连接到源线200,可满足一个控制源端导电的装置。 |
|
C |
未见在同一串源端再设置与216串联的第二独立选择/源栅装置;不能让216同时承担 B 和 C 两个装置。 |
|
D |
源极选择晶体管216的选择性连接功能满足一个装置的导电控制,但不能补足两个装置。 |
|
F |
文献标题、摘要和权利要求均为存储器阵列,满足 F。 |
证据定位:Google Patents 摘要;说明书对应图2A的源极选择栅部分201、图2C/图4;页面中源极选择晶体管216及源线200的说明。总体:A/F强,B-D仅部分;不是优于 CN102148059A 的单篇文献。
|
特征 |
证据与判断 |
|
A |
权利要求披露具有电荷存储层的存储单元串,但为列方向平面阵列,未披露与半导体柱相关联;缺口。 |
|
B-C |
权利要求1、5/6、11/12披露在存储单元排列一端相邻设置多个第一选择晶体管,可支持串联多选择装置的一般思想;但不如 US20080253187A1 对“源线—外侧栅—内侧栅—存储串”的位置写得直接。 |
|
D |
多个选择晶体管选择存储单元排列,功能相关但针对权利要求3的柱通道至源极导电不够直接。 |
|
F |
标题及权利要求均为非易失性半导体存储装置/集成电路/系统;强。 |
证据定位:CN1292480C(CN1519938A的授权文本)权利要求1、5-12、25、27-38;公开事件确认 CN1519938A 于 2004-08-11 公开。总体:可作历史背景或辅助动机,不如 US20080253187A1。
9. A 与 F 为明确文字披露:图3-5的柱113/电荷俘获层118/垂直 NAND 串,以及图1和权利要求10的非易失性存储器件。
10. 图14把每一垂直 NAND 串的源端明确配置为两条串联 GSL,且交代一条靠共源线、一条靠字线。
11. 按权利要求功能解释:外侧 GSL 是耦合到源极并控制沟道—源极导电的“源极栅极装置”;内侧 GSL 位于存储串和外侧 GSL 之间,是“源极选择装置”。
12. GST 形成沟道并连接 CSL 的工作机理在 [0092]-[0096] 直接披露;对相同类型的两级 GST 无需另行创造性推演。
13. 图14通过图6回接图3-5,避免“跨实施例拼接”攻击。
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抗辩 |
风险 |
回应 |
|
“ground select gate”不是权利要求中的“source gate device”。 |
中 |
权利要求没有名称或结构限定,而是以“耦合到源极、控制通道与源极之间导电”定义;外侧 GSL 与 CSL 的位置和功能逐项满足。专利自身还把 apparatus 广义定义为电路、装置或系统,不能用实施例名称收窄权利要求。 |
|
CN102的 CSL 是掺杂区/共源线,不是目标专利的“源极”。 |
低至中 |
“源极”是上位概念;CN102明确把掺杂区311-314称为 CSL,并说明 GST 沟道与 CSL 电连接。权利要求没有限定源极必须为阱、独立电极或特定几何结构。 |
|
图14只是电路图,没有再次画柱。 |
低 |
[0107] 明称图14是图6存储块的实施方式;图6又明确是图3-5结构的等效电路。这是说明书自身的引用链,不是无效请求人事后拼接。 |
|
[0092]-[0096]仅描述单 GST,未逐字对两个 GST 都重复。 |
中低 |
两级均被明确称为 ground select lines/transistors,且图14/15分别偏置两级;相同 FET 的导通机理是直接适用的明确通用说明,至少足以支持创造性攻击。 |
|
F“设备包括存储器装置”要求更上位设备中另含一个存储器子装置。 |
低 |
权利要求3依附“设备”,通常“设备包括存储器装置”覆盖该设备为/含非易失性存储器件;CN102的图1、权利要求10及存储系统实施例均同时覆盖器件与含该器件的系统。 |
· CN102148059A 单篇破坏新颖性:82%。
· 未评为 90-95 的唯一原因,是 B 的“源极栅极装置”与文献“靠 CSL 的地选择栅”存在术语解释空间,而不是实质结构缺口。
最接近现有技术:CN102148059A。
区别(仅在最保守解释下):如果审查者认为 CN102 的外侧 GSL 名称上不等于“源极栅极装置”,则区别仅是把源端两级选择 FET 中靠源线的一只表述为源极栅极装置、靠串的一只表述为源极选择装置。
US20080253187A1 的启示:
· [0023]-[0024] 和图2明确给出内侧源选择栅210、外侧源选择栅211及共源线216的串联顺序;
· 权利要求13/16把该位置关系写成外侧第二选择栅介于第一选择栅与源线之间;反向阅读即内侧第一栅位于存储串与外侧栅之间;
· [0028]、[0034]明确给出通过双栅改善关断、穿通和 GIDL,同时减小占地的动机。
组合动机:两篇均属 NAND 非易失性存储器、均处理源端选择栅的漏电/GIDL和通道隔离问题;CN102 [0108]-[0109] 本身已在垂直 NAND 中用两条 GSL 降低 GIDL,US20080253187A1只是提供同一源端双栅架构的更直接名称、顺序和通用设计理由。技术人员有明确动机采用,且效果可预期。
技术相容性:二者的源端都是串联 FET 选择器件;把 US20080253187A1 的双选择栅功能命名/控制原则用于 CN102 的垂直柱通道,不改变 CN102 的柱、ONO电荷存储层、位线或共源线基本结构。更重要的是,CN102已经实际画出两条 GSL,因此组合不需要把平面工艺硬搬到垂直结构,只需用 US 文献解释该已存在结构的常规功能。
创造性无效概率:91%。
· CN101971324A 提供单柱230共享的电荷俘获 NAND 串、源线200及源极选择晶体管216,覆盖 A、F 和源端选择基础结构;
· US20080253187A1提供在源端使用两个串联选择栅的明确结构、位置及 GIDL/占地动机;
· 将 CN101971324A 的单个源选择晶体管替换/扩展为两个串联选择 FET,得到 B-D。
该组合存在“从平面双栅移植到特殊双侧柱结构”的工艺适配抗辩,故低于首选组合,但仍可诉。概率:80%。
CN1519938A可证明在 NAND 串一端设置多个相邻选择晶体管早在 2004 年即为公开设计,但其相对源线位置和柱结构不如 US20080253187A1清楚。本组合仅作常识/历史辅助,不应取代首选组合。概率:83%。
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评价项目 |
结论 |
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单篇全特征程度 |
CN102148059A 对 A、C、D、F明确;B为结构/功能明确但名称可争。 |
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最强新颖性路径 |
CN102148059A 单篇,82%。 |
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最强创造性路径 |
CN102148059A + US20080253187A1,91%。 |
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日期稳定性 |
两篇公开日均严格早于2011-08-15;CN102的时间裕度只有5天,应在正式无效请求中附官方公开文本/著录项目证据。 |
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综合无效成功概率 |
88%。 |
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是否进入第2轮补充检索 |
否,已超过75%门槛。 |
正式提交时建议把图3/4/5、图6、图7、图14/15连续编排为证据页,并在特征表中用同一颜色标出:柱113及主体114、存储单元MC/电荷俘获层118、内侧GSL22/GSL23、外侧GSL12/GSL13、CSL。这样可以直观看出图14对图3-7结构的继承以及两个源端栅的顺序,减少术语争议。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim3\round1.md
结论先行
围绕 CN103782344B 的技术特征 F——“其中所述设备包括存储器装置”——我对 Google Patents 进行了多轮中文关键词、结构关键词、同族/引用链及垂直 NAND 相关文献的交叉检索,并严格按公开日早于 2011-08-15筛选。
结论非常明确:技术特征 F 本身已经被大量在先中文专利直接公开。
我对“技术特征 F 被认定为已由在先技术公开”的概率评估为:
约 99%,合理区间 97%–99.5%。
其中最值得作为 F 的直接证据使用的是:
首选:CN101483194A
次选:CN101800224A
第三:CN101911297A
第四:CN101971324A
尤其是 CN101483194A 几乎具有“文字级”对应:其明确记载**“半导体器件包括半导体存储器器件”**,同时还公开垂直沟道、电荷俘获层、存储器单元串、上下选择晶体管、位线等结构,因此不是仅仅在泛化意义上公开“存储器”,而是在与目标专利十分接近的 NAND 技术语境下公开。其中文 A 文献于 2009-07-15 公开,明显早于截止日。
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一、先确定技术特征 F 的实际保护含义
CN103782344B 的权利要求1要求一种包括电荷存储装置串、源极栅极装置和源极选择装置的设备;权利要求3进一步限定:
“根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括存储器装置。”
Google Patents 中权利要求3的文字即如此。
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+1
值得注意的是,目标专利自己的说明书明确说明:
电荷存储装置阵列可以用作 NAND 存储器装置中的存储器单元阵列;
“设备”可指“电路、装置或系统”;
单个 NAND 存储器装置可以包括多个电荷存储装置串。
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因此,从目标专利自身的使用方式看,F 更接近于一种设备用途/类型限定——该设备属于或构成存储器装置,而不是要求在权利要求1的 NAND 结构之外,再机械地增加一个与该 NAND 结构完全分离的第二“存储器装置”。
这也是为什么早期的“非易失性存储器装置”“NAND存储器装置”“半导体存储器器件”文献对 F 具有非常直接的证明力。
二、检索到的高价值中文专利
排名 中文专利文献 中文公开日 对技术特征 F 的公开 与 CN103782344B 技术语境重合度 对 F 的评价
1 CN101483194A《垂直型非易失性存储器器件及其制造方法》 2009-07-15 明确记载“半导体器件包括半导体存储器器件”;另一个实施例为“包括非易失性半导体存储器器件” 垂直沟道、电荷俘获层、上选择晶体管、下选择晶体管、存储器单元串、位线 A++,最强文字证据
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2 CN101800224A《包括垂直NAND沟道的非易失性存储器装置》 2010-08-11 题名、摘要和独立权利要求均直接限定为“非易失性存储器装置”“垂直NAND存储器装置” 垂直 NAND 沟道、存储串、电荷存储层、上下选择栅极、位线 A++,技术场景最直接
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3 CN101911297A《半导体构造、NAND单位单元……》 2010-12-08 明确“存储器装置为电子系统提供数据存储”;实施例为“集成电路快闪存储器装置502,例如NAND存储器装置” NAND串、电荷陷获晶体管、源极选择装置、漏极选择装置、共用源极线、垂直立柱 A++
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+1
4 CN101971324A《具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列》 2011-02-09 明确说明“存储器装置通常提供作为……内部半导体集成电路”,并具体公开 NAND 快闪存储器装置 单个导电柱、存储器单元串、电荷捕获、垂直 NAND 串,与目标非常接近 A+
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5 CN101681884A《三维NAND存储器及其制造方法》 2010-03-24 明确公开“单片的三维存储器器件阵列,例如垂直NAND单列阵列” 三维/垂直 NAND、柱、电荷俘获型存储单元、源/漏选择结构 A+
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+1
6 CN101419835A《具有三维堆叠结构的闪速存储器设备以及驱动其的方法》 2009-04-29 题名、摘要和说明书直接公开“闪速存储器设备”“非易失性闪速存储器设备” NAND 串、串选择晶体管、接地选择晶体管、公共源极线、3D 堆叠 A
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+1
7 CN101461011A《NAND架构存储器装置及操作》 2009-06-17 文献直接以“NAND架构存储器装置”为主题,并明确存储器装置100、存储器阵列104 NAND串、电荷存储/浮栅、选择栅极、位线;但三维柱结构关联较弱 A,F文字公开很强
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8 CN1906700A《包含多个串联选择装置的NAND存储阵列及其操作方法》 2007-01-31 属于半导体集成电路 NAND 存储阵列,明确为三维存储阵列 NAND串、电荷存储介电层、多个串联选择装置、三维存储阵列 A−/A
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+1
三、三篇最重要文献的详细比对
1. CN101483194A——F 的最佳“文字型”证据
这篇文献的价值尤其高。
其 A 文献在 2009年7月15日已经公开。
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说明书明确公开:
“半导体器件包括半导体存储器器件。”
同时还公开了:
单晶半导体材料的垂直沟道;
电荷俘获层;
最上部栅极为上选择晶体管;
最下部栅极为下选择晶体管;
中间栅极对应存储器单元晶体管;
共串存储器单元晶体管通过垂直沟道串联耦接;
垂直沟道上部连接形成位线;
最后明确“该半导体器件包括半导体存储器器件”。
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与 F:
目标:设备包括存储器装置
相比,
CN101483194A:半导体器件包括半导体存储器器件
两者之间几乎不存在实质技术差异。
就 F 单独而言,我认为这是本轮中文检索中最稳的直接证据。
2. CN101800224A——F + 垂直 NAND 技术背景的最佳证据之一
CN101800224A 于 2010年8月11日公开。
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其题名就是:
“包括垂直NAND沟道的非易失性存储器装置”。
摘要进一步明确,所公开的就是:
非易失性存储器装置,包括多个垂直 NAND 沟道,并耦合到上选择栅极线或者下选择栅极线。
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其说明书还特别定义:
包括有源区、隧道绝缘层、电荷存储层、阻挡绝缘层和控制栅极导电层的构造被称作“存储串”或“串”。
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权利要求1直接要求:
“一种非易失性存储器装置……包括多个……垂直NAND沟道……”
权利要求25则要求:
“一种垂直NAND存储器装置……”
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因此,如果专利权人试图辩称目标专利权利要求3因为加入“存储器装置”这一用途/类别限定而具有额外区别,CN101800224A 会构成非常直接的反证。
3. CN101911297A——与 NAND 串结构结合得非常好
该文献于 2010年12月8日公开。
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它首先明确指出:
“存储器装置为电子系统提供数据存储。”
然后明确:
快闪存储器具有电荷存储材料;
NAND 是快闪存储器基本架构;
NAND 单元包括至少一个选择装置串联耦合到 NAND 串;
存储系统包含“集成电路快闪存储器装置502,例如NAND存储器装置”;
NAND 串中的电荷陷获晶体管位于源极选择装置与漏极选择装置之间;
进一步公开相对于衬底垂直延伸的 NAND 单元。
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因此,这篇文献不仅能够证明 F,而且可以与目标专利其他 NAND 串特征一起使用,证据价值明显高于单纯“某电子设备包括存储器”的泛化文献。
四、技术特征 F 单独比对表
F 的含义拆解 CN101483194A CN101800224A CN101911297A CN101971324A CN101681884A
存在“设备/器件/装置” 是 是 是 是 是
该设备属于/包括存储器装置 明确直接公开:“半导体器件包括半导体存储器器件” 明确:“非易失性存储器装置” 明确:“快闪存储器装置502,例如NAND存储器装置” 明确:NAND快闪存储器装置 明确:三维存储器器件阵列
NAND 技术背景 是 是 是 是 是
存储装置串/串联存储单元 是 是 是 是 是
电荷存储/电荷陷阱结构 是 是 是 是 是
垂直沟道/柱相关 是 是 是 是,单个导电柱 是
选择装置/选择栅极 是 是 源极+漏极选择装置 是 是
对 F 的公开结论 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开
上述对应分别有 Google Patents 原文支持。
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五、为什么 F 的公开概率如此高
这里最重要的是区分“F 本身”与“权利要求3整体”。
CN103782344B 的权利要求3并没有给“存储器装置”加入特别的电路组成、封装关系、控制关系或特殊存储机制,只是在权利要求1的基础上限定该设备包括存储器装置。
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而截止 2011-08-15 之前:
**第一层证据已经足够:**CN101483194A 直接出现近乎逐字的“半导体器件包括半导体存储器器件”。
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**第二层证据更强:**CN101800224A 不只是普通存储器,而是直接公开“包括垂直 NAND 沟道的非易失性存储器装置”,其权利要求本身就在保护该类装置。
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**第三层证据进一步消除语境争议:**CN101911297A、CN101971324A、CN101681884A 均在垂直 NAND、存储器串、电荷存储以及选择器件这一高度相近的技术环境下把有关结构作为“存储器装置”或“存储器器件”公开。
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因此,F 并不是目标专利相对于现有技术真正有技术含量的区别点。
六、概率评估
我的客观评估如下:
评估事项 概率/评价
至少一篇 2011-08-15 前中文文献直接公开 F >99%
将“存储器装置/存储器器件/非易失性存储器装置”认定对应目标 F 约99%
在与目标相近的垂直 NAND/电荷存储串语境下公开 F 约98–99%
专利权人通过狭义解释 F 成功建立实质区别的可能性 很低,约1–3%
综合:F 被成功认定为现有技术已公开 约99%
我没有给到 100%,主要保留两个理论上的争议空间:一是专利权人可能试图把“设备包括存储器装置”狭义解释为必须存在一个额外、独立的“存储器装置”子部件;二是正式无效程序中最终仍需结合完整权利要求及选定证据的整体公开内容进行判断。
但这一抗辩在 CN101483194A 面前明显较弱,因为该文献本身就使用了:
“半导体器件包括半导体存储器器件”
这种与 F 几乎同构的表达。
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七、最终推荐
如果只是为了证明技术特征 F,我建议证据优先级为:
CN101483194A > CN101800224A ≈ CN101911297A > CN101971324A > CN101681884A > CN101419835A > CN101461011A > CN1906700A。
其中:
CN101483194A最适合解决“F 的文字对应”问题;
CN101800224A最适合证明“垂直 NAND 结构本来就是存储器装置”;
CN101911297A最适合把 F 与“电荷存储 NAND 串 + 源/漏选择装置 + 垂直结构”结合起来;
CN101971324A则尤其适合作为“单个导电柱 + 存储器单元串 + NAND存储器装置”的补强证据。
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最终判断:F 不应被视为 CN103782344B 的有效区别性技术特征。单独针对 F,现有中文专利证据已经非常充分,成功公开概率约 99%。
需要特别强调的是:这并不等同于“权利要求3整体有99%的无效概率”。权利要求3引用权利要求1,因此真正决定权利要求3无效强度的,仍然是权利要求1中更具体的“源极栅极装置 + 源极选择装置 + 二者串接位置及导电控制关系”能否被同一对比文件或具有充分结合启示的组合覆盖。F 本身基本不会成为权利要求3维持有效的主要障碍。
经对 Google Patents 的韩文专利进行多轮检索,并分别从“메모리 장치/비휘발성 메모리 소자”“3차원/수직채널/수직 필라”“NAND string+source/common source”“memory system includes memory device”等方向交叉检索,我认为:
技术特征 F:“其中所述设备包括存储器装置”在 2011-08-15 之前已经被韩文专利充分、直接且反复公开。
仅就技术特征 F 本身而言,成功认定其已被现有技术公开的概率约为 98%–99%。
最有价值的韩文文献不是一般意义上的“计算机带存储器”,而是与 CN103782344B 同属 NAND/3D NAND/垂直沟道技术领域,并明确将相应结构称为“memory device”的文献。
一、先明确技术特征 F 的含义
CN103782344B 的权利要求3明确为:
“根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括存储器装置 / The apparatus of claim 1, wherein the apparatus comprises a memory device.”
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而目标专利说明书进一步明确:“apparatus”可以指电路、装置或系统;其电荷存储装置阵列可作为 NAND memory device 的存储单元阵列,且单个 NAND memory device 可以包含多个串。
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因此,F 可以从两个角度被直接公开:
权利要求1所述 NAND/电荷存储结构本身被现有技术明确称为“memory device”;
更大的 apparatus/system 明确“includes a memory device”。
本次检索在这两个方向上都找到了截止日前的明确文献。
二、最重要的韩文对比文件
优先级 韩文专利 公开日 与F相关的关键公开 与目标技术接近度 F公开评价
D1 KR20090074431A《멀티-플레인 구조의 3차원 메모리 장치》 2009-07-07 明确公开“3D memory device”;其包含 NAND strings,多个 NAND strings 共享 common source line;更关键的是其 memory system 明确包括 CPU、SRAM、memory controller及3D memory device 极高 直接、完整
D2 KR20110042526A《3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자…》 2011-04-27 明确属于“3D nonvolatile memory device”,包括下部选择晶体管、堆叠存储单元、上部选择晶体管、common source line 极高 直接
D3 KR20090128776A《수직형 필라를 활성영역으로 사용하는 3차원 메모리 장치…》 2009-12-16 标题及摘要直接称为“3D memory device using vertical pillar”;包括垂直 active pillars,并用 lower select line 控制 pillar 与 source region 的电连接 极高 直接
D4 KR20100074543A《수직채널형 비휘발성 메모리 소자…》 2010-07-02 明确为 vertical-channel nonvolatile memory device;包括垂直沟道、沿沟道堆叠的存储单元形成 string、下部选择晶体管及源极线 极高 直接
D5 KR20090072406A《3차원 메모리 장치 및 그것의 프로그램 방법》 2009-07-02 明确为 3D memory device;公开多个 string、bit line、第一/第二选择晶体管以及 common source line 很高 直接
D6 KR20110034068A《Nonvolatile Memory Device, Nonvolatile Memory System Having Same》 2011-04-05 明确记载“nonvolatile memory system includes a nonvolatile memory device and a memory controller”;memory device 包含 NAND string、string select transistor、ground select transistor 高 对“包括关系”最直接
D7 KR20090106869A《3D memory device and its driving method》 2009-10-12 明确为 3D memory device,包含多个 memory arrays,并明确按 NAND flash array 实施 很高 直接
D8 KR20100104908A《3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자…》 2010-09-29 明确为 three-dimensional nonvolatile memory device;包含贯穿堆叠绝缘层/导电层的 semiconductor pillar 和 floating gates 很高 直接
D9 KR20100093348A《비휘발성 메모리 장치 및 그 제조 방법》 2010-08-25 摘要直接公开“3D structured nonvolatile memory device”,包括3D排列栅极、半导体图形和 charge storage film 高 直接
D10 KR20090061344A《매트 구조를 가지는 반도체 메모리 장치》 2009-06-16 明确为 semiconductor memory device;内部具有 NAND strings、string select transistor、ground select transistor,GST source 接 common source line 高 直接
D11 KR20090119178A《비휘발성 메모리 소자의 동작 방법》 2009-11-19 明确记载 NAND-type nonvolatile memory device,包括 NAND string、string select transistor、ground select transistor及串联 memory transistors 中高 直接
下面是其中几篇最值得作为无效证据使用的具体依据。
1. KR20090074431A——F 的最佳“字面包括关系”证据之一
该文献公开日为 2009-07-07,远早于 2011-08-15。
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其权利要求/正文明确将包含第一、第二 NAND string、bit line、page buffer 等结构的对象称为“3차원 메모리 장치 / three-dimensional memory device”,并明确 NAND strings 共享 common source line。
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+1
尤其重要的是,其图13实施例直接写明:
memory system 10 includes CPU、SRAM、memory controller 16 and 3D memory device 18。
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这几乎是对 F 中:
apparatus/system comprises a memory device
的逐字级对应。
因此,即使专利权人试图抗辩“设备包括存储器装置”要求一个更大的设备包含独立的存储器装置,KR20090074431A 仍然能够直接回答这一抗辩。
F公开强度:★★★★★
2. KR20110042526A——技术结构最接近的证据之一
其韩国公开文本 KR20110042526A 的公开日为 2011-04-27。
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文献明确把对象称为:
“3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자”
即三维结构的非易失性存储器装置。
而且其结构包括:
平板型 lower select line;
lower select transistor;
堆叠于其上的多个 memory cells;
upper select transistor;
line-shaped common source line。
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进一步明确 lower select transistor 与 common source line 的关系,并公开利用 lower select line 接通/断开源侧通道。
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因此它不仅能够证明 F,而且与 CN103782344B 所处的“3D/垂直存储单元串+源侧选择器件”技术背景高度接近。
F公开强度:★★★★★
3. KR20090128776A——“垂直柱+存储器装置”对应特别强
公开日 2009-12-16。
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摘要直接公开:
3D memory device using vertical pillar as active region;
semiconductor substrate;
从 well region 垂直延伸的 active pillars;
lower select line;
lower select line 控制 active pillar 与 source region 之间的电连接。
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目标专利权利要求1同样围绕“与 semiconductor-material pillar 相关联的 charge-storage-device string”展开。
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所以这篇文献对于论证“此类垂直柱/存储单元串结构本身就是 memory device”非常有力。
F公开强度:★★★★★
4. KR20100074543A——“vertical channel+string+memory device”
公开日 2010-07-02。
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该文献直接定义为“수직채널형 비휘발성 메모리 소자 / vertical-channel nonvolatile memory device”,并公开:
从 substrate 垂直突出的 channels;
沿 channel 堆叠的多个 memory cells;
多个 memory cells 形成 string;
下部选择晶体管;
source line;
至少两个 strings 可共享一个 channel。
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这篇文献对于 F 没有实质解释空间,而且与目标专利的 pillar/string 技术语境非常接近。
F公开强度:★★★★★
5. KR20090072406A——3D memory device+string+source select
公开日 2009-07-02。
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文献将相应结构直接称为“3D memory device”,并公开每个 string 包含:
第一选择晶体管,连接 bit line 与 string channel;
第二选择晶体管,连接 string channel 与相应 common source line。
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其实施例还明确 3D memory device 包括多个层的 memory arrays,并以 NAND flash array 为具体实施方式。
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因此 F 显然被直接公开。
F公开强度:★★★★★
6. KR20110034068A——对“apparatus includes memory device”的文字对应最明确
公开日 2011-04-05。
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正文直接记载:
“비휘발성 메모리 시스템은 비휘발성 메모리 장치 및 … 메모리 컨트롤러를 포함한다.”
即:
nonvolatile memory system includes a nonvolatile memory device and a memory controller。
同时,该 memory device 又包括 memory cell array,而 memory cell array 包含位于 string select transistor 与 ground select transistor 之间的 NAND string。
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所以如果对 F 做最狭义解释,即必须证明:
一个“设备/系统”内部存在一个“存储器装置”
该文献仍然是非常干净的直接公开。
F公开强度:★★★★★
三、其他高价值补强文献
KR20090106869A 公开日为 2009-10-12,明确公开 3D memory device,并具体说明 device 包含第一、第二 memory array、row decoder、well driver 和 page buffer,其 memory array 可具体为 NAND flash array。
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+1
KR20100104908A 于 2010-09-29 公开;其主题就是 3D nonvolatile memory device,明确包括贯穿交替堆叠绝缘膜/导电膜的 semiconductor pillar,以及 pillar 与导电膜之间的 floating gates。
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+1
KR20100093348A 于 2010-08-25 公开,摘要直接称其为“3차원 구조의 비휘발성 메모리 장치”,并公开三维排列的 gate electrodes、semiconductor patterns 和 charge storage film。
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+1
KR20090061344A 于 2009-06-16 公开,属于 semiconductor memory device;其 memory mats 明确包括 NAND strings,且 string select transistor、ground select transistor 和 common source line 的连接关系被具体公开。
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+1
KR20090119178A 于 2009-11-19 公开,明确把具有 NAND string、string-select transistor 和 ground-select transistor 的对象称为 NAND-type nonvolatile memory device。
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+1
四、技术特征 F 比对表
CN103782344B 技术特征F KR20090074431A KR20110042526A KR20090128776A KR20100074543A KR20110034068A
“所述设备……” 3D memory device;另有包含该 device 的 memory system 3D nonvolatile memory device 3D memory device vertical-channel nonvolatile memory device nonvolatile memory system
“…包括……” memory system includes 3D memory device 该3D器件本身明确为 memory device 该垂直柱结构本身明确为 memory device 垂直沟道/string整体明确为 memory device system includes nonvolatile memory device
“…存储器装置” 3차원 메모리 장치 비휘발성 메모리 소자 3차원 메모리 장치 비휘발성 메모리 소자 비휘발성 메모리 장치
与 NAND/string 结合 是,NAND strings+common source 是,stacked cells+lower/upper select 是,vertical pillar+source-side lower select 是,vertical channel+strings 是,NAND string+select transistors
是否在2011-08-15前公开 是 是 是 是 是
F是否直接公开 是 是 是 是 是
证据强度 极强 极强 极强 极强 极强
五、客观评估
对于技术特征 F 单独而言,我认为已经没有明显的现有技术检索缺口。
成功证明 F 已被公开的概率:约 98%–99%。
原因有三点。第一,不是只有一篇文献泛泛提到“memory”,而是多篇截止日前韩文专利直接把相关 NAND/3D NAND/vertical-channel 结构称为 memory device。
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+2
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+2
第二,如果把 F 狭义解释为“大设备内部还必须包含一个存储器装置”,KR20090074431A 和 KR20110034068A 又明确公开了 memory system includes memory device 的包含关系。
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+1
第三,目标专利自身已经规定 apparatus 可以是 circuit、device 或 system,并明确其 string 可以属于 NAND memory device,这会进一步削弱专利权人将 F 解释成特殊结构限制的空间。
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最优选择
如果是为了后续正式无效理由,我建议对 F 的证据优先级为:
KR20090074431A——最优。既有“memory system includes 3D memory device”的字面包含关系,又有 3D NAND strings+common source line,兼顾文字对应和技术相关性。
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+1
KR20110042526A——结构接近度非常高,适合与目标权利要求1的源侧结构一起论证。
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+1
KR20090128776A——“vertical pillar+3D memory device+source-side lower select”对应非常强。
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KR20100074543A——“vertical channel+strings+memory device”,作为另一独立技术路线补强。
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KR20110034068A——用于专门封堵“必须是系统包含独立 memory device”这一潜在抗辩。
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需要特别区分的是:以上 98%–99% 是针对“技术特征 F 是否已经公开”的判断,并不是权利要求3整体无效成功率。 权利要求3依附于权利要求1,因此若主张新颖性,仍需看同一文献是否同时公开权利要求1全部技术特征;若主张创造性,则可以把此前权利要求1的最接近现有技术与上述 F 文献结合。就 F 本身来看,它已经属于非常弱、几乎没有独立专利性贡献的限定。
经过多轮 Google Patents 交叉检索,我的结论是:技术特征 F 本身几乎没有形成有效专利性区分,其在 2011 年 8 月 15 日之前的日文专利中已经被大量、直接公开。 尤其是 2007—2011 年东芝 BiCS/三维 NAND 系列文献,不仅公开“存储器装置”,而且与 CN103782344B 的“柱状半导体+电荷存储层+memory string+选择器件”技术语境高度重合。
CN103782344B 的 F 实际对应权利要求3:“根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括存储器装置”。目标专利说明书还说明,其电荷存储装置阵列可以作为 NAND 存储器装置的存储器单元阵列使用。
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+1
一、检索结论
我分别围绕日文表达“記憶装置”“半導体記憶装置”“不揮発性半導体記憶装置”“不揮発性半導体メモリ”“フラッシュメモリ”,以及与目标结构关联的“メモリストリング”“柱状半導体”“電荷蓄積層”“ソース側選択トランジスタ”“BiCS”“三次元積層”等进行了反复组合检索,并进一步沿相关 Toshiba/BiCS 专利族和引用链回溯。
最终至少筛出以下 8 篇高价值日文公开专利,全部满足“公开日早于 2011-08-15”。
优先级 日文专利文献 公开日 对技术特征 F 的公开情况 与目标结构接近度 F公开判断
D1 JP2007266143A《不揮発性半導体記憶装置及びその製造方法》 2007-10-11 明确将整体定义为“不挥发性半导体存储装置”;同时公开多个 memory strings、柱状半导体、电荷存储层 极高 直接公开
D2 JP2010199314A《Non-volatile semiconductor memory device…》 2010-09-09 明确为不挥发性半导体存储装置;公开 memory string、柱状部、电荷存储层、source-side select transistor 极高 直接公开
D3 JP2010118580A《Non-volatile semiconductor memory device》 2010-05-27 明确“不揮発性半導体記憶装置100”,具有多个 memory strings 和选择晶体管 极高 直接公开
D4 JP2009266944A《Three-dimensional stacked nonvolatile semiconductor memory》 2009-11-12 明确“三维层叠非易失性半导体存储器”,并明确 BiCS-NAND、半导体柱及选择栅结构 极高 直接公开
D5 JP2010192569A《Nonvolatile semiconductor memory device…》 2010-09-02 明确为一括加工型三维层叠“不挥发性半导体存储装置”,包含 silicon pillar、charge storage 极高 直接公开
D6 JP2010102755A《3次元積層型不揮発性半導体メモリ》 2010-05-06 文献主体直接就是三维层叠非易失性半导体存储器,并明确 BiCS-NAND 极高 直接公开
D7 JP2011060838A《Nonvolatile semiconductor memory device…》 2011-03-24 明确为不挥发性半导体存储装置,包含三维 memory region、U形半导体层及 charge storage layer 高 直接公开
D8 JP2011014182A《Nonvolatile semiconductor memory device》 2011-01-20 明确为不挥发性半导体存储装置;memory cell string 两端经选择晶体管连接 bit/source line,并具有 charge-storage layer 高 直接公开
下面是其中最值得用于无效程序的证据。
1. JP2007266143A——我认为是针对 F 最值得优先保留的日文文献
公开日为 2007年10月11日,远早于截止日。Google Patents 显示其申请人为 Toshiba。
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其摘要不是泛泛提到“memory”,而是直接规定:
整体是“不揮発性半導体記憶装置”;
包含多个由可电重写存储单元串联形成的 memory strings;
memory string 包括柱状半导体;
柱状半导体外围设置绝缘膜、电荷存储层及电极。
这些内容与 CN103782344B 权利要求1中的“与半导体材料柱相关联的电荷存储装置串”已经高度接近。
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因此它不是单纯为了补 F 的“普通存储器”文献,而是在与目标发明极为接近的三维 NAND 技术语境中明确公开 F。
F单项公开概率:约 99.5%–99.9%。
2. JP2010199314A——技术结构非常接近
公开日 2010年9月9日。
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该文献摘要明确说明其对象为“不揮発性半導体記憶装置”,并进一步公开:
memory string MS;
U形半导体层及一对柱状部;
tunnel insulating layer;
charge storage layer;
word-line conductive layers;
source-side select transistor SSTr。
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因此对于 F,不存在仅靠推导的问题——文献明确告诉本领域技术人员该结构就是一个非易失性半导体存储装置。
F单项公开概率:约 99.5%–99.9%。
3. JP2010118580A——直接定义为存储器装置
公开日 2010年5月27日。
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摘要明确写到“不揮発性半導体記憶装置100”,并进一步公开多个 memory strings,以及连接 memory string 的选择晶体管和柱状半导体层、电荷存储层。
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这意味着 F 中“设备包括存储器装置”至少从功能和装置类别上已经被明确公开。
F单项公开概率:约 99.5%。
4. JP2009266944A——BiCS-NAND 证据价值很高
公开日 2009年11月12日。该文献明确涉及“三次元積層不揮発性半導体メモリ”,并直接讨论 BiCS-NAND flash memory。
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更重要的是,其结构中具有:
memory cell array;
多个 semiconductor pillars;
select gate lines;
由 word line 与 semiconductor pillar 形成的 memory cells;
通过绝缘膜中的电荷存储数据。
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所以 F 不仅被公开,而且公开环境与 CN103782344B 的三维 NAND 电荷存储串非常接近。
F单项公开概率:约 99.5%–99.9%。
5. JP2010192569A——三维层叠存储装置直接公开
公开日 2010年9月2日。
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文献明确说其目的在于提供“一括加工型3次元積層構造の不揮発性半導体記憶装置”,并说明通过 silicon pillar 与 charge-storage layer 之间的电荷交换记录信息。
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其说明书甚至将 JP2007266143A 作为相关三维层叠存储技术引用,说明这是一条连续、成熟的技术发展链。
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F单项公开概率:约 99.5%。
6. JP2010102755A——直接以三维 NAND 存储器为对象
公开日 2010年5月6日。
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其名称本身即为“三次元積層型不揮発性半導体メモリ”,说明书明确讨论 BiCS memory 和 BiCS-NAND flash memory,还描述了垂直半导体柱、charge storage layer 和三维 memory cell array。
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F单项公开概率:约 99.5%–99.9%。
7. JP2011060838A
该文献公开日为 2011年3月24日。
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其摘要和说明书直接把装置称为“不揮発性半導体記憶装置”,并公开三维 memory region、U形半导体层以及 charge-storage layer。
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F单项公开概率:约 99%。
8. JP2011014182A
公开日 2011年1月20日。文献名称和说明书均明确属于“不挥发性半导体存储装置”,还公开 memory cell string、charge storage layer,以及 memory string 两端经选择晶体管连接 bit line/source line。
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虽然是较典型的 MONOS/NAND 结构、与目标三维结构的接近程度低于 D1—D6,但对于单独证明 F 已经绰绰有余。
F单项公开概率:约 99%。
二、技术特征 F 比对表
F的组成 CN103782344B JP2007266143A JP2010199314A JP2010118580A JP2009266944A JP2010192569A
存在“设备/装置” 是 是 是 是 是 是
该设备属于/包括存储器装置 “设备包括存储器装置” 不挥发性半导体存储装置 不挥发性半导体存储装置 不挥发性半导体存储装置100 三维层叠非易失性半导体存储器 三维层叠非易失性半导体存储装置
memory string 是 是 是 是 NAND列/存储单元阵列 三维存储结构
柱状半导体 是 明确 明确 明确 明确 明确
charge-storage结构 是 明确 明确 明确 明确 明确
与三维NAND技术语境一致 是 极高 极高 极高 极高 极高
对F的公开方式 — 直接 直接 直接 直接 直接
F公开强度 — 极强 极强 极强 极强 极强
三、关于“包括存储器装置”的一个解释风险
需要客观指出一个很小的权利要求解释问题。
F 的中文表述是:
“所述设备包括存储器装置。”
而上述很多日文文献的表述属于“该装置就是不挥发性半导体存储装置”。
如果权利人极端狭义地主张,“包括存储器装置”必须理解成“一个更大的 apparatus 内部另设一个独立 memory device”,可能试图区分“apparatus itself is a memory device”。
但这种抗辩的说服力预计较弱。原因在于目标专利自身说明书已经说明电荷存储装置阵列可作为 NAND memory device 中的 memory-cell array,并且“apparatus”可以指 circuit、device 或 system;权利要求3恰恰将权利要求1的 apparatus 限定到 memory-device 实施形态。
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+1
因此,在目标专利自身语境下,把“不挥发性半导体存储装置”理解为满足 F,具有很强依据。
四、哪些文献最值得真正放入无效组合
如果目的不仅是证明 F,而是服务于 CN103782344B 从属权利要求3的整体无效,我建议优先顺序为:
第一梯队:JP2007266143A > JP2010199314A > JP2010118580A > JP2009266944A
原因不是它们更容易证明“memory device”——实际上所有上述文献都很容易证明——而是它们还同时涉及 3D NAND / memory string / semiconductor pillar / charge-storage layer / select transistor,与权利要求1的基础技术特征存在更大的重合度。
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+3
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+3
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+3
其中我尤其建议把 JP2007266143A 作为日文检索结果中的核心基础文献保留:它早在 2007年10月11日 即明确公开“多个 memory strings+柱状半导体+电荷存储层”的不挥发性半导体存储装置。
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+1
五、客观概率评估
综合本轮反复检索结果,我对 技术特征 F 单独被现有技术成功公开 的评估为:
约 99%–99.8%,属于“几乎确定已经公开”的级别。
进一步细分:
“2011-08-15 前是否存在日文专利公开 memory device”:>99.9%;
“是否存在与 CN103782344B 同属 NAND/非易失存储技术的文献”:>99.5%;
“是否存在同时公开三维结构、柱状半导体、电荷存储层/memory string 的日文文献”:>99%;
“在无效程序中,F 本身还能否形成有意义的区别特征”:我评估仅约 1%–3% 的可能性。
需要区分的是:F 被公开 ≠ 权利要求3自动被无效。 权利要求3从属于权利要求1,因此真正决定权利要求3能否被无效的核心仍然是:现有技术组合能否把权利要求1中的“源极栅极装置+位于 memory string 与源极栅极装置之间的独立源极选择装置”等基础限定完整覆盖。F 本身基本不会成为无效中的障碍。
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因此,本轮日文检索可以基本结束对 F 的继续扩展;进一步投入检索资源的价值已经很低。最合理的下一步是把检索力量集中到权利要求1中真正有区分度的源侧双器件/串联控制结构。
经多轮检索并对公开日、权利要求原文、说明书实施例以及与目标专利技术语境的接近程度进行交叉核对后,技术特征 F「其中所述设备包括存储器装置」在 2011-08-15 之前已经被大量英文专利文献直接、明确公开。这不是只能依赖“隐含公开”才能成立的特征;至少数篇文献直接在权利要求中使用 “A memory device, comprising …”,并把 NAND 串、选择栅、源极线等结构明确作为该 memory device 的组成部分。综合判断,F 被认定为现有技术已公开的概率约 99%。
一、先确定技术特征 F 的准确含义
CN103782344B 的权利要求3为:
“The apparatus of claim 1, wherein the apparatus comprises a memory device.”
即:权利要求1的设备进一步限定为存储器装置。目标说明书同时明确,所述电荷存储装置阵列可作为 NAND memory device 的存储单元阵列,“apparatus”可以指 circuit、device 或 system,而且一个 NAND memory device 可以包含多个所述串。
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+1
因此,对 F 最有价值的现有技术不是普通计算机“包含一块存储器”,而是:
将 NAND 串、存储单元阵列、源/漏选择结构本身明确表述为 memory device / flash memory device / NAND memory device。
二、检索到的高价值英文对比文件
排名 英文专利文献 公开日 与 F 对应的核心公开 F公开程度 对无效价值
1 US20080253187A1 – Multiple select gate architecture 2008-10-16 权利要求13、16直接以 “A memory device, comprising” 开头,memory device 包括非易失性存储单元阵列及至少一串串联存储单元;进一步明确第一、第二 source-side select gate 串联,其中第二选择栅位于第一选择栅和 source line 之间。
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直接、逐字级公开 ★★★★★
2 US20070047312A1 – Operation of multiple select gate architecture 2007-03-01 权利要求19、23明确记载 “A memory device, comprising”;其中 memory device 包含非易失性存储单元阵列、NAND strings 和 series-coupled select gates,并明确第二 source select gate 位于第一 source select gate 与 source line 之间。
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+1
直接明确公开 ★★★★★
3 US20060261404A1 – Vertical NROM NAND flash memory array 2006-11-23 明确公开 NROM NAND architecture Flash memory device;权利要求23的 memory device 包括具有多个 pillars 的垂直 NAND memory array、NAND strings、bit line/source line 及选择栅;说明书图7还明确称 “memory device includes an array of vertical NROM Flash memory cells”。
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直接明确公开 ★★★★★
4 US20050133851A1 – Vertical NAND flash memory array 2005-06-23 权利要求11直接为 “A NAND architecture Flash memory device”,其内部包含 vertical NAND memory array、pillars、多个 NAND strings;权利要求12-13进一步公开 bit line、source line 和 select transistor。
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+1
直接明确公开 ★★★★★
5 US20100214839A1 – NAND flash memory string apparatus and methods of operation thereof 2010-08-26 发明定义直接说明涉及 integrated circuits including non-volatile memory;NAND array 中设置 first/second source selection transistors,说明书明确描述制造 “a memory device according to one embodiment”。
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+1
直接明确公开 ★★★★★
6 US20110024816A1 – Flash memory device having vertical channel structure 2011-02-03 明确公开 vertical NAND flash memory device,包括 pillar-shaped vertical channel、memory cell string、多个 memory cells、string selection transistor、ground/source-side selection transistor以及 common source line。
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直接明确公开 ★★★★★
7 US20050259468A1 – Select lines for NAND memory devices 2005-11-24 说明书明确称 “integrated circuit flash memory device 102, e.g., a NAND memory device”,并说明其包含 flash memory-cell array。
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直接明确公开 ★★★★☆
8 US20090180324A1 – Semiconductor Constructions, NAND Unit Cells... 2009-07-16 图19明确公开 memory device 802,其具有 memory-cell array,并明确该 memory device 可以包括 flash memory,且至少部分配置为 NAND。
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直接公开 ★★★★☆
9 US20070140012A1 – NAND architecture memory devices and operation 2007-06-21 权利要求30直接以 “A memory device, comprising” 开头;memory device 包含 non-volatile memory-cell array,单元按串联 strings 组织,并具有 select gates;说明书也直接公开 non-volatile memory device。
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直接明确公开 ★★★★☆
10 US20050128807A1 – NAND memory array incorporating multiple series selection devices... 2005-06-16 明确将 NAND strings、multiple series selection devices 实现于 integrated circuit memory array 中,并说明 integrated circuit memory array 是单片集成电路结构。
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实质/结构性公开 ★★★☆☆
全部上述文献的公开时间均早于 2011-08-15。
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三、最强的几篇文献为什么特别重要
1. US20080253187A1——我认为是 F 的第一优先文献
这篇文献并非只是说某个系统“带有存储器”,而是在独立权利要求13中直接定义:
“A memory device, comprising:”
随后限定:
non-volatile memory-cell array;
memory-cell string;
source line;
第一 select gate;
第二 select gate 串联于第一 select gate与 source line 之间。
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也就是说,从 F 的角度,它实际上形成了:
NAND串/选择装置结构 → 本身就是 memory device
这与 CN103782344B 权利要求3增加的“apparatus comprises a memory device”在法律比对上非常直接。
F 单独公开把握:约 99.5%。
2. US20070047312A1——同样属于非常强的直接公开
该文献权利要求23同样直接使用:
“A memory device, comprising:”
并紧接着限定 non-volatile memory-cell array、strings、series-coupled select gates、source line,甚至明确存在第二 source select gate。
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+1
另外,其权利要求47进一步公开 electronic system 中包含一个或多个 memory device,而所述 memory device 正是具有这些 NAND strings/select gates 的装置。
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因此不存在把普通系统 RAM 强行解释成 F 的问题。
F 单独公开把握:约 99.5%。
3. US20060261404A1——对本案尤其有程序和技术价值
它公开于 2006-11-23,而且恰恰是 vertical NROM NAND flash memory array。
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权利要求23明确:
NROM NAND architecture Flash memory device;
vertical memory array;
substrate pillars;
NAND architecture memory strings;
control circuit;
bit line;
source line;
select gates。
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说明书还直接说:
memory device 700 includes an array of vertical NROM Flash memory cells 730。
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尤其值得注意的是,CN103782344B 在 Google Patents 的引用表中本身就列出了 US20060261404A1,同时还列出了 US20090180324A1 和 US20090230454A1。
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所以如果后续不是只攻击 F,而是准备权利要求1+3的完整无效组合,US20060261404A1 应当保留在核心证据池中。
4. US20050133851A1——“vertical pillar + NAND memory device”非常干净
权利要求11明确写:
“A NAND architecture Flash memory device, comprising:”
并随即限定:
vertical floating-gate NAND array;
substrate 上的 plurality of pillars;
floating-gate memory cells;
NAND architecture memory strings。
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后续权利要求进一步给出 bitline、source line 和两端 select transistor。
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因此如果希望选择一篇与 CN103782344B “柱状通道/NAND string”背景尽可能一致的文件,它比一般平面 NAND memory 文献更有价值。
F 单独公开把握:约 99.5%。
四、特征 F 专项比对表
CN103782344B 技术特征 F US20080253187A1 US20070047312A1 US20060261404A1 US20050133851A1 US20100214839A1 US20110024816A1
所述设备 memory device memory device NROM NAND Flash memory device NAND Flash memory device non-volatile NAND memory integrated circuit/device vertical NAND flash memory device
包括/构成为存储器装置 明确 明确 明确 明确 明确 明确
包括存储单元阵列 是 是 是 是 是 是
包括 NAND/string 结构 是 是 是 是 是 是
与源侧选择结构处于同一 memory device 是 是 是 是 是 是
是否必须依赖“隐含公开” 否 否 否 否 基本不需要 否
F评价 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开
其中 US20080253187A1 的权利要求甚至将“memory device”与串联 source-side select gates 放在同一独立权利要求中,因此是本次专项检索中最干净的对应。
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五、为什么 F 很难成为有效区别特征
目标专利自己对该限定的解释非常宽:其电荷存储阵列可以用作 NAND memory device 的 memory-cell array,而且单个 NAND memory device 可以包含多个所述串。
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而在目标优先权日前多年,英文专利已经反复采用如下写法:
“A memory device, comprising … NAND string …”;
“A NAND architecture Flash memory device …”;
“integrated circuit flash memory device, e.g., a NAND memory device …”;
“NROM NAND architecture Flash memory device …”。
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因此 F 并没有为底层 NAND 结构增加一个实质性的特殊部件,而主要是将权利要求1的 NAND/charge-storage apparatus 在装置层级上限定为 memory device。
六、客观概率评估
我建议把“成功公开概率”和“整个权利要求3无效概率”分开:
评价事项 概率判断 原因
技术特征 F 被至少一篇截止日前英文专利直接公开 >99% 已找到多篇独立文献直接使用 “memory device”
F 被认定为明确而非隐含公开 约99% US20080253187A1、US20070047312A1、US20060261404A1、US20050133851A1均有非常明确文本
F 能作为区别于现有技术的有效创新点 <2% 在 NAND memory 专利中属于极成熟、普遍的装置层级限定
F 成为权利要求3无效时的主要障碍 约1–3% 真正困难仍在权利要求1所附加的 source-gate/source-select 空间及功能关系,而不是 F
最终判断
技术特征 F:「其中所述设备包括存储器装置」被成功公开的概率,我给出约 99%。
并且这还是相对保守的评价。原因不是“memory device”这一术语本身非常常见,而是我们已经找到多篇在与目标专利相同的 NAND string、source line、select gate、vertical/pillar memory 技术语境中直接把该结构定义为 memory device 的专利。
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建议的证据优先顺序
针对 F 单独比对,我建议:
D1:US20080253187A1
第一选择。独立权利要求直接为 memory device,并且 source-side 双选择栅结构与本案技术语境高度一致。
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D2:US20070047312A1
第二选择。同样在权利要求层面明确 memory device + NAND strings + source select gates。
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D3:US20060261404A1
第三选择,但如果考虑与权利要求1合并攻击,价值可能反而最高:它既是 vertical NAND/NROM memory device,又具有 pillar/string/select-gate 架构,而且出现在目标专利自身的引用文献表中。
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+1
D4:US20050133851A1
vertical pillar NAND 的重要备用文件,其权利要求直接限定 NAND architecture Flash memory device。
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所以,**后续针对 CN103782344B 权利要求3进行完整无效时,没有必要再为 F 专门投入大量检索资源;检索重点应转向“权利要求1全部特征 + F”能否由一篇文件整体覆盖,或者找到最自然的两篇组合。**F 本身基本已经检索饱和。
已按“技术特征原文确认 → Internet Archive/Wayback 精确词检索 → NAND/flash/memory device 同义扩展 → 技术手册/服务手册反查 → 文献日期与 Archive 入库日期分别核验 → 排除公开时间存在风险的材料”进行了多轮检索。
一、结论
对技术特征 F:
F:其中所述设备包括存储器装置。
我的结论是:该技术特征在 2011-08-15 之前被现有技术公开的概率极高,约为 98%~99%。从技术贡献角度看,F 基本不具备独立的区别作用。
目标专利 CN103782344B 中,F 实际对应权利要求3,其英文为 “The apparatus of claim 1, wherein the apparatus comprises a memory device.”;说明书进一步解释,memory device 1020 可以包括权利要求相关的 memory-cell blocks 和 semiconductor constructions。因此,F 的合理理解不是“设备里随便存在某个无关存储器”,而是权利要求1所述 NAND/电荷存储结构作为存储器装置或构成存储器装置的一部分。
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+1
本轮 Internet Archive 检索中,最值得使用的是 Micron TN-29-19《NAND Flash 101》。该文献不仅在目标日前多年已经形成,而且能够找到指向原 Micron PDF 的 2007-11-30 Wayback 快照记录;因此,与后来才上传到 Archive.org 的服务手册相比,它在“目标日前已经能够为公众获得”这一证据问题上明显更强。
MDPI
+1
二、检索到的高价值文献及特征比对
对比文献 目标日前日期情况 与技术特征F相关的公开 对F的评价 作为正式无效证据的价值
D1:Micron TN-29-19, NAND Flash 101: An Introduction to NAND Flash and How to Design It Into Your Next Product Rev. A 为 2006年11月;能够检索到同一 Micron 原始 PDF URL 的 Wayback 2007-11-30 快照,显著早于 2011-08-15。
OpenCourses UoC
+1
文献反复把 NAND 称为 “NAND Flash device”,讨论 NAND Flash 作为非易失性存储器用于嵌入式系统;技术资料还明确讨论 NAND Flash device 的结构、接口和存储用途。
Terpconnect
+1
明确公开/至少必然公开 F。一个被明确称为 NAND Flash device、用于非易失性数据存储的装置,本质就是 memory device。 ★★★★★ 首选。本轮 IA 检索中公开时间证据最稳。
D2:Sharp LC-40/46/52LE820E 等 Service Manual 手册自身明确标记 Copyright © 2010、Mar. 2010,早于截止日。
Internet Archive
Main Unit 的 IC8401 被明确记载为 “512MB NAND flash memory”,用于存储电视系统软件数据。
Internet Archive
直接公开“设备包含 NAND 存储器”,对 F 属于非常明确的文字公开。 技术相关性 ★★★★★;但 Archive.org 页面显示该项目到 2016-09-18 才入库,因此若作为正式无效证据,需要另外证明该手册在2010年前后已经公开传播。
Internet Archive
D3:Sharp LC-19/22/26/32/37/42LE320 Service Manual / HY27US(08/16)281A NAND资料 手册标明 Copyright © 2010。
Internet Archive
不仅公开 NAND memory,而且明确称其具有 1024 blocks,每页包含两个由16个串联 Flash cells 构成的 NAND structures;随后又直接使用 “NAND Flash memory device”。
Internet Archive
对 F 是明确公开;而且相较一般“设备有存储器”,它还公开了“串联 Flash cells → NAND structure → NAND Flash memory device”的逻辑链,对目标专利的 NAND 串语境更有价值。 技术内容★★★★★,公开时间证据★★★。Archive 项目本身是2016年才上传,应补强目标日前公众可获得性。
Internet Archive
D4:LG GX200 Service Manual / Samsung K5D12571CA MCP Archive 中的文件名为 GX200_service_manual_20091210-1,对应2009年资料;但整个 LG manuals Archive 集合是2013年后加入。
Internet Archive
+1
明确记载 “Multi Chip Package Memory which combines 512Mbit NAND Flash Memory and 256Mbit Mobile SDRAM”,并说明该 NAND device 用于 large nonvolatile storage applications。
Internet Archive
对 F 属于直接且明确的技术公开:设备存在具体的 NAND Flash Memory 模块。 技术相关性 ★★★★☆;但仅凭当前 IA 页面不足以证明2009年已向公众公开,因此建议作为旁证而非第一证据。
D5:LG-P970 Service Manual, Issue 1.0 文档首页明确写明 April 2011 / Issue 1.0,在截止日前。
Internet Archive
明确说明 LGP970 使用 1Gb NAND / 512Mb LPDDR1 MCP,并使用 2GB eMMC NAND memory,随后进一步说明 “DDR SDRAM and NAND Flash merged [in] 1 package”。
Internet Archive
从技术内容看,F完全公开。 不建议作为主要证据:文档明确标注 “Internal Use Only”“Only for training and service purposes”,目标日前是否属于公众可获得的现有技术存在明显争议。
Internet Archive
+1
三、其中最重要的是 D1 和 D3
D1:Micron TN-29-19
D1 对 F 最有价值的地方,不仅是用了 “NAND Flash” 一词。
2006版技术资料明确围绕 NAND Flash 作为非易失性存储展开,并将其称为 NAND Flash devices;Micron 技术资料中的结构比较还直接讨论 NAND Flash device、NAND Flash string、存储密度以及嵌入式应用。
OpenCourses UoC
+1
更重要的是,检索到了保存该 Micron 原始 PDF 地址的 2007-11-30 Wayback 快照时间戳。这使得它与“文献标称2009/2010、但2013/2016才上传 Archive.org”的服务手册存在本质区别:D1 的 Internet Archive 时间证据本身就在目标日之前。
MDPI
因此,如果只是证明:
claimed apparatus comprises/is a memory device
D1 已经是相当有力的非专利文献。
D3:Sharp/Hynix 文献的技术贴合度甚至更高
D3 中非常值得注意的是这一连续公开:
memory → NAND structures → 16 series-connected Flash cells → NAND Flash memory device
也就是说,它并不是简单说“电视中安装了一块存储器”,而是明确介绍一个具体 NAND 芯片内部存在两个由16个串联 Flash cells 构成的 NAND structures,并明确将整体称作 NAND Flash memory device。
Internet Archive
这与 CN103782344B 权利要求1中的“charge storage device string”在技术语境上明显比普通 RAM、硬盘或者 USB 存储器更接近。目标专利权利要求1本身就是电荷存储装置串及其选择/源极栅极结构,权利要求3只是在此基础上增加“apparatus comprises a memory device”。
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因此,如果能够找到该 Hynix 数据手册自身的2011-08-15之前 Wayback 快照或厂商公开记录,其价值会明显高于单纯的电视服务手册。
四、为什么 F 本身很难形成有效区别
目标专利自己的实施方式已经把这层关系写得很清楚:memory device 1020 可以包括前面所描述的 memory-cell blocks,以及 semiconductor constructions 200、500、800。也就是说,权利要求3本质上是在权利要求1的半导体 NAND/电荷存储结构外面增加一个“这是/属于一个 memory device”的用途或类别限定。
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而早在2006年前后的 NAND 技术资料中,“NAND Flash device”“NAND Flash memory”“nonvolatile memory”已经是成熟且普遍使用的技术概念;2006年的公开文章也明确把 NAND flash memory 作为存储方案,并讨论 NAND device 和 NAND string。
EDN
+1
尤其 D3 直接把串联 Flash cells 的 NAND structure 称为 NAND Flash memory device,因此在解释 F 时几乎不存在技术上的跨越。
Internet Archive
五、客观概率评估
我建议将概率分成两个不同问题,否则容易把“F被公开”和“权利要求3整体被无效”混在一起。
第一,仅评价技术特征 F 本身:成功证明其在2011-08-15前已经公开的概率,我评估为约 98%~99%。
理由是 D1 已存在2007年的 Wayback 时间证据,而且 NAND Flash device 作为 memory device 在技术上几乎没有解释空间;D2、D3、D4 又形成大量独立的交叉印证。
Internet Archive
+3
MDPI
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Internet Archive
+3
第二,若要求“用本轮 Internet Archive 文献单篇直接使权利要求3丧失新颖性”,概率不能按98%计算。 因为权利要求3从属于权利要求1,单篇文献还需要同时覆盖权利要求1中的柱状半导体材料、电荷存储装置串、源极栅极装置、位于串与源极栅极装置之间的源极选择装置及其控制导电关系等限定。本轮任务只针对 F,并没有重新评价每篇 IA 文献是否同时覆盖权1全部结构。权利要求1的具体限定可以直接从目标专利权利要求文本确认。
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因此,F 几乎肯定不能成为权利要求3维持有效的关键区别特征。真正决定权利要求3能否被无效的,仍然是此前检索中的权利要求1核心结构,尤其是“vertical/semiconductor pillar NAND + source-side two controlled devices/source gate + source select”的组合是否能够被同一篇文件或具有明确结合启示的文件组覆盖。
六、本轮检索后的证据排序
综合“技术匹配度+2011-08-15之前公众可获得性的证明难度”,我给出的排序是:
D1 Micron TN-29-19 > D3 Sharp/Hynix NAND资料 > D2 Sharp LE820E > D4 LG GX200 > D5 LG-P970。
其中,实际提交无效证据时优先锁定 D1。D3 则非常值得继续沿着具体芯片 HY27US08281A / HY27US16281A 反向追踪原始 Hynix 数据手册的 Wayback 快照,因为独立数据表资料显示该系列的技术资料至少已经存在 Rev. 0.6 / Nov. 2005,并同样明确记载 NAND cells、两个16个串联 Flash cells 构成的 NAND structures 以及 “NAND Flash memory device”。
AllDatasheet
最终评估:技术特征 F 被成功公开——极高概率,约 98%~99%;F 本身作为 CN103782344B 从属权利要求中的有效区别点,抗无效能力很弱。 当前检索结果已经足以说明其属于成熟 NAND memory device 的常规属性;后续若继续投入检索资源,价值最大的方向不是再寻找更多泛泛的 “memory device” 文献,而是把 D3 的 Hynix 芯片资料与此前已经检索到的、能够覆盖权利要求1核心源侧双选择结构的文献进行交叉匹配。
Internet Archive
+1
经过多轮以 memory device / flash memory device / NAND flash / non-volatile memory / storage device / flash memory cells / floating gate 等关键词交叉检索 arXiv,并逐篇核对 arXiv 的首次提交日期,我认为:技术特征 F 在 2011年8月15日以前已经被大量文献直接或高度明确地公开。
先给结论:仅针对技术特征 F“其中所述设备包括存储器装置”,我评估被现有技术成功公开的概率约为 98%,属于“极高”级别。 但这个 98% 仅评价 F 本身,不能等同于“权利要求3整体被无效的概率”,因为权利要求3还继承权利要求1的全部结构限定。
一、先确认技术特征 F 的实际含义
CN103782344B 的权利要求3为:
“根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括存储器装置。”
英文对应为 “The apparatus of claim 1, wherein the apparatus comprises a memory device.”
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更重要的是,目标专利自己的说明书明确说明:
电荷存储装置阵列可作为存储器装置、例如 NAND 存储器装置中的存储单元阵列;
单个 NAND 存储器装置可包含多个串;
半导体存储器装置具有电荷存储晶体管阵列。
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因此,F 并不是一种具体的新型晶体管结构,而主要是把权利要求1的设备进一步限定为存储器装置/位于存储器装置之中。从无效检索角度看,这是一个非常宽的类别性限定。
二、检索到的高价值 arXiv 文献
排名 arXiv文献 首次公开日 截止日前? 与F相关的公开 对F贡献
D1 Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories, arXiv:0911.3992 2009-11-20 是 明确将 Flash memory 定义为非易失计算机存储器,由存储单元块构成;进一步明确存储单元采用 NAND 或 NOR floating gate,并专门讨论 NAND flash memory 极强
D2 Codes in Permutations and Error Correction for Rank Modulation, arXiv:0908.4094 2009-08-27 是 摘要直接使用 “flash memory devices”,即明确把 flash memory 表述为“存储器装置” 极强
D3 Page-Differential Logging... Storing Data into Flash Memory, arXiv:1001.3720 2010-01-21 是 明确称 Flash memory 被广泛作为轻量计算设备中的二级存储器,对于“设备包括存储器”的包含关系尤其直接 极强
D4 Atomistic Simulations of Flash Memory Materials Based on Chalcogenide Glasses, arXiv:1103.6051 2011-03-30 是 摘要明确写到用于 flash memory devices 的两类材料 极强
D5 Multidimensional Flash Codes, arXiv:0901.0702 2009-01-06 是 明确将 Flash memory 定义为由 blocks of cells 构成的非易失计算机存储器 强
D6 uFLIP: Understanding Flash IO Patterns, arXiv:0909.1780 2009-09-09 是 多次明确称 flash devices,并实际测试11种 flash devices 强
D7 Phase change memory technology, arXiv:1001.1164 2010-01-07 是 明确公开非易失固态存储技术、集成大型存储阵列、PCM cells 和 PCM devices 强
D8 Gate-controlled non-volatile graphene-ferroelectric memory, arXiv:0904.1326 2009-04-08 是 摘要直接称其演示了一种 non-volatile memory device 强,但技术路线较远
D9 From stochastic single atomic switch to nanoscale resistive memory device, arXiv:1006.5402 2010-06-28 是 标题直接使用 resistive memory device;摘要称相关器件属于下一代非易失计算机存储元件 强,但非NAND
D10 Carbon Based Resistive Memory, arXiv:0901.4439 2009-01-28 是 明确讨论高密度 non-volatile memories 及其存储材料和多级编程 中强
D11 The E8 Lattice and Error Correction in Multi-Level Flash Memory, arXiv:1009.5764 2010-09-29 是 明确讨论 flash memory cells,并以每单元多比特存储进行评价 中强
D12 Trajectory Codes for Flash Memory, arXiv:1012.5430 2010-12-24 是 明确讨论 flash-cell 电荷状态、存储介质以及 flash memories 中强
D13 An organic nanoparticle transistor behaving as a biological synapse, arXiv:0907.2540 2009-07-15 是 明确演示一种“nanoparticle organic memory field-effect transistor”器件 中强
其中 D1 明确说明 Flash memory 是由存储单元块构成的非易失计算机存储器,而且每个单元可以采用 NAND 或 NOR floating gate,并指出 NAND flash 是主要的闪存类型。其首次 arXiv 提交日期为 2009年11月20日。
arXiv
+1
D2 的价值在于文字特别干净:2009年8月27日已经直接使用 “flash memory devices” 这一概念,其全部版本最晚也在 2010年10月完成,远早于截止日。
arXiv
D3 则从另一角度形成非常有力的公开:2010年1月21日已经明确说 Flash memory 广泛作为轻量计算设备中的二级存储器。如果对方试图把 F 狭义解释成“一个更大的设备内部包含存储器装置”,D3 尤其有价值。
arXiv
D4 首次提交于 2011年3月30日,距离目标截止日还有约四个半月,其摘要直接使用 “materials for flash memory devices”,因此对于“flash memory 是一种 memory device”几乎不存在术语上的争议。
arXiv
D5 在 2009年1月即明确把 flash memory 表述为由多个存储单元块组成的非易失计算机存储器,并讨论电子数量所对应的多级存储状态。
arXiv
D6 首次提交于 2009年9月9日,全文语境直接讨论“flash devices”,甚至实际测量11种 flash devices,因此“flash 属于设备级存储装置”并非纯粹理论推断。
arXiv
D7 是器件/材料方向非常好的补强文献。2010年1月即公开 PCM 是一种非易失固态存储技术,并讨论大型集成阵列、memory cells 以及 PCM devices。虽然不是 NAND,但对于 F 这种宽泛的“存储器装置”限定具有直接贡献。
arXiv
D8 更直接地在摘要中称其演示了一个 non-volatile memory device;首次提交日期为 2009年4月8日。不足仅在于其采用 graphene-FET/ferroelectric gating,与目标专利 NAND 电荷存储技术路线较远。
arXiv
D9 的标题本身就是“...nanoscale resistive memory device”,首次提交于2010年6月28日,且截止日前已有多个版本;摘要同时明确把相关器件定位为非易失计算机存储元件。
arXiv
D10 在2009年1月已经研究用于高密度非易失存储器的电阻存储材料以及多级编程。它对“memory device”类别的贡献明确,但与 NAND 的技术关联低于 D1、D2。
arXiv
D11 和 D12 分别在2010年9月和12月明确讨论 flash memory cells、电荷状态及 flash memories,也可作为证明截止日前“flash memory/存储装置”属于成熟常规技术概念的补强证据。
arXiv
+1
三、最值得保留的前三篇
如果目标只是为 F 建立尽可能稳固的证据链,我建议优先顺序为:
第一:arXiv:0911.3992 — Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories
它最大的优势不是出现“memory”一词,而是同时建立:
Flash memory → non-volatile computer memory → blocks/cells → NAND/NOR floating gate → NAND flash memory
这一链条与 CN103782344B 自身“电荷存储装置阵列→NAND memory device”的描述高度呼应。目标专利自己也说明存储阵列可作为 NAND 存储器装置中的存储单元阵列。
arXiv
+1
第二:arXiv:0908.4094 — Codes in Permutations and Error Correction for Rank Modulation
优势是有非常直接的术语 flash memory devices。如果争议只是“现有技术有没有明确把这种东西称为存储器装置”,该文献几乎不存在语义障碍。
arXiv
第三:arXiv:1001.3720 — Page-Differential Logging
优势是公开另一种可能的权利要求解释:不仅 flash 本身属于 memory,而且 Flash memory 位于 computing devices 中并作为其二级存储器。所以即使“设备包括存储器装置”被解释为一种严格的部件包含关系,该文献仍然非常有利。
arXiv
四、技术特征逐项比对
技术特征 F 的解释要素 CN103782344B D1:0911.3992 D2:0908.4094 D3:1001.3720 D4:1103.6051
存在“设备/apparatus” 是 至少存在具体 Flash memory 系统/存储结构 明确 flash memory devices 明确 computing devices 明确 flash memory devices
包括/属于 memory 是 明确非易失计算机存储器 明确 memory device 设备中使用 Flash memory 明确 memory device
与非易失存储技术相关 是 是 是 是 是
与 Flash 技术相关 NAND 是 是 是 是
与 NAND 直接相关 是 明确 NAND/NOR floating gate、NAND flash Flash,摘要未进一步限定 NAND Flash,摘要未进一步限定 NAND Flash,未限定传统 NAND
包含存储单元/阵列语境 是 blocks/cells 间接 间接 存储材料/器件
对 F 的直接公开程度 — 极高 极高 极高 极高
D1 尤其值得注意,因为目标专利背景也明确承认半导体存储器装置具有电荷存储晶体管阵列,并明确说单个 NAND memory device 可以包含多个电荷存储装置串。
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因此将“具有电荷存储单元/串的 NAND flash”认定为一个 memory device,在技术语义上基本没有实质障碍。
五、客观概率评估
我建议把概率分成三个层次,否则容易把“F公开”和“整个权利要求无效”混在一起。
1. 技术事实层面:F 是否已被公开
约 98%–99%,中心值 98%。
原因是存在多个彼此独立的截止日前文献,分别明确出现:
flash memory devices;
arXiv
NAND flash memory、floating-gate cells;
arXiv
computing devices 中使用 flash memory;
arXiv
flash memory devices。
arXiv
这不是依赖一个隐含推理,而是有多条独立证据链。
2. 无效程序中,对方主张“这些文献没有公开 F”能否成立
我估计其成功抗辩空间只有约 2%–5%。
可能的争议主要不是“memory 是否存在”,而是语言解释:对方可能主张“apparatus comprises a memory device”必须是权利要求1所限定的那个具体 apparatus 本身被证明包含在 memory device 中,不能仅凭一篇文献泛泛提及 flash memory device。
但这种抗辩对 D1+D2 的组合并不强,因为 D1直接描述 NAND flash 的存储单元结构,而 D2明确将 flash 称为 memory device;同时目标专利自己的说明书也把电荷存储装置阵列和串明确放在 NAND memory device 语境中。
arXiv
+2
arXiv
+2
3. 权利要求3整体无效概率
本轮不能据此给出 98%。
因为权利要求3是“权利要求1 + F”,权利要求1还要求柱、电荷存储装置串、源极栅极装置、源极选择装置及其特定耦合和导电控制关系。
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所以本轮 arXiv 检索可以得出的准确结论是:
F 基本已经被打穿;权利要求3最终能否无效,瓶颈不会在 F,而会集中于权利要求1的核心源侧双控制结构。
六、最终结论
综合多轮 arXiv 检索,我认为针对技术特征 F 最值得纳入无效分析的是:
首选:arXiv:0911.3992
解决“这是 NAND/Flash 非易失存储器并由 cells/blocks 构成”的问题。
arXiv
第二:arXiv:0908.4094
解决“是否明确公开 flash memory device”的问题。
arXiv
第三:arXiv:1001.3720
解决“设备是否包括/使用 flash memory”的包含关系问题。
arXiv
补强:arXiv:1103.6051、0901.0702、0909.1780、1001.1164。
arXiv
+3
arXiv
+3
arXiv
+3
技术特征 F 被成功公开的综合概率:约 98%。
因此,如果后续把本轮结果与此前针对 CN103782344B 的 A–E 特征检索合并,无需再把主要检索资源投入 F;继续提高无效成功率的关键应当放在“权利要求1核心结构是否由同一篇或具有明确结合启示的文献公开”上。
综合核对你上传的 CN101971324A、CN102148059A、US20080253187A1 以及 CN103782344B 权利要求原文后,我认为:
CN103782344B 权利要求3被整体宣告无效的成功概率约为 90%~93%,中心判断约 91%。
属于“高概率无效”,但我不会评到 95%以上。真正的不确定性几乎不在权利要求3新增的“存储器装置”,而在权利要求1中 “源极栅极装置(source gate device)”与两级源侧选择晶体管之间的术语/功能对应。
CN103782344B 权利要求3只是引用权利要求1,并进一步限定“所述设备包括存储器装置”。因此完整技术特征可以拆成 A-D+F:A为“电荷存储装置串+半导体材料柱”,B为“耦合源极并控制通道—源极导电的源极栅极装置”,C为“位于串与源极栅极装置之间的源极选择装置”,D为“该源极选择装置也控制通道—源极导电”,F为“设备包括存储器装置”。目标权利要求原文对此非常清楚。(Google 专利)
| 特征 | CN101971324A | CN102148059A | US20080253187A1 |
|---|---|---|---|
| A:电荷存储串+半导体柱 | ✅ 强直接公开 | ✅ 强直接公开 | ❌ 缺少柱结构 |
| B:源极侧第一控制装置 | △ 有源极选择晶体管,但只有一级 | ✅ 很强 | ✅ 很强 |
| C:串与第一源侧装置之间还有第二源极选择装置 | ❌ 主要缺口 | ✅ 很强 | ✅ 直接公开 |
| D:第二装置控制channel-source导电 | △ | ✅ 强/至少直接必然 | ✅ 强 |
| F:设备包括存储器装置 | ✅ | ✅ | ✅ |
| 单篇破坏权3新颖性 | 较弱 | 很强 | 不成立,缺A |
其中,CN102148059A 是决定性文献。
它明确公开柱113,柱表层114为P型硅;柱、ONO绝缘层以及导电材料共同形成 NAND 串,ONO中的氮化硅层118作为电荷存储/电荷俘获层,因此 A 的对应非常完整。
更关键的是其 图14实施例。文件明确记载:
每个 NAND 串的字线 WL1-WL6 与共源线 CSL 之间具有两条地选择线;
并进一步区分:
靠近 CSL 的 GSL12/GSL13;
靠近 字线/存储单元串 的 GSL22/GSL23。
因此实际串联拓扑就是:
memory-cell string
→ 内侧 GST/GSL22
→ 外侧 GST/GSL12
→ common source line CSL
这与权利要求1的:
charge-storage string
→ source select device
→ source gate device
→ source
在物理位置关系上已经非常接近一一对应。
同时,CN102148059A还明确说明:当向地选择线施加高于GST阈值的正电压时,会在柱体中形成沟道,并使该沟道与共源线电连接;最终可以把存储单元沟道、GST沟道和CSL连通。
所以 B、D 所要求的“控制通道与源极之间的导电”,并不是仅凭“它叫GSL所以猜它能控制”得到,而是已有很强的功能性文字依据。
US20080253187A1 本身没有垂直半导体柱,因此不适合作为权3的单篇新颖性证据。但它对 B+C+D+F 极强。
说明书明确记载两个源侧选择栅210、211串联,其中:
211的source直接接 common source line;
211的drain接210的source;
210的drain再接 NAND string 的第一存储单元。
它自己的权利要求16甚至直接要求:
first select gate → second select gate → source line,
其中第二选择栅明确位于第一选择栅与source line之间,而且整个方案直接限定为 “A memory device”。(Google 专利)
因此,如果专利权人针对 CN102148059A 抗辩:
“两个GSL都只是ground select gate,不能把其中一个解释为本案特殊的source gate device。”
US20080253187A1 就非常适合证明:在目标优先权日前,在 NAND 串的源侧配置两个独立串联栅控器件,外侧一只接source line、内侧一只接memory string,本来就是明确的已知结构。
而且该文献说明其增加第二选择栅的目的包括改善 GIDL、漏电及关断性能,并减小器件尺寸。(Google 专利)
CN101971324A 对 A 和 F 很强,但对 B+C 的双器件结构不足。
它明确公开以多晶硅等构成的导电柱230,并在柱两侧形成电荷陷阱型串联存储单元串。
同时,源极侧存在源极选择晶体管216,将存储单元串选择性地连接到源极线200。
但这里基本只有一个独立源侧选择晶体管。如果把216映射成“source gate device”,就缺少另一个位于串与216之间的“source select device”;反过来也一样。
所以:
CN101971324A单篇不建议主张破坏权3新颖性。
它更适合作为创造性组合中的垂直pillar NAND基础文献。
这一点可以给到 约99% 的公开概率。
CN101971324A直接描述 NAND flash memory device 100及其memory-cell array。
CN102148059A本身标题就是“非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统”,并明确公开非易失性存储器件100的存储阵列、驱动器、读写电路和控制逻辑。
US20080253187A1的独立权利要求13、16则直接以 “A memory device” 起始。(Google 专利)
目标专利自己的说明书还明确说电荷存储装置阵列可以作为 NAND memory device 的存储器单元阵列,并说明“设备”可以指电路、装置或系统。(Google 专利)
因此,专利权人很难依靠 F 保住权利要求3。
| 无效路线 | 估计成功率 | 评价 |
|---|---|---|
| CN102148059A 单篇——权3不具新颖性 | 82%~88% | 第一主攻 |
| CN102148059A + US20080253187A1——不具创造性 | 90%~94% | 最强备选 |
| CN101971324A + CN102148059A——不具创造性 | 87%~91% | 两篇均为vertical/pillar背景,组合自然 |
| CN101971324A + US20080253187A1——不具创造性 | 84%~89% | 很强,但存在平面双SG→垂直NAND迁移抗辩 |
| 三篇同时组合 | 不建议主攻 | 增加组合负担,边际收益很小 |
需要强调,新颖性要求相关技术内容由单一对比文件直接、毫无疑义地公开;创造性则要进一步判断从最接近现有技术出发,现有技术整体是否给出了相应技术启示。CNIPA《专利审查指南》目前仍坚持这一基本判断框架。(国家知识产权局)
第一,也是最重要的,是专利权人会主张 CN102148059A 的外侧 GST/GSL12 不是本专利所称的“源极栅极装置”,尤其会利用目标说明书中“source gate 350”与“SGS 340/370”被分别命名的实施例,要求较窄解释。
但这个抗辩并不算很强,因为权利要求1本身没有要求 source gate device 具有特殊材料、特殊阱结构、特殊尺寸、不同控制信号或特定“read disturb”工作方式;它实际限定的是相对位置+栅控导电功能。(Google 专利)
第二,是创造性中的技术问题差异。CN102148059A的双GSL主要用于 erase inhibit/GIDL,US20080253187A1强调 GIDL/leakage/尺寸;目标专利说明书则特别强调 read disturb。在创造性“三步法”中,这会给专利权人一定抗辩空间,因为技术问题和技术效果不能完全忽略。CNIPA也特别强调应避免脱离技术问题作事后拼接。(国家知识产权局)
不过三者的共同技术实质都是通过源侧栅控结构增强串与source之间的电隔离/导通控制,所以该差异不足以使组合明显失去技术启示。
另外,时间条件没有明显障碍:目标专利最早优先权日为 2011-08-15;CN101971324A于 2011-02-09公开,CN102148059A于 2011-08-10公开,US20080253187A1于 2008-10-16公开。(Google 专利)
最终结论:我会把当前三篇证据下权利要求3的整体无效成功概率定在约91%,合理区间90%上下浮动约3个百分点。
主攻应当是 CN102148059A单篇新颖性;正式请求书中同时设置 CN102148059A + US20080253187A1创造性 作为第一备份。CN101971324A + US20080253187A1 可以作为第二独立创造性路径。这样即使合议组对“GSL=source gate device”的单篇术语映射采取严格态度,仍有较强的组合攻击路线。
根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括系统。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
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检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
权利要求4=A—D+G(E、F不属于本权利要求)。最佳证据为公开日2011-08-10的CN102148059A:图3—7公开垂直半导体柱上的电荷俘获NAND串,图14—15公开串源侧两级地选择器件,图28—30又明确把图1—27的同一器件置于存储系统。主张单篇不具新颖性的成功概率为90%。备选以CN102148059A结合US20080253187A1主张不具创造性,成功概率94%。综合无效成功概率91%,已超过75%,不触发第二轮。
为避免包含关系方向争议,主体映射明确采用:图28所示存储系统整体即权利要求中的“设备”,其中存储器件1100承载A—D;并非仅凭“存储系统包括器件”反向推导G。
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特征 |
内容 |
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A |
电荷存储装置串与包括半导体材料的柱相关联 |
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B |
源极栅极装置耦合源极并控制串通道与源极间导电 |
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C |
源极选择装置位于串与源极栅极装置之间 |
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D |
源极选择装置控制串通道与源极间导电 |
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G |
设备包括系统 |
权利要求没有限定“源极栅极装置”的特殊阱结构、材料或专用名称,宜按位置、连接和栅控功能解释。
各检索页均实际打开,页面日期回显均为“Before: publication 2011-08-15”。
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语言 |
精确检索式 |
Google Patents搜索URL |
页面结果 |
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中文 |
("电荷存储装置串" OR "存储器单元串") ("半导体柱" OR "导电柱") ("源极选择栅极" OR "源线侧选择晶体管") (系统 OR "电子系统") |
约1件:CN101971324A |
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英文 |
("charge storage device string" OR "memory cell string") ("semiconductor pillar" OR "conductive pillar") ("source select gate" OR "source gate") ("electronic system" OR "memory system") |
约1件:CN101971324A |
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日文 |
("電荷蓄積素子ストリング" OR "メモリセルストリング") ("半導体柱" OR "導電性ピラー") ("ソース選択ゲート" OR "ソース側選択トランジスタ") (システム OR "電子システム") |
无结果 |
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韩文 |
("전하 저장 소자 스트링" OR "메모리 셀 스트링") ("반도체 필러" OR "도전성 기둥") ("소스 선택 게이트" OR "소스측 선택 트랜지스터") (시스템 OR "전자 시스템") |
无结果 |
日、韩严格短语未召回是术语差异所致;重点候选均另按公开号在Google Patents直达页核验。
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文件及标题 |
优先权日;申请日;公开日 |
直链 |
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CN102148059A,非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09;2011-02-09;2011-08-10 |
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US20080253187A1,Multiple select gate architecture |
2005-08-31;2008-06-18;2008-10-16 |
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CN101971324A,具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列 |
2008-03-13;2009-03-12;2011-02-09 |
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CN1519938A,非易失性半导体存储装置及其制造方法和半导体集成电路及系统 |
未单列独立优先权(最早页面日为申请日);2003-02-14;2004-08-11 |
均严格早于截止日;日期取自Google Patents Info/事件栏,正式程序宜补官方认证文本。
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特征 |
原文证据定位、附图标号 |
同一实施例性/强度 |
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A |
图3—5;页面第264—280行:柱113贯穿绝缘材料112;表层114为P型硅;ONO的氮化层118为电荷存储层;柱113、绝缘层116及导电线共同形成含多个存储单元MC的NAND串。 |
图3—7连续;直接文字+图,强 |
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B |
图14—15;第320—323行:每串在字线与CSL之间有两条GSL,外侧GSL12/13邻近共源线。第300—308行说明GSL电压反转柱主体114形成GST沟道并接通CSL。外侧GST对应源极栅极装置。 |
图14明确是图6垂直串的变形;强,仅有名称风险 |
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C |
第320—321行分别写明邻近CSL的GSL12/13和邻近字线的GSL22/23,即“存储串—内侧GST—外侧GST—CSL”。权利要求14—15亦限定两地选择线相对次序。 |
同一图14/15;直接,强 |
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D |
第321—323行分别驱动内外GSL;第300—308行说明高于阈值形成通道、低于阈值隔离。内侧串联FET关断即阻断柱通道至CSL。 |
同一工作机理;直接+必然推论,强 |
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G |
标题、摘要;图28—30第354—366行;权利要求18—20。图28明确系统内器件1100按图1—27配置和操作,并进一步公开SSD、存储卡、计算系统。 |
明确回引A—D实施例,极强 |
不存在不当拼凑:图14回引图6,图6回引图3—5;图28又明确回引图1—27。单篇争点仅是CN102把两器件称为地选择晶体管,而权利要求使用“源极栅极装置/源极选择装置”。按结构和功能解释,外侧GST直接邻接CSL并栅控源侧通路,内侧GST位于串与外侧GST之间,分别满足B和C/D。
US文件的说明书第151—154行及图2直接公开:NAND串206的存储单元208串联在源选择栅210、211之间;外侧211的源极接公共源线216,211的漏极接内侧210,内侧210接第一存储单元。权利要求13、16写明第一选择栅与第一存储单元串联,第二选择栅与第一选择栅串联并位于第一选择栅和源线之间;权利要求14、18公开控制信号。图8第190—193行和权利要求22把同样结构直接写入电子系统。故其对B—D、G为强直接证据,但缺A的半导体柱。
组合时保留CN102的柱113、P型硅114、电荷俘获层118、NAND串和图28系统;用US文件的双FET拓扑确认两条GSL各控制一只串联器件。两文献均属NAND、均处理源侧选择和GIDL/截止;CN102已经设置双GSL,US只提供成熟器件落实,结合动机明确。无需把US平面版图搬入垂直结构,沿CN102既有柱段用相邻栅层控制即可,技术相容且效果可预期。
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文件 |
A |
B—D |
G |
评价 |
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CN101971324A |
图2B/4的多晶硅柱230、电荷陷阱228/229、串450,强 |
仅一个源极选择晶体管216,缺第二实体 |
图1电子系统;图2明确为图1阵列104的一部分,强 |
垂直柱备选,需结合US或CN151 |
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US20080253187A1 |
缺柱 |
图2及权利要求13/16/22,极强 |
图8、权利要求22,极强 |
最佳补强文件 |
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CN1519938A |
缺柱 |
图9的SG21—SG22—CS、SGS1/SGS2及独立控制,强 |
标题、发明内容、实施例4存储卡/IC卡系统,强 |
可作US文件中文备份 |
· 新颖性:CN102148059A单篇。A来自图3—7,B—D来自图14—15并结合图7的GST导通机理,G来自图28—30及权利要求18—20。概率90%。
· 创造性:CN102148059A+US20080253187A1。US明确双源侧FET的连接、控制、GIDL/截止和电子系统;组合概率94%。
· 主要抗辩及回应:①“GST不是源极栅极装置”——名称不构成限定,位置/连接/门控完全一致;②“图14与图28不同实施例”——图28明示回引图1—27;③“内侧器件不能单独导通”——控制不等于独立完成导通,串联任一FET均可阻断;④“US为平面NAND”——CN102本身已是垂直双GSL,US仅补电路拓扑;⑤“CN102处理擦除而涉案处理读取”——权利要求4未限定操作模式。
综合无效成功概率:91%。本轮达到75%阈值,结束检索。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim4\round1.md
经多轮围绕“系统 / 电子系统 / 存储器系统 / NAND 系统 / NAND 装置属于系统 / system-on-chip”以及目标专利引用文献中国同族的交叉检索,我认为:技术特征 G“其中所述设备包括系统”属于公开程度极高的常规上位限定。仅针对 G 本身,被认定已由 2011 年 8 月 15 日之前的中文专利文献公开的概率约为 98%–99%。
更重要的是,本次不是只找到一般性的“计算机系统”文献,而是找到了多篇直接处于 NAND 技术领域、甚至与 CN103782344B 所引用的美国专利属于同族的中文文献。
一、先确定技术特征 G 的实际含义
CN103782344B 的权利要求4为:
“根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括系统。”
目标专利说明书又专门说明,在该文件中“设备/apparatus”可以指电路、装置或系统;图10进一步给出了包括处理器、存储器装置、存储器控制器等的系统实施例。因此,G 实质上并不是增加一个具体 NAND 电路元件,而是把权利要求1的“设备”进一步落实到系统级实施方式。
+1
这一点很重要:判断 G 是否公开,原则上不必再寻找与“源极感应装置+源极选择装置”完全相同的电路,只要现有技术已经明确说明相关 NAND/非易失性存储设备可以构成系统、包含于系统,或者公开“NAND存储器系统”,就会对 G 形成很强贡献。
二、检索到的高价值中文专利文献
排名 中文专利文献 公开日 对“系统”的关键公开 与 G 的对应关系 贡献度
D1 CN101971324A《具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列》 2011-02-09 明确记载图1为“NAND快闪存储器装置100”与处理器130通信,且其为电子系统的一部分 NAND设备直接作为电子系统实施;且技术领域非常接近目标专利 ★★★★★ 极强
D2 CN101911297A《半导体构造、NAND单位单元……》 2010-12-08 明确称NAND单位单元可用于汽车、蜂窝电话、计算机等各种电子系统;又分别给出计算机系统400、电子系统700、800 直接将目标类型的垂直NAND单元放入“系统” ★★★★★ 极强
D3 CN101354921A《非易失存储器设备编程选择晶体管以及对其编程的方法》 2009-01-28 权利要求16直接写“一种存储器系统,包括:NAND闪速存储器设备;以及存储器控制器” 权利要求级明确公开“NAND设备→存储器系统” ★★★★★ 极强
D4 CN101142630A《NAND闪速存储器系统结构》 2008-03-12 权6直接要求保护“一种系统,包括”数据存储装置和主机;该数据存储装置包括NAND闪速存储器 标题、说明书和权利要求均直接涉及NAND系统 ★★★★★ 极强
D5 CN101611385A《用于动态ECC码率调整的方法、装置和系统》 2009-12-23 明确公开系统包括非易失性存储器设备,例如NAND闪速存储器设备,并称该存储器设备“可以内置于系统中” “设备包括/属于系统”的文字映射非常直接 ★★★★★ 极强
D6 CN101595528A《存储器装置架构和操作》 2009-12-02 图1明确为“具有至少一个……存储器装置的电子系统”;NAND快闪存储器装置100作为电子系统的一部分耦合到处理器130 NAND存储器装置直接处于电子系统中 ★★★★★
D7 CN101627371A《用于NAND存储器的编程管理数据》 2010-01-13 图1明确是“存储器系统100”;系统包括集成电路存储器和控制器,且存储器阵列明确可为NAND快闪阵列;还称存储器可形成电子系统的一部分 “NAND装置—存储器系统—电子系统”三层关系均明确 ★★★★★
D8 CN101061585A《可缩放集成逻辑和非易失性存储器》 2007-10-24 明确公开NAND串结构;图5中存储器装置500与处理器510形成电子系统520的一部分,还明确可以是SoC NAND结构与系统实施方式同时出现 ★★★★★
D9 CN101675478A《具有一个或多个存储器设备的系统》 2010-03-17 标题即“具有一个或多个存储器设备的系统”;说明书称多个闪存设备组合在一个系统中,非易失性存储设备典型为NAND闪速存储器设备 明确公开“NAND存储设备构成系统” ★★★★☆
D10 CN101673226A《NAND错误管理》 2010-03-17 明确在计算机等电子设备/系统中实施NAND错误管理,计算机系统可包含NAND闪存、SSD等存储设备 可证明NAND设备作为电子系统组成部分早已常规化 ★★★★☆
D1:CN101971324A——本轮最值得重视
这是本次中文检索中价值最高的文献之一。Google Patents 显示其公开日为 2011年2月9日,明显早于 2011年8月15日。其技术内容本身就是三维/垂直 NAND:包括串联存储器单元串、导电柱、选择晶体管、源极线等;同时说明书明确记载“NAND快闪存储器装置100”作为电子系统的一部分与处理器通信。
Google Patents
更关键的是,它是目标专利所引用的 US20090230454A1 的中国同族。Google Patents 的同族信息明确显示 US20090230454A1 的中国成员为 CN101971324A/B。
Google Patents
因此,如果后续是在处理权利要求4整体,而不仅仅处理 G,CN101971324A 的价值远高于普通“存储器系统”文献:它既处于非常接近的垂直NAND结构领域,又明确公开系统实施方式。
D2:CN101911297A——另一篇非常接近目标技术的文献
CN101911297A 公开于 2010年12月8日,申请人为 Micron Technology。
Google Patents
其内容是垂直结构的 NAND 单位单元,涉及垂直立柱、控制栅极、电荷存储材料以及选择装置等。更直接的是,其明确写道这些快闪存储器单元和 NAND 单位单元可用于汽车、蜂窝电话、计算机等各种电子系统;随后又详细给出了计算机系统400、电子系统700和电子系统800,其中存储器装置可配置为 NAND。
Google Patents
该文献也是目标专利引用的 US20090180324A1 的中国同族,因此用它证明 G,比寻找一篇完全不同领域的普通“电子系统”专利更有说服力。
D3:CN101354921A——权利要求层面的直接证据
CN101354921A 公开于 2009年1月28日。其权利要求16不是泛泛提及系统,而是直接要求保护:
“一种存储器系统,包括:NAND闪速存储器设备;以及存储器控制器……”
并进一步限定 NAND 存储器设备具有多个串联连接存储单元组成的单元串以及与单元串串联的选择晶体管。
Google Patents
+1
因此,如果对方争辩“在说明书中说某装置可以用于电子系统”不能直接对应“设备包括系统”,D3 是很好的反驳材料:它直接以权利要求的形式把 NAND 存储器结构定义为存储器系统的一部分。
D4:CN101142630A——标题、说明书和权利要求三重公开
CN101142630A 的标题就是《NAND闪速存储器系统结构》,公开日为 2008年3月12日。其说明书明确称“NAND闪速存储器……处于系统内”,权利要求6进一步直接规定“一种系统,包括”相应数据存储装置以及主机,而基础数据存储装置本身包括 NAND 闪速存储器。
patents.google.com
对于单纯证明“把NAND设备实施为系统在优先权日前已经公知”而言,该文献非常干净。
D5:CN101611385A——“存储器设备可以内置于系统中”
CN101611385A 公开于 2009年12月23日,名称本身即为“方法、装置和系统”。其系统实施例明确包括支持ECC的非易失性存储器设备,并明确指出其可为 NAND闪速存储器设备,而且原文直接说明“存储器设备可以内置于系统中”。
patents.google.com
+1
从文字对应角度,这篇对 G 也非常有用。
D6—D8:Micron/相关 NAND 文献形成连续证据链
CN101595528A 于 2009年12月2日公开,其说明书明确把“NAND快闪存储器装置100”描述为电子系统的一部分并耦合到处理器。
Google Patents
+1
CN101627371A 于 2010年1月13日公开,明确给出“存储器系统100”,其中包括集成电路存储器120和控制器110,并明确说明存储器阵列可以是 NAND 快闪阵列;随后又明确称该存储器可以耦合处理器并形成电子系统的一部分。
Google Patents
+2
Google Patents
+2
CN101061585A 于 2007年10月24日公开,不仅详细描述 NAND 串联存储器结构,而且明确写明存储器装置500与处理器510形成电子系统520的一部分,并可用于SoC。
Google Patents
+1
这些文献说明,“NAND存储器设备→系统级实现”在 2011 年以前已经是非常成熟、反复出现的技术表达。
D9—D10:进一步 corroboration
CN101675478A 公开于 2010年3月17日,其名称即《具有一个或多个存储器设备的系统》,明确说明多个闪速存储器设备组合于一个系统中,而且系统中的非易失性存储器设备典型地为 NAND 闪速存储器设备。
Google Patents
+1
CN101673226A 同样于 2010年3月17日公开,明确讨论在计算机系统等电子设备中使用 NAND 存储器以及 NAND SSD,并给出相应计算机系统实施例。
Google Patents
三、技术特征 G 特征比对表
技术特征 G 的分解 CN101971324A CN101911297A CN101354921A CN101142630A CN101611385A
存在“设备/装置” NAND快闪存储器装置100 NAND单位单元、存储器装置408/802 NAND闪速存储器设备 数据存储装置 非易失性存储器设备
设备属于 NAND/非易失性存储领域 是 是 是 是 是,明确可为NAND
明确出现“系统” 电子系统 计算机系统/电子系统 存储器系统 系统/计算系统 系统
NAND设备与系统之间存在明确结构关系 NAND装置作为电子系统的一部分 NAND存储器位于电子系统中 系统包括NAND设备 系统包括NAND数据存储装置 系统包括/内置NAND存储器设备
是否早于2011-08-15 是 是 是 是 是
对G的公开评价 直接、极强 直接、极强 直接、极强 直接、极强 直接、极强
从这张表可以看到,并不存在只能依靠“隐含推定”的问题。至少 D1—D5 都具有明确的“NAND设备 + 系统”文字和结构联系。
四、最佳使用顺序
如果仅针对技术特征 G,我建议优先顺序为:
CN101971324A > CN101911297A > CN101354921A ≈ CN101142630A > CN101611385A > CN101595528A / CN101627371A / CN101061585A。
其中 CN101971324A 应当优先级最高,原因不是它对“系统”二字表述最漂亮,而是它同时具备三个优势:公开日合格、属于目标专利非常接近的垂直NAND技术、而且是目标专利引用的 US20090230454A1 的中国同族。其说明书已经明确把所述 NAND 存储器装置放入电子系统。
Google Patents
+1
**CN101911297A 可作为第二核心证据。**它同样是 Micron 的垂直 NAND 文献,同时公开多个电子系统实施例,因此不存在明显的跨领域组合问题。
Google Patents
+1
CN101354921A 和 CN101142630A 最适合作为“G是常规系统级限定”的补强证据,因为二者直接在权利要求层面使用“存储器系统/一种系统”并包含 NAND 存储设备。
Google Patents
+1
五、客观评估“成功公开”的概率
我把概率分成三个层面:
评价对象 概率估计 判断
G 本身已有现有技术明确记载“系统” >99% 几乎无争议
G 被2011-08-15以前中文 NAND 专利直接公开 98%–99% 极高
在与目标权1结构高度接近的中文文献中同时找到系统实施方式 约97%–99% D1、D2已经基本实现
因此,我对技术特征 G 给出的综合结论是:
被成功公开概率:约 98%–99%,评级“极高”。
这里唯一需要注意的是,“G 已被公开”与“权利要求4整体可以直接被单篇文献无效”是两个不同问题。权利要求4依赖权利要求1,因此权利要求4整体能否无效,最终瓶颈仍然是权利要求1中较具体的“电荷存储装置串—源极感应装置—源极选择装置”等结构关系,而不是 G。“系统”这一附加限定本身基本不会构成有效的区别技术特征。
就后续无效组合而言,G 已经不值得再投入大量检索资源。最有价值的动作是把 CN101971324A、CN101911297A 与此前针对 A–F、N–O 等核心结构找到的对比文件合并评价,重点判断是否存在一篇或两篇文献能够把权利要求1的“双源侧控制器件/源极感应+源极选择”补齐。
已按“韩文专利 + Google Patents + 公开日严格早于2011-08-15 + 围绕 system / memory system / NAND flash system / computing system 多轮交叉检索”进行了反复检索。就技术特征 G 本身而言,结论非常明确:在截止日前已有多篇韩文专利对该特征作出直接、明确甚至权利要求级别的公开。
一、先确定技术特征 G 的实际含义
CN103782344B 的权利要求4为:
权利要求1的设备,其中所述设备包括系统(wherein the apparatus comprises a system)。
目标专利说明书同时明确解释,“apparatus”可以指 circuit、device 或 system。
Google Patents
+1
更重要的是,目标专利图10对该“system”给出了实际实施方式:系统1000可包括处理器1010、存储器装置1020、存储器控制器1030、图形控制器、I/O控制器等,而其中的存储器装置1020可以采用本专利前面描述的存储器单元块及半导体构造。
Google Patents
因此,从目标专利自身的解释来看,G并没有增加新的源极栅极、选择栅极、柱结构等微观结构,而主要是一个系统层级/应用层级限定:将前述存储器设备作为一个 memory system / computing system / electronic system 的组成部分或以系统形式实现。
这直接决定了G的现有技术公开门槛很低。
二、检索到的高价值韩文对比文件
1. KR20080062174A
《具有命令和地址引脚的NAND闪存及包含它的闪存系统》
公开日:2008-07-03
这是目前针对G我认为最直接的韩文对比文件之一。
Google Patents显示,其题名本身就是“NAND flash memory … and flash memory system including the same”,公开日为2008-07-03,显著早于2011-08-15。
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说明书进一步明确:
flash memory system 200 包括多个bank和flash controller;
每个bank由多个 NAND flash memories 构成;
例如一个bank包括4个NAND闪存。
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也就是说:
NAND存储器装置 → 被包含于 flash memory system 中
与目标专利图10“memory device 1020 → system 1000”的系统层级关系高度一致。
对G的公开程度:直接、明确公开。
2. KR20100062551A
《存储器装置、包括该存储器装置的存储器系统及其映射信息恢复方法》
公开日:2010-06-10
这是另一篇非常强的文件。公开日期经Google Patents核实为2010-06-10。
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其说明书直接记载:
memory system 包括 memory device;以及控制该memory device的controller。
而且这一关系不是只出现在说明书背景中,而是进入了权利要求6:memory system 包含 memory device 及控制器。
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具体实施方式的图1进一步记载,flash memory system 100包括:
CPU 110;
RAM 120;
flash controller 130;
flash memory 140。
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这与CN103782344B图10的“processor + memory controller + memory device → system”结构尤其接近。
对G的公开程度:权利要求级直接公开。
3. KR20080097001A
《存储多比特数据的存储器系统、其编程方法以及包括该系统的计算系统》
公开日:2008-11-04
该申请的韩文公开文本KR20080097001A于2008-11-04公开;对应登记文本进一步明确其主题为“memory system … and computing system including the same”。
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其实施例进一步给出:
computing system;
host;
memory controller;
flash memory device;
并明确指出该flash memory device可以是 NAND flash memory device。
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这篇文件实际上比单纯“memory system”还更进一步:
NAND flash memory device → memory system → computing system
而目标专利的特征G恰恰只是把权利要求1设备提升到“system”层级。
对G的公开程度:极强直接公开。
4. KR20110012061A
《包括ECC电路的半导体存储器系统及其控制方法》
公开日:2011-02-09
Google Patents明确显示其韩国公开文本KR20110012061A的公开日为2011-02-09,因此满足日期要求。
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文件直接说明:
semiconductor memory system 100是采用 NAND flash memory 的系统;
系统100包括host interface 110、memory controller 120以及memory area 140。
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该memory area可以是NAND flash memory,而且可以具有多个NAND flash memories。
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因此属于:
NAND存储装置明确作为semiconductor memory system的一部分。
对G的公开程度:直接公开。
5. KR20090087689A
《多通道闪存系统及其访问方法》
公开日:2009-08-18
公开日经Google Patents核实为2009-08-18。
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摘要已经明确说明,多通道flash memory system包括:
多个flash memories;
对应的多个channels;
interface device。
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具体实施方式又记载,flash memory system 1000包括host 100和storage device 200,而storage device 200进一步包括interface device、多个DMA channel及多个flash memories。
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因此它明确公开“存储器设备构成一个系统”的关系。
对G的公开程度:直接公开。
6. KR20090014828A
《加密错误校正码的闪存系统及闪存系统的加密方法》
公开日:2009-02-11
Google Patents确认其公开日为2009-02-11。
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摘要直接记载:
flash memory system 包括 flash memory 以及控制该flash memory的memory controller。
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图1还进一步给出memory system 100由host 110、memory controller 120和flash memory 130组成。
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与目标专利图10的系统式公开关系十分清楚。
对G的公开程度:直接公开。
7. KR20080073544A
《存储卡及包括该存储卡的存储器系统》
公开日:2008-08-11
Google Patents确认其公开日期为2008-08-11。
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该文件不仅说明memory card包括多个memory device chips,而且明确规定每个memory chip可以包含:
flash memory;
controller。
进一步,其权利要求15~17直接限定memory system以及其中的flash memory、controller关系。
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说明书还明确记载memory card system包括host和multimedia card,后者中的memory chips包括flash memory和controller。
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对G的公开程度:直接公开。
8. KR20080035353A
《包括闪存的存储器系统及其编程方法》
公开日:2008-04-23
这篇文件的题名本身即为:
MEMORY SYSTEM INCLUDING FLASH MEMORY AND PROGRAM METHOD THEREOF
Google Patents确认KR20080035353A于2008-04-23公开。
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文件明确记载传统memory system 100包括host 110、memory controller 120以及flash memory 130。
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因此即使不采用后来的文件,早在2008年就已经存在非常清楚的“flash memory device形成/包含于memory system”的公开。
对G的公开程度:直接公开。
三、特征比对表
对比文件 公开日 NAND/Flash存储设备 明确公开“System” 与G的对应关系 对G贡献
KR20080062174A 2008-07-03 明确NAND Flash memory system 系统包括控制器和多个NAND flash memory ★★★★★
KR20100062551A 2010-06-10 Flash memory Memory system 权利要求明确“memory system包括memory device+controller” ★★★★★
KR20080097001A 2008-11-04 明确可为NAND Memory system / Computing system NAND memory device进入memory/computing system ★★★★★
KR20110012061A 2011-02-09 明确NAND Semiconductor memory system NAND memory area/device作为系统组成部分 ★★★★★
KR20090087689A 2009-08-18 Flash memory Multi-channel flash memory system 系统明确包括多个flash memories ★★★★☆
KR20090014828A 2009-02-11 Flash memory Flash memory system 系统包括flash memory和controller ★★★★☆
KR20080073544A 2008-08-11 Flash memory Memory card system 系统中的memory chip包括flash memory及controller ★★★★☆
KR20080035353A 2008-04-23 Flash memory Memory system 题名及实施例直接公开system including flash memory ★★★★☆
四、最优对比文件选择
如果目的只是证明技术特征G已经被公开,我建议优先级如下:
第一选择:KR20080062174A。
原因是它同时具备“NAND flash memory”和“flash memory system including it”,语义最贴近目标专利的NAND技术环境,而且公开时间早。
第二选择:KR20100062551A。
优势是“memory system包括memory device”直接进入权利要求,证据形式非常干净,不需要通过实施例推导。
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第三选择:KR20080097001A。
特别适合解释目标专利所谓“system”的含义,因为它不仅公开memory system,还进一步公开包含flash memory device的computing system,而目标专利图10同样是processor/controller/memory device构成的system。
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如果需要准备无效理由,我倾向于采用:
权利要求1的最接近现有技术 + KR20080062174A
并将KR20100062551A、KR20080097001A作为备用/强化证据。因为这三篇从不同角度分别证明“NAND系统”“memory device→memory system”“memory device→computing system”,足以大幅降低对方通过解释“system”进行区分的空间。
五、截止日边界核查
检索中还发现了非常接近的 KR20110092523A《非易失性存储器装置、其操作方法以及包括它的存储器系统》。该文件甚至明确公开memory system包括nonvolatile memory device和controller,并涉及strings、common source line等结构。
但是其韩国公开日是 2011-08-18,晚于用户限定的2011-08-15,因此我将其严格排除,不能作为本次限定条件下的对比文件。
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这一边界文件也从侧面说明,“memory device + memory system”的表述在这一时期已经是非常成熟、常规的专利表达。
六、客观评估“技术特征G被成功公开”的概率
结论:97%~99%,中心判断约98%——极高。
主要依据有三点。
第一,G本身限定极宽。目标专利自己规定apparatus可以是“circuit、device或system”,没有赋予“system”特殊结构含义。
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第二,目标专利所谓system的实际实施方式只是典型的processor、memory device、memory controller及I/O等组成的系统;并没有因为成为“system”而改变权利要求1存储器核心结构。
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第三,在2011-08-15之前已经检索到多篇彼此独立的韩文专利直接使用“memory system including memory device”“NAND flash memory system”“computing system including flash memory”等表述,其中部分甚至进入独立权利要求。
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因此,如果争议仅限于技术特征G,我认为几乎没有现实空间主张“设备包括系统”构成相对于2011-08-15以前现有技术的新技术贡献。
需要区分的是:98%是“G这一附加特征被现有技术成功公开”的概率,不等于权利要求4整体98%会被无效。 权利要求4引用权利要求1,因此整体无效仍主要取决于权利要求1中的“柱状电荷存储串 + 源极栅极装置 + 位于串与源极栅极装置之间的源极选择装置”等核心结构能否由主对比文件或合理组合完整覆盖。就G而言,它基本不会成为阻碍权利要求4无效的关键区别特征。
经多轮以 Google Patents 为主的日文检索,并进一步用“メモリシステム / 不揮発性半導体記憶システム / NANDストリング / SGS / ソース線 / リードディスターブ”等组合反复交叉检索后,我认为技术特征 G 本身属于极弱限定,已经被2011年8月15日前的日文专利文献非常充分地公开。
一、先确认技术特征 G 的实际含义
CN103782344B 的权利要求4明确记载:
权利要求1所述设备,其中所述设备包括系统(apparatus comprises a system)。
其说明书进一步明确,“设备/apparatus”可以指电路、装置或系统;图10又明确给出了包括处理器、存储器装置、存储器控制器等的系统1000,其中存储器装置可以采用该专利前述的 NAND 存储器结构。
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因此,对 G 的检索不能机械地只找一句完全相同的“设备包括系统”,而应重点判断在先文献是否明确公开:相应 NAND/非易失存储器设备可以作为、构成或包含于一个“memory system / nonvolatile semiconductor memory system / computer system”等系统级设备中。
按这一口径,G 的现有技术基础非常扎实。
二、检索到的高价值日文专利
排名 日文专利 公开日 与技术特征G有关的公开 对G贡献
1 JP2009238328A《不揮発性半導体記憶装置及び不揮発性半導体記憶システム》 2009-10-15 明确公开“非易失性半导体存储系统”;系统包括具有 NAND string、source line 的非易失存储装置和控制器;同时明确 NAND string 中具有 SGD、SGS 极强,首选
2 JP2009224012A《メモリの管理方法》 2009-10-01 明确定义:NAND闪存22+控制器21构成flash memory device 2,flash memory device 2 + host 1 构成“system” 极强,几乎文字对应G
3 JP2011048755A《Memory system》 2011-03-10 明确公开SSD形式的memory system,包含 NAND memory + controller;NAND块又明确具有NAND strings、SGD、SGS以及source line 极强,技术环境最接近之一
4 JP2009211226A《Memory system》 2009-09-17 明确说明发明涉及由flash memory构成的memory system;SSD包含NAND flash、控制器、缓冲器、接口等 很强
5 JP2009266125A《Memory system》 2009-11-12 摘要直接公开具有多个NAND memories的“memory system” 很强
6 JP2011103144A《Memory system》 2011-05-26 明确公开计算机系统中的SSD,其包含NAND型flash memory、控制器等 很强
7 JP2008033788A《Nonvolatile storage device, data storage system, and data storage method》 2008-02-14 明确公开包含非易失性存储装置的data storage system,并明确讨论多值NAND flash memory 强
8 JP2008134685A《Nonvolatile memory system and nonvolatile memory control method》 2008-06-12 明确涉及“nonvolatile memory system”,并明确说明第一非易失存储器可采用NAND flash memory 强
9 JP2005216345A / JP4284200B2《不揮発性半導体記憶システム》 2005-08-11(A公开) 权利要求直接以“非易失性半导体存储系统”为对象,包括多个半导体存储装置及控制部件 强,适合补强系统概念
10 JP2007058940A《記憶装置、ファイル記憶装置、およびコンピュータシステム》 2007-03-08 明确公开computer system及采用NAND flash memory的文件存储装置 中强,系统级补强
上述文献全部早于要求的 2011-08-15 截止日。各核心公开如下。
1. JP2009238328A——本轮最重要的日文对比文件
公开日为 2009年10月15日。
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这篇文献的价值不只是标题有“系统”。其摘要和说明书明确公开:NAND string由多个串联存储单元构成,并具有连接位线的SGD、连接源极线的SGS;文献同时明确提出“不揮発性半導体記憶システム”。
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尤其重要的是,其系统方案明确包括:具有多个NAND string的非易失性半导体存储装置,以及向该存储装置发送控制信号的controller。
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因此它形成了非常完整的逻辑:
NAND string → SGS/SGD/source line → semiconductor memory device → nonvolatile semiconductor memory system
这与 CN103782344B 把前述 NAND 结构扩展为“system”的逻辑高度一致。
对 G 的评价:直接、明确、无实质解释障碍。
2. JP2009224012A——对“设备包括系统”文字逻辑最强
公开日 2009年10月1日。
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这篇文献甚至专门设置了“システム基本構成(系统基本构成)”部分,并明确说明:
NAND型flash memory 22和controller 21组成flash memory device 2;进一步,flash memory device 2与向其发出读写命令的host 1组成“system”。文献还说明该system可以一体形成于MPEG播放器,也可以是PC与SSD的组合。
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而且该文献本身研究的就是 NAND flash read disturb 问题。
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因此从无效实务角度看,这篇文献对 G 特别漂亮,因为它不是需要推理“存储器当然可以用于系统”,而是直接定义了什么叫system。
3. JP2011048755A——“system + NAND string + SGS/source line”同篇出现
公开日 2011年3月10日,在截止日前约5个月。
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文献明确以“memory system”为发明对象,并公开由非易失第一存储器、第二存储器及相应控制处理单元构成的memory system。
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实施例进一步明确SSD包含 NAND memory 1 + controller 2 + FeRAM 3。
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更有价值的是,该NAND memory的物理块明确包括多个 NAND strings;选择晶体管ST1连接SGD,源侧选择晶体管ST2的源极连接 source line SL、栅极连接 SGS。
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所以如果希望寻找一篇既能证明“系统”,又尽量保持与目标专利NAND结构技术语境接近的日文文件,这篇应排在最前列。
4. 其他高质量补强文件
JP2009211226A 于2009年9月17日公开,明确说明发明涉及使用flash memory等非易失性半导体存储元件形成的“memory system”,并明确说明计算机系统使用的SSD可以配置NAND flash memory、多个flash chips、controller、buffer及host interface。
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JP2009266125A 于2009年11月12日公开,其摘要直接以“具有多个NAND memories、可对多个memory blocks并行访问的memory system”为技术对象。
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JP2011103144A 于2011年5月26日公开,明确说明computer system中的SSD搭载NAND flash memory,并包含多个flash chips、controller、buffer、host interface等。
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JP2008033788A 于2008年2月14日公开,发明名称本身即同时涉及“nonvolatile storage device”和“data storage system”,说明书明确称该data storage system包含非易失性存储装置,并明确涉及多值NAND flash memory。
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JP2008134685A 于2008年6月12日公开,明确涉及“nonvolatile memory system”;说明书还明确讨论NAND flash memory,并明确表示第一非易失存储器可以采用NAND型flash memory。
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此外,早在 JP2005216345A(2005-08-11公开) 中,权利要求已经直接以“nonvolatile semiconductor memory system”为对象,并限定该系统包含多个半导体存储装置。
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三、技术特征 G 比对表
CN103782344B 技术特征 G JP2009238328A JP2009224012A JP2011048755A
前提对象属于存储器/NAND技术环境 明确:NAND string存储装置 明确:NAND型flash memory device 明确:NAND memory/SSD
存储器设备能够形成更高层级设备 明确 明确 明确
“系统/system”是否文字明确公开 是:“不揮発性半導体記憶システム” 是:device+host被明确称为“system” 是:“memory system”
系统中是否包含存储设备/控制器 是 是 是
是否与NAND source-side技术语境接近 很高:NAND string、SGS、source line 高:NAND flash + read disturb 很高:NAND string、SGS、source line
对 G 的公开方式 直接公开 直接公开 直接公开
是否需要明显技术推理才能得到G 基本不需要 几乎完全不需要 基本不需要
作为G证据的强度 S级 S级 S级
尤其值得注意的是,目标专利自己已经说明“apparatus可指circuit、device或system”。
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因而很难将 G 解释成某种特殊的、不同于通常“memory system”的系统架构。
四、客观评估“成功公开”的概率
我的评估需要区分两个问题。
仅就技术特征 G 本身而言:成功证明其在2011年8月15日前已被公开的概率,我评估为约 98%–99%。
原因不是单纯因为“system”属于常用词,而是已经存在多篇能够形成直接文字证据的日文文件,其中:
JP2009238328A 已经在同一文献中把“NAND string + SGS/source line + semiconductor memory device + semiconductor memory system”串联起来;
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+1
JP2009224012A 更进一步明确规定“NAND flash memory device + host = system”;
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JP2011048755A 则把“memory system + NAND memory + NAND string + SGD/SGS/source line”直接放在同一个实施例体系内。
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所以 G 基本不具备可用于支撑创造性的区别贡献。
但要注意一个重要的无效法律逻辑:**G是权利要求4对权利要求1的附加限定。证明G已经公开,并不等于单凭这些文献就能够以新颖性理由整体无效权利要求4。**若走新颖性路线,原则上仍需一篇文件同时覆盖权利要求1的全部基础特征和G;若走创造性路线,则可以把能够较完整覆盖权利要求1的主引证文件与上述“system”文献结合,而G几乎不会构成组合中的实质障碍。
五、最终建议
对于后续正式无效组合,我建议 G不要投入过多检索资源。日文证据已经达到充分程度。
在需要选一篇“最优G文献”时,我的排序是:
第一选择:JP2009238328A —— 与目标NAND结构语境最接近,且“nonvolatile semiconductor memory system”直接公开。
第二选择:JP2009224012A —— 对“设备→系统”的文字对应最清楚,而且涉及NAND read-disturb。
第三选择:JP2011048755A —— 同篇具备memory system、NAND strings、SGD、SGS、source line,适合作为结构层面的补强。
综合判断,技术特征 G 被成功认定为优先权日前已有公开:98%–99%;其本身成为维持权利要求4有效性的有效区别特征的可能性极低。真正决定权利要求4能否被无效的,应当是权利要求1中“柱上的电荷存储串 + 独立source gate device + 位于string与source gate之间的source select device”这一核心组合是否能够被单篇或有结合启示的文献组合覆盖,而不是 G。
一、结论先行
经过围绕 system / electronic system / memory system / NAND system / vertical NAND + system / pillar + NAND + system / source select + electronic system / multiple select gates + system 等多组关键词进行交叉检索,并进一步沿高相关文献的同族、分案和引用链复核,我认为:
技术特征 G:“其中所述设备包括系统”被 2011-08-15 之前英文专利文献成功公开的概率约为 98%~99%,建议在无效检索中按 98% 评价,即“极高概率已经公开”。
这里的概率仅针对技术特征 G 本身,并不等同于权利要求4整体被无效的概率。CN103782344B 的权利要求4从属于权利要求1,因此权利要求4整体仍包含权利要求1的源极栅极、源极选择装置、柱状电荷存储串等限制。目标专利权利要求4确实写明“The apparatus of claim 1, wherein the apparatus comprises a system”,而说明书还进一步解释“apparatus”可以指“a circuit, device, or system”。
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+1
这意味着 G 本质上只是把权利要求1的装置提升到“系统”层级,并没有增加具体系统架构或系统控制关系。在此前的 NAND 专利中,这种“存储装置 + processor/controller/host = electronic system”的写法已经非常普遍。
二、检索到的高价值英文对比文件
排名 英文专利文献 公开日 对技术特征 G 的公开情况 与目标技术的接近程度 G公开强度
D1 US20050133851A1 — Vertical NAND flash memory array 2005-06-23 权利要求17直接以 “A system, comprising” 开始,系统包括 processor 和 memory device memory device 本身是具有多个 pillars/trenches 的垂直 NAND,与目标专利“柱+NAND串”背景高度一致 直接、明确,99%
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D2 US20060261404A1 — Vertical NROM NAND flash memory array 2006-11-23 权利要求28直接限定 “A system”,包括 processor + memory device memory device 为vertical NROM NAND,具有 plurality of pillars 和 trenches 直接、明确,99%
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D3 US20080253187A1 — Multiple select gate architecture 2008-10-16 权利要求22直接限定 “An electronic system”,包括 processor 和 memory device 同一权利要求进一步公开 NAND 串一端的第一选择栅+第二选择栅串联,第二选择栅位于第一选择栅与 source line 之间,对目标源侧结构也很有价值 直接、极强,99%
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D4 US20070047312A1 — Operation of multiple select gate architecture 2007-03-01 权利要求43、47直接限定 “An electronic system”,processor + memory device 进一步明确第一、第二 source select gate 串联,一个位于 string/source line 之间,第二个位于第一选择栅与 source line 之间 直接、极强,99%
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D5 US20070012988A1 — High density NAND non-volatile memory device 2007-01-18 权利要求55直接限定 “A system, comprising: a processor coupled to at least one memory device” 同一系统权利要求公开 NAND architecture、trenches/raised areas、vertical select gates、source line 直接、极强,99%
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+1
D6 US20090103365A1 — Sensing of memory cells in NAND flash 2009-04-23 权利要求14直接限定 “A system”,host coupled to NAND architecture Flash memory device 进一步明确 NAND string 与 bit line、source line 的连接和 source follower sensing 直接、明确,99%
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+1
D7 US20090011560A1 — Multiple select gate architecture with select gates of different lengths 2009-01-08 图3和说明书明确为 electronic system 300,系统含 non-volatile memory device 302 和 external processor 320 每个 NAND string 的源侧有串联的 source select gates 210、211,其中外侧选择栅直接连接 common source line 明确,98%
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+1
D8 US20050259468A1 — Select lines for NAND memory devices 2005-11-24 明确公开 memory system 100,NAND memory device 102 与 external microprocessor/controller 组成 electronic system 同时明确 NAND strings、source select gate、common source line 明确,98%
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+1
D9 US20070063259A1 — Floating-gate memory cell 2007-03-22 权利要求13、18均直接限定 “An electronic system”,processor + memory device 从属权利要求14/19进一步明确 memory array 可以为 NAND array 直接,98%
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+1
D10 US20070030735A1 — Page buffer circuit and method for multi-level NAND programmable memories 2007-02-08 权利要求20直接为 “An electronic system, comprising”,系统内含 memory device 文献本身针对 multi-level NAND programmable memory 直接,97%
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+1
D11 US20080101123A1 — NAND flash memory cell programming 2008-05-01 明确写明 memory device 100 coupled to processor 120 “forms part of an electronic system” 同一实施例为 NAND flash,并明确 source select transistor 306、source line 320 明确,97%
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+1
D12 US20110153922A1 — Non-volatile memory device having assignable network identification 2011-06-23 图5明确为 electronic system,具有 host processor、RAM、bulk storage 等 memory system 的数组明确可以采用 NAND architecture 明确,96%
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以上代表性文献的实际公开日全部早于 2011-08-15,因此没有以“优先权日在前、但公开日在截止日之后”的文献混入结果。
三、最重要的几篇文献分析
1. 首选:US20050133851A1
这是本轮针对 G 最值得保留的英文文献之一。
它的价值不只是一般性地说“存储器可以用于系统”,而是在权利要求17中直接请求保护一个 system:
A system, comprising: a processor coupled to at least one memory device...
随后直接限定该 memory device 是具有 plurality of pillars、intervening trenches、vertical floating-gate memory cells、NAND memory strings 的垂直 NAND 存储器。
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而 CN103782344B 的权利要求1恰好也以“与包括半导体材料的柱相关联的电荷存储装置串”为基础。
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因此对于 G 而言,其对应关系非常自然:
目标:设备包括系统 → D1:直接公开“A system”,且该 system 内部包含垂直 NAND/pillar memory device。
我对 D1 单独公开 G 的评价:约99%。
2. US20060261404A1
这篇同样非常强。
其权利要求28明确为:
A system, comprising:
a processor coupled to at least one memory device...
而该 memory device 进一步被限定为 NROM NAND architecture memory array,具有 plurality of pillars and associated intervening trenches,NROM memory cells 垂直形成在柱及沟槽侧壁。
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其公开日为 2006-11-23。
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因此它不是跨技术领域引用,而是与目标专利属于非常接近的垂直 NAND/柱状存储器系统技术背景。
对 G:约99%。
3. US20080253187A1——特别值得与目标权利要求1联合分析
这篇对于 G 的价值甚至不仅仅在“系统”。
权利要求22直接公开:
An electronic system → processor → one or more memory devices → non-volatile memory string → source line。
更重要的是,它继续明确:
first select gate 与 NAND 串串联;
second select gate 与 first select gate 串联;
second select gate 位于 first select gate 与 source line 之间。
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因此,如果把目标权利要求1中的:
NAND串 → source select device → source gate device → source
按照功能/位置关系进行分析,US20080253187A1 已经给出非常接近的“两个串联源侧选择器件 + source line”结构,同时又在同一权利要求22中把该结构明确提升到“electronic system”层级。其公开日为 2008-10-16。
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所以它属于针对 G **无需再拼接另一篇“system文献”**的优质文件。
4. US20070047312A1
这篇也是非常值得保留的文献。
权利要求43直接是 electronic system,并明确:
processor;
memory device;
non-volatile memory strings;
first source select gate;
second source select gate interposed between the first source select gate and the source line。
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权利要求47再次以 electronic system 形式重复两级 source-select 结构。其公开日为 2007-03-01。
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对于单独 G 是直接公开;如果将来评估整个权利要求1/4,它还有明显更高的组合价值。
四、技术特征 G 比对表
技术特征 CN103782344B US20050133851A1 US20060261404A1 US20070012988A1 US20070047312A1 US20080253187A1 US20090103365A1
装置处于“system”层级 是:Claim 4 是:“A system” 是:“A system” 是:“A system” 是:“An electronic system” 是:“An electronic system” 是:“A system”
system包括存储装置 是 是 是 是 是 是 是
存储装置属于 NAND 技术 是 是 是 是 是 是 是
涉及 NAND string 是 是 是 是 是 是 是
与 pillar/vertical NAND 接近 是 高度接近 高度接近 较高 一般 一般 一般
与源侧选择器件结构接近 是 有 select gate 有 select device vertical select gate 两个串联source select gates 两个串联source-side select gates source line/read
对 G 的结论 — 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开 完全公开
上述对应关系分别由 D1 的 system + vertical NAND/pillar 权利要求、D2 的 system + vertical NROM NAND/pillar 权利要求、D3 的 system + vertical-select NAND 权利要求,以及 D4/D5 的 electronic-system + series source-select 权利要求直接支持。
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五、为什么 G 很难形成有效区别
CN103782344B 自己已经对“apparatus”作了非常宽的解释,即 apparatus 可以表示 circuit、device 或 system。同时图10专门公开 system 1000,其中 memory device 1020 可以包含该专利所述的半导体构造。
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因此,G 并没有进一步要求例如:
“系统必须具有特定处理器”“系统必须具有特定总线”“系统必须执行特定存储控制算法”“source gate 必须由系统级控制器以特定方式控制”。
它只是把权利要求1中的 apparatus 表述为 system。
而在优先权日前至少有多篇文献已经不仅在说明书中描述电子系统,而且直接把**“A system”或“An electronic system”写入权利要求**。尤其 US20050133851A1、US20060261404A1、US20070012988A1、US20070047312A1、US20080253187A1 和 US20090103365A1,均不存在必须依赖“隐含公开”才能成立的问题。
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六、客观概率评估
评价维度 评价
找到截止日前明确“system”文献的难度 极低
是否存在逐字或近似逐字公开 是,大量存在
是否仅依靠隐含公开 否
是否有同属 NAND 技术领域的文献 是
是否有 vertical NAND / pillar 高度接近文献 是,D1、D2
是否有“两级源侧选择器件 + system”的文献 是,D3、D4、D7
Claim construction 争议空间 很小,但不能说绝对为零
G技术事实层面的公开概率 约99%
无效程序中被认定G已被现有技术公开的概率 约98%
最终评价:98%,极高
我不建议再把大量检索时间投入到单独寻找“system”这一特征上。就 G 单项而言,证据已经明显过剩;继续增加普通“memory device used in an electronic system”的文件,对无效成功率的边际提升已经很小。
真正值得保留并优先进入后续无效组合的是三类文献:
US20050133851A1 / US20060261404A1 负责“vertical NAND + pillar + system”;US20080253187A1 / US20070047312A1 / US20090011560A1 负责“两个串联的源侧选择器件 + system”;其中 US20080253187A1 尤其值得重视,因为其权利要求22本身就在同一个 electronic system 权利要求中明确写出“第一选择栅 + 第二选择栅 + 第二选择栅位于第一选择栅与 source line 之间”的结构。
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因此,如果后续目标是提高 CN103782344B 权利要求1/4整体的无效概率,下一步检索重点不应再放在 G,而应集中于“垂直柱状 NAND + 独立的两级源侧控制器件 + 两个器件分别控制 channel-source conduction”能否在一篇截止日前文献中进一步集中公开。
我对“Internet Archive / Internet Archive Scholar + 原始出版页”进行了多轮交叉检索,并严格按 2011-08-15 之前已经公开 的标准筛选。结论很明确:技术特征 G“其中所述设备包括系统”属于非常弱的附加限定,在优先权日前已有多篇非专利文献明确公开 NAND/Flash memory device 作为“system”或作为系统中的存储组成部分。
CN103782344B 的权利要求4确实是“根据权利要求1所述的设备,其中所述设备包括系统”。同时,目标专利说明书明确解释,“设备(apparatus)”可指 circuit、device 或 system;图10进一步把这种“system”具体化为处理器、存储器装置、存储器控制器、I/O 控制器、总线等组成的系统,而且存储器装置可采用前述 NAND 存储单元结构。
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Google Patents
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因此,从说明书语境看,G 更合理地理解为:权利要求1所述 NAND 设备可以系统级形式实现/构成系统的一部分,而不是要求一种新的、特殊的“系统”结构。这一点对无效非常有利。
一、反复检索后筛出的高价值文献
排名 对比文献 公开时间 Internet Archive 检索情况 与技术特征G相关的公开内容 匹配度
D1 S.-W. Lee et al., “A Log Buffer-Based Flash Translation Layer Using Fully-Associative Sector Translation” 2007年7月 Internet Archive Scholar 检出保存对象;另由原始PDF交叉核实 图1标题直接为 “An anatomy of the NAND flash memory system”;系统包括 NAND Flash Memory、Controller、FTL、SRAM mapping table、接口及 File System。正文也明确称其为“NAND-type flash memory system” ★★★★★
D2 Bo-Sung Jung / Jung-Hoon Lee, “The Instruction Flash memory system with the high performance dual buffer system” 2011年2月 Internet Archive Scholar 检出 KISTI 保存PDF 标题本身即为 Flash memory system;摘要明确称“proposed instruction flash memory system”,并说明系统由 temporal victim buffer 与 spatial buffer 构成 ★★★★★
D3 Dongkun Shin, “Workload-driven adaptive log buffer-based FTL” 2010-06-10 Internet Archive Scholar 保存了 J-STAGE PDF 正文明确指出 NAND flash memory 已成为 mobile embedded systems 中重要的存储介质,FTL 位于 file system 与 flash memory 之间,直接公开 NAND 存储器在系统中的系统级使用 ★★★★☆
D4 Shan Li & H. Howie Huang, “Black-Box Performance Modeling for Solid-State Drives” 2010-08-17~19 Internet Archive Scholar 检出作者保存PDF 研究对象为 flash-based SSD,明确讨论 flash-based storage systems;SSD 本身即为 NAND/Flash 器件、控制器等组成的存储系统 ★★★★☆
D5 Hunki Kwon et al., “Janus-FTL: Finding the Optimal Point on the Spectrum Between Page and Block Mapping Schemes” 2010-10-24~29 Internet Archive Scholar 检出保存PDF 讨论 NAND flash memory based storage such as SSDs,发表于 Embedded Software 会议,明确将 NAND flash 作为系统级存储装置使用 ★★★☆☆
其中 D1 是本轮最重要的非专利对比文件。其原始论文页明确显示出版日期为 July 2007;而图1不是仅泛泛提到“system”,而是直接画出了 NAND Flash Memory、Controller、FTL、SRAM、PCMCIA interface 与 File System 的关系,并把图命名为 “An anatomy of the NAND flash memory system”。这几乎是对技术特征 G 的字面级公开。
KAIST OS Lab
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D2 同样非常直接。Internet Archive Scholar 检索到了其 KISTI PDF 保存对象,KCI 官方记录确认该论文发表于 2011年,Vol.16 No.2,pp.1–8;KCI 对摘要的记录还明确写明“提出的 instruction flash memory system”由两个 buffer 构成。因此,如果只考察“设备包括/构成系统”,不存在需要较强推理的问题。
Internet Archive Scholar
+2
KCI
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D3 的证据链也很完整。Internet Archive Scholar 保存了该文,J-STAGE 官方页面确认论文于 2010-06-10 发布,远早于截止日;论文摘要明确针对 NAND flash memory 的 FTL,而正文进一步将 NAND flash 放入 mobile embedded system、file system—FTL—flash memory 的层级架构中。
Internet Archive Scholar
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D4 发表于 MASCOTS 2010,会议时间为 2010年8月17日至19日。Internet Archive Scholar 检出了作者网站上的保存PDF,论文围绕 SSD 建模,并明确把研究目的描述为探索 flash-based storage systems 的设计空间。因此,它虽然不如 D1 那样直接使用“NAND flash memory system”的图题,但仍然是很强的系统级公开。
Internet Archive Scholar
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ResearchGate
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D5 发表于 EMSOFT 2010,时间为 2010年10月24日至29日。Internet Archive Scholar 的保存对象明确给出该论文并概括其主题为 NAND flash memory based storage / SSD;EMSOFT 会议资料也能交叉确认该论文。它适合作为补强文献,但就 G 而言没有必要排在 D1—D3 前面。
Internet Archive Scholar
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ACM SIGBED
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二、技术特征逐项比对
技术特征G的实际含义 CN103782344B D1 Lee 2007 D2 Jung/Lee 2011 D3 Shin 2010 D4 Li/Huang 2010 D5 Janus-FTL 2010
NAND/Flash 存储设备 是 是 是 是 是 是
设备在系统层级使用 是 明确 明确 明确 明确 明确/可直接理解
明确出现“system”概念 是 NAND flash memory system Flash memory system mobile embedded systems flash-based storage systems storage/embedded system
系统中包含存储器及控制结构 图10明确 Controller + NAND + FTL + SRAM + interface buffer + NAND flash system file system + FTL + NAND SSD体系 NAND/SSD体系
无需创造性推理即可得到G — 是 是 基本是 基本是 较强
对G的无效贡献 — 极高 极高 高 中高 中
目标专利自己的图10其实进一步削弱了 G 的技术贡献:其所谓“system”是处理器、memory device、memory controller、graphics controller、I/O controller、bus 等常规组成,而且还列举电脑、手机、PDA、数码相机、MP3播放器等常见系统形态。
Google Patents
换言之,G 没有进一步限定特殊的系统拓扑、控制机制或器件间特殊关系。
三、对“成功公开概率”的客观评估
我的评估是:
技术特征 G 单独被认定为已由 2011-08-15 前现有技术公开的概率:约 96%,合理区间 93%~98%。
这个概率较高主要不是因为存在很多“system”字样,而是因为至少 D1 已经形成了非常干净的证据链:2007年公开 + NAND + 明确称为 NAND flash memory system + 给出了系统结构图。D2、D3又分别从 flash memory system 和 embedded system 两个方向独立补强。D1 尤其难以通过“只是普通存储器而不是系统”进行区分。
KAIST OS Lab
+2
KCI
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不过需要严格区分两个问题。G 被公开 ≠ 权利要求4必然被单篇文献破坏新颖性。 权利要求4从属于权利要求1,因此,如果要用单篇非专利文献直接攻击权利要求4的新颖性,该文献还必须公开权利要求1的“半导体柱上的电荷存储串 + 源极栅极装置 + 位于串和源极栅极之间的源极选择装置”等全部限定。D1—D5主要解决的是 G 的系统级限定,并不当然解决权利要求1的全部结构。权利要求1的具体限定可在目标专利权利要求中直接看到。
Google Patents
因此,在无效组合中,我更建议把这些文献定位为:
“主对比文件公开权利要求1核心 NAND/源侧结构 + D1(Lee 2007)证明将该 NAND 存储设备实现为系统属于优先权日前已经成熟公开的系统级实现方式。”
如果已经有一篇较强的 D0 完整或基本完整公开权利要求1,则利用 D1/D2/D3 补足 G、论证权利要求4不具创造性的把握,我估计可达到 90%左右,约85%~95%。因为把 NAND memory device 配置于 processor/controller/file-system 所组成的 system 中,在 2007—2011 年的文献中已经是非常成熟的常规系统架构。D1 给出的图1对此尤其有利。
KAIST OS Lab
四、最终建议的证据优先级
本轮 Internet Archive 检索中,首选 D1:Lee et al., 2007;第二选择 D2:Jung & Lee, 2011;第三选择 D3:Shin, 2010。 D4、D5可作为补强或证明该系统化应用属于本领域普遍技术背景。
另外,本轮连续访问 Internet Archive Scholar 后其接口出现了明确的 rate-limit 提示,因此部分文献采用了“Internet Archive Scholar 检出存档对象 + 原始出版社/会议页面核实出版日期和正文”的双重验证方式,而不是仅依赖搜索结果摘要;这反而降低了把后期文献或错误日期纳入对比文件的风险。
Internet Archive Scholar
最终结论:技术特征 G 本身并不是 CN103782344B 中具有较强抗无效能力的技术特征。现有非专利文献已经能够非常充分地证明,在 2011-08-15 以前,将 NAND/Flash memory device 作为或者配置在一个“system”中属于明确且成熟的公开技术。就 G 单独而言,我给出约 96% 的成功公开概率,并建议实际无效时优先使用 D1 Lee 2007 作为系统特征的补强证据。
经过多轮以 “flash memory storage system / flash-based storage system / NAND flash + system / embedded system / flash device architecture / storage controller” 等关键词交叉检索 arXiv,并逐项核对 arXiv 的 v1 首次提交日期,我认为:技术特征 G“其中所述设备包括系统”在 2011-08-15 之前已经被 arXiv 文献充分公开,且公开强度很高。
这里要特别注意 G 的解释。目标专利族说明书明确指出,“apparatus”可以指电路、设备或系统;图10又进一步公开一个 system 1000,其中包括处理器、memory device、memory controller、I/O controller 等,而且该 memory device 可以采用前文所述 NAND 存储器结构。
Justia Patents
+1
因此,G更接近一个很宽的系统级应用限定,而不是对源极栅极、源极选择器件等核心 NAND 结构增加新的结构关系。
一、检索到的高价值 arXiv 文献
1. 最强文献:arXiv:1001.3720
Yi-Reun Kim et al., “Page-Differential Logging: An Efficient and DBMS-independent Approach for Storing Data into Flash Memory”
arXiv v1 提交于 2010-01-21,明显早于 2011-08-15。
arXiv
这是本轮检索对 G 最有价值的一篇文献。原因不仅是它明确讨论“flash-based storage systems”,更重要的是全文专门澄清:文中后续所谓 flash memory 指 NAND 型 flash memory,并明确说明这种 NAND flash 广泛用于 flash-based storage systems。论文同时指出 flash memory 被广泛用于 embedded systems、手机、MP3 播放器、数字相机等设备。
arXiv
这实际上形成了非常清楚的逻辑链:
NAND flash memory → 用于 flash-based storage system → system 中包含该 NAND memory。
因此,即使将 G 严格理解为“所述设备进一步作为系统的一部分/所述 apparatus 以 system 形式存在”,该文献也具有很强的直接公开价值。
对 G 的公开强度:极强。
2. arXiv:0910.2005
Fan Zhang, Henry D. Pfister, “Modulation Codes for Flash Memory Based on Load-Balancing Theory”
arXiv v1 提交于 2009-10-12。
arXiv
摘要直接研究 multilevel flash memory storage systems,后面又多次讨论实际 flash memory systems 以及 practical flash memory storage systems。也就是说,这篇文献不是仅孤立讨论一个存储单元,而是明确把 flash memory 放在存储系统层面讨论。
arXiv
不足在于:摘要没有像 arXiv:1001.3720 那样进一步明确限定“flash memory=NAND flash memory”。因此,它对单独技术特征 G 很强,但若希望同时承担 NAND 类型的衔接作用,略逊于第一篇。
对 G 的公开强度:很强。
3. arXiv:1102.3513
Riki Suzuki, Tadashi Wadayama, “Layered Index-less Indexed Flash Codes for Improving Average Performance”
arXiv v1 提交于 2011-02-17,仍在截止日前约半年。
arXiv
其摘要一开始就把研究对象界定为用于 flash memory storage system 的编码方案。也就是说,“flash memory”与“storage system”之间不是我方推导出来的,而是作者直接把二者组合为研究对象。
arXiv
如果 G 仅要求证明“设备包括/构成一个 system”这样的系统层限定,这已经是非常直接的现有技术。
对 G 的公开强度:很强。
4. arXiv:0909.1780
Luc Bouganim et al., “uFLIP: Understanding Flash IO Patterns”
arXiv v1 提交于 2009-09-09。
arXiv
论文研究 flash devices 作为 secondary storage 时的性能,并明确讨论如何设计 flash-based systems 的 algorithms and architectures;作者测试了 11 种 flash devices,并据此提出 flash-based systems 的设计建议。
arXiv
因此其关系非常直观:
flash device → 被用于 flash-based system → 该 system 包含 flash device。
这正是 G 所要求的非常宽泛的系统层级关系。不过其摘要没有把 flash device 进一步明确到 NAND,因此仍稍逊于 arXiv:1001.3720。
对 G 的公开强度:很强。
5. arXiv:0911.3992
Anxiao Jiang et al., “Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories”
arXiv v1 提交于 2009-11-20。
arXiv
该文献明确把 flash memory 定义为一种 non-volatile computer memory,并说明 flash cell 可采用 NAND 或 NOR floating gate,且 NAND flash 当时已经是最广泛采用的 flash 类型;后续讨论也直接针对 NAND flash memory。
arXiv
它对“NAND memory”本身非常明确,但“system”字样不像前四篇那么直接。因此它更适合作为补强文献:证明在截止日前 NAND flash 已经是典型的 computer memory,而将这种 memory 放入计算机/存储系统属于常规应用。
对 G 的公开强度:中强。
6. arXiv:0901.0702
Eitan Yaakobi et al., “Multidimensional Flash Codes”
arXiv v1 提交于 2009-01-06。论文直接把 flash memory 定义为一种 non-volatile computer memory,并讨论由多个存储单元组成的 flash memory。
arXiv
该文献可以证明 flash memory 早已作为计算机存储器使用,但没有像前几篇一样明确出现“flash memory storage system”这一系统结构,因此贡献属于辅助性质。
对 G 的公开强度:中等。
二、技术特征 G 比对表
对比文件 arXiv首次公开 截止日前 与“系统”的公开内容 与技术特征G的对应关系 公开程度
arXiv:1001.3720 Page-Differential Logging 2010-01-21 是 明确针对 flash-based storage systems;并明确本文 flash memory 指 NAND 型,且 NAND 广泛用于该类系统 NAND flash memory 被明确置于 storage system 中 直接、极强
arXiv:0910.2005 Modulation Codes for Flash Memory 2009-10-12 是 明确研究 multilevel flash memory storage systems flash memory 构成/用于 storage system 直接、很强
arXiv:1102.3513 Layered ILIFC 2011-02-17 是 明确提出用于 flash memory storage system 的方案 flash memory 与 system 直接结合 直接、很强
arXiv:0909.1780 uFLIP 2009-09-09 是 明确研究 flash devices 以及 flash-based systems 的 architecture flash device 位于/构成 flash-based system 直接、很强
arXiv:0911.3992 Storage Coding for Wear Leveling 2009-11-20 是 明确 NAND flash 是广泛使用的 non-volatile computer memory NAND memory 作为计算机存储装置,系统属性可进一步直接理解 较强/补强
arXiv:0901.0702 Multidimensional Flash Codes 2009-01-06 是 明确 flash memory 是 non-volatile computer memory 支持 memory device 属于计算系统存储体系 辅助
arXiv:1012.5430 Trajectory Codes for Flash Memory 2010-12-24 是 明确 flash memory 是广泛使用的非易失电子存储介质 支持 flash memory 的系统应用背景,但没有强 system 表述 辅助
其中 arXiv:1012.5430 的首次提交日期为 2010-12-24,摘要明确针对 flash memory 这一非易失电子存储介质及数据结构、应用和存储介质之间的关系。
arXiv
三、为什么 arXiv:1001.3720 尤其重要
如果仅选择一篇 arXiv 文献支撑 G,我建议首选:
arXiv:1001.3720 — Page-Differential Logging
它解决了其他文献可能存在的一处争议:对方可能主张“flash memory storage system 虽然是 system,但没有证明与本专利的 NAND memory 相同”。
这篇论文恰好把这个缺口封住了,因为它同时公开:
① flash-based storage system;
② flash memory 作为其中的存储介质;
③ 本文所称 flash memory 特指 NAND type flash memory;
④ NAND flash 广泛用于这种 flash-based storage system。
arXiv
与目标专利自身“apparatus 可以指 systems”以及图10“system 包括 memory device”的说明方式高度对应。目标专利也明确说 NAND memory device 可以包括多个 strings,并在 system 1000 中把前述 memory constructions 作为 memory device 1020。
Justia Patents
+1
因此,对 G 而言,不要求 arXiv 文献采用与权利要求完全一致的句式“wherein the apparatus comprises a system”,技术含义已经可以非常直接地对应。
四、日期过滤中发现但必须排除的文献
本轮也命中了若干内容实际上更加直接、但日期不合格的 arXiv 文献,因此没有列为有效对比文件。
例如 An Improved Analytical Expression for Write Amplification in NAND Flash 明确针对 NAND flash,但 arXiv v1 是 2011-10-19,晚于 2011-08-15,因此排除。
arXiv
另如 Performance Evaluation of Flash File Systems 甚至明确说 NAND flash memories 是 secondary storage systems 的构成基础,但首次提交于 2012-08-31,同样不能用于本次日期限制下的对比。
arXiv
这两个结果反过来也说明本轮并非仅按关键词命中后直接收录,而是对时间进行了逐篇过滤。
五、客观概率评估
我建议将两个概率分开看:
1. “技术特征 G 本身在 2011-08-15 前已经被公开”的概率:约 97%–99%。
理由是至少 arXiv:1001.3720 已经形成非常完整的“NAND flash memory + flash-based storage system”直接公开链,另外 arXiv:0910.2005、1102.3513、0909.1780 又分别独立公开 flash memory/device 与 system 的结合。
arXiv
+3
arXiv
+3
arXiv
+3
2. 单独依靠 arXiv 文献、要求审查者接受其与 G 的文字级严格对应:约 90%–95%。
保留约 5%–10% 的不确定性主要不是现有技术不足,而是 G 的中文表述“其中所述设备包括系统”本身较特殊。如果权利要求解释被异常严格地限定为一种特定“device 包含另一个 system”的嵌套结构,而不是目标说明书所说的 apparatus 可表现为 system,那么需要结合原始英文权利要求进一步确认。但按照目标专利说明书自身对 apparatus 和 system 的使用方式,我认为这种严格解释的说服力有限。
Justia Patents
+1
最终结论
技术特征 G 属于本专利中最容易被现有技术攻破的一类特征。
就本次限定的 arXiv 非专利文献检索而言,我的排序为:
arXiv:1001.3720 > arXiv:0910.2005 ≈ arXiv:1102.3513 > arXiv:0909.1780 > arXiv:0911.3992 > arXiv:0901.0702 / arXiv:1012.5430。
其中 arXiv:1001.3720 单篇已经足以对 G 提供非常强的公开依据;前三至四篇共同使用时,可以把“flash/NAND memory device 被包含、应用于 storage/computing system”证明得相当扎实。
综合评估:G 被截止日前现有技术成功公开的概率约为 98%,属于“极高概率已公开”。这一结论针对的是技术公开层面;如果将 arXiv 网页作为正式无效证据提交,还应另外固定其历史公开时间及网页/PDF真实性,这属于证据形式问题,不影响上述技术比对结论。
基于你这次提供的两份对比文件——CN102148059A和US20080253187A1——以及CN103782344B权利要求4的实际限定,我对权利要求4整体被成功无效的概率评估为约92%,合理区间约为 88%~95%。
其中我建议采用两层无效理由:
主攻:CN102148059A单篇破坏新颖性。
备选:CN102148059A + US20080253187A1破坏创造性。
如果只看“技术匹配程度”,成功率甚至可以给得更高;我没有给到95%以上,主要是保留了合议组对于“源极栅极装置/source gate device”与CN102148059A中的“地选择晶体管/GST”是否可以直接对应的权利要求解释风险。
权利要求4并不是一个独立的“system”权利要求,而是引用权利要求1,并进一步限定:
“其中所述设备包括系统。”
因此完整判断对象实际是:
| 特征 | 权利要求4要求 |
|---|---|
| A | 电荷存储装置串与包括半导体材料的柱相关联 |
| B | 源极栅极装置耦合到源极,并控制串通道与源极之间的导电 |
| C | 源极选择装置位于电荷存储装置串与源极栅极装置之间 |
| D | 源极选择装置也控制串通道与源极之间的导电 |
| G | 所述设备包括系统 |
权利要求1及权利要求4原文位于目标专利权利要求书第1页。
时间资格方面也没有明显问题。CN102148059A公开日为2011-08-10,仅比目标专利2011-08-15的优先权日早5天;US20080253187A1则公开于2008-10-16。二者均可进入本案现有技术体系。(Google 专利)
| 权4特征 | CN102148059A公开情况 | 评价 |
|---|---|---|
| A:柱+电荷存储串 | 柱113包括P型硅表层114;ONO中的氮化硅层118作为电荷存储/电荷俘获层;柱及其周围结构形成NAND串,每个NAND串包括多个晶体管结构TS | 直接公开,★★★★★ |
| B:靠源极的source gate | 地选择晶体管GST位于共源线CSL侧;向GSL施加高于阈值电压形成沟道,使GST沟道与共源线电连接 | 很强,★★★★☆ |
| C:string与source gate之间另有source select | 图14实施例明确:每个NAND串的字线WL1-WL6与共源线CSL之间存在两条地选择线;一条邻近CSL,另一条邻近字线 | 极强,★★★★★ |
| D:第二装置也控制通道—源极导通 | 两只GST串联位于唯一的string→CSL导电通路上,并分别接受栅压;任一GST关闭都会切断该通路 | 强,★★★★☆ |
| G:系统 | 图28明确存储系统1000包括非易失性存储器1100,而且1100“如参照图1-27所描述的那样配置和操作” | 直接公开,★★★★★ |
A的证据比较干净:CN102148059A明确把柱113、绝缘层116、电荷存储层118以及导电线组合成NAND串,并明确每个NAND串包括多个晶体管结构。
真正关键的是B~D。CN102148059A说明,当给地选择线GSL施加高于GST阈值的电压时,会在GST中形成沟道,并使该沟道与共源线CSL电连接,也就是实质上控制NAND串通道与源极之间的导电。
更重要的是图14实施例:
每个NAND串在字线WL1-WL6与共源线CSL之间存在两条地选择线;其中GSL12/GSL13邻近共源线,而GSL22/GSL23邻近字线。
因此最稳妥的对应关系是:
memory cells/string → GSL22控制的GST → GSL12控制的GST → CSL
对应目标权利要求:
charge-storage string → source select device → source gate device → source
这一点非常重要,因为不存在“一只GST同时重复映射两个不同装置”的问题。
CN102148059A对“system”公开得非常明确。
其图28实施例规定:
存储系统1000包括非易失性存储器件1100和控制器1200;而非易失性存储器件1100按照图1~27描述的结构配置和运行。
后面图30还进一步把该存储系统放入包含CPU、RAM、用户接口、电源等的计算系统3000。
因此不存在“前面公开A-D,后面突然换成完全不同器件”的拼接问题。D1自己明确把图1~27的存储器结构直接带入图28的存储系统。
所以我对G单独被认定已经公开的概率给98%~99%。权利要求4相比权利要求1增加这一限定,基本没有显著提高其有效性。
US20080253187A1最大的优势是,它把目标权利要求B~D要求的拓扑关系写得比CN102148059A还直白。
其说明书明确公开:
NAND string → source select gate 210 → source select gate 211 → common source line 216
其中:
source select gate 211的source接common source line 216;其drain连接source select gate 210;210再连接对应NAND string的第一个浮栅晶体管。
所以可直接映射:
210 = source select device
211 = source gate device
Google Patents中的权利要求22甚至直接在一个electronic system中写出了第一选择栅、第二选择栅以及第二选择栅位于第一选择栅与source line之间的结构。(Google 专利)
而说明书图8同样明确为“electronic system 800”,其中包括NAND非易失性存储器件802以及外部处理器820。
因此US20080253187A1对 B+C+D+G 的证明非常漂亮。
它的不足也很明确:没有CN102148059A那种垂直半导体柱113结构。所以不建议把US20080253187A1作为单篇新颖性主证据。
这两个文件不是简单地“一个缺什么就从另一个搬什么”。
二者具有非常明确的技术联系。
US20080253187A1明确说明设置额外串联选择栅的目的之一,是在缩小器件尺寸的同时保持或改善截止性能、降低泄漏影响;两个串联选择栅产生中间电位,从而降低GIDL。
而CN102148059A同样专门讨论源侧两个GSL,并明确说明邻近共源线的地选择线采用不同电压可以减少GIDL。
所以二者不仅同属NAND,而且:
同样是source-side select gate → 同样涉及两个串联栅控级 → 同样解决GIDL/截止控制问题。
这使得“结合启示不足”“属于事后诸葛亮式拼接”的抗辩明显偏弱。
最大的风险不是G,而是“source gate device”的权利要求解释。专利权人很可能主张CN102148059A的两个器件均称为“ground select transistor”,没有一个被称作“source gate device”。但这个抗辩力度有限,因为权利要求1没有通过名称定义source gate,而是通过位置、连接关系和控制通道—源极导电的功能加以限定。把说明书中更具体的“共享源极栅”“特殊阱结构”等限制读入权利要求1,依据不足。
第二个风险在D。CN102148059A对靠CSL的GST控制导电写得非常明确,而对靠字线的第二GST没有逐字重复“controls conduction between channel and source”。不过该GST物理上串联在唯一的string→source通路中,并受到独立栅压控制,实际上属于很强的必然公开;US20080253187A1又进一步消除了这一争议。
第三个风险是权利要求4的“设备包括系统”中文表述略显别扭。但目标专利自身就是把“apparatus”分别下位限定为memory device和system;而CN102148059A与US20080253187A1均明确公开了包含相应NAND器件的memory/electronic system。因此这一风险很小。
| 无效路径 | 我的评估 |
|---|---|
| CN102148059A单篇,主张权4不具新颖性 | 约89%~91% |
| US20080253187A1单篇 | 不建议;缺少半导体柱A |
| CN102148059A + US20080253187A1,主张不具创造性 | 约94%~96% |
| 两条理由同时提交后的权4整体无效概率 | 约92% |
因此,如果必须给一个单一数值,我会给:
CN103782344B权利要求4成功无效概率:约92%。
而且就现有两篇文件而言,最优策略不是把US20080253187A1作为主对比文件,而应当明确以CN102148059A为最接近现有技术/新颖性主证据,US20080253187A1专门承担“两个串联源侧栅控器件+明确system+GIDL技术动机”的补强作用。这样证据链最稳。
根据权利要求1所述的设备,其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
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检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
本轮严格按权利要求5=权利要求1的A-D+新增H进行:
· A:电荷存储装置串与包括半导体材料的柱相关联;
· B:源极栅极装置耦合到源极,并用于控制串通道与源极之间的导电;
· C:源极选择装置耦合在电荷存储装置串与源极栅极装置之间;
· D:源极选择装置用于控制串通道与源极之间的导电;
· H:每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。
截止日按委托要求机械地采用公开日严格早于2011-08-15。检索中把“浮动/浮置栅极(floating gate)”与“氮化物电荷俘获层、SONOS、TANOS、charge trap”严格区分;分类号或背景技术中出现floating gate,不能代替具体实施例对H的公开。
结论:本轮未找到单篇无争议地同时公开A-D及H的文献,新颖性攻击成功率约25%;但`US20050133851A1 + US20080253187A1`为很强的两篇创造性组合:前者明确给出垂直柱侧壁上的浮栅NAND串,后者在同类浮栅NAND串源侧明确增加第二个串联选择栅,并给出抑制GIDL/泄漏、改善截止和缩小阵列的动机。综合无效成功概率评估为86%,已达到75%,本轮不启动补充轮次。
搜索结果页为动态页面,命中数量会随Google索引和同族折叠变化,故本报告不把结果数量作为证据;所有入选文献均再次打开Google Patents专利直页,核验公开日和说明书。四语结果共同回溯到下述US/CN同族;日、韩词面噪声较高,后续证据定位采用内容最完整的英文或中文公开页。
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语言 |
精确检索式 |
Google Patents检索URL |
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中文 |
("半导体柱" OR "导电柱") NAND ("浮动栅极" OR "浮栅") ("源极选择" OR "源线一侧选择") |
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英文 |
("semiconductor pillar" OR "substrate pillar") NAND "floating gate" ("source select gate" OR "source selecting device") |
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日文 |
("半導体ピラー" OR "半導体柱") NAND ("浮遊ゲート" OR "フローティングゲート") ("ソース選択ゲート" OR "ソース側選択") |
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韩文 |
("반도체 필러" OR "반도체 기둥") NAND ("플로팅 게이트" OR "부유 게이트") ("소스 선택 게이트" OR "소스측 선택") |
此外,围绕已知公开号分别执行了“公开号+floating gate/charge trap/pillar/source select”等定向查找,并沿引证关系核查了更早的垂直浮栅文献。
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代号 |
文献、标题及Google Patents直链 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
日期结论 |
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D1 |
2003-12-17 |
2003-12-17 |
2005-06-23 |
远早于截止日 |
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D2 |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
远早于截止日 |
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D3 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
早5日,形式上满足,但应保存官方公开文本证明时间 |
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D4 |
2003-02-05 |
2003-02-14 |
2004-08-11 |
远早于截止日;同披露授权页为CN1292480C |
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D5 |
2008-03-13 |
CN:2009-03-12;US:2008-03-13 |
CN:2011-02-09;US:2009-09-17 |
均满足 |
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D6 |
US20090180324A1, *Semiconductor Constructions, NAND Unit Cells…* |
2008-01-15 |
2008-01-15 |
2009-07-16 |
满足,但不是浮栅实施例 |
日期排除示例:检索到的US8187936B2/US20120001252A1虽优先权为2010-06-30,A1公开日为2012-01-05,依本项目“看公开日”的硬截止规则不得使用。
· A、H:说明书图2A-2D记载浮栅存储单元202串联构成NAND串204;在衬底208中刻蚀出基底柱228和沟槽230,存储单元形成于柱侧壁。每一单元依次具有隧穿绝缘层220、浮栅222、层间绝缘层224及控制栅206。图4A又说明衬底208为P掺杂半导体。权利要求5、11明确限定“plurality of floating gate memory cells”垂直形成在多个柱/沟槽侧壁;权利要求1-2、20-29同样把raised areas具体为pillars。证据强。
· B-D的部分:说明书图2A-2D的选择栅210位于串两端,分别把串接到位线接点212和源线接点214;权利要求3-4、6-7、12-13、16亦是一端一个选择晶体管。它公开了源侧选择器件及控制导通,但没有两个彼此有序的源侧器件,不能同时充当B、C两个不同装置。
· 同一实施例:A、H及单个源侧选择栅均在图2A-2D/图4A-B同一垂直浮栅NAND实施例中。说明书还明确图4B与传统平面NAND具有相同等效电路,这对移用D2的电路级双选择栅很重要。
· 保留争议:D1的一个串沿一系列基底柱/沟槽侧壁延伸,而涉案文字用单数“柱”。不过涉案并未限定只能有一根柱;至少每个串与包含半导体材料的柱相关联。此点给予小幅折扣。
· B-D:图2及说明书相应段落记载每个NAND串206的单元208串联在源选择栅210、211与漏选择栅212、213之间;外侧源选择栅211的源连接公共源线216,211的漏接内侧源选择栅210,210再接第一浮栅晶体管208。故211对应B,210位于串与211之间而对应C,二者的控制栅接源选择线214并控制导电,对应D。权利要求13和16用功能关系再次明确第二选择栅位于第一选择栅与源线之间。
· H:图2正文直接把串首、串尾单元称为“floating-gate transistor 208”,并说明单元208的典型结构包括浮栅或电荷存储层234及控制栅236。这至少明确公开了选择浮栅的实施方式,而不是仅靠分类号推断。
· 结合动机:说明书背景及图3-5说明缩小器件会增大GIDL/泄漏;在串两端增加第二选择栅,可在缩小阵列面积的同时维持或改善截止、穿通及泄漏特性(图4-5;说明书对应“extra select gate at each end”段)。这是直接、具体的技术动机。
· 同一实施例:B-D及浮栅单元均出自图2电路;图4-5进一步说明同一“双选择栅”思想的物理效果。证据强。A未公开。
· 图3-4的柱113表层114为P型硅,柱、绝缘层116及导电线形成垂直NAND串(A);图6-7显示串、地选择晶体管GST及共源线CSL的导通控制。图14明确是图6存储块的变形,每串在字线与CSL之间设两条地选择线,一条邻近CSL、另一条邻近字线,覆盖B-D;权利要求10、15、16予以呼应。
· 但图5把层118明确写成硅氮化物电荷存储/电荷俘获层,ONO层117-119构成电荷俘获型单元;正文没有浮动栅极实施方式。因此H为“未公开”,不能把该篇用于单篇新颖性攻击。
· A-D在图3-7及明确回指图6的图14变形中具有连续实施例基础;H不在该实施例中。证据评价:A-D强、H否定性明确。
· 图9及说明书相应段落记载M0-M15串联,一侧为SG11、SG12,另一侧为SG21、SG22;SG22连接公共源线CS,SG21位于存储单元与SG22之间,覆盖B-D。
· 图12及制造段落说明每个存储单元在半导体衬底10上具有成为浮栅的第一导电层14、栅间绝缘膜15及控制栅第二导电层16,覆盖H。图9双选择电路与实施例1的浮栅NAND结构相互对应,可作为同一实施例证据。
· 缺少垂直半导体柱A,故不能单篇破坏新颖性;可作为D2的独立佐证和备用组合文献。
· 图2B-2C、图4及权利要求13-17:两串存储单元位于同一多晶硅导电柱230相对两侧;源选择晶体管216把柱下端接源线200,漏选择晶体管280把柱上端接位线290。A强,且单柱文字最贴近涉案;D亦有支持,但源侧仅一个选择器件,B/C不能同时满足。
· 具体单元450明确是SONOS:氧化层232/氮化层234/氧化层236构成charge trap 228/229。背景虽泛称电荷存储节点可为浮栅或俘获层,具体实施例和制造步骤均选择俘获层;故不得用背景泛称替代H。
· 同一图2实施例覆盖单柱、串和一个源选择器件,但不覆盖浮栅及源侧两个器件。
· 权利要求17-23及图11/15公开含交替n/p掺杂半导体区域的垂直柱,并在串器件上、下设置选择器件,可支持柱及一般选择功能。
· 然而说明书明确charge-storage material可采用纳米点或氮化硅等俘获材料,优选单元为TANOS(隧穿氧化层/氮化硅存储层/氧化铝阻挡层/氮化钽控制栅)。Google页面出现“vertical floating-gate IGFETs”分类不能证明具体实施例是浮栅。H不成立,源侧也未明确两个串联器件。
符号:●明确;△仅部分/存在解释争议;—未公开;×具体实施例反而是电荷俘获。
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文献 |
A 柱相关串 |
B 源极栅极装置 |
C 串与B之间另有源选择 |
D 控制导通 |
H 每单元浮栅 |
同一实施例/评价 |
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D1 US20050133851A1 |
●(“一个串跨多柱”有小争议) |
△ |
△(仅一个源侧选择栅) |
● |
● |
A、H及单源选择同图2/4;主基准 |
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D2 US20080253187A1 |
— |
●(外侧211) |
●(内侧210) |
● |
● |
B-D、H同图2;主补充 |
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D3 CN102148059A |
● |
● |
● |
● |
× |
A-D同一垂直电荷俘获实施例;不能把118当浮栅 |
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D4 CN1519938A |
— |
●(SG22) |
●(SG21) |
● |
● |
平面浮栅NAND;备用补充 |
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D5 CN101971324A/US同族 |
●(单柱最强) |
△ |
— |
● |
× |
图2具体为SONOS |
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D6 US20090180324A1 |
● |
△ |
— |
● |
× |
TANOS/俘获材料;分类号不算H |
没有一篇同时覆盖A-D、H:D3缺H;D2/D4缺A;D1缺两个不同的源侧器件;D5/D6既缺双源侧结构又不是浮栅具体实施例。因此,不建议把权利要求5的主攻理由写成单篇新颖性。新颖性无效成功率:约25%。
以D1的垂直浮栅NAND为最接近现有技术。D1已经具有半导体基底柱、浮栅串、源线及一个源侧选择栅。面对缩小器件导致的泄漏、截止及穿通问题,本领域技术人员依D2的明确教导,在D1现有源侧选择栅旁再串接一个选择栅:外侧栅接源线(B),内侧栅置于串和外侧栅之间(C),由选择线控制导通(D);D1的柱和全部浮栅单元(A、H)无需改变。
技术相容性很高:二者均为NAND、均明确采用浮栅单元,且同为Micron公开;更重要的是D1自行说明其垂直串的等效电路与传统平面NAND相同,而D2的改动本质上是串端的电路级选择栅串联关系。D2还明确给出增加选择栅的收益,不是事后拼凑。该组合创造性无效成功率:约86%。
可能抗辩及回应:
1. 平面D2不能直接移到垂直D1。回应:权利要求5并未限定两个选择器件的具体三维制造位置;D1明确宣称等效电路相同且本已有端部选择栅,D2只是再串接一个端部FET。
2. D1的串跨多个基底柱,不是“一个柱”。回应:涉案“包括半导体材料的柱”没有“唯一、连续、贯穿全部层”的限定;D1每个串确实沿半导体基底柱侧壁形成。为降低风险,可辅以D5的单导电柱证据说明单柱垂直通道早已公知。
3. D2的两个源选择栅可接同一控制信号,不是涉案两个不同装置。回应:器件210、211在物理上及串联位置上明确不同;权利要求5仅要求两个装置及功能,并未要求独立控制线或不同偏压。
4. “源极栅极装置”不是普通外侧源选择晶体管。回应:权利要求采用功能性表述;D2的211直接耦合公共源线、控制串通道与源线间导电,逐字满足功能和位置。
· D1 + D4:约82%。D4独立给出同一浮栅NAND中SG21/SG22的双源侧结构及改善微细化/截止的目的;用于反驳“D2孤立教导”。其缺点仍是D4为平面结构。
· D3 + D2(必要时再以D1证明垂直浮栅可实现):两篇约79%,三篇约82%。D3单篇最精确覆盖A-D,D2给出浮栅单元选择;但把D3连续ONO俘获层改为离散浮栅涉及制造结构变化,争议大于首选组合。D1可证明截止日前垂直浮栅并非不可实现,但三篇组合的说理负担增加。
· D5 + D2:约78%。D5的“单个导电柱”最贴近A,D2提供双源侧与浮栅选择;但D5图2的具体制造是SONOS,浮栅替换仍会被质疑,故只作防守性组合。
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评价项目 |
概率 |
理由 |
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单篇新颖性无效 |
25% |
没有单篇无争议覆盖A-D+H |
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首选两篇创造性无效 |
86% |
D1保留垂直柱+浮栅;D2仅增加明确受动机驱动的第二源侧选择栅 |
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权利要求5综合无效成功概率 |
86% |
属于“高度接近且组合动机明确”的80-89档;主要折扣为D1多柱表述及平面/垂直移用抗辩 |
最终建议以D1(US20050133851A1)为最接近现有技术+D2(US20080253187A1)为主攻,D4作双选择浮栅NAND的独立佐证,D5只用于回应“单柱”解释,D3/D6用于清楚划分电荷俘获与浮栅、避免错误主张。因本轮综合概率已超过75%,按任务规则不制定下一轮策略,也不自行启动下一轮。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim5\round1.md
检索结论
针对 CN103782344B 的技术特征 H:
H:其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。
我围绕“每一/每个 + 电荷存储装置/存储单元/存储器晶体管 + 浮动栅/浮置栅/浮动门 + NAND 串/串联存储单元”,并进一步加入“三维 NAND / vertical / pillar / charge storage region”等组合进行了多轮 Google Patents 中文专利检索和交叉核对。
**结论非常明确:特征 H 在 2011年8月15日之前已经被大量中文专利文献直接公开。**其中最强的文献是 CN101587747A,其摘要几乎逐字对应 H:NAND 串中的“存储器贮存单元的每个是具有浮置栅的存储器晶体管”,公开日为 2009年11月25日。这不是通过推理得到,而是直接文字公开。
Google Patents
+1
综合目前检索结果,我将特征 H 单独被现有技术成功证明已经公开的概率评估为 97%–99%,中心值约 99%。它基本不应当被视为 CN103782344B 的有效区别技术特征。
一、最有价值的中文对比文件
排名 中文专利文献 公开日 与技术特征 H 直接相关的公开 公开强度
1 CN101587747A《NAND闪速存储器器件及其制造方法》 2009-11-25 明确记载 NAND 串包括串联的存储器贮存单元,且“存储器贮存单元的每个是具有浮置栅的存储器晶体管”。这是对“每一 + 存储装置 + 浮动栅极晶体管”的近乎逐字公开。
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+1
A++,近乎完全一致
2 CN101026094A《形成具有缩小的字线间距的快闪单元阵列的方法》 2007-08-29 对 NAND 的通常结构直接说明:“每一个存储器单元利用一个具有浮动栅极和控制栅极的晶体管”。
Google Patents
+1
A++,直接公开
3 CN101371314A《减少非易失性存储装置的读取干扰》 2009-02-18 NAND 串由串联晶体管100、102、104、106构成,并明确说明其中每一晶体管均具有控制栅极和浮动栅极,且一实施例中这些晶体管每一者均为存储器单元。
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+1
A++,直接逐单元公开
4 CN1926637A《非易失性存储器及其编程方法》 2007-03-07 NAND 串中的晶体管100、102、104、106逐个被定义为具有控制栅和浮动栅;同时明确这些晶体管均可为存储单元,并进一步说明每一晶体管由控制栅和浮动栅组成堆叠栅结构。
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+1
A++
5 CN101006519A《非易失性存储器的可变编程》 2007-07-25 NAND 串中的每一晶体管包括控制栅极和浮动栅极;存储单元100、102、104、106串联形成 NAND 串。
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+1
A++
6 CN101933097A《NAND闪速存储器中的分级共同电源线结构》 2010-12-29 明确给出一个 NAND 串具有32个串联的浮接栅极存储单元,并说明每一个浮接栅极分别连接对应字线。
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+1
A++
7 CN1832034A《用于产生高电压的方法和电路以及相关的半导体存储器件》 2006-09-13 明确记载存储阵列中每个存储单元均可包括浮动栅晶体管;对于 NAND,阵列包含多个由浮动栅晶体管组成的 NAND 串。
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+1
A+
8 CN1444231A《减少非易失性存储器的编程和读取干扰的方法和设备》 2003-09-24 NAND 存储单元结构中明确说明每一个存储器单元都有一个浮动栅 FG,该浮动栅用于存储与数据相对应的电荷。
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+1
A+
9 CN1414566A《降低非易失性存储器存储元件间耦合效应的方法》 2003-04-30 NAND 实施例明确记载每一个存储器单元都带有存储电荷的浮栅 FG。
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A+
10 CN101123118A《用于电编程半导体存储单元的方法及电路》 2008-02-13 明确说明典型地每个存储单元由具有电荷存储元件的 N 沟道 MOS 晶体管构成,该电荷存储元件例如是导电且电绝缘的浮动栅电极;之后专门描述 NAND 实施例。
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+1
A+
11 CN101681884A《三维NAND存储器及其制造方法》 2010-03-24 尤其有价值的是其属于三维 NAND:明确记载存储单元之间形成“电荷存储区”,该电荷存储区可包括电介质绝缘的浮栅;又明确每个存储单元包括有源区、控制栅和电荷存储区。
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+1
A-/B+;对三维语境非常有价值
12 CN1720588A《每一存储单元电荷存储元件具有双重控制栅极的闪速存储单元阵列》 2006-01-11 明确讨论具有既定数量浮动栅极存储元件的 NAND 串及各单独晶体管,属于进一步补强浮栅 NAND 单元结构的早期文献。
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+1
A-/补强
二、技术特征 H 逐项比对
技术特征 H 的子特征 CN101587747A CN101026094A CN101371314A CN1926637A CN101933097A CN101681884A
属于 NAND 存储器/存储串 ✅ 明确 ✅ 明确 ✅ 明确 ✅ 明确 ✅ 明确 ✅ 三维 NAND
存在多个电荷存储装置/存储单元 ✅ ✅ ✅ ✅ ✅ 32个串联单元 ✅
强调“每一/每个”存储单元 ✅ 明文“每个” ✅ 明文“每一个” ✅ 每一晶体管 ✅ 每一晶体管 ✅ 32个均为浮栅单元 ⚠️ 由共同结构实施方式体现
存储单元为晶体管 ✅ 存储器晶体管 ✅ 晶体管 ✅ 晶体管即存储器单元 ✅ 晶体管即存储单元 ✅ 浮栅存储单元 ✅ 每个单元具有晶体管有源区及控制栅
具有浮动/浮置栅 ✅ ✅ ✅ ✅ ✅ ✅ 浮栅作为明确可选电荷存储区
对 H 是否属于直接公开 ✅ 完全直接 ✅ 完全直接 ✅ 完全直接 ✅ 完全直接 ✅ 直接 ✅ 明确可选实施方式
建议证据等级 首选 D1 首选 D2 首选 D3 首选 D4 强补强 针对三维/垂直结构的关键补强
这里最值得强调的是 CN101587747A:其表达逻辑与 H 几乎一一对应——目标特征要求“每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管”,而该文献直接说 NAND 串中“存储器贮存单元的每个”是具有浮置栅的“存储器晶体管”。基本不存在需要创造性解释或复杂等同解释的问题。
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CN101026094A 同样很干净,它把该结构直接表述为 NAND 装置的通常设计:每一个存储器单元使用具有浮动栅极和控制栅极的晶体管。
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而 CN101371314A、CN1926637A 则进一步通过具体 NAND 串结构,把串内存储晶体管逐个列出来,说明每一个均有浮动栅。这类公开对抗“只有部分单元为浮动栅”“没有证明‘每一’”之类的抗辩尤其有利。
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+1
三、为什么 CN101681884A 特别值得保留
如果只看 H,CN101587747A 等平面 NAND 文献已经足够。但考虑到 CN103782344B 整体涉及 NAND 串及更具体的存储器结构,CN101681884A 的战略价值更高。
该文献在 2010年3月24日已经公开三维 NAND,其制造过程中明确在存储单元之间形成“电荷存储区”,该区域可以采用电介质绝缘的浮栅;同时说明每个存储单元包括半导体有源区、控制栅和电荷存储区。
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+1
因此,如果专利权人试图主张:
“传统二维 NAND 的浮栅单元不能证明目标专利中特定三维/垂直 NAND 语境下的电荷存储装置采用浮动栅晶体管”,
那么 CN101681884A 可以显著削弱这种抗辩。需要注意的是,该文献把浮栅与介质电荷俘获材料作为可选方案,因此就 H 单独的新颖性文字对应程度而言略逊于 CN101587747A,但在技术领域、三维结构相似性以及组合动机方面反而很有价值。
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四、客观概率评估
我会把特征 H 的结论定为:
“已被现有技术成功公开:极高概率,97%–99%,中心评估约 99%。”
主要原因不是“浮动栅是公知常识”这么简单,而是已经找到了多件在截止日前公开、且逐字或近乎逐字披露‘每一存储单元为具有浮动栅的晶体管’的中文专利文献。尤其 CN101587747A、CN101026094A、CN101371314A、CN1926637A 四件之间属于相互独立的强证据链。
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如果评价标准进一步收紧为:不仅要证明 H,而且要求在与目标专利较为接近的三维 NAND 技术语境中证明 H,我仍会给出约 90%–95%,主要依据 CN101681884A 对三维 NAND 中浮栅电荷存储方案的明确公开。
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因此,在后续 CN103782344B 权利要求整体无效组合中,H 不应成为重点检索难点,也不建议为了 H 单独再牺牲组合数量。最优策略是优先选择能够同时覆盖其他难点特征的主对比文件;如果主对比文件恰好未明确写出浮动栅,再以 CN101587747A 或 CN101026094A补足 H。若需要强化三维/垂直 NAND 的结合启示,则优先加入 CN101681884A。技术特征 H 本身目前已经可以视为基本检索充分。
经多轮以“전하 저장/전하저장부/전하 저장 수단(电荷存储)”“플로팅 게이트/플로팅 게이트 트랜지스터(浮动栅/浮动栅晶体管)”“메모리 셀 각각(每一存储单元)”“NAND/string”等关键词交叉检索 Google Patents,并对同族、授权文本与早期公开文本进行去重后,可以得到一个较明确的结论:
技术特征 H:“其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管”在 2011-08-15 以前的韩文专利文献中已经被非常明确地公开。
尤其是 KR20090120205A,其公开程度已经接近对技术特征 H 的逐字对应,是目前本轮韩文检索中最值得作为 H 主证据使用的文献。
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一、最重要的对比文件:KR20090120205A
KR20090120205A,《플래시 메모리 장치 및 그것의 동작 방법》(闪存装置及其操作方法),三星电子,公开日 2009-11-24,远早于限定日 2011-08-15。
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该文献有两层公开尤其关键。
第一层,说明书明确说明:存储单元分别由包含电荷存储手段的晶体管构成,并进一步举例这些存储单元分别可以由浮动栅晶体管或者电荷俘获闪存晶体管构成。也就是说,其已经直接建立:
memory cell → transistor containing charge-storage means → floating-gate transistor
这一对应关系。
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第二层更强。该文献进一步进入 NAND 串的具体结构,明确说明每一串包含 SST、GST以及二者之间串联连接的存储单元/存储单元晶体管 MC0~MCi-1,并进一步明确:
每一个存储单元由“具有作为电荷存储手段的浮动栅”的浮动栅晶体管构成。
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这已经把三个关键概念放在同一句技术关系中:
每一个 + 电荷存储 + 浮动栅晶体管。
因此,就技术特征 H 单独而言,我认为这是本轮检索中最强的韩文 X 类候选证据。
二、其他高价值韩文对比文件
1. KR20100028019A——“电荷存储部”与“浮动栅FET”直接对应
KR20100028019A,《비휘발성 메모리 및 예측 프로그래밍 방법》,SanDisk,公开日 2010-03-11。
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该文献首先明确存储阵列可以采用 NOR或NAND结构;随后说明一个非易失存储单元可以由具有“浮动栅或者介质层等电荷存储部”的场效应晶体管实现;并指出不同形式的存储单元分别具有一个以上电荷存储元件。
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对应关系可以直接整理成:
电荷存储部 → 可以是浮动栅 → 存储单元由带该电荷存储部的FET实现。
其术语“전하저장부(charge-storage portion)”与目标特征“电荷存储装置”非常接近,因此也是非常好的辅助主证据。
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2. KR20070002399A——NAND串中每个存储单元具有浮动栅结构
KR20070002399A,《NAND형 플래쉬 메모리 소자, 그 제조 방법 및 그 구동방법》,Hynix,公开日 2007-01-05。
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该文献明确指出,一个 NAND 单元块具有多个由多个存储单元串联形成的串,串与漏极/源极之间设有选择晶体管;进一步明确 NAND 闪存的存储单元形成有:
隧穿氧化层 + 浮动栅 + 介质层 + 控制栅 + 两侧结区。
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这实际上就是典型的浮动栅存储晶体管结构,而且该结构被明确放在“多个单元串联形成 NAND string”的语境下,和目标专利的“电荷存储装置串”具有较好的结构对应性。
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3. KR20070108143A——“电荷存储元件”与导电浮动栅的直接桥接
KR20070108143A,《비휘발성 전하 저장 메모리 셀을 프로그래밍하기 위한 기판전자 주입 기술》,SanDisk,公开日 2007-11-08。
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其摘要直接以“存储单元的电荷存储元件”为对象,并明确该技术适用于 NOR或者NAND阵列。
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说明书进一步指出,阵列中的各个存储单元通常具有用于储存电子电荷的导电浮动栅,浮动栅位于源漏之间沟道上方,其电荷量控制存储单元阈值电压;随后又明确 NAND 中多个存储单元串联构成 string。
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因此它特别适合用于证明:
“charge storage element/device”使用“floating gate”作为电荷存储机构,在 NAND 技术中早已是成熟结构。
4. KR20080066959A——明确说明电荷存储元件通常就是浮动栅
KR20080066959A,《수정된 데이터 저장 및 핸들링 방법들》,SanDisk,公开日 2008-07-17。
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该文献非常有价值的一点在于,它直接说明当时 Flash EEPROM 阵列的电荷存储元件通常是由掺杂多晶硅形成的导电浮动栅,并将采用介质电荷存储材料作为浮动栅的替代方案进行对照。
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因此,该文献对于解释目标特征中“电荷存储装置”与“浮动栅”之间的技术含义特别有帮助。
5. KR20060093159A——较早的NAND浮动栅制造文献
KR20060093159A,《낸드 플래쉬 메모리 소자의 플로팅 게이트 형성방법》,Hynix,公开日 2006-08-24。
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全文专门讨论 NAND Flash 的浮动栅形成,通过第一、第二多晶硅层形成浮动栅,并明确这是 NAND 闪存单元的制造工艺。
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其缺点是没有像 KR20090120205A 那样直接使用“每一电荷存储装置包括浮动栅晶体管”的逻辑表达,因此更适合作为技术常识和结构补强证据。
6. KR20080022372A——再次确认NAND单元采用浮动栅
KR20080022372A,《낸드 플래시 메모리 소자의 제조방법》,Hynix,公开日 2008-03-11。
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该文献明确针对 NAND Flash 的浮动栅之间干扰问题,并说明在单元区域形成隧穿氧化层、浮动栅、介质层以及控制栅。
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它同样能够证明,在目标日期之前 NAND 存储单元采用浮动栅结构属于成熟公开技术。
7. KR20090027952A——“电荷存储手段—晶体管—浮动栅”的背景证据
KR20090027952A,三星电子,公开日 2009-03-18。
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说明书明确把 Flash 分为 NOR与NAND,并说明 Flash以称为cell的晶体管阵列储存数据,同时又以“电荷存储手段”描述存储机构,并说明多级存储通过改变单元浮动栅上的电荷量实现。
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它的缺点是相关内容主要位于背景技术,因此证明力低于 KR20090120205A,但用于证明本领域普通技术知识非常合适。
8. KR20100115612A——“每一个存储单元”包含浮动栅存储晶体管
KR20100115612A,三星电子,公开日 2010-10-28。
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其说明书明确指出,每个存储单元可以由存储晶体管和选择晶体管构成,其中负责保存数据的存储晶体管是具有 **FG(浮动栅)和CG(控制栅)**的 FLOTOX 浮动栅型晶体管。
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该文献并非最接近的 NAND-string 文献,因此不建议排在前两位,但对于“每一个存储单元包括浮动栅存储晶体管”这一点公开得很清楚。
三、技术特征 H 比对表
对比文件 公开日 “每一/各存储单元” 电荷存储概念 浮动栅晶体管 NAND串语境 对H贡献
KR20090120205A 2009-11-24 明确 明确:charge storing means 明确:floating gate transistor 明确,串联MC0~MCi-1 ★★★★★ 近乎完全直接公开
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KR20100028019A 2010-03-11 明确存储单元 明确:charge-storage portion/elements 明确:带FG的FET 明确可采用NAND ★★★★★
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KR20070002399A 2007-01-05 多个串联cell 通过存储cell体现 FG+介质+CG+结区 明确 ★★★★☆
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KR20070108143A 2007-11-08 individual cells 明确charge-storage elements 明确导电FG 明确NAND string ★★★★☆
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KR20080066959A 2008-07-17 存储cell 明确charge-storage elements 明确其通常为FG Flash EEPROM ★★★★☆
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KR20060093159A 2006-08-24 NAND cell结构 间接 明确FG 明确NAND ★★★☆☆
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KR20080022372A 2008-03-11 NAND cell结构 间接 明确FG 明确NAND ★★★☆☆
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KR20090027952A 2009-03-18 cell为晶体管 明确charge storing means 明确FG储存电荷 同时说明NAND ★★★☆☆
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KR20100115612A 2010-10-28 明确每一cell 数据存储功能 明确FG型存储晶体管 非最接近NAND串 ★★★☆☆
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四、最优证据选择
如果仅针对技术特征 H进行无效证据组织,我建议优先顺序为:
D1:KR20090120205A → D2:KR20100028019A → D3:KR20070002399A / KR20070108143A。
其中 KR20090120205A 单篇已经基本足够。原因不是简单地“出现了浮动栅”几个字,而是它同时公开了:
① NAND串 → ② 串联的多个存储单元/存储单元晶体管 → ③ 每一个存储单元 → ④ 具有电荷存储手段 → ⑤ 该电荷存储手段为浮动栅 → ⑥ 该单元构成为浮动栅晶体管。
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这比单纯依赖“NAND Flash通常使用浮动栅”的常识型文献要强得多。
另外,同一族的授权文本没有必要重复作为独立文献计数。例如 KR20070002399A 的同族授权文本是 KR100680455B1;检索中我已按早期A公开文本优先处理,避免把同一披露重复计数。
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五、客观概率评估
在将“电荷存储装置”按照目标权利要求的通常技术语境理解为 NAND 串中的存储单元/存储晶体管这一前提下:
技术特征 H 在 2011-08-15以前被现有技术成功公开的概率:约 98%~99%。
其中仅依靠 KR20090120205A 认定 H 被直接、明确公开,我给出的成功概率约为 96%~98%;再结合 KR20100028019A 对“电荷存储部—浮动栅—场效应晶体管”的明确对应,以及 KR20070002399A、KR20070108143A 的 NAND-string结构补强,整体证据强度可提高到 98%~99%。
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唯一值得预留的争议点不是“浮动栅晶体管是否已知”,而是专利权人是否尝试对 CN103782344B 中“电荷存储装置”作比普通“memory cell/storage transistor”更狭窄的特殊解释。即使发生这种争议,KR20090120205A 同时使用“电荷存储手段”“每一存储单元”和“浮动栅晶体管”,抗辩空间已经比较有限。
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因此,本轮韩文检索对特征 H 可以认为已经取得非常强的现有技术证据。H 本身不应当是 CN103782344B 权利要求中的有效区别特征。 至于能否据此无效整个权利要求,仍需与其余技术特征及最接近现有技术组合后整体判断。
结论
我按照“日文专利文献 + Google Patents + 公开日严格早于2011-08-15”的口径,围绕「浮遊ゲート/フローティングゲート」「NANDストリング」「メモリセルトランジスタ」「電荷蓄積層」「3次元NAND/垂直NAND/支柱」进行了多轮交叉检索,并用早期文献、同义词、三维NAND方向进行了回查。
结论非常明确:技术特征 H 已经被多篇2011-08-15以前公开的日文专利文献直接、明确公开。
技术特征 H:其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。
就 H这一技术特征单独而言,我评估其被现有技术成功公开的概率约为 98%~99%。其中,JPH08125042A、JP2009205555A、JP2009266356A 三篇尤其强;如果希望同时兼顾 CN103782344B 的三维/柱状 NAND 技术语境,则 JP2010522988A 最有价值。
一、最强日文对比文件
1. JPH08125042A——我认为是H最干净的早期证据之一
公开日:1996-05-17,申请人为 NEC。Google Patents 明确记录该公开日,远早于2011-08-15。
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其说明书开头直接说明:该发明涉及一种 NAND 单元,其中多个存储单元串联连接,并且这些存储单元具有浮动栅电极和控制栅电极层叠结构;其权利要求1也再次限定多个具有“浮动栅电极+控制栅电极”结构的存储单元串联形成 NAND cell。
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这个公开方式与 H 的映射非常直接:
多个/每个存储单元 → 浮动栅晶体管 → 串联构成 NAND 串。
这里不是仅仅在背景技术中泛泛提到“可以使用浮动栅”,而是明确把构成 NAND 串的存储单元限定为具有浮动栅和控制栅的晶体管结构。
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H公开评价:★★★★★,约99%。
2. JP2009205555A——文字上与“每一”对应得最漂亮
公开日:2009-09-10,东芝。
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该文献首先明确:每个 NAND string NS 都包括串联连接的多个存储单元晶体管 MT0~MTn。
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紧接着又明确记载:
各メモリセルトランジスタ MT0~MTn 均为层叠栅结构的场效应晶体管;
该层叠栅结构包括电荷存储层(浮遊ゲート電極);
浮动栅上方设置控制栅;
MT0~MTn 根据浮动栅中存储电子数量改变阈值电压。
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这里的日文原始逻辑正好是:
“各メモリセルトランジスタ MT0~MTn” → “電荷蓄積層(浮遊ゲート電極)”
这几乎就是 H 中“每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管”的逐项对应。
H公开评价:★★★★★,约99%。
3. JP2009266356A——明确“各存储单元M均具有浮动栅FG”
公开日:2009-11-12,东芝。
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文献明确说明 NAND string 是由多个存储单元串联连接形成的。
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更关键的是,其对 NAND string 的具体结构描述为:
各メモリセル M具有源极、漏极;
在沟道区域上方经隧穿氧化膜设置作为电荷保持层的浮动栅 FG;
浮动栅 FG 上方经绝缘膜设置控制栅 CG。
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因此这不是推断,而是“各存储单元”和“浮动栅作为电荷保持层”同时出现在同一个具体结构描述中。
文献还特别说明,如果采用 SONOS/MONOS,则电荷保持层可以改用氮化硅电荷存储层,这反过来也证明作者明确区分了浮动栅型与电荷俘获型两种存储单元结构。
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H公开评价:★★★★★,约99%。
4. JP2010123208A——权利要求级别直接公开
公开日:2010-06-03,东芝。
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其摘要和权利要求明确公开一种 NAND flash memory,其中多个存储单元晶体管具有:
形成在栅绝缘层上的浮动栅;
形成在浮动栅上方的控制栅;
通过控制浮动栅中存储的电荷量进行数据改写。
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因此,从结构上这些存储单元晶体管就是典型的floating-gate transistor。
H公开评价:★★★★★,约99%。
5. JP2004253135A——经典 NAND EEPROM 结构的直接公开
公开日:2004-09-09,东芝。
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其说明书明确指出:
NAND EEPROM 的一个存储单元具有 FETMOS 结构;
浮动栅与控制栅经绝缘层层叠;
多个这样的存储单元串联连接构成 NAND cell;
NAND cell 的两端再分别通过选择晶体管连接位线及公共源线。
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这对“每一电荷存储装置包括浮动栅晶体管”也是非常典型的结构公开。
H公开评价:★★★★★,约99%。
6. JP2001084788A——2001年已经把浮动栅NAND作为常规结构描述
公开日:2001-03-30,东芝。
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该文献明确指出 EEPROM 通常采用浮动栅与控制栅层叠的 MOS 晶体管结构存储单元,并进一步说明 NAND EEPROM 是将多个这样的存储单元串联连接形成 NAND unit。数据通过向浮动栅注入电子或从浮动栅释放电子实现写入/擦除。
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因此,即使不依赖2009—2010年的更直接文件,早在2001年该技术关系已经公开得相当成熟。
H公开评价:★★★★☆~★★★★★,约98%。
7. JP2009130137A——多个NAND存储单元具有浮动栅
公开日:2009-06-11,东芝。
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摘要明确以 NAND flash memory 为背景,并公开“多个存储单元”,每个结构包括栅绝缘膜、浮动栅15a、栅间绝缘膜和控制栅17a。
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虽然其针对的发明重点是制造结构和晶体管稳定性,而不是浮动栅本身,但对 H 仍然具有很强的补强价值。
H公开评价:★★★★☆,约97%~98%。
二、最值得重视的三维NAND文献:JP2010522988A
这篇文件尤其值得单独提出,因为它不是传统二维 NAND,而是标题即为**“3次元 NAND メモリおよびその作製方法”**。
公开日:2010-07-08,SanDisk 3D LLC,优先权日为2007-03-27。
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其结构中明确设置半导体支柱125,并在垂直方向重复形成多个存储单元,最终形成多层垂直 NAND string。
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最关键的H相关内容是:文献明确规定位于支柱之间的电荷存储区域可以包括:
“dielectrically isolated floating gate(介电隔离的浮动栅)”
并具体说明可在两层绝缘层之间形成多晶硅层作为浮动栅,还可以采用侧壁间隔物浮动栅。虽然随后具体实施例主要用 ONO 电荷俘获结构解释,但文献再次明确指出,浮动栅电荷存储区域可以替代 ONO 电荷存储区域使用。
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其每个存储单元包括柱状有源区、控制栅/字线以及位于控制栅与柱之间的电荷存储区域,并通过重复形成这些单元构成垂直 NAND string。
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因此,这篇文件的特殊价值是:
三维/垂直NAND + 半导体柱 + 多级存储单元 + 明确允许浮动栅电荷存储结构。
但其不足是:具体绘制和继续描述的首选实例主要采用 ONO,因此如果只针对 H,文字直接程度略低于 JP2009205555A、JP2009266356A;如果要把 H 与 CN103782344B 的垂直柱状结构结合起来,它反而非常重要。
H公开评价:约92%~95%;技术语境接近度:★★★★★。
三、特征比对表
日文对比文件 公开日 “每一/多个电荷存储装置”对应内容 “浮动栅极晶体管”对应内容 对H的评价
JPH08125042A 1996-05-17 多个存储单元串联构成 NAND cell 各存储单元为浮动栅+控制栅层叠结构;权利要求中直接限定
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直接公开,★★★★★,99%
JP2001084788A 2001-03-30 多个存储单元串联形成 NAND unit 存储单元为浮动栅+控制栅层叠 MOS 晶体管
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直接公开,约98%
JP2004253135A 2004-09-09 多个存储单元串联构成 NAND cell 每个 NAND 存储单元具有浮动栅、控制栅的 FETMOS 结构
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直接公开,★★★★★,99%
JP2009130137A 2009-06-11 NAND flash 中多个存储单元 多个存储单元分别具有浮动栅15a和控制栅17a
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直接公开,97%~98%
JP2009205555A 2009-09-10 明确为 NAND string NS 中 MT0~MTn 串联 明确规定各 MT0~MTn均具有电荷存储层“浮动栅电极”
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最强之一,★★★★★,99%
JP2009266356A 2009-11-12 多个M串联形成 NAND string 明确规定各メモリセルM具有作为电荷保持层的浮动栅FG
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最强之一,★★★★★,99%
JP2010123208A 2010-06-03 NAND flash 中多个存储单元晶体管 权利要求明确多个晶体管具有浮动栅+控制栅,并以浮动栅电荷存储数据
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直接公开,★★★★★,99%
JP2010522988A 2010-07-08 柱状、多级垂直 NAND string 中重复形成存储单元 电荷存储区域明确可采用介电隔离浮动栅;可代替ONO
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明确替代实施方式,92%~95%;三维语境最强
四、一个需要特别排除的“看起来很像”的文献
检索过程中我还重点核查了 JP2010102755A(三维堆叠型非易失性半导体存储器)。它的确公开了非常接近 CN103782344B 的 BiCS 三维结构:柱状有源层、垂直 NAND 单元、SGS、SGD等。
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但其具体存储单元明确采用 MONOS/ONO 电荷俘获结构,电荷存储层是氮化物绝缘材料,而不是浮动栅。
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因此,我没有把 JP2010102755A 当作直接公开H的文献。这一点很重要,否则容易把“电荷存储单元”错误等同于“浮动栅存储单元”。
五、客观概率评估
如果问题严格限定为:
2011-08-15之前,是否已有日文专利文献公开“每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管”?
我的评估是:
成功公开概率:98%~99%,属于极高。
原因不是单纯因为“浮动栅属于公知常识”,而是已经找到多篇可以逐字/逐结构映射的文献。特别是:
JPH08125042A已经明确公开“多个具有浮动栅电极和控制栅电极结构的存储单元串联构成 NAND cell”;
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JP2009205555A进一步使用最有价值的“各メモリセルトランジスタ MT0~MTn”措辞,并明确“电荷存储层=浮动栅电极”;
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JP2009266356A同样直接使用“各メモリセルM”,并明确每个单元具有作为电荷保持层的浮动栅FG。
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所以,H本身几乎没有可维持的新颖性/创造性空间。真正有争议的不会是“浮动栅晶体管以前有没有”,而会是:在评价 CN103782344B 的相应完整权利要求时,能否在同一篇最接近现有技术中同时建立柱状 NAND 串、source select/source gate 等其他限定,或者在创造性论证中合理组合其他对比文件。这一点不能仅根据 H 单独推导。
最推荐的使用顺序
若只证明 H,我建议证据优先级为:
JP2009205555A ≈ JP2009266356A ≈ JPH08125042A > JP2010123208A > JP2004253135A > JP2001084788A。
若要把 H 纳入 CN103782344B 整体三维 NAND 无效组合,则我更建议:
JP2010522988A(三维/垂直NAND语境) + 一篇明确逐单元浮动栅文献(优先 JP2009205555A 或 JP2009266356A)。
其中 JP2010522988A 已经自己明确给出了浮动栅作为电荷存储区域的替代方案,因此在很多组合论证中甚至不一定需要额外文献专门证明“浮动栅可以用于这种 NAND 单元”。
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最终判断:技术特征 H 是目前 CN103782344B 各拆分特征中相对容易证明已被现有技术公开的特征之一;按当前日文专利检索结果,单独攻破 H 的证据强度可评为“极强”。
检索结论
针对 CN103782344B 的技术特征 H:
H:其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。
我以英文专利为范围,围绕 floating gate transistor / floating-gate memory cell / floating gate cell / NAND string / charge storage layer / series-connected memory cells / each memory cell 等词进行了多轮交叉检索,并对命中文献逐一核验公开日和具体实施方式。
结论非常明确:技术特征 H 在 2011 年 8 月 15 日以前已经被大量英文专利直接、明确公开。单就 H 而言,不具有实质性的现有技术障碍。
CN103782344B 本身将“charge storage devices”明确用作 NAND 存储器中的 memory cells,并进一步说明每个 charge storage device 可采用 floating gate 或 charge trap;权利要求5正是“each charge storage device comprises a floating gate transistor”。因此,早期 NAND 文献中的“floating-gate memory cell / floating-gate transistor”与 H 的技术含义具有非常直接的对应关系。
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一、检索到的最有价值英文对比文件
排名 英文专利文献 公开日 对技术特征 H 的关键公开 H匹配程度 建议用途
1 US20070133294A1 – Flash memory programming to reduce program disturb 2007-06-14 明确记载阵列“comprised of an array of floating gate cells arranged in series strings”;进一步明确“Each of the floating gate cells”串联,以及“Each series string ... of floating gate memory cells” ★★★★★ 直接完整 H最强证据之一
2 US5392238A – Nonvolatile semiconductor memory device 1995-02-21 明确记载每个 NAND cell block 包括多个“nonvolatile memory cells ... having a floating gate”,且这些单元串联 ★★★★★ 直接完整 非常干净的基础证据
3 US20070263462A1 – NAND architecture memory devices and operation 2007-11-15 每个 NAND string 包含晶体管308;明确这些晶体管为 floating-gate transistors,代表存储数据的非易失存储单元;各 floating-gate transistors 串联 ★★★★★ 直接完整 强证据
4 US20070253253A1 – Multiple select gates with non-volatile memory cells 2007-11-01 明确 NAND string 的全部存储单元串联,并反复称其为 floating-gate memory cells / floating-gate transistor;同时公开多个串联 source/drain select gates ★★★★★,且整体结构相关性很高 尤其值得纳入无效组合
5 US5745413A – Electrically programmable nonvolatile semiconductor memory device with NAND cell structure 1998-04-28 明确说明发明涉及“nonvolatile semiconductor memory device having floating gate type MOSFETs as memory cells”,且多个 cell transistors 串联并通过 floating gate 存储电荷 ★★★★★ 强基础文献
6 US6191975B1 – Non-volatile NAND type semiconductor memory device with stacked gate memory cells... 2001-02-20 每个 NAND cell 包括多个串联 memory cells;每个 memory cell 有 charge storage layer,且该 polysilicon charge storage layer 被明确记载为“left floating”,并标注为 FG ★★★★½ 语义上直接等同浮栅
7 US20040212023A1 – Semiconductor memory device including MOS transistors each having a floating gate and a control gate 2004-10-28 每个 memory cell block 包含多个 memory cells;其 memory-cell transistor 明确具有 floating gate + control gate 的堆叠栅结构 ★★★★½ 补强证据
8 US20070242515A1 – Multiple select gate architecture with select gates of different lengths 2007-10-18 NAND string 中非易失存储单元串联,首尾均明确称为 floating-gate transistor;memory cells 包括 floating gate / charge-storage layer ★★★★½ 与源侧多选择栅结构关系密切
上述所有文献的公开日均远早于 2011-08-15。例如 US20070133294A1 的公开日为 2007-06-14,US20070263462A1 为 2007-11-15,US20070253253A1 为 2007-11-01,均满足用户限定日期。
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二、最强文献的逐项比对
1. US20070133294A1——最直接
该文献的表述几乎不存在解释空间:
NAND 阵列由“an array of floating gate cells 201 arranged in series strings”组成;
“Each of the floating gate cells 201”在串中漏源连接;
每一串明确称为“series string ... of floating gate memory cells”。
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其公开日为 2007-06-14,原始申请人为 Micron Technology,与目标专利申请人技术领域高度接近。
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CN103782344B-H US20070133294A1 判断
电荷存储装置 floating gate memory cells / cells 201 对应
每一个装置 “Each of the floating gate cells” 明确公开“每一”
包括晶体管 floating-gate memory cell,为晶体管型非易失存储单元 对应
浮动栅极 floating gate 字面直接公开
串结构 arranged in series strings 明确公开
评价:对 H 的公开强度可达到 99% 以上。
2. US5392238A——极早、极干净的 NAND 证据
该文献公开于 1995-02-21。
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其第一实施例明确属于 NAND-type EEPROM,并进一步明确:
每一个 cell block 包括多个非易失存储单元,这些存储单元具有 floating gate,并且四个 memory cells 在每个 cell block 中串联。
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这与“H”所需要证明的事实高度一致:
电荷存储单元 → 存储单元;每个存储单元 → 均具有浮动栅极;并组成 NAND 串。
评价:99% 左右。
3. US20070263462A1——明确的 floating-gate transistor
该文献尤其有价值,因为不是仅仅出现 floating gate 这个材料名称,而是明确使用了 floating-gate transistor:
NAND string 中最后一个单元明确为“floating-gate transistor”;
其典型构造包括 source、drain、floating gate、control gate;
每个 NAND string 包含多个 FET;
这些 FET 被明确描述为 floating-gate transistors,并“represent non-volatile memory cells for storage of data”;
每个 NAND string 中的这些 floating-gate transistors 串联。
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公开日为 2007-11-15。
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这基本就是:
string of charge storage devices → string of memory cells → floating-gate transistors
评价:98%–99%。
文献同时说明也可以采用 NROM、ferroelectric 等其他技术,但这不削弱其对“采用浮动栅极的实施方式”的明确公开;只能说明浮栅不是唯一可选方案。
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三、对当前 CN103782344B 无效尤其有价值的 US20070253253A1
这一篇建议特别保留。
原因不是它单纯能证明 H,而是它与 CN103782344B 的其他源侧结构特征也有较高关联。
US20070253253A1 明确公开:
每个 NAND string 包括一串串联的 non-volatile memory cells;
存储阵列属于 floating-gate NAND;
源侧具有两个串联的 source select gates;
靠近 memory-cell string 的 source select gate 本身具有 floating gate,并且结构类似于各个存储单元;
NAND string 的末端单元明确称作“last floating-gate transistor”;
nonvolatile memory cell 本身包含 floating gate/charge-storage layer 和 control gate。
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更重要的是,其背景部分已经明确把 NAND 描述为:
NAND array architecture 将 floating gate memory cells 排列成阵列,各 memory cells 串联在 source line 和 bit line 之间。
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该文献公开于 2007-11-01。
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因此,如果后续不是孤立处理 H,而是要把 H 与此前检索的“source select / additional source-side gate”等特征一起组合,US20070253253A1 的战略价值反而可能高于只公开普通 floating-gate NAND 的文献。
四、其他强补充证据
US5745413A
标题本身就是 ...with NAND cell structure,说明书明确:
发明涉及以 floating gate type MOSFETs as memory cells 的非易失半导体存储器;
并公开多个 cell transistors 串联、通过向 floating gate 注入/移出电子来编程。
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公开日 1998-04-28。
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H匹配度:约98%。
US6191975B1
该文献公开于 2001-02-20。
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其明确说明:
NAND cell 由多个串联 memory cells 构成;
memory cells each 具有 charge-storage layer + control gate;
charge-storage layer 是 polysilicon;
更关键的是该层在 memory cell 中明确“is left floating”,后文直接以 FG 标识该层。
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虽然其措辞主要是“charge storage layer left floating”而非逐字使用“floating gate transistor”,但从器件结构上几乎不存在实质区别。
H匹配度:约97%–98%。
US20040212023A1
公开于 2004-10-28。
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它明确规定每个 memory cell block 包含多个 memory cells,而其 memory-cell transistor 的 stacked gate 包括:
floating gate + control gate。并进一步说每个 block 包括多个“memory cells of this configuration”。
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H匹配度:约97%。
五、为什么不能把所有 NAND 文献都算作 H 的直接证据
本轮我也刻意排除了若干“整体结构很接近,但 H 不够直接”的文献。
例如,某些早期 3D NAND / pillar NAND 文件使用的是 charge-trapping layer、TANOS/SONOS。这些文献虽然能很好证明“charge storage device”“NAND string”“vertical pillar”等其他特征,但如果没有明确 floating gate 实施方式,就不应作为 H 的主要直接证据。
这点与目标专利自己的区分也一致:CN103782344B 同时把 floating-gate transistor 和 charge-trap transistor 列为两种不同方案,权利要求5和权利要求6也是分别限定。
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因此,本轮上表没有为了增加数量而把纯 charge-trap 文献强行归入 H。
六、最终特征比对表
技术特征 H 的子要素 CN103782344B US20070133294A1 US5392238A US20070263462A1 US20070253253A1 US6191975B1
存储装置为存储单元 charge storage device 可作为 NAND memory cell floating gate cells nonvolatile memory cells nonvolatile memory cells nonvolatile memory cells memory cells
多个单元形成串 是 明确 series strings 明确串联 NAND string,串联 NAND string,串联 NAND cell,串联
“每一”存储单元 each charge storage device Each floating gate cell each cell block 中所有 M cells 均有 floating gate NAND string 中各 transistor 为 floating-gate transistor floating-gate memory cell array memory cells each具有 charge-storage layer
浮动栅极 floating gate 明确 明确 明确 明确 storage layer explicitly left floating / FG
晶体管结构 floating gate transistor floating-gate memory cell memory cell with floating gate floating-gate transistor floating-gate transistor / memory cell stacked-gate memory transistor
H总体结论 — 完整公开 完整公开 完整公开 完整公开 实质完整公开
支持上述判断的关键原文分别见 Google Patents。
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七、客观成功概率评估
1. “技术特征 H 在 2011-08-15 前是否已经被公开?”
概率:>99%。
这已经不是依赖一篇边缘文献作语义推断的问题,而是至少存在多篇、多个独立年代的 NAND 文献明确披露:
NAND string → memory cells → floating-gate transistors / cells。
其中 US20070133294A1 的“array of floating gate cells + Each of the floating gate cells + series strings”,以及 US5392238A 的“各 cell block 中多个具有 floating gate 的 memory cells 串联”,已经足够稳固。
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2. “H能否被认定为一个有创造性贡献的区别特征?”
我的评估是:概率很低,约1%–5%。
在 1990 年代即已有明确的 floating-gate NAND 串结构,到 2000 年代中期已经成为大量 NAND 专利直接采用的标准存储单元结构。US5745413A、US5392238A、US20070133294A1、US20070263462A1 等形成了非常密集的证据链。
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3. 对 CN103782344B 整体无效的意义
H 本身基本不应当成为无效分析中的难点。
后续真正需要集中检索资源的仍然是 CN103782344B 中更具体的组合关系,例如:
vertical/pillar NAND + source select device + 独立 source gate device + 二者相对 NAND string/source 的串联位置关系。
也就是说,在无效组合中,没有必要专门用第二篇文献才能补 H:优先选择 US20070253253A1、US20070263462A1 这类本身已经公开 floating-gate NAND、且同时具备 source-side select 结构的文献,可以减少组合层级,提高无效论证的紧凑性。尤其 US20070253253A1 值得优先并入此前针对 CN103782344B 的整体组合分析。
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综合评级:技术特征 H 被现有技术成功公开——★★★★★,约 99%+;继续单独检索 H 的边际收益已经很低。
经过多轮以 Internet Archive / Internet Archive Scholar / Wayback 收录内容为中心的检索,并用出版社、IEEE/DBLP 等来源交叉核对原始公开时间,我认为技术特征 H 属于截止 2011-08-15 前已经非常成熟、且存在直接文字披露的技术特征。
CN103782344B 的权利要求5正是:“根据权利要求1所述的设备,其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。”其说明书还明确说明,每个电荷存储装置可以包括“浮动栅极晶体管或电荷陷阱晶体管”。
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一、检索结论
仅针对技术特征 H 本身,我评估其被截止日前现有技术成功公开的概率约为 97%–99%,属于“极高”级别。
其中最重要的原因是:已经找到 2008 年出版的《Infotech: English for Computer Users》第4版。Internet Archive 保存的全文明确写到,Flash 芯片内部的数据存储在多个 floating gate transistors 中,并将这些晶体管直接称为 cells;同一段紧接着说明 Flash 芯片采用 NOR 或 NAND 架构。
Internet Archive
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Cambridge University Press 的原始出版信息进一步确认,该书第4版 First published 2008,明显早于 2011-08-15。
Cambridge Assets
这已经非常接近 H 的逐字技术关系:
charge storage device / memory cell → floating-gate transistor
而不是简单出现“floating gate”这个术语。
二、最有价值的 Internet Archive 对比文献
排名 文献 原始公开时间 Internet Archive 中的关键披露 对 H 的贡献 评价
D1 Santiago Remacha Esteras, Infotech: English for Computer Users, 4th ed. 2008 明确记载 Flash 芯片的数据存储在若干“floating gate transistors, called cells”中;随后说明芯片采用 NOR 或 NAND 架构。
Internet Archive
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直接公开“存储单元=浮动栅极晶体管”并同时具有 NAND 上下文 ★★★★★ 最强
D2 Sergei Skorobogatov, “Local Heating Attacks on Flash Memory Devices”, IEEE HOST 2009 2009-07-27 Internet Archive Scholar/Wayback 抽取的正文明确记载 EEPROM 和 Flash “use floating-gate transistors to store the information”。
Internet Archive Scholar
直接说明 Flash 的信息存储元件采用浮动栅晶体管 ★★★★★
D3 EDN Magazine, 2005-10-27 2005-10-27 明确说明 Toshiba NAND Flash 的 cell structure 是由多个 memory transistors in series 构成。
Internet Archive
证明 NAND 的“电荷存储装置串/存储单元串”本身由串联存储晶体管组成;与 D1/D2 结合非常强 ★★★★☆
D4 LG GX200 Service Manual 文件版本约 2009-12-10 NAND Flash 芯片技术规格中明确标注“Reliable CMOS Floating-Gate Technology”。
Internet Archive
NAND 产品层面直接关联 floating-gate 技术 ★★★★☆
D5 Intel Memory Components Handbook 1984 Intel 手册明确说明 E²PROM 采用“floating-gate tunnel-oxide (Flotox) cell structure”。
Internet Archive
很早即公开“浮动栅结构作为非易失存储 cell”的基本技术 ★★★★☆
D6 Computer Design, December 1981 1981-12 明确说明 floating-gate EEPROM 将电荷存储在浮动栅自身;图示说明 Intel 器件中电荷存储在 floating poly-gate。
Internet Archive
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证明“浮动栅晶体管=电荷存储装置”的原理早在1981年已公知 ★★★☆☆
D7 Computer Design, January 1979 1979-01 “Basic EPROM memory cell”中将 floating gate 明确作为该半导体存储元件的核心结构。
Internet Archive
基础历史证据,说明 floating-gate memory cell 极早已公开 ★★★☆☆
D1为什么特别重要
D1 并非仅仅说“Flash 有 floating gate”。它实际建立了三个连续关系:
数据存储 → floating-gate transistors → 这些 transistor 被称为 cells → Flash 可以是 NAND。
Internet Archive 全文搜索结果直接给出了“数据存储在多个 floating gate transistors 中,这些晶体管称为 cells”的表述。
Internet Archive
同一资料又明确说明这些 Flash 芯片构造为 NOR 或 NAND。
Internet Archive
而 Cambridge 的版权页确认该版本在 2008 年首次出版。
Cambridge Assets
因此,即使对“包括浮动栅极晶体管”作较严格解释,D1 也不是依赖技术人员二次推导,而是接近直接、明确公开。
三、D2:学术文献层面的强证据
Skorobogatov 的论文是 2009 IEEE International Workshop on Hardware-Oriented Security and Trust (HOST 2009) 的正式论文,会议日期为 2009年7月27日。
ResearchGate
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Internet Archive Scholar 保存/索引的版本直接抽取出如下核心技术内容:EEPROM 和 Flash 均使用 floating-gate transistors to store the information。
Internet Archive Scholar
这与 H 的逻辑关系基本一致:
H 的限定 D2
电荷存储装置 Flash 中用于存储信息的元件
存储电荷/信息 明确
包括晶体管 明确为 transistors
浮动栅极 明确为 floating-gate
截止日前公开 2009-07-27,满足
因此 D2 的优势在于其属于 IEEE 学术会议文献,作为辅助证明“浮动栅晶体管作为 Flash 电荷存储元件属于本领域常规结构”,证明力明显高于一般网页材料。其弱点只是所截取语句没有像 D1 那样在同一句中进一步限定“NAND”。
四、D3 对 NAND 串结构的补强非常有价值
EDN 2005 年资料明确记载,Toshiba 提出的 NAND Flash,其 cell structure 是以多个 memory transistors in series 的方式组织。
Internet Archive
因此:
D3:NAND string = 多个串联 memory transistors
再结合:
D1:Flash cells = floating-gate transistors,并明确包括 NAND
即可完整形成:
NAND → 串联 memory cells/transistors → cells 为 floating-gate transistors。
这对于解释 CN103782344B 中“电荷存储装置串”语境下的 H 很有帮助。
但需要强调一个无效程序上的区别:D1+D3 的组合不能等同于单篇文献对新颖性的完整公开;如果需要通过两篇文献拼接,应主要用于创造性论证。就 H 单独特征而言,D1 本身已经相当接近单篇直接公开。
五、与目标技术特征逐项比对
技术要素 CN103782344B 特征 H D1 Infotech 2008 D2 HOST 2009 D3 EDN 2005 D4 LG 2009
存在存储单元/电荷存储装置 是 是,cells 是,information storage 是,memory transistors/cells 是,NAND Flash
元件为晶体管 是 明确 transistor 明确 transistor 明确 memory transistor NAND CMOS 器件语境
晶体管具有浮动栅极 是 明确 floating-gate transistor 明确 floating-gate transistor 本段未独立明确 明确 floating-gate technology
用于存储数据/电荷 是 明确 data stored 明确 store information memory transistor NAND Flash storage
NAND 语境 权1说明书明确为 NAND 实施环境
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明确 NAND Flash,一般性 明确 NAND 明确 NAND
公开日早于 2011-08-15 — 是,2008
Cambridge Assets
是,2009-07-27
ResearchGate
是,2005-10-27
Internet Archive
约2009
对 H 的覆盖程度 — 近乎完整直接公开 直接公开核心关系 部分/上下文补强 较强补强
六、为什么 H 的现有技术风险极高
目标专利自己的说明书也把 floating gate 与 charge trap 并列作为电荷存储装置的两种可选常规实现:其说明书称每个电荷存储装置可以包含带“电荷陷阱或浮动栅极”的晶体管,并进一步明确说每个电荷存储装置例如可以是“浮动栅极晶体管或电荷陷阱晶体管”。
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这一写法本身就表明 H 更像是对存储单元类型的一项常规选择,而非源极栅极方案的核心创新点。再与 1979、1981、1984、2005、2008、2009 年形成的文献链相结合,可以看到“用浮动栅极晶体管构成非易失性存储单元”在目标优先权日之前已经具有相当长的公开历史。
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另外,2008 年 AIST 关于 Fe-NAND 的同期官方技术资料,还将新型 FeFET NAND 与 conventional NAND flash memory cells 对比,并明确讨论传统 NAND 相邻 memory cells 的 floating gates;其研究成果在 2008 年5月的 IEEE NVSMW/ICMTD 会议报告。这个来源不是本轮 Internet Archive 的主证,但作为外部交叉核验非常有力。
AIST
七、客观概率评估
我建议把“技术特征被成功公开”和“最终无效整个权利要求”区分开:
评价事项 概率/判断 原因
2011-08-15 前已有 floating-gate transistor 作为电荷/数据存储 cell >99% 1979—2009 多层次资料连续公开
找到单篇截止日前资料直接公开 H 的核心语义 97%–99% D1 已明确“floating gate transistors, called cells”
单篇资料同时具备 Flash/NAND 上下文并直接对应 H 约95%–98% D1 同一节明确 NAND/NOR;技术关系非常直接
仅依靠 Internet Archive 当前收录页面证明所有材料的法定公开日期 约80%–90% 部分 IA 条目是后期上传;最好再取得出版社版权页、馆藏信息、IEEE正式出版信息证明原始公开时间
技术特征 H 在无效程序中被认定为现有技术已公开 约97% H 本身属于成熟的 Flash/NAND 存储单元结构
最终结论
技术特征 H:“其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管”,我评估成功证明其在 2011-08-15 前已经公开的概率约为 97%,置信等级:极高。
本轮 Internet Archive 检索中,首选文献是 D1《Infotech: English for Computer Users》第4版(2008);其价值明显高于仅出现“floating gate”关键词的资料,因为它直接将 floating-gate transistor 定义为存储数据的 cell,并且在同一技术说明中明确 NAND Flash。D2 IEEE HOST 2009 可作为专业学术文献进一步证明这一技术关系,D3 EDN 2005 则非常适合补强“NAND 串由多个 memory transistors 串联组成”。
因此,后续针对 CN103782344B 的整体无效检索,不建议再把大量时间投入 H 本身。H 基本可以视为已经解决的特征;更值得投入检索资源的是权利要求1中“源极栅极装置 + 源极选择装置”的位置关系、二者共同控制通道—源极导电,以及能否在同一截止日前文献中与柱状/垂直 NAND 串结构结合起来。
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已按 arXiv 限定数据库进行了多轮扩展检索,检索式不仅覆盖“floating gate transistor”,还反复扩展到 floating-gate cell、flash cell、NAND flash、trapped charge、cell charge level、single floating gate、double floating gate 以及 2009—2011 年 Flash 编码/可靠性论文的引用链。
一、结论先行
针对 CN103782344B 的技术特征 H:
H:其中每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。
我认为,仅就“该技术特征在 2011-08-15 前是否已经被公开”而言,成功认定已公开的概率约为 90%~95%,中值约 93%。
其中最有价值的 arXiv 文献是:
arXiv:0911.3992 — Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories
该文在 2009-11-20 即已提交 arXiv;摘要直接说明 Flash memory 由若干 cell 构成,并使用“each cell”逐一限定;正文进一步明确,在 NAND flash 中采用的是 floating-gate cells。
arXiv
文献首页也明确显示 NAND flash 中的 floating-gate cells 被组织成 block。
arXiv
最大的残余风险只有一点:本轮检索到的截止日前 arXiv 强文献主要使用“floating-gate cell”,而不是逐字写成“floating-gate transistor”。因此,如果采取极端严格的字面比对,会存在一定争议;但从 Flash/NAND 器件技术语义看,“floating-gate cell”加上“通过浮栅中的存储电荷确定 cell 状态”的公开,对 H 的技术实质已经非常接近直接公开。
二、最有价值的截止日前 arXiv 文献
排名 arXiv 文献 arXiv 首次公开 对 H 的关键公开 贡献等级
1 arXiv:0911.3992, Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories 2009-11-20 摘要采用“each cell”逐个限定,并说明 cell 采用 NAND/NOR floating-gate 实现;正文进一步明确 NAND flash 中为 floating-gate cells A+,最强
2 arXiv:0901.0702, Multidimensional Flash Codes 2009-01-06 Flash memory 是由 array of floating-gate cells 构成;向 cell 注入电子并将电子捕获,cell 状态由其中捕获的电荷量决定 A
3 arXiv:0905.1512, A Nearly Optimal Construction of Flash Codes 2009-05-10 明确 Flash memory 由 array of floating-gate cells 构成,cell 的 state 是其内部捕获电子/电荷量的函数 A
4 arXiv:0907.3387, Correcting Limited-Magnitude Errors in the Rank-Modulation Scheme 2009-07-20 明确 Flash memory 使用 floating-gate cells to store information;每个 cell 具有多个状态,并通过向 cell 注入/移除 charge 改变状态 A−
5 arXiv:1102.2035, Quasi-Cross Lattice Tilings with Applications to Flash Memory 2011-02-10 明确 Flash memory cells 使用 floating gate technology,以 trapped charge 存储信息;逐 cell 讨论存储状态 A−
6 arXiv:1005.1102, Numerical approach for retention characteristics of double floating-gate memories 2010-05-06 对 conventional single-FG、double-FG cell/array、stored charges 进行器件层分析,证明“浮栅=电荷存储结构” B+,辅助
所有上述文献的 arXiv 首次公开日期均早于 2011-08-15。例如 0901.0702 的 v1 为 2009-01-06,
arXiv
0905.1512 为 2009-05-10,
arXiv
0907.3387 为 2009-07-20,
arXiv
0911.3992 为 2009-11-20,
arXiv
1102.2035 为 2011-02-10。
arXiv
三、逐篇分析
1. arXiv:0911.3992 —— 最优文献
这是本轮 arXiv 检索中对 H 最有攻击价值的文献。
其摘要公开的逻辑是:
Flash memory 由 blocks of cells 构成;
使用的是 each cell,因此不是仅说明“部分 cell”;
cell 被明确限定为 floating-gate 类型;
对 NAND flash,正文进一步明确其基本组成是 floating-gate cells。
arXiv
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因此对应 H:
每一电荷存储装置 → each flash-memory cell
电荷存储装置 → memory cell
包括浮动栅极 → floating-gate cell
浮动栅极晶体管 → 文献没有逐字出现 transistor,但其公开的 floating-gate memory cell 是高度对应的器件概念。
单独用该文证明 H 的技术实质已公开,我评估成功概率约 90%~93%。
2. arXiv:0901.0702 —— 对“电荷存储装置”对应关系特别强
该文 2009-01-06 已公开。
arXiv
首页正文明确把 Flash memory 描述成 floating-gate cells 的阵列,并进一步说明:
电子被注入 cell;
电子在其中被捕获;
cell 的“level/state”取决于其中捕获的电荷量。
arXiv
这一点非常重要,因为它不只是出现“floating gate”,而是建立了:
cell → 捕获/存储电荷 → floating-gate cell
因此对于权利要求使用的上位概念“charge storage device / 电荷存储装置”,该文具有很好的语义桥接作用。
3. arXiv:0905.1512 —— 结构和功能同时公开
该文 2009-05-10 已公开。
arXiv
正文明确:
Flash memory 是由 array of floating-gate cells 构成;
每一个 cell 的状态取决于其内部捕获的电子/电荷;
编程就是向 cell 增加 charge;
擦除就是移除 charge。
arXiv
所以它同时公开:
结构:floating-gate cell
以及:
功能:利用其内部捕获电荷实现存储。
对“charge storage device”这一表述尤其有价值。
4. arXiv:0907.3387 —— “浮栅 cell 用于存储信息”公开明确
arXiv 首次提交日期为 2009-07-20。
arXiv
论文直接说明 Flash memory 使用 floating-gate cells 存储信息,并继续说明现代 multilevel flash 中 every cell 均具有多个离散状态,cell 状态可通过向 cell 注入或从 cell 移除电荷改变。
arXiv
它对 H 中:
“每一”
“电荷存储”
“浮动栅极”
三个语义要素都有非常好的对应。
不足仍然是没有逐字出现“transistor”。
5. arXiv:1102.2035 —— 截止日前较晚但很清晰的佐证
该文 2011-02-10 提交,距离截止日仍有约半年,日期合格。
arXiv
其正文明确表述 Flash memory cell 使用 floating gate technology 通过 trapped charge 存储信息,并说明通过测量单个 cell 的 charge level 判断其存储状态;其后又按“each cell”讨论单比特及多比特存储。
arXiv
因此这一篇对于:
“电荷存储装置”究竟是不是浮栅型 cell
提供了很好的功能性证明。
6. arXiv:1005.1102 —— 器件物理辅助文献
该文 2010-05-06 已提交。
arXiv
它研究 conventional single floating-gate 与 double floating-gate memory cell/array,明确讨论:
FG memory;
neighboring FG;
stored charges;
single FG / double FG cell;
control gate、substrate 及存储电荷之间的器件关系。
arXiv
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这篇与 NAND 串本身的结合程度弱于前五篇,因此不建议作为 H 的第一证据,但很适合用于证明:所谓 floating-gate memory cell,本质上就是利用浮栅作为电荷存储节点的半导体存储器件。
四、技术特征 H 比对表
符号说明:✓ = 明确公开;△ = 技术实质高度对应,但没有逐字使用目标术语。
H 的子特征 0911.3992 0901.0702 0905.1512 0907.3387 1102.2035 1005.1102
存在多个电荷存储 cell/device ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
“每一”/全部 cell 均按该结构设置 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ △
cell 用于存储电荷/电子 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
cell 为 floating-gate 类型 ✓ ✓ ✓ ✓ ✓ ✓
明确出现“floating-gate transistor”字样 △ △ △ △ △ △
技术上对应浮动栅极晶体管存储 cell 强 强 强 强 强 中强
对 H 的总体贡献 A+ A A A− A− B+
其中 0901.0702、0905.1512 的“floating-gate cell + trapped electrons/charge”结构尤其清楚。
arXiv
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0907.3387 和 1102.2035 则分别直接把 floating-gate cell/floating-gate technology 与存储信息、存储电荷联系起来。
arXiv
+1
五、为什么不是评估为 100%
本轮检索还专门反查了“floating gate transistor”“each flash cell is a floating-gate transistor”等更严格关键词。在 2011-08-15 之前的 arXiv 文献中,本轮没有发现一篇像后来的文献那样逐字写明“each flash memory cell is a floating-gate transistor”的文献。
反而是在截止日之后的 arXiv 论文中,这种表达非常明确,例如后来的文献会直接把 NAND flash memory cell 等同于 floating-gate transistor;但这些文献因公开日晚于截止日,不能作为本案现有技术证据,因此我没有将其纳入有效对比文件。
这也是我把概率控制在 90%~95%、而不是 98%~100% 的主要原因。
争议点可能会被专利权人表述为:
“floating-gate cell”不等于权利要求明确要求的“floating-gate transistor”。
但这一反驳的技术说服力有限,因为多篇截止日前文献已经连续公开了:
flash cell → floating gate → trapped electrons/charge → cell threshold/state → 信息存储
这实际上正是浮动栅极存储晶体管的核心工作关系。
arXiv
+2
arXiv
+2
六、最终概率评估
评价事项 概率
“浮动栅极用于存储电荷”已公开 >98%
“Flash/NAND 的各 memory cell 为 floating-gate cell”已公开 95%~98%
“每一电荷存储装置”为 floating-gate 类型 93%~96%
严格认定其等同于“包括浮动栅极晶体管” 88%~94%
技术特征 H 整体被成功认定已公开 约90%~95%,中值约93%
最推荐的证据顺序
第一选择:arXiv:0911.3992
它最接近 H 的“每一”限定,并直接落到 NAND flash 的 floating-gate cells。
arXiv
+1
第二选择:arXiv:0901.0702 或 arXiv:0905.1512
用于进一步证明 floating-gate cell 就是以内部捕获电子/电荷作为存储状态的 charge-storage cell。
arXiv
+1
第三选择:arXiv:0907.3387 / 1102.2035
作为相互独立的技术常识佐证,证明在截止日前“Flash cell = floating-gate charge-storage cell”已经是反复公开的成熟技术事实。
arXiv
+1
综合判断:H 属于目前 CN103782344B 各技术特征中相对容易找到强现有技术支持的特征。 如果将这些 arXiv 文献与此前检索到的 2011-08-15 前 CN/US/JP/KR 专利文献共同使用,H 本身不太可能成为维持专利有效性的关键区别点。
根据权利要求1所述的设备,其中每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
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检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
· 检索对象:权利要求6,即权利要求1的技术特征 A-D,加上 I“其中每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管”。
· 现有技术截止日:公开日严格早于 2011-08-15。全部 Google Patents 检索 URL 使用 before=publication:20110815,并逐篇核验公开日。
· 最佳单篇文献:CN102148059A(英文同族 US20110194357A1),分别于 2011-08-10/2011-08-11 公开。其图3-5明确给出硅柱113、ONO中的氮化硅电荷俘获层118及由其形成的存储单元晶体管;图6-7给出 NAND 串、共源线及地选择晶体管导电机理;图14又明确在同一存储块的每个 NAND 串中设置两条地选择线。
· 最佳无效方案:先以 CN102148059A 单篇主张不具备新颖性;再以 CN102148059A + US20080253187A1 主张不具备创造性。后者把“源线—外侧选择栅—内侧选择栅—存储串”的顺序及降低 GIDL/漏电的动机写得极为直接。
· 综合无效成功概率:89%。其中单篇新颖性路线约 86%,首选创造性组合约 92%。按统一尺度属于“80-89:高度接近且组合明确”。已超过75%,本轮不触发补充检索。
最大争点不是 I,而是“靠共源线的地选择晶体管/栅”是否会被接受为权利要求中的“源极栅极装置”。
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标号 |
技术特征 |
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A |
电荷存储装置串,其与包括半导体材料的柱相关联。 |
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B |
源极栅极装置,其耦合到源极,且配置为控制所述串的通道与源极之间的导电。 |
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C |
源极选择装置,其耦合于所述串与所述源极栅极装置之间。 |
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D |
所述源极选择装置配置为控制所述通道与源极之间的导电。 |
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I |
每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管。 |
对 B-C 采用功能和相对位置解释:源端串联路径中靠源线的一只器件对应“源极栅极装置”,靠存储串的一只器件对应“源极选择装置”。权利要求并未限定二者必须采用特定名称、材料、环绕形态或不同控制信号。I 中“每一”指串中的各电荷存储装置,而非源/漏选择器件;“电荷陷阱晶体管”至少涵盖具有控制栅—阻挡层—氮化物俘获层—隧穿层—半导体主体的 SONOS/ONO 存储晶体管。
· 有效检索式:(vertical NAND pillar "charge trapping layer" "ground select line")
· 实际结果:20件;US20110194357A1位列前部,并检出 TW200931434A、KR20100081559A、US20080285350A1 等。更严格式 (vertical NAND pillar "charge trap" "two ground select lines" "common source line") 返回0,故以上述式为有效式。
· 精确检索式:(NAND 柱 "电荷俘获层" "地选择线")
· 实际结果:1件,即 CN102148059A;这也是本轮区分力最高的检索式。
· 高精度式:(NAND 柱 "電荷蓄積層" "接地選択線")
· 实际结果:0件。随后实际放宽为 (NAND "柱状半導体" "ソース選択"),其检索 URL返回2件(JP2010225222A、JP2011070730A),但均未形成强于 CN102148059A 的 A-D-I 同篇链条。日文存在“電荷蓄積/電荷トラップ”“接地選択/ソース選択”“柱/ピラー”多组译词分散。
· 构建的高精度式:(수직 NAND "전하 트랩층" "접지 선택 트랜지스터")
· 实际有效放宽式:(수직 NAND "접지 선택 트랜지스터")
· 实际结果:约104件,包含 KR100909968B1、KR20100089022A、KR20110012806A 等;再在候选全文中以 전하 트랩층/전하 저장층 核查 I。CN102148059A 的韩国优先权基础为 KR10-2010-0011989,但其韩国授权公开较晚,故本轮证据仍选截止日前已公开的 CN/US 同族文本。
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
截止日前? |
本轮角色 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
CN 2011-02-09;US 2011-01-06 |
CN 2011-08-10;US 2011-08-11 |
是 |
最强,近似单篇全特征。CN申请号 CN201110034906.1;US申请号 US12/985,695。 |
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|
具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列 |
2008-03-13 |
US 2008-03-13;PCT/CN 2009-03-12 |
US 2009-09-17;CN 2011-02-09 |
是 |
A、I极强;B/D部分;缺第二源端器件C。US申请号 US12/047,414;CN申请号 CN200980108602.6。 |
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Multiple select gate architecture |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
是 |
B-D极强;A缺柱,I仅属可选的一般披露。申请号 US12/141,718。 |
优先权日仅用于技术谱系核验;现有技术资格以公开日为准。三组文献均严格早于截止日。
段落号以同族 US20110194357A1 的规范编号为准,中文内容可在 CN 页面逐句核对。
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特征 |
原文证据、段落及附图 |
同一实施例与判断 |
强度 |
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A |
[0068]:柱113的表层114包括P型硅;[0076]:柱113、邻接绝缘层116及导电线211-291等形成 NAND 串;[0079]:每一 NAND 串沿垂直方向含多个晶体管结构TS。图3-5。 |
直接披露与半导体硅柱113相关联的垂直电荷存储串。 |
强 |
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B |
[0107]:图14在每一 NAND 串的 WL1-WL6 与 CSL 之间设置两条 GSL;[0108]-[0109]明确 GSL12/GSL13邻近共源线;[0092]-[0093]说明高于阈值的GSL电压形成沟道N1并使其与CSL电连接。图7、图14-15。 |
将靠CSL的外侧GST/GSL映射为源极栅极装置:其位置、耦合对象和控制导电功能均满足,仅名称不同。 |
中强至强 |
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C |
[0107]-[0108]:另一条 GSL22/GSL23邻近字线,位于存储单元MC/WL一侧与靠CSL的GSL12/GSL13之间。图14-15。 |
相对位置直接对应“串与源极栅极装置之间的源极选择装置”。 |
强 |
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D |
[0092]-[0093]、[0096]:GST受GSL电压控制形成/切断沟道,进而连接串的MC沟道和CSL;[0108]对两级GSL分别施加控制电压。 |
两级均是同类地选择晶体管;内侧级控制串通道至源极路径。 |
强 |
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I |
[0077]图5:晶体管TS为ONO结构;[0078]明确“硅氮化物层118可以用作电荷俘获层”,并由控制栅233、阻挡层119、电荷存储/俘获层118、隧穿层117及柱体114形成“存储单元晶体管结构”;[0079]每串含多个TS;[0081]称整个存储块为“电荷俘获型”;[0085]把串中的电荷存储器件具体列为MC1-MC7。 |
在图3-7同一结构中,串中各MC均由沿柱和各字线重复形成的同一ONO存储晶体管结构构成,直接满足“每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管”。 |
强 |
1. 图3-5定义柱113、ONO层117/118/119及重复的存储单元晶体管TS;
2. [0084]图6明确是“参照图3-5描述的存储块”的等效电路,[0085]把MC1-MC7置于GST与SST之间;
3. [0091]图7明确是“参照图3-6描述”的一条 NAND 串,并在[0092]-[0096]解释GST及MC沟道的形成与连接;
4. [0107]图14又明确是图6存储块的实施方式,只把每串源端改为两条GSL;因此图14继承图3-7的硅柱和电荷俘获型MC结构;
5. [0108]-[0110]给出两级GSL相对位置及偏压,[0113]-[0114]再次概括每串可有至少两条GSL。
这不是把互不相干的实施例事后拼接,而是说明书自身连续回引的同一存储块结构。权利要求10还明确要求含存储单元串、驱动器及读写电路的非易失性存储器件;权利要求16明确这些存储单元垂直于衬底堆叠,进一步支持A及装置属性。
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特征 |
证据(同族US段落/附图/权利要求) |
判断 |
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A |
[0030]-[0035]、图2B-4:电荷俘获层228覆盖孔226,导电柱230填入;字线424与柱相交形成两侧的串联存储单元450;权利要求1、13-14、19、25。 |
柱230本身构成两串共同沟道,A极强。 |
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B/D |
[0027]、图2A:源极选择晶体管216由选择栅204、介质212及导电柱214沟道形成;[0044]、图2C明确其选择性地把柱230下端及两侧存储串连接到源线200;权利要求3-5、9、15-17。 |
一个源侧控制器件的结构和功能明确。 |
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C |
图2C在存储串与源线之间仅明确一只源极选择晶体管216。 |
缺与216串联且彼此可对应B/C的第二源端器件,不能单篇覆盖。 |
|
I |
[0030]-[0031]:俘获层228及柱230/导电层224形成SONOS;[0034]-[0035]把俘获层切分为各MC的独立charge trap 229,并明确“each memory cell 450 may be a non-volatile SONOS flash memory cell”;权利要求1的每一charge storage node、权利要求19的charge trap、权利要求25的charge trapping layer。 |
对“每一存储单元为电荷俘获晶体管”的文字甚至比CN102更直接。 |
以上结构均属于图2A-2C经图3/4放大的同一制造实施例。该文献单篇约覆盖 A、I 和一个源侧选择器件,但不能用同一个216同时满足B和C两个不同装置。
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特征 |
证据 |
判断 |
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A |
[0023]-[0024]、图2有NAND非易失性单元串,但为平面局部位线204,未披露半导体柱。 |
缺柱。 |
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B |
[0023]-[0024]:源端串联选择栅210、211;211的源极直接接共源线216。 |
外侧211直接对应耦合源极的源极栅极装置。 |
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C |
[0024]:210连接第一存储晶体管,211串联在210外侧;权利要求16明确第二栅介于第一栅与源线之间。 |
内侧210明确位于存储串和外侧211之间。 |
|
D |
两只器件均为FET选择栅;[0028]说明增加第二选择栅提高关断并降低穿通/漏电,[0034]说明双栅间中间电位降低GIDL。 |
控制导电功能及技术效果均强。 |
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I |
[0023]仅称典型非易失性单元可包括floating gate或charge storage layer;具体图2又称floating-gate transistor 208。 |
不能证明每个单元必为电荷陷阱晶体管,仅作B-D辅证。 |
权利要求7、13、16从不同层级明确两只串联源侧选择栅;其中权利要求16最清楚地限定外侧第二栅位于内侧第一栅与源线之间。
6. A与I是同一物理结构的直接披露:沿硅柱113重复形成控制栅/阻挡层/氮化物俘获层/隧穿层/柱主体,由此构成MC1-MC7的垂直电荷俘获NAND串。
7. 图14明确在同一串源端配置两条串联GSL,且一条邻近CSL、另一条邻近MC/WL,满足B-C的相对位置。
8. [0092]-[0096]逐步说明GSL电压超过GST阈值后形成沟道、把MC沟道与CSL电连接,满足B和D的功能限定。
9. 图14通过图6明确回接图3-5,图7也明确回接图3-6,故所有特征位于同一公开方案。
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专利权人可能抗辩 |
风险 |
回应 |
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“ground select transistor”不是“source gate device”。 |
中 |
权利要求以位置和功能定义而非名称定义;外侧GST紧邻/耦合CSL并控制柱沟道至CSL的导电。US20080253187A1还证明同一位置的器件在本领域通常称source select gate。 |
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图14只有电路图,没有重新画柱和ONO层。 |
低 |
[0107]明称图14是图6存储块的实施方式;[0084]又明称图6是图3-5实体结构的等效电路。属于文献自身的引用链。 |
|
图5只示出一个TS,且用“可以”描述电荷俘获层,不能推出“每一”。 |
中低 |
新颖性判断只需一个直接公开的实施方式。该实施方式在每一字线/柱交点重复相同绝缘层116,图5正是该重复TS的截面;[0079]说明每串有多个TS,[0081]把存储块整体定性为电荷俘获型,[0085]列出全部MC1-MC7。 |
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GST/SST本身未被明确称为电荷陷阱晶体管。 |
低 |
I只修饰“电荷存储装置”,即MC,不要求不存储电荷的选择器件也是电荷陷阱晶体管。 |
|
“电荷存储层”不等于“电荷陷阱”。 |
低 |
[0078]在同一句中明确氮化硅118“用作电荷俘获层”,且[0081]明确“电荷俘获型”NAND块,不依赖上位概念推断。 |
CN102148059A单篇破坏新颖性的概率:86%。 未进入90-95档,仅因B的中英文器件名称及两级GST功能逐字重复仍有解释空间,并非I存在实质缺口。
· 最接近现有技术:CN102148059A,已直接披露A、I以及两级源端GSL结构。
· 保守区别:若审理者不接受外侧GST/GSL就是“源极栅极装置”,区别仅在于对两级源侧FET的名称、顺序及功能表达。
· 结合启示:US20080253187A1 [0023]-[0024]及权利要求16明确外侧源选择栅211接共源线216,内侧210接第一存储单元;[0028]、[0034]给出改善关断、穿通和GIDL的动机。
· 组合动机:两篇均为NAND源端选择路径并共同处理GIDL/漏电;CN102 [0108]-[0109]本身也以两级GSL降低GIDL,技术问题和效果完全同向。
· 技术相容性:无需把US文献的平面工艺硬移植到垂直柱;CN102已经画出两级垂直GST,US文献只提供对该既有拓扑的常规源侧双栅功能解释。因此不会破坏柱113、ONO层或CSL结构。
· 创造性无效概率:92%。
· 前者提供导电柱230、两条沿柱的SONOS存储串、每一MC的charge trap 228/229、源线200及一只源极选择晶体管216,覆盖A、I及源端控制基础结构;
· 后者提供把源端一只选择栅扩展为两只串联选择FET的明确拓扑及降低穿通/GIDL的动机,补足B-C-D;
· 二者同属NAND阵列且均关注源端选择晶体管,功能相容。普通技术人员为增强关断/抑制漏电而增加串联选择栅具有可预期效果。
反方最强抗辩是:US20090230454A1的柱230两侧共享两串、源选择器件216采用特殊下部柱214,将平面文献的双栅直接加入可能增加工艺复杂度。对此可强调US20080253187A1权利要求层面的拓扑启示不限定平面材料,且第二选择栅的目的正是允许缩短单栅沟道同时维持关断性能。该备选组合概率:82%。
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项目 |
结论 |
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最强单篇 |
CN102148059A;A、C、D、I明确,B结构/功能明确但名称可争。 |
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最强新颖性路线 |
CN102148059A单篇,86%。 |
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最强创造性路线 |
CN102148059A + US20080253187A1,92%。 |
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备选创造性路线 |
US20090230454A1/CN101971324A + US20080253187A1,82%。 |
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综合无效成功概率 |
89%。 |
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是否需要第2轮 |
否;已高于75%。 |
正式无效请求宜把图3-5、图6、图7及图14-15连续编为证据页,并以同色标注柱113/主体114、MC1-MC7与ONO层117-119、内侧GSL22/23、外侧GSL12/13及CSL。I应重点并列引用[0078]的“charge trapping layer”和“memory cell transistor structure”,避免仅以“charge storage layer”上位术语作论证。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim6\round1.md
##据,其中前三件已经接近或达到“单篇、直接且无歧义公开”的程度。citeturn923244view3turn374344view2turn950895view1
按较严格口径,我对**“技术特征 I 已被至少一件截止日前中文专利单篇成功公开”**的概率评估为:
> **95%–98%,中心估计约 97%。**
这里的概率是基于文本明确程度、结构对应程度、“每一”限定的覆盖程度以及单篇证据完整捕捉+晶体管”一次性公开。citeturn488227view3turn923244view3 | **极强,最接近字面公开** |
| **D2** | **CN1832202A**《具有多层掺杂层的电荷陷阱存储单元和利用该存储单元的存储阵列及其操作方法》 | **2006-09-13** | 权利要求20明确电荷陷阱层**的多层介质。即结构上明确为电荷陷阱型存储晶体管。citeturn950895view0turn374344view2 | **极强** |
| **D3** | **CN1610976A**《采用电介质存储元件的多态非易失性集成电路存储系统》 | **2005-04-27** | 权利要求25直接限定 NAND 结构阵列中“**各个存储器单元的电荷存储元件**”由位于字线与“**存储晶体管的沟道陷阱+存储晶体管”四个要素同时出现。citeturn555703view7turn950895view1 | **极强** |
| **D4** | **CN101364602A**《具有高速擦除能力的能隙处理的电荷捕捉存储单元》 | **2009-02-11** | 明确将 N 个**电荷捕捉存储单元串联**构成 NAND 阵列;单元具有源极、漏极、沟道、栅极及**电荷捕捉层**。从器件结构看就是典型的电荷陷阱存储晶体管。citeturn488227view1turn923244view0turn923244view1 | **极强** |
| D5 | **CN101814507A**《空乏模式的电荷捕捉快闪装置》 | **2010-08-25** | 明确针对 NAND 型电荷捕捉存储器捕捉层的介质叠层,并说明单元可串联形成 NAND。citeturn963163view8turn950895view2 | **很强** |
| D6 | **CN1848439A**《一种陷阱电荷俘获型的快闪存储器阵列结构及其操作方法》 | **2006-10-18** | 公开多个 SONOS 单元串联构成存储串;SONOS 单元具有源、化层。citeturn374344view3turn778560view4turn778560view5 | **很强** |
| D7 | **CN1691310A**《用在电荷陷阱非挥发性记忆体中的频谱位移的动作设计》 | **2005-11-02** | 非常值得注意的表述是“**每清楚。citeturn555703view8turn374344view5 | **很强;但所引段落NAND关联稍弱** |
| D8 | **CN1577865A**《电荷捕捉记忆单元》 | **2005-02-09** | 权利要求直接定义电荷捕捉存极。属于非常典型的电荷陷阱型晶体管结构。citeturn941611view4turn923244view6 | **强;适合作结构补强** |
| D9 | **CN101465353A**《利用虚拟存储单元改善电荷陷阱存储器阵列中的数据可靠性的非易失性存储器件》 | **2009-06-24** | NAND 串由多个 EEPROM 单元组成,并记载“**每个EEPROM单元包括电荷陷阱阱型单元。citeturn555703view9turn963163view5 | **中强;“陷阱或浮栅”使单独使用稍弱** |
| D10 | **CN1719611A**《电荷捕捉非挥发性记忆体及其操作方法》 | **2006介质及栅极;同时描述 SONOS 单元串联的 NAND 阵列。citeturn210388view1 | **强补充证据** |
| D11 | **CN101192532A**《电荷捕获层及其制造方法和电荷捕获型半导体存储装置》 | **2008-06-04** | 对浮栅结构与 SONOS/MONOS 电荷捕获结构作了明确区分,SONOS 包含源漏沟道、隧穿氧化层、氮化物电荷捕获层、阻挡层及栅极。citeturn555703view10turn963163view7 | **补强技术常识** |
上述全部文件的**公开日均严格早于 2011-08-15**;这里按你的要求使用的是“公开日”筛选,而不是仅以优先权日或申请日判断。citeturn950895view0turn555703view7turn488227view3turn488227view1
## 二、针对技术特征 I 的逐项比对
| 技术特征 I 的子要素 | CN101826545A | CN1832202A | CN1610976A | CN101364602A |
| 存在“电荷存储晶体管”的问题。citeturn923244view3
**CN1832202A 则更适合强调传统 NAND 存储串语境。**其权利要求层面已经把“至少两个电荷陷阱存储单元”放进 NAND 串,并逐一规定了栅、源、也很难回避其明确的晶体管结构。citeturn374344view2
**CN1610976A 的优势在“每一”的明确性。**权利要求25直接规定 NAND 阵列中“各个存储器单元”的“电荷存储元件”为电介质电荷捕获材料,且该材料位于字线和“存储晶体管沟征的语义对应非常完整。citeturn950895view1
## 三、客观概率评估
如果判断标准只是你这次指定的**技术特征 I 本身**,而不是整个权利要求:
**成功公开概率:95%–98%,中心估计约 97%。**
如果采取异常很难形成实质技术区别。citeturn923244view3
从证据使用角度,针对**特征 I 单独成立**,我的推荐顺序是:
**CN101826545A ≈ CN1832202A ≈ CN1610976A > CN101364602A > CN101814507A / CN1848439A。**
其中前三件不是需要彼的技术路线。citeturn950895view2turn778560view4turn778560view5
因此,**技术特征 I 本身不是 CN103782344B 中一个有明显现有技术障碍的区别特征**。真正决定整个权利要求能否成功无效的,应当是这些必然无效。
##采用电荷陷阱晶体管**的文件。citeturn883394view0
检索结果非常明确:**技术特征 I 在 2011年8月15日之前已经被多件韩文专利文献直接公开,而且至少两件属于接近文字级命中的公开。** 就技术特征 I 单独而言,我评估其被认定为现有技术已经公开的概率约为 **99%–99.8%,属于管)”**。citeturn423139view0turn773194view0
**KR20060089261A** 同样具有非常高的证据价值。其对应授权文本明确描述:第一选择晶体管、**多个电荷陷阱存储单元**和第二选择晶体管以源漏方式串联;并进一步限定每个电荷陷阱存储单远早于截止日。citeturn855511view1turn110246view1
如果不仅考虑技术特征 I 的文字命中,还考虑其与 CN103782344B 的整体 NAND/柱状结构的相似性,那么 **KR20110034816A 的价值尤其高**。该文献公开于2011年4月6日,明确描述柱状单晶半导体通道,以及联的电荷存储装置串”非常接近。citeturn855511view3turn423139view3turn883394view3
KR20080053531A 则从另一条技术路线提供强证据:其 NAND string 中串联设置 NROM memory cells,且明确是**每一个 NROM cell**都具有 trapping layer,因此即使对方试日。citeturn285975view0turn584426view3
KR20060120889A 同样早在2006年即明确针对 **charge-trap NAND flash memory**,并把串内用于存储的 memory cell transistor 与 SSL/G中的普通存储晶体管采用非导电电荷存储/陷阱结构,而选择晶体管承担开关功能。citeturn855511view0turn110246view0
KR20080050654A 公开了由多个 cell transistors 构成的 NAND cell string,每一个 cell device 都具有 charge storage node,且优选实施例明确采用 nitride film 作为该存储节点。这件文件稍弱于前三件,技术解释,因此更适合作为辅助证据。citeturn773194view2turn773194view1turn883394view2
KR20110012806A 的优势则在于**垂直 NAND + 柱状通道 + 多个 memory cell transistors + trap-type charge storage layer**的组合,与目标专利实施方式高度同构。其公开日为2011年2月9日,符合时间条件。citeturn855513view3turn455064view0
### 技术特征逐项比对
| 技术特征 I 的细分含义 | CN103782344B | KR20100034614A | KR20060089261A | KR20110034816A |
| 存在多个电 layer”的文件明显更稳。citeturn773194view0
第二顺位建议 **KR20060089261A**。其“**plurality of charge trap memory cells 串联连接**”的权利要求式表达同样非常难规避包含 charge trap layer。citeturn110246view1
如果最终目的是攻击 **CN103782344B 权利要求6整体**,则建议重点保留 **KR20110034816A**。因为权利要求6从属于权利要求1,除了技术特 文献更有价值。citeturn883394view0turn423139view3
## 成功公开概率评估
**仅针对技术特征 I 本身,我给出的客观评估是:99%–99.8%,极高概率已经被成功公开。**
原因不是仅仅找完整对应链,其中 **KR20100034614A** 的文字命中尤其强。citeturn423139view0turn773194view0turn110246view1
我没有评为100%,主要是保留权利要求解释、中文译文与韩文原文对应、证据版本及无效程序中具体举证方式等不确定因素。但从**技术公开事实固地被现有技术覆盖**。
经储晶体管。** citeturn406013view0turn406013view1
这也是为什么本次检索不能只搜字面上的 “charge trap transistor”,还必须覆盖当时业界大量使用的 **SONOS、MONOS、TANOS、NROM、PHINES、charge-trapping memory cell** 等表达。尤其 US20060140000A1 明确把 PHINES 单元称为 “memory cell or transistor”,并说明它具有 MOSFET 的源、 **FET structure**。citeturn840797view2turn959436view9
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## 二、最有价值的英文对比文件
| 排名 | 英文专利文献 | 公开日 | 与技术特征 I 对应的核心公开 | 评价 | 特征 I 公开概率 |
| 1 | US20060171209A1 | charge trap layer,文字结构与技术特征 I 极为接近。citeturn245521view0turn840797view1 |
US20090230454A1 公开于 2009-09-17,其说明书直接说 vertical NAND strings 中“each memory element”可为 SONOS transistor,同时另一实施方式又说“each memory cell”具有包含 ONO 层的 charge trap,因此基本不存在“只是某一个存储单元为陷阱型”的问题。citeturn512291view0turn959436view1turn959436view2
US20060140000A1 则从另一方向堵住解释空间:PHINES memory cell 被明确称为 **memory cell or transistor**,它具有典随后明确把多个这样的 memory cells 排列成 NAND string。citeturn633869view0turn840797view2
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# 三、逐项特征比对
以下用最强的 **US20060171209A1、US20090230454A1、US20060140000A1、US20050133860A1** 与特征 I 对照。
| 技术特征 I 的组成 | CN103782344B |”这一量词最强的证据。citeturn840797view1
US20050133860A1同样很强:它明确说明 NAND 中存储单元以8、16、32个或更多串联,并明确“Each NROM memory cell”具有通常由 nitride 构成的 trapping layer;电流通过串中的每个 NROM memory cell。citeturn959436view4turn959436view5
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## 四、另外几篇值得保留的文件
### 1. US20050122779A1
公开日 **2005-06-09**。它用一句非常干净的表述公开。citeturn998776view5turn998776view6
### 2. US20050128807A1
公开日 **2005-06-16**,也明确公开每个 NAND string 具有多个串联的 SONOS transistors。其内容与 Matrix/SanDisk 的同期 SONOS NAND 技术存在明显累积性,因此我不建议同时把它与 US20050122779A1 当作两份完全独立的技术启示来放大权重,但可以作为备用证据。citeturn959436view7turn959436view8
### 3. US20090168532A1
公开日 **2009-07-02**。这篇文献的用词甚至就是“**NAND strings of charge trap memory cells**”,说明书进一步明确这些非易失存储单元是采用。citeturn225214view3turn225214view4
因此,即使对方试图主张 NROM/SONOS 是“术语不同”,这篇文件也可以直接用 **charge trap memory可为 TANOS,其中 silicon nitride 用作 charge-storage material。citeturn512291view1turn346935view0turn346935view2
更值得注意的是,**CN103782344B 自身的 Patent Citations 就列出了 US20090180324A1 和 US20060261404A1**。citeturn406013view2
### 5. US20080179659A1
Toshiba 文件,公开日 **2008-07-31**。其 memory string 包含多个 memory cells,并明确形成 SONOS/MONOS 层近。citeturn512291view2turn998776view1turn998776view3
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# 五、最优选择
如果现在的任务**只针对技术特征 I**,我建议优先顺序为:
**第一选择:US20060171209A1**
优势最大,因为它同时具备:
**charge trap memory cell + plurality + connected in每一个关键词都写进了同一项权利要求。citeturn840797view1
**第二选择:US20090230454A1**
最大优势是直接出现 **SONOS transistor**,而且使用“each memory element”和“each memory cell”,因此“晶体管”和“每一”两个可能争议点都处理得很好。citeturn959436view1turn959436view2
此外,这份文件还是 CN103782344B 自身列出的现有技术引用文件,目标专利 Google Patents 页面列明其公开日为 **2009-09-17**。citeturn406013view3
**第三选择:US20060140000A1**
最大优势是明确把 charge-trapping PHINES cell 称为 **transistor**,同时又明确多个相同单元形成于 charge trap transistor”的解释。citeturn840797view2
**第四选择:US20050133860A1**
如果希望尽可能接近目标专利自己的技术背景,这篇很有价值。其最早公开版本 US20050133860A1 在 **2005-06-23** 已公开每个 NROM memory cell 具有 trapping layer,并构成 NROM NAND string;目标专利后来还直接引用了其相关的 US20060261404A1。citeturn959436view4turn959436view6turn406013view2
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# 六、客观概率评估
我把概率分成三个层次,以避免把“找到同义技术”与“法律上必然认定公开”混为一谈。
| 判断问题 | 我的评估 |
|---|→ charge trap layer。citeturn840797view1
**链2:SONOS transistor 路径**
US20090230454A1
→ vertical NAND string
→ **each memory element**
→ **SONOS transistor**
→ each cell具有明确 **charge trap**。citeturn959436view1turn959436view2
**链3:明确 transistor 定性路径**
US20060140000A1
→ PHINES **memory cell or transistor**
→ MOSFET source/drain/channel
→ nitride **charge-trapping structure**
→ plurality of such cells arranged in NAND string。citeturn840797view2
因此,**我认为技术特征 I 已经不是 CN103782344B 中值得继续投入大量检索成本的薄弱点**。就英文专利现特征上。citeturn406013view1
## 日。 citeturn912150search0turn912150search16 | **几乎直接逐字对应。** NAND 中的存储单元就是 charge-trapping cells。 |
| **S2** | **C. H. Lee et al., “Charge Trapping Memory Cell of TANOS … Structure Compatible to Conventional NAND Flash Memory”** | 2006 | 标题本身即为 **Charge Trapping Memory Cell**,且明确针对 conventional **NAND flashSMW 文献。 citeturn912150search1turn912150search5 | **极强。** 同时公开“电荷陷阱存储单元”和“NAND”。 |
| **S3** | **B. C. Kim et al., “The Characteristics of p-channel SONOS Transistor for the NAND Charge-trap Flash Memory”** | 2009 | KCI 摘要明确:p-channel **SONOS transistors** 被制造并表征为 **“an unit cell for NAND flash memory”**。 citeturn912150search14 | **对“晶体管”措辞尤其强。** 直接把 SONOS transistor 定义为 NAND 的存储单元。 |
| **S4** | **Y. Shin et al., “A Novel NAND-Type MONOS Memory Using 63nm Process Technology for Multi-Gigabit Flash EEPROMs”** | 2005 | IEEE 摘要明确:**“A NAND-type MONOS device has been successfully developed”**;属于 2005 IEDM。 citeturn506759search1turn506759search7 | **很强。** MONOS 为氮化物陷阱型存储晶体管,并已形成 NAND-type memory。 |
| **A1** | **C. Kang et al., “Effects of Lateral Charge Spreading on the Reliability of TANOS … NAND Flash Memory”** | trap layer 中横向电荷扩散。 citeturn506759search2turn506759search8 | **强。** 不只是提出应用,而是在实际 NAND 单元之间研究陷阱电荷行为。 |
| **A2** | **D. H. Kim et al., “Program/Erase trap flash memories”**。 citeturn912150search11turn912150search7 | **强。** 直接证明截止日前已有成熟的 nitride-based NAND charge-trap flash。 |
| **A3** | **C. Sandhya et al., “Study of P/E Cycling Endurance Induced Degradation in SANOS Memories Under NAND (FN/FN) Operation”** | 2010 | **Internet Archive Scholar 直接检索命中 Wayback 关键词。 citeturn937393search3 | **中强至强。** SANOS 属陷阱存储结构,且明确在 NAND 工作条件下研究。 |
| B | **Y. K. Lee et al., “Multilevel Vertical-Channel SONOS Nonvolatile Memory …”** | 2002 | Internet Archive Scholar 有直接 Wayback 索引,检-type flash 的技术背景。 citeturn937393search7 | **补强历史背景。** 但仅凭当前 Archive 摘集成到 multi-gigabit NAND flash 中。 citeturn912150search16turn912150search0
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## 二、技术特征逐项比对
| CN103782344B 技术特征 I | S1:2006 TANOS NAND | S2:2006 TANOS Charge称 TANOS cells 被整体集成入 NAND flash memory。 citeturn912150search16
此外,2007 年 TANOS NAND 文献已经具体讨论**已编程单元与相邻擦除单元之间**的陷阱层电荷扩散。这说明该文讨论的是由多个 TANOS charge-trapping cells 构成的实际 NAND 单元阵列,而不是孤立测试晶体管。 citeturn506759search8
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## 三、为什么这些文献足以覆盖“电荷陷阱晶体管”
不能仅因为文献使用了 TANOS、MONOS、SONOS 缩写就机械地等同于目标特征;但本次检索出的 **NAND Charge-trap Flash Memory** 两个概念。 citeturn912150search16turn912150search5turn912150search14
因此,在无效程序中无需主要依赖“本领域常识推定 SONOS/TANOS 是的历史 PDF。 citeturn937393search3turn937393search7
但 Internet Archive 当前对连续访问返回了请求频率限制。因此,对于 S 2009 年第 22 卷第 1 期。 citeturn912150search0turn912150search5turn912150search14
也就是说,**后期被 Archive 收录的时间不能替代原始公开时间**;真正用于无效时,最好同时保存“原始出版证据 + Wayback历史页面/全文快照”。
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## 五、客观成功概率评估
| 评价项目 SONOS **transistor as an unit cell for NAND flash memory** citeturn912150search14 |
| **“每一”电荷存储装置均为电荷陷阱型得到严格支持** | **约93%–97%** | 2006 文献公开整个 NAND flash memory “using charge trapping memory cells”,但正式程序中仍应以全文/附图进一步锁定 array/string 的全部 storage cells citeturn912150search16 |
| **技术特征 I 整体被成功公开** | **约98%** | 多篇独立且远早于截止日的文献相互印证 |
| **仅凭目前明确存在的技术方案。 citeturn912150search16turn912150search14
因此,**我给技术特征 I 的成功公开概率为 98%**。如果后续以 S1 的全文和附图确认其 NAND string 中各 storage cells 均为 TANOS charge整体判断可提高到接近 **99%**。
我的一种器件类型出现。 citeturn137271view1turn382860view0
这一点很重要:检索时不能只机械查找后来常用的固定英文缩写 **CTT (charge trap transistor)**,还必须检索早期文献中更常见的 **SONOS、charge-trapping memory、charge stored in nitride、localized trap states、ONO stack** 等表达。
CN领域技术人员能够从文献整体**直接地、毫无疑义地确定**的技术内容。 citeturn276321search2turn276321search0
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## 二、最重要的 arXiv 对比文献
| 排名 | arXiv文献 | 首次公开 | 核心公开内容 | 与特征I关系 | 价值 |
| D1 | Giusi 等,Transient Analysis of Warm Electron Injection Programming of Double-Gate SONOS Memories…,arXiv:0810.5115 | 2008-10-28; |
- 电荷是局域化的,可用于 multi-level / dual-bit operation。 citeturn981650view0turn329240view0
更关键的是正文没有停留在笼统的“SONOS”名称,而是明确解释存储物理机制:
> SONOS 非易失存储器通过把电荷存储在 ONO 栈氮化物中的**局域态**来工作;这些陷阱能够中的存储电荷改变阈值电压,从而表示存储信息。 citeturn329240view0
原文所在页面也非常直观地将章节命名为 **“PHYSICAL MODEL OF TRAPPING DETRAPPING”**,并说明氮化物 trap 的填充、释放以及对 stored information 的作用。 citeturn405901view1
同时,论文明确涉及 **MOSFET channel**,并指出数据通过 gate tunneling 存储在 ONO stack 中。因此它不是单纯一个电器件**。 citeturn357762view1turn357762view2
### 与特征I逐项比对
| CN103782344B 特征I要素 | D1公开 | 判断 |
| 电荷存储装置 | SONOS non citeturn465404view0 |
尤其值得注意的是,论文直接写明:
> information is stored in the ONO stack through gate tunneling
并具体给出 nitride 层及 nitride charging。 citeturn465404view0
它虽然没有 D1 对“localized trap states”的解释那么完整,但从证据体系而言,可以与 D1 互相印证。不过两篇出自同一研究团队、内容高度关联具有稳定memory effect的CNT FET。 citeturn737263view1
正文的价值更高。作者明确指出:
- FET的hysteresis可使该器件作为 **memory element**;
- 正、负gate pulse产生可区分的ON/OFF存储状态;
- stationary charge traps 可被沟道载流子**填充和清空**。 citeturn389878view2
作者随后直接得出结论:
> 该三层结构的主要 **charge storage mechanism** 来自HfO₂界面的固定charge traps,它们随着栅压变化由载流子填充或清空。 citeturn389878view0turn389878view1
而且器件的设计目的就是:
> 在 CNT FET 附近**有控制地制造charge traps**,并用于memory application。 citeturn389878view1
### 对特征I的贡献
它实际上非常接近:
**“一个场效应晶体管 + 专门配置的电荷陷阱 + 通过陷阱电荷保存非易失状态”**
因此,从技术实质上看就是一种 charge-tr制造了CNFET并把它作为nanoscale memory cell。 citeturn737263view0
正文对机制说明得非常清楚:
- bulk oxide traps 通过电子注入充电;
- 电子由CNactive oxide region中的trapped charge。 citeturn643258view0
其结论直接指出,作者利用 **charge injection into the oxide** 构建了 nanotube-based memory cell。图3也明确显示电子从CNFET沟道进入 **bulk oxide traps**。 citeturn643258view0
因此,它是一个很强的“年代证据”:至少在 **2002年**,“以FET中的介质陷阱电荷形成非易失存储状态”已经公开。
2010-11-02**,同样早于截止日。 citeturn737263view2
该论文的补充材料专门有:
**“Prototype conductance-switching memory devices”**
作者明确说明:
- memory device基于graphene channel;
- 施加负gate。 citeturn389878view3turn389878view4
这几乎构成完整的:
**FET → charge trap → retained charge → memory state → program/erase/read**
逻辑链。
仍然存在与D2、D3类似的问题:材料是graphene,不是传统NAND silicon charge-trap cell。
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# 八、两篇较弱但仍有辅助价值的2011年前文献
**arXiv:1102.2308** 于 **201等。 citeturn883373academia1turn737263view4
**arXiv:1106.4636** 于 **2011-06-23** 首次提交、2011-08-04修订,仍在截止日前。它明确研究OFET中介质层电荷陷阱早已公知”的背景证据。 citeturn737263view3
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# 九、为什么“没有逐字写 charge trap transistor”并不是D1的致命问题
本轮反复检索有一个非常明显的年代 + trapped charge + threshold-voltage storage + program/erase + nonvolatile memory。** citeturn329240view0turn405901view1
对于CN103782344B所使用的宽泛“电荷陷阱晶体管”概念,我认为专利权人若仅以“D1没有逐字出现charge trap transistor”为由否认公开,抗辩力度有限。CNIPA公开案例同毫无疑义确定的内容,而不局限于关键词完全一致。 citeturn276321search2
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# 十、最终特征比对表
| 特征I | D1 0810.5115 | D1′ 0810.5051 | D2 0801.2359 | D3 cond-mat/020639%。** citeturn382860view0turn329240view0
**第三层:是否单凭arXiv文献就完整公开“每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管”。**
这里要明显保守。D1的技术重点是Double-Gate SONOS NOR memory,而CN103782344B中的“每一”处于一个NAND电荷存储献的边际概率已经比较低。 citeturn329240view0turn389878view0
检索结论非常明确:以 2011-08-15 为严格公开日上限,针对 CN103782344B 的技术特征 I——
“其中每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管。”
我经过多轮以“charge trap / チャージトラップ / 電荷トラップ / MONOS / SONOS / SiN charge-storage / NAND string / 直列接続 / memory cell transistor”等组合交叉检索 Google Patents 后,已经找到多件在临界日前公开的日文专利文献,其中至少 5 件能够非常强地公开该技术特征,至少 2–3 件接近直接逐字对应。
我的综合判断是:**单独针对技术特征 I,其在 2011-08-15 前已经被公开的认定概率约为 98%–99%,“技术特征 I 本身”已经不宜作为有效创造性区别点。**这并不等同于权利要求6整体必然无效;整体无效仍需结合权利要求1的其余限定判断。
一、先确认目标技术特征的实际含义
CN103782344B 的权利要求1要求“与包括半导体材料的柱相关联的电荷存储装置串”;权利要求6进一步限定:
“其中每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管。”
其说明书同时明确:每一串包含多个串联耦合的电荷存储装置118,且“电荷存储装置118中的每一者可包括具有电荷陷阱或浮动栅极的晶体管”。因此,I的实质并不是特殊的“电荷存储装置”命名,而是:构成存储串的各存储单元晶体管采用 charge-trap 型存储结构,而不是 floating-gate 型。
Google Patents
+1
这点对后续比对很重要,因为在2011年前日文文献中大量使用的是:
チャージトラップ型/電荷トラップ型;
MONOS;
SONOS;
SiN 电荷蓄积膜;
charge trap layer;
電荷蓄積絶縁膜;
而并非全部逐字使用“電荷トラップトランジスタ”。但这些文献往往直接把这种结构称作メモリセルトランジスタ,不存在实质技术差异。
二、最重要的检索结果
排名 日文公开号 公开日 核心披露 对技术特征I的评价
D1 JP2006216960A 2006-08-17 NAND中第一选择晶体管、多个电荷陷阱存储单元、第二选择晶体管串联;每一电荷陷阱单元具有源/漏、栅极及含电荷陷阱层的多层介电层 ★★★★★ 最强,几乎直接逐项公开
D2 JP2010251658A 2010-11-04 NAND中多个MC串联;每个MC明确使用“隧穿氧化膜上的硅氮化膜作为チャージトラップ膜”,且结构为晶体管结构 ★★★★★ 直接公开
D3 JP2010067854A 2010-03-25 MONOS型NAND;32个等多个存储单元晶体管串联;每一memory cell具有“チャージトラップ(電荷蓄積)絶縁膜” ★★★★★ 直接公开
D4 JP2011014638A 2011-01-20 NAND串由多个MONOS型memory cell transistor串联;MONOS利用SiN电荷蓄积膜中的trap level保持电荷 ★★★★★ 直接公开
D5 JP2009245958A 2009-10-22 多个memory cell transistors串联的MONOS NAND;明确MONOS是将FG改成具有charge-trap function的绝缘膜 ★★★★★ 强直接公开
D6 JP2008004765A 2008-01-10 多个SONOS结构的memory cell transistor构成NAND string并串联;ONO/SONOS作为电荷蓄积结构 ★★★★☆ 强实质公开
D7 JP2009266280A 2009-11-12 3D BiCS-NAND、柱状active layer;每个MC为MONOS,电荷蓄积层明确称为**“Charge trap layers”** ★★★★★,与目标3D柱状环境尤其接近
补强 JP2009026458A 2009-02-05 NAND/MONOS型存储,MONOS为具有SiN绝缘电荷蓄积层的MOS晶体管 ★★★★☆
下面重点分析最有价值的几件。
三、D1:JP2006216960A——最适合直接攻击技术特征I
JP2006216960A,公开日2006-08-17,远早于2011-08-15。Google Patents明确记录该日文公开时间。
Google Patents
其披露非常直接。它描述的NAND flash memory array具有:
第一选择晶体管 → 多个电荷陷阱存储单元 → 第二选择晶体管
并且这些器件的源/漏相互连接形成串联连接。
更重要的是,它进一步定义“电荷陷阱存储单元”具有:
半导体基板;
active region;
gate;
source region;
drain region;
位于gate与基板active region之间、包含charge-trap layer的多重介电层。
也就是说,这不是仅仅出现“charge trap”三个字,而是明确给出了一个具有源、漏、沟道、栅极及电荷陷阱介质的存储晶体管结构。
Google Patents
+1
与I的对应
目标:
每一电荷存储装置 → 包括 → 电荷陷阱晶体管
D1:
NAND string中的多个电荷陷阱memory cells → 每一单元具有source/drain/gate/channel → gate dielectric中存在charge trap layer。
因此,即使专利权人争辩D1称其为“電荷トラップメモリセル”而不是逐字称“電荷トラップトランジスタ”,这种抗辩也很弱,因为D1已经把该cell定义成标准场效应晶体管结构。
单独以D1认定I公开:约98%–99%。
四、D2:JP2010251658A——甚至不需要依赖MONOS/SONOS术语转换
这是此次检索中另一个非常适合作为正式无效材料的文件。
JP2010251658A,公开日2010-11-04,申请人为Toshiba。
Google Patents
+1
其第1实施方式明确说明:
memory cell array中设置“将隧穿氧化膜上的硅氮化膜作为charge-trap膜使用的memory cell MC”。
紧接着说明:
NAND cell MS包含“多个memory cell MC沿column方向串联连接的memory cell group”。
更进一步,另一段明确:
MC0~MCn彼此串联连接。
并给出了每个MC的实际晶体管结构:
P-well上依次形成 tunnel oxide 14、charge trap film 15、blocking film 16、control gate electrode 17;其间的N+ diffusion regions构成source/drain,从而形成MC0~MCn。
Google Patents
其权利要求1本身又直接限定:
“使用隧穿氧化膜上的硅氮化膜作为チャージトラップ膜的memory cell”。
Google Patents
这基本形成了完整链条:
多个串联存储单元 → 每个单元是晶体管 → 每个晶体管具有charge-trap film。
它与I之间甚至无需通过“SONOS=charge trap”进行额外技术解释。
单独认定I公开:约98%–99%。
五、D3:JP2010067854A——“MONOS NAND + 串联多个晶体管 + charge-trap绝缘膜”三者同篇
JP2010067854A,公开日2010-03-25,Toshiba。
Google Patents
这篇的证据链也非常漂亮。
首先,它明确说明:
MONOS型NAND flash memory中的memory cell具有:
tunnel insulating film → charge trap(charge storage)insulating film → blocking insulating film → control gate electrode。
Google Patents原文甚至直接并列使用:
チャージトラップ(電荷蓄積)絶縁膜
几乎解决了“charge storage”与“charge trap”之间可能存在的术语争议。
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+1
其次,在同一实施方式中明确:
MONOS型NAND flash的每个NAND cell unit由两个select gate transistors以及其间串联连接的多个(例如32个)memory cell transistors Trm构成。
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因此:
string中的多个charge-storage devices = 多个Trm;
每一个Trm = MONOS memory-cell transistor;
其存储层 = charge-trap insulating film。
这一披露也已经足够独立击穿I。
认定概率:约98%。
六、D4:JP2011014638A——距离临界日较近,但仍提前近7个月
JP2011014638A,公开日2011-01-20,严格早于2011-08-15。
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这篇同样非常有力,因为它不是只介绍MONOS原理,而是明确写到:
NAND flash memory的典型cell structure包括FG型和MONOS型;
MONOS不是把电荷保持在floating gate中,而是把电荷保持在电荷蓄积膜,例如SiN中的trap levels;
已有MONOS结构的memory cell transistor。
随后实施例明确:
memory cell array包含由多个串联连接的memory cell transistors MT1~MTn构成的多个memory strings;
memory cell transistor MTi为MONOS-type transistor。
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其权利要求还直接限定:
MONOS memory cell具有电荷蓄积膜;
该电荷蓄积膜包括具有规定charge-trap特性的charge film。
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因此D4也是完整同篇公开。
七、D5:JP2009245958A——MONOS的定义本身直接等同于charge-trap
JP2009245958A,公开日2009-10-22,Toshiba。
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摘要直接说明:
NAND device具有串联连接的多个memory cell transistors;每个memory cell transistor具有charge storage layer 104。
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更重要的是说明书对MONOS的定义:
MONOS型memory是将charge-storage layer从floating-gate型改变成具有**“電荷トラップ機能を有する絶縁膜”**的结构。
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因此没有合理空间再说其仅仅是一般“charge-storage transistor”而非“charge-trap transistor”。
逻辑关系就是:
串联多个memory cell transistors + 每个属于MONOS + MONOS的charge storage layer明确具有charge-trap function。
认定I公开:约97%–99%。
八、D6:JP2008004765A——非常成熟的SONOS NAND公开
JP2008004765A,公开日2008-01-10,Toshiba。
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该文明确介绍传统NAND结构:
NAND nonvolatile memory中可以将以ONO为gate insulation的memory cell transistor,即MONOS或SONOS结构,作为memory cell,多个串联连接。
而在其SONOS实施方式中又明确:
第1 memory cell string包含多个SONOS结构的memory cell transistors M10~M13,经source/drain regions串联;
第2、第3、第4 strings同理。
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文献甚至直接称:
“メモリセルトランジスタにSONOSトランジスタを使用したNANDセルユニット”
即:
“在memory cell transistor中使用SONOS transistor的NAND cell unit”。
这篇最大的区别只是使用“SONOS”而不是字面“charge-trap transistor”。但SONOS的SiN陷阱存储机制在当时已经是公认技术含义,而且D3、D4、D5等同期文件进一步把这种等同性直接写明。
因此它仍是非常好的备用证据。
九、D7:JP2009266280A——对目标专利的“柱状/3D NAND”背景尤其重要
如果不仅考虑孤立的技术特征I,而考虑以后与CN103782344B的权利要求1组合,我反而建议高度保留这篇。
JP2009266280A,公开日2009-11-12,Toshiba。
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它公开的是 BiCS 3D NAND:
多个active layers AA形成垂直柱状结构;
NAND cell unit形成于各个柱状active layer;
word lines围绕柱形成memory cells。
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然后同一实施方式明确:
“memory cell MC具有MONOS结构。”
紧接着定义:
MONOS是电荷蓄积层由nitride等绝缘体构成的memory-cell structure;
在该实施例中,电荷蓄积层采用多层结构,直接称:
“Charge trap layers”
并以ONO为例。
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随后又说明:
NAND列由多个memory cells构成。
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这篇的价值在于:“3D柱状NAND + 多个memory cell + MONOS/charge-trap layer”全部处在同一个系统语境中。
CN103782344B本身恰恰也是围绕“与半导体材料柱相关联的charge-storage-device string”展开。目标专利的技术分类本身同时落入“series storage transistors”和“3D charge-trapping EEPROM”类别。
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所以若后续需要找一篇既能服务于权1主结构、又能顺手覆盖I的桥梁文件,JP2009266280A很值得优先使用。
十、技术特征逐项比对表
技术特征I的实际子限定 CN103782344B JP2006216960A JP2010251658A JP2010067854A JP2011014638A JP2009245958A JP2008004765A JP2009266280A
存在多个存储单元/电荷存储装置 是 是 是 是 是 是 是 是
多个单元形成NAND串/串联结构 是 直接 直接 直接 直接 直接 直接 直接/明显
单元属于晶体管 是 结构直接体现:gate/source/drain 直接晶体管结构 memory cell transistor memory cell transistor memory cell transistor memory cell transistor / SONOS transistor memory cell由word line+柱形成晶体管,且文中讨论其transistor drive
使用charge trap而非仅floating gate 是 直接:charge-trap layer 直接:チャージトラップ膜 直接:charge trap insulating film 直接:trap level / charge-trap property 直接:charge-trap-function insulating film SONOS/ONO实质直接 直接:“Charge trap layers”
“每一”串内storage cell均采用该结构 是 是:plurality of charge-trap cells 是:MC0~MCn统一结构 是:MONOS NAND的plurality Trm 是:MTi均为MONOS transistor 是:串联的MONOS memory cell transistors 是:多个SONOS transistors 是:NAND中的MC统一采用MONOS结构
公开日 < 2011-08-15 — 2006-08-17 2010-11-04 2010-03-25 2011-01-20 2009-10-22 2008-01-10 2009-11-12
总体证据等级 — A+ A+ A+ A+ A+ A A+
十一、哪些文件最适合正式无效使用
如果目的是正式针对I撰写无效理由,我建议主次顺序不要简单按年代,而按“权利要求解释争议最小”排列:
第一梯队:JP2006216960A、JP2010251658A、JP2010067854A。
其中:
JP2006216960A的优势是直接写“多个charge-trap memory cells串联”,术语最贴近;
JP2010251658A的优势是直接写“charge-trap膜 + 串联多个MC + 每个MC的晶体管截面结构”,几乎没有SONOS解释问题;
JP2010067854A的优势是同一句技术语境就把“charge trap”与“charge storage”对应起来,非常适合反击“电荷存储≠电荷陷阱”的文字抗辩。
**第二梯队:JP2011014638A、JP2009245958A、JP2008004765A。**这些文件非常适合证明MONOS/SONOS在临界日前本身就是成熟的charge-trap memory-cell transistor技术。
特殊桥梁文件:JP2009266280A。它对单独I未必比前三篇更“逐字”,但由于同时处于柱状3D NAND环境,与CN103782344B整体结构的技术距离明显更近,后续做权1+权6的创造性组合时价值可能比单纯I检索更大。
十二、可能的专利权人抗辩及其强度
这里真正还能提出的抗辩主要只剩一个:
“现有文献公开的是charge-trap memory cell、MONOS、SONOS或者具有charge-trap film的memory cell transistor,没有逐字使用CN103782344B的‘charge storage device comprises a charge-trap transistor’。”
我认为这个抗辩成功概率很低。
原因在于目标专利自己的说明书就将“charge-storage device 118”解释成可包含“具有charge trap或floating gate的transistor”;也就是说,“charge-storage device”只是对NAND memory cell的上位功能性命名。
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而上述先前文献已经分别明确建立:
memory cell → transistor;
transistor → charge-storage layer;
charge-storage layer → charge-trap film/insulating layer;
多个这样的transistors → NAND string。
特别是JP2010251658A和JP2010067854A,不需要依靠一般技术常识来补足这一逻辑链。
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十三、最终客观评估
评价事项 我的判断
2011-08-15以前是否存在日文文献公开“charge-trap memory transistor” 确定存在
是否公开多个这样的memory-cell transistors构成NAND string 确定存在
是否有同一篇文献同时公开“串联多个单元 + 每单元charge trap” 至少多篇
是否必须通过两篇文献组合才能证明I 否
是否存在明显术语解释风险 很低
技术特征I被认定已经公开的概率 约98%–99%
I作为权6创造性区别特征能够提供显著创造性贡献的可能性 很低,约1%–5%
最终结论
技术特征I已经属于非常成熟、非常充分的现有技术。
尤其是:
JP2006216960A:多个charge-trap memory cells直接串联组成NAND;
JP2010251658A:串联多个MC,每个MC明确具有SiN charge-trap film;
JP2010067854A:串联多个memory-cell transistors,每一cell明确具有charge-trap(charge-storage)insulating film。
因此,如果无效程序中仅争论“其中每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管”这一附加限定是否已被公开,我会把它列为“基本可以视为已经解决的技术特征”,不建议继续投入大量检索资源。
下一轮更有价值的是把 JP2009266280A、JP2010251658A 等与CN103782344B权利要求1的其余特征放在一起比对,看能否找到一篇同时覆盖“柱状NAND串 + source-side结构 + charge-trap”的文件,从而减少完整无效组合的文献数量。
根据权利要求1所述的设备,其中所述柱从数据线延伸到衬底中的阱。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
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检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
权利要求7按任务口径拆分为 A-D+J,其中 J 为“柱从数据线延伸到衬底中的阱”。本轮限定对比文件的公开日严格早于 2011-08-15。
最强结论是:创造性无效成功概率约88%。首选组合为 KR20100104908A(同一三维NAND实施例明确“衬底内杂质区〔或阱〕105—半导体柱PL—柱上位线BL”,并有单个源侧选择装置)+CN102148059A(几乎同构的垂直NAND中明确两个源侧/地选择栅及其控制)。US20090267128A1是另一J锚点,US20080253187A1则是“双源侧选择栅为解决GIDL/漏电而串联设置”的独立证据。CN102148059A还可单独提出新颖性攻击,但 J 的“从数据线”是否要求柱与数据线直接接触、以及“衬底中的阱”是否要求独立于衬底的阱区,存在解释争议,故单篇新颖性概率评为78%,不夸大为完全同一结构。
检索日:2026-08-20;全部检索页使用 before=publication:20110815。先执行下列窄式,再分别去掉最后一组“源侧选择”词作同义词回查,并逐个打开候选的 Google Patents 全文、权利要求和附图说明核验日期。
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语言 |
精确检索式 |
Google Patents 检索URL |
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中文 |
("半导体柱" OR "导电柱") ("位线" OR "数据线") ("P型阱" OR "阱区") ("源极选择栅极" OR "地选择线") |
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英文 |
("semiconductor pillar" OR "conductive pillar") ("bit line" OR "data line") ("p-type well" OR "well region") ("source select gate" OR "ground select line") |
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日文 |
("半導体ピラー" OR "導電性ピラー") ("ビット線" OR "データ線") ("P型ウェル" OR "ウェル領域") ("ソース選択ゲート" OR "接地選択線") |
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韩文 |
("반도체 필러" OR "도전성 필러") ("비트 라인" OR "데이터 라인") ("P형 웰" OR "웰 영역") ("소스 선택 게이트" OR "접지 선택선") |
实际同义词回查还使用了 columnar semiconductor / active layer / source diffusion in P-well / lower end / upper end connected to bit line,以及日文 柱状半導体 / 下端 / P型ウェル / 上端 / ビット線、韩文 주상 반도체 / 반도체 기둥 / 불순물 영역(또는 웰) / 하단 / 상단 / 비트 라인。严格窄式对翻译用语较敏感;KR20100104908A由韩文同义式 "반도체 기둥" "불순물 영역" "웰" "비트라인" 回查获得,US20090267128A1由英文“columnar semiconductor + bit line + P-type well/source diffusion”回查获得。
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文件 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
用途 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
单篇主攻;A-D强,J较强但有端点解释风险 |
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3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법 |
2009-03-19 |
2009-03-19(KR);2010-03-09(US) |
KR 2010-09-29;US 2010-09-23 |
最直接J结构锚点;A、B、D强,缺第二源侧选择装置 |
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Three dimensional stacked nonvolatile semiconductor memory |
2008-04-23 |
2009-03-19 |
2009-10-29 |
另一J结构锚点;A强,缺第二源侧选择装置 |
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Multiple select gate architecture |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
B-D及明确结合动机 |
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Memory array with a pair of memory-cell strings to a single conductive pillar |
2008-03-13 |
US 2008-03-13;CN 2009-03-12 |
US 2009-09-17;CN 2011-02-09 |
A及数据线—衬底路径;J无“阱”,只能辅助 |
以上公开日均严格早于截止日。
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特征 |
CN102148059A(图3-7、14-15) |
US20090267128A1(图1-7) |
US20080253187A1(图2、4) |
评价 |
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A 电荷存储装置串与半导体柱关联 |
说明书图3-5:柱113的表层114为P型硅,绝缘层116含117/118/119的ONO层;柱、ONO及导电材料211-291形成含多个晶体管的NAND串。 |
“2. BiCS Memory—Basic Structure”、图4-6:柱状有源层AA形成NAND单元;图5明确MONOS及氮化物电荷积累/ONO。 |
仅平面NAND串及浮栅/电荷存储层,不负责柱。 |
CN、US2009均强(9/10)。 |
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B 源极栅极装置耦合源极并控制串沟道—源极导通 |
图14中外侧GSL11/12/13邻接CSL;图7、图14-15说明向GSL施压形成/截止柱体114中的沟道,连接CSL。 |
图1、4-7:最下层SGS围绕AA并位于源扩散24与存储单元之间;只给一个源侧选择晶体管。 |
段落对应图2:外侧源选择栅211的源接CSL216,栅由选择线214控制。 |
CN强;两篇US支持功能常规性。 |
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C 另一源极选择装置位于串与B之间 |
图14明确每串在WL1-WL6与CSL之间有两条GSL:内侧GSL21/22/23邻WL,外侧GSL11/12/13邻CSL,空间次序与C一致。 |
缺第二源侧装置。 |
源侧栅210与第一存储单元相连,源侧栅211位于其与CSL之间;权利要求16明确第二栅串联且插在第一栅与源线之间。 |
CN与US2008均强(9/10)。 |
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D 源极选择装置控制串沟道—源极导通 |
图7说明GSL电压使柱体114反型并把沟道与掺杂区311/312的CSL电连接;图15又给内外GSL不同电压Vm3/Vm4以抑制GIDL。 |
SGS选择晶体管固有选择功能;未给第二装置。 |
图2段落151-154、权利要求16/18:两栅为FET且接收控制信号,串联控制至CSL的通路。 |
CN、US2008强。 |
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J 柱从数据线延伸到衬底中的阱 |
图3-4原文先定义“衬底111可以是P型阱”,再称柱113连接衬底111;柱顶有漏极320,导电材料331-333经接触塞接漏极且被定义为位线。故形成位线—柱—P阱的垂直路径,但柱与位线间有漏极/接触塞。第二实施例仅说阱315在柱下,没有明确柱到阱315,不能据此补强。 |
图3:P-sub 21内形成P-well 23,源扩散24形成于P-well 23;图4明确AA下端接源扩散24、上端接BL0,且AA沿Z方向为柱状。权利要求1、13、15、19分别确认位线/柱/衬底及源扩散端点。端点落在阱内扩散区,证据很强,但并非写成“柱直接接触P阱基体”。 |
无J。 |
CN约7.5/10;US2009约8.5/10;二者相互消解不同端点表述风险。 |
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特征 |
同一实施例原文及定位 |
强度 |
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A |
图1-7及说明书“第1实施例”:每个半导体柱PL对应一个串;选择晶体管及存储单元晶体管的沟道经柱连接;图6-7中浮栅FG沿柱分层布置,浮栅与柱之间有栅绝缘膜143,FG其余表面由ONO型栅间绝缘膜IGD包围。 |
9/10 |
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B、D |
图1-3:最下导电膜为下部选择线LSL,最上为USL,中间为WL;LSL与柱间仅介有栅绝缘膜143,构成串与公共源线CSL之间的下部/源侧选择晶体管并控制柱沟道。 |
8.5/10 |
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C |
该实施例在源侧只有一个LSL,没有第二源侧选择装置。 |
0/10 |
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J |
图2-4对应说明书逐句记载:기판(100)…불순물 영역(또는 웰; 105)을 포함(衬底100包含杂质区〔或阱〕105,作为CSL);반도체 기둥들(PL)은…불순물 영역(105)과 전기적으로 연결(柱PL与该衬底内杂质区105电连接);并记载반도체 기둥들(PL) 상에 비트라인들(BL)이 형성(位线BL形成于柱PL上)。权利要求6另确认柱贯穿叠层并与衬底电连接。由此同一实施例给出 BL—PL—衬底内阱105 的完整端点链。 |
9.5/10 |
这里仍不把“延伸”拔高为毫无争议的“材料连续直触”:公开文本用“电连接”描述柱下端与阱105,位线位于柱上;若专利权人把J限缩为柱材料分别直接接触位线金属及阱本体,仍有接触结构解释争议。但该争议显著小于CN102第一实施例“衬底本身可以是P阱”或US2009“柱下端接阱内源扩散”的争议。
KR20100104908A的阱105、柱PL、柱上位线BL、浮栅FG/ONO绝缘结构、LSL/WL/USL均在图1-7的同一第一实施例中,故A、B、D、J无跨实施例拼接;唯一缺口就是C。CN102148059A的图6是图3-5物理存储块的等效电路;图14又明确称为“图6的存储块”并仅把一个GSL改为两个GSL。因此,A、J的柱/阱/位线路径与B-D的双GSL并非无关联拼凑,而是基础结构与明确改型。争议点仅是图14未重复绘制图3-5全部截面细节。US20090267128A1的P-well 23、其内源扩散24、柱状AA、位线及MONOS均在图1-7同一BiCS基本结构中,可作独立交叉核验。
CN101971324A/US20090230454A1的图2A-2C确实形成连续的位线290—柱270—柱230—柱214—源线/衬底200路径,柱230旁有SONOS电荷俘获层;但其说明书只称衬底200为P型单晶硅并直接作为源线,孔210止于源线200,没有独立的“衬底中的阱”。不能把“P型衬底”自动等同“衬底中的P阱”,故该族不承担J。
主张图3-7所示P阱衬底111、柱113、ONO电荷存储NAND串及位线331-333,被图14-15明确改成两个串联源侧GSL;外侧GSL对应B,内侧GSL对应C,两者控制同一柱沟道至CSL。J按“柱的垂直范围/电连接路径从数据线至阱”解释即可覆盖。
可能抗辩:(1)“衬底中的阱”要求阱与衬底为两个层级,而CN第一实施例把衬底本身称为P阱;(2)柱顶止于漏极320而不是直接止于位线;(3)图14是电路改型,未明示沿用每一截面细节。回应是:说明书明确把图14限定为图6存储块的改型;“extends from…to…”描述跨度,不等于要求无接触塞的直接欧姆接触;且第二实施例确认其技术语境确有衬底内阱。不过第二实施例只称阱在柱下,不能单独作为直接端点证据。
以KR20100104908A为最接近现有技术:A、B、D、J在同一垂直浮栅NAND实施例中直接关联,尤其说明书把柱PL下端明确电连接至“衬底内杂质区(或阱)105”、把位线BL明确设置在柱上;只缺C的第二源侧选择装置。CN102148059A图14-15在同类垂直电荷存储NAND柱上,明确在WL与CSL之间设置内、外两个GSL,并以不同电压控制邻近WL及邻近CSL的两个选择栅,以降低GIDL。
结合动机是同类垂直NAND源端的关断可靠性/GIDL控制;实施时仅把KR的单层LSL改为CN所教导的沿同一柱串联的两层GSL,不改变其柱—阱—位线和浮栅结构。可能抗辩是KR采用离散浮栅、CN采用ONO电荷俘获层,且KR的阱105兼作CSL。回应是修改针对源侧选择开关层数与偏置,并不依赖具体电荷存储机理;两文献的柱状沟道、上下选择线、WL叠层及公共源端拓扑一致。即便阱105兼作CSL,J只要求柱延伸至衬底中的阱,并未要求该阱与源线分立。
以US20090267128A1为最接近现有技术:A及J在同一BiCS结构中高度明确,只缺第二个源侧选择装置。CN102148059A在几乎同构的垂直电荷俘获NAND柱上,明确在WL与CSL间配置两个GSL,并说明对邻近CSL与邻近WL的GSL施加不同电压以减小GIDL。技术人员为改善US2009的源侧关断/GIDL,只需把单层SGS复制为沿同一柱串联的两层选择栅,不改变柱、P阱、位线或MONOS结构;结合动机、位置和控制方式均由CN文献直接给出。
抗辩可能称两文献分别关注源扩散电位稳定与擦除禁止,缺少组合动机。回应:二者均为垂直BiCS/3D NAND、同为柱状沟道和源侧SGS;CN文献指出的GIDL是器件级共通问题,增加相邻选择栅不破坏US2009的源扩散接触方案,反而是模块化替换。
US2008权利要求16/18及图2、4直接教导在NAND串源端串联第一、第二选择栅,第二栅位于第一栅与源线之间;说明书还把减少GIDL、漏电和阵列面积列为目的。将该已知双栅功能沿US2009的垂直柱方向实现,属于已知NAND源侧开关架构在已知垂直NAND上的应用。风险是US2008的实施图为平面阵列,专利权人会争辩三维工艺并非简单平移;CN102的垂直实施例可用来反驳技术不可行性。
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路径 |
性质 |
概率 |
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CN102148059A单篇 |
新颖性 |
78% |
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KR20100104908A单篇 |
新颖性(C缺失) |
64% |
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KR20100104908A + CN102148059A |
创造性,首选 |
89% |
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US20090267128A1单篇 |
新颖性(C缺失) |
62% |
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US20090267128A1 + CN102148059A |
创造性,备选 |
88% |
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US20090267128A1 + US20080253187A1 |
创造性,备选 |
82% |
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CN101971324A/US20090230454A1 + US20080253187A1 |
创造性,但J无阱 |
70% |
综合考虑KR20100104908A对“衬底内阱—柱—位线”同一实施例的直接记载、CN102垂直双GSL的明确结构及GIDL动机,以及“延伸”是否要求材料连续直触的剩余解释风险,本轮权利要求7无效成功概率评为88%。已超过75%门槛,本轮不启动补充检索策略。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim7\round1.md
经又位于P型硅衬底316中。citeturn935046view0turn217575view0
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## 一、最强对比文件:CN101651144A
**CN101651144A,《包括竖直立柱的存储器件及制造和操作该存储器件的方法》**,三星电子,公开日 **2010年2月17日**,明显早于2011年8月15日。citeturn183240view0
这是本轮中文检索中最关键的命中。
该文献明确公开:
- 三维存储器具有多个**竖直立柱 PL**;
- 立柱顶部沿**位线 BL的基板/阱。citeturn359265search1turn359265search0
而且制造实施例明确说明,半导体材料形成的立柱在接触区域中与**下面的基板/阱区域100直接接触**;立柱顶部则形成漏区,随后通过导电线路构成位线BL。citeturn183240view0
这已经不是单纯的“垂直柱+衬底”近似关系,而是基本形成:
**位线 BL → 竖直立柱 PL → 基板阱 Well**
与目标特征 J:
**数据线 → 柱 → 衬底中的阱**
形成几乎逐项对应。
唯一可能被专利权人拿来290”,权利要求又直接将编号290称作“数据线”。citeturn940868view0 因而,在此类NAND存储器语境中,把位线作为数据线的一种具体实现,技术上具有很强依据。
### 对 CN101651144A 的结论
**J 单维存储器器件》**,三星电子,公开日 **2010年8月4日**。citeturn121147view0
该文件也非常接近。
它明确公开:
1. 半导体衬底100;
2. 以矩阵形式布置的**垂直沟道结构120**;
3. 与垂直沟道结构120**直接接触的P型半导体层102**;
4. P型半导体层102设置在半导体衬底区域,并可由掺杂P型杂质形成;
5. 垂直沟道结构120可具有**柱形状**;
6在漏极区域122上**。citeturn935046view2
因此,其整体结构实际上是:
**位线BL → 漏区122 → 柱形垂直沟道120 → P型半导体层102/衬》**,三星电子,公开日 **2010年6月2日**。citeturn691998view2
这是另一篇很有价值的文献,因为它把“**P阱**”直接写出来了。
其明确记载:
- 在半导体衬底100的单元区掺入P型杂质,形成**P阱104**;
- 在P阱电连接**位线BL**。citeturn152228view0
因此整体电流路径是:
**位线BL → 串选择半导体结构188 → 柱状半导体结构192 → 地选择半导体结构158 → P阱104中的公共源区106**
它对“位线—垂直柱—P阱”整体架构的证明2011年4月27日**。citeturn511962view1
其结构也非常接近:
- 衬底100表面中形成杂质区域105;
- 柱形单晶半导体图案150沿垂直方向设置;
- 柱150与衬底中的杂质区域105接触;
- 单元晶体管沿柱150垂**。citeturn511962view2
制造过程进一步明确,沟道孔一直刻蚀到暴露衬底中的杂质区域105,形成柱形单晶半导体图案150;最后在暴露的底表面下并连接这些柱。citeturn511962view3
因此:
**位线195 → 柱形半导体150 → 衬底中的杂质区域105**
公开非常明确。
问题仍然是105被文献
**CN101483194A,《垂直型非易失性存储器器件及其制造方法》**,公开日 **2009年7月15日**。citeturn691998view3
其明确公开:
- 垂直沟道;
- 沟道孔一直形成至暴露下方衬底;
- 单晶硅垂载连接垂直沟道上部以提供位线。citeturn935046view3turn217575view3
结构可概括为:
**位线 → 垂直沟道 → 衬底**
但没有找到足以把对应衬底区域直接确定为“阱”的明确文字。
因此更适合证明J的大部分结构早已公知,而不是单独承担J全部限定。
**J 完整公开概率:8年2月6日**。citeturn691998view5
其权利要求已经明确:
- 从半导体基板延伸的**半导体柱**;
- 柱相对侧形成电荷存储结构;
- 柱上表面形成公共漏极接触;
- 制造方法明确“形成到所述半导体柱的上表面的**公共位线接触**”。citeturn217575view2
但是底部对应的是半导体基板以及基板中的源极线,不是明确的“阱”。
**J 完整公开概率:约55%。**
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#P阱中的公共源区。citeturn359265search1turn935046view2turn152228view0
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# 八、推荐的无效使用顺序
### 第一选择:CN101651144A 单篇攻击 J
这是最值得写入无效理由的方案。
建议核心比对逻辑直接写成:
**CN103782344B:**
> 数据线 → 柱 → 衬底中的阱
**载立柱顶部沿位线BL连接。citeturn359265search1
因此这里无需复杂的多篇组合推理。对于**技术特征J本身的新颖性公开**,优先主张单篇直接公开反而更干净。
### 第二选择**”。citeturn940868view0
这对证明截止日前本领域“data line/数据线”包含NAND的“bit line/位线”非常有价值。
### 第三选择:CN101651144A + CN101794789A /性贡献的可能性。citeturn935046view2turn152228view0
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# 九、日期筛选中特别排除的文件
本轮我严格按用户给定标准采用**公开2011-09-21。citeturn691998view3turn183240view0
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# 十、最终客观评估
我的最终判断是:
| 评估项目 | 结论 |
| 截止日前是否存在“柱+位线+阱”的中文专利 | 是 |
| 是否只是一般性的3权利要求1和7确认。citeturn935046view0
结合此前对 CN103782344B 其他技术特征的检索结果,**J 已经不再是该专利无效组合中的难点特据/组合候选池。** memcite
经过在上端对应数据线、在下端到达衬底中的阱**。citeturn299028view0
因此我把 J 严格拆成四个判断点:①柱/垂直半导体柱;②柱上端对应数据线或 NAND 位线;③柱下端到达、连接或接触阱;④该阱位于半导体衬底中。 2008-06-11**,显然早于 2011-08-15。citeturn454795view0
该文献首先明确公开:半导体衬底具有 **well region**,并存在“**从半导体衬底的阱区垂直延伸的 active pillars**”。citeturn209639view0
其权利要求进一步明确,active pillar 的 body portion **直接连接到 well region**,同时又具有“**bit lines connecting the active pillars**”。也就是一端为阱、一端为位线。citeturn209639view1
更关键的是,其后面的权利要求使用了几乎无法再更接近 J 的韩**active pillars that vertically connect a well region and bit lines**。citeturn448766view1
而目标 J 是“柱从数据线延伸到衬底中的阱”。目标专利中的 data line 232/233 位于柱顶部并用于感测存储状态;KR20090128776A 使用 NAND上具有非常强的对应关系。citeturn299028view0turn448766view1
### 三、筛选出的高价值韩文文献比对
| 韩文文献 | 公开日 | 柱/垂直结构 | 上端对应数据线/位线 | 下端到达阱 | 阱位 2010-09-29。citeturn209639view2turn448766view3turn209639view3turn454795view1
**KR20100075098A** 同样很强。它公开 active pattern 可以采用“pillar shape”;其从属权利要求又如第一篇干净。其公开日为 2010-07-02。citeturn448766view5turn209639view5turn454795view2turn448766view4
**KR20100088829A** 公开日 2010-08-11,其 vertical channel structure 可以明确采用合补强而不是首选。citeturn448766view8turn448766view9turn570633view0turn299028view2
**KR20110042526A** 公开于 2011-04-27,也在截止日前。它明确有从衬底突出的垂直 channel、顶部 bit line 和衬底中的 WELL,但 WELL 被具体描述为背景或组合启示使用。citeturn454795view4turn454795view5
### 四、反向排除也很重要
反复检索中还发现一些看起来很接近但不能作为 J 强证据的文献。例如 **KR20100119625A** 公开了 vertical memory cell string、semiconductor body 以及 bit文献公开于 2010-11-10。citeturn397077view0turn303201view0turn303201view1
另一个容易造成日期误判的家族是 **KR20110092523A**,其韩国公开日实际为 **2011-08-18**,晚于你的截止日 2011-08-15,因此即使结构有价值,也已经排除。citeturn303201view5
### 五、最优无效使用顺序
如果当前任务只针对 **技术特征 J**,我建议将 **KR20090128776A 作为第一主证据**。它不是通过多 连接 pillars。citeturn209639view0turn209639view1turn448766view1
第二顺位采用 **KR20100104908A**。它从另一结构路径独立给出“substrate 内 well → semiconductor pillar → 顶部 bit line”的完整链条,适合防止对语解释进行抗辩。citeturn209639view2turn448766view3turn209639view3
第三顺位采用 **KR20100075098A**,尤其适合反驳“bit line 并非直接物理接触 pillar,因此不是‘从数据线延伸’”这样的过度连接的工程实现。citeturn448766view5turn454795view2
### 六、客观概率评估
我的概率评价只针对“**J 是否在 2011-08-15 前已被合格韩文专利文献公开**”,不是对整个实质空间很小。citeturn299028view0turn448766view1
即便极端地不接受第一篇的术语对应,**KR20100104908A + KR20100075098A** 又分别独立披露了几乎相同的“阱—垂性仍然非常高。citeturn448766view3turn209639view3turn454795view2
**最终结论:特征 J 是目前 CN103782344B 各技术特征中非常容易找到强现有技术支撑的一项。首选 KR200辑中另行判断。citeturn448766view1turn209639view3turn454795view2
##日为 **2007-10-11**,远早于截止日。citeturn132953view3turn232238view4
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## 一、首先确定 J 的技术含义
CN103782344B 对应英文同族明确描述:
> pillars 204 从 data lines 232/233 延伸至 p-type silicon well 310;该 p 型 well 又形成于 n 型 well 中,后者形成在 p 型衬底中。citeturn823940view0
因此,为避免“宽泛命中”,我将 J 拆成三个必须核对的子特征:
- **J1:存在柱/柱状半导体结构;**
- **J2:柱的上部延伸至或连接作为数据线的 bit line/位线;**
- **J3:柱的下部延伸至衬直接金属接触数据线”。citeturn823940view0
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# 二、最强文献:JP2007266143A
**JP2007266143A,东芝,公开日 2007-10-11,优先权日 2006-03-27。**citeturn132953view3
这是本轮日文检索中,对 J 最重要的文献。
### 1. 柱状半导体——直接公开
其说明书明确:
- 每个 memory string 在半导体基板 **P-well 区域中形成的 n+ 区域上设置柱状半导体**;
- 柱状半导体构成纵向 NAND memory string。citeturn759769view0
即 J1 没有实质争议。
### 2. 柱的位线端——强直接公开
同一段进一步规定:
- 柱状半导体 11 周围形成多个存储晶 就形成在同一柱状半导体 11 中。citeturn759769view0
其权利要求24还进一步明确规定,多个 memory strings 的 **drain 连接 bit lines**。citeturn485765view2
所以对于 J2“从数据线/位线一侧延伸”,公开非常强。
### 3. 最关键:直接穴能够由 P-well 直接注入柱状半导体。citeturn232238view4
而且同一段还说明,为保持 source line 接触,柱状半导体与 n+ 扩散区采用 overlap 结构。换言之,它并不是泛专利自身的 pillar—data-line 之间同样存在 drain-select 层,因此这个反驳的技术说服力不强。citeturn823940view0turn759769view0
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# 三、第二组强证据:2009 年 Toshiba BiCS 文献
## 1. JP2009266280A
**公开日:2009-11-12。**citeturn132953view0
其公开关系非常清楚:
- 多个 active areas AA 沿垂直于衬底的 Z 方向**柱状形成**;
- 柱一直“ lines BL**。citeturn930726view1
截面结构进一步明确:
- P 型衬底中形成 N-well 22 和 **P-well 23**;
- source diffusion layer 24 是**形成在 P-well 23 内的 N 型扩散层**;
source diffusion 24,最上端连接 bit line BL。citeturn827469view2
所以形成:
**bit line → 柱状 AA → source diffusion 24〔位于 P-well 23 内〕**
它对 J 极强,但严格文字上弱于 JP2007266143A,因为柱的下端首先被描述为连接 **P-well 内部的 N 型 source diffusion**,而非直接写“柱连接 P-well”。
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## 2. JP2009266946A
优先权日 2008-04-23。**citeturn132953view1
该文献同样明确:
- active layer AA 柱状形成并达到 source diffusion layer;
- 上端连接 bit line BL;citeturn930726view2
- source diffusion 24 是形成于 **P-well 23 内的 N 型扩散层**;
- 柱最下端连接 source diffusion 24,最上端连接 bit line BL。citeturn827469view3
对 J 同样属于极强的结构性公开。
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## 3. JP2009266944A
**公开日:2009-11-12。**citeturn132953view2
它也明确公开:
- 柱状 active layer AA 达到 source diffusion layer;
- 上端连接 bit line;citeturn930726view3
- source diffusion 24 位于 P-well 23 内;
- 柱下端连接 source diffusion,柱上端连接 bit line。citeturn827469view4
因此,它也是 J 的强证据。
不过 **JP2009266280A、JP2009266944A、JP2009266946A 均为 Toshiba、同日优先权/同日公开且共享高度相似的 BiCS 基础结构**。citeturn132953view0turn132953view1turn132953view2
在证据评价时,我建议把它们看成一个“BiCS 证据簇”,而不能把三篇当作三个-side select transistor 的 drain 连接 bit line BL。citeturn132953view4turn823940view1
属于强结构性公开,但没有 JP2007266143A 图15那种“直接连接 P-well”的明确句子。
### JP2009224565A
公开日 **2009-10-01**。同样明确柱状半导体位于 P-well 内的 n+ 区域上并垂直延伸,drain-side select transistor 的 drain 连接 bit line。citeturn132953view5turn823940view2
也是较强补充证据。
### JP2009224466A
公开日 **2009-10-01**。公开柱状半导体 CLmn 位于“衬底 P-well Ba1 中形成的 n+ 区域”上,并从半导体基板垂直延伸。citeturn132953view6turn930726view0
其对 well 端很有帮助,但综合表达不如前述几篇集中、直接。
### JP2009158529A
公开日 **2009-07-16**。这是“位线端”非常强的一篇:其摘要和权利要求直接写明,柱体的上端**;柱的下端连接形成于半导体基板表面的 source lines。citeturn904713view0turn444189view2
但我没有在该文献中找到足以单独证明这些 source lines 位于特定 P-well 中的明确文字,因此对完整 J 应总结 pillar “连接在 bit line 与 silicon substrate 之间”。citeturn132953view7turn827469view1
遗憾的是检索到的相关实施方式没有进一步限定该下端为 **well**,所以同样只能作为 J1+J2 和“到衬底”的辅助证|---|---:|---|---|---|---|
| **JP2007266143A** citeturn132953view3turn759769view0turn232238view4 | **2007-10-11** | **✓ 直接**:柱状半导体11 | **✓ 强直接**:同一纵向 string 的 drain-select 端连接 BLm | **✓ 直接**:图15明确“柱状半导体层与半导体基板 P-well 区域直接连接” | **★★★★★ 最优,约95–97%** |
| **JP2009266280A** citeturn132953view0turn827469view2 | 2009-11-12 | ✓ 柱状 active layer AA | ✓ 最上端连接 BL | **△/✓ 强隐含**:最下端接 source diffusion,而该 diffusion 明–94% |
| **JP2009266946A** citeturn132953view1turn827469view3 | 2009-11-12 | ✓ 柱状 AA | ✓ 最上端连接 BL | **△/✓ 强隐含**:下端 diffusion 位于 P-well 内 | ★★★★★ 约91–94% |
| **JP2009266944A** citeturn132953view2turn827469view4 | 2009-11-12 | ✓ 柱状 AA | ✓ 最上端连接 BL | **△/✓ 强隐含**:下端 source diffusion 位于 P-well 内 | ★★★★★ 约90–94% |
| **JP2009200443A** citeturn132953view4turn823940view1 | 2009-09-03 | ✓ 柱状 CLmn | ✓ drain-side 端接 BL | △ 柱建立在 P-well 内 n+ 区域上 | ★★★★☆ 约84–88% |
| **JP2009224565A** citeturn132953view5turn823940view2 | 2009-10-01 | ✓ 柱状 CLmn | ✓ drain-side 端接 BL | △ P-well 内 n+ 区域 | ★★★★☆ 约83–87% |
| **JP2009224466A** citeturn132953view6turn930726view0 | 2009-10-01 | ✓ 柱状 CLmn | △ 同类 NAND bit-line 端结构 | △ 柱位于 P-well 内 n+ 区域上 | ★★★★ 约80–85% |
| **JP2009158529A** citeturn904713view0turn444189view2 | 2009-07-16 | ✓ | **✓ 权利要求直接写柱上端连接 bit lines** | △ 仅明确到 substrate/source line,未找到明确| **JP2010010596A** citeturn132953view7turn827469view1 | 2010-01-14 | ✓ silicon pillar SP | **✓ 柱上端直接接 BL** | △ 下端直接接 silicon直接连接。**citeturn232238view4
结合其同一说明书已经明确:
- 整个 string 建立在柱状半导体11上;
- drain select transistor 也是围绕该柱构造;
- drain select 一端连接 bit line BLm;citeturn759769view0
因此,本领域技术人员阅读图3/图15及相关段落时,得到的结构关系就是:
**BL / 数据线**
↓
**SDT 是相同位置、相同功能的 bit line。citeturn823940view0turn759769view0
**第二,JP2007266143A 的 bit line 是接到 drain-select transistor,而不是逐字写“pillar upper end directly connected to bit line”。**
这个反驳有一定文字空间,但不强。因为 drain 结构。citeturn823940view0turn759769view0
**第三,P-well 是否必须是柱的直接物理端点。**
这原本是 2009 BiCS 文献 与 P-well 直接连接**,基本解决了这一问题。citeturn232238view4
---
# 八、客观概率评估
综合本轮检索,我会这样给概率:
| 判断口径 | 成功公开概率 |
| 仅要求“柱在 bit/data直接连接**,同时该纵向 string 的另一端连接 bit line。citeturn132953view3turn759769view0turn232238view4
**第二选择:JP2009266280A**
→ “柱状 active layer 最上端连接 bit line + 最下端连接位于 P-well 内的 source diffusion”的文字特别集中、特别适合制作特征比对表。citeturn827469view2
**第三选择:JP2009266946A / JP2009266944A**
→ 与 JP2009266280A 基本形成互相印证的 BiCS 证据组。citeturn827469view3turn827469view4
因此,**我对“2011-08-15以前存在日文专利文献能够成功证明特征 J 已被公开”的总体判断为:中重新评价。
经中。citeturn888939view0turn888939view1
### 检索结论
**最强对比文件:US20090310425A1**
**公开日:2009-12-17**
**申请人:Samsung Electronics**
**名称:Memory devices including vertical pillars and methods of manufacturing and operating the same**。其优先权日为2008-06-11,显然满足用户限定的“2011-08-15之前公开”。citeturn812348view0
该文件在**同一个实施例**中同时公开:
1. vertical channels 就是 **pillars**;
2. pillars竖直延伸;
3. pillar的顶部连接 **bit lines BL**;
4. pillar顶部具有部与 **underlying substrate/well region 100** 直接接触。citeturn888939view2turn888939view3turn888939view4
所以,**就技术特征 J 单独而言,我将“被检索置信度评为约 97%,属于“极高概率”**。
这里的97%是绕柱设置。citeturn888939view1
因此,检索时我没有把单纯“pillar on substrate”“vertical channel connected to bit line”作为完整命中,而要求进一步出现 **well** 这一端点。
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# 三、最关键对比文件 X8-06-11。citeturn812348view0
### 2. 对“柱”的直接公开
说明书直接将两个术语等同:
**vertical channels =直方向延伸,各晶体管沿同一个pillar形成一个cell string。citeturn888939view2
因此不存在必须再论证“vertical channel是否属于pillar”的问题——该文件自己已经明确把二者等同。
### 3. 对“数据线端”的公开
同一实施例明确说明,pillars的顶部沿 **bit lines BL** 相互具有drain region,该drain region与对应的bit line BL接触。citeturn888939view2turn888939view3
这对J2非常强。
目标专利使用的是“data line”,而该文件使用“bit line”。但是在目标专利的结构中,所谓data line正是用于感测存储单元状态的列/数据导线;而现有3D NAND文献普遍称232/233用于感测电荷存储装置的状态。citeturn888939view1
因此,把该文件的 **bit line BL** 对应到J的 **data line**,技术上具有很强依据。
### 4. 对“衬底中的阱端接触下方的 **substrate/well region 100**;
- 该接触区域包括pillar的下部以及substrate的上部。citeturn888939view2turn888939view4
而且该文件还明确把区域100称为 **substrate well 100**,并说明well 100和vertical pillars均可以采用p型半导体材料。citeturn383644view2
这一组描述对J3的支撑非常强。
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# 四、X1与技术特征J逐项比对
| 技实施例。citeturn888939view2turn888939view3turn888939view4
**因此,我认为X1可以优先按照“单篇文件完整公开J”使用,而没有20110090737A1,公开日2011-04-21,SK Hynix。**citeturn817968view9
该文件描述:
- lower select transistor、多个memory cells以及upper select transistor沿着同一条channel依次堆叠;
- 该channel从substrate突出并穿过lower select line;
- upper select transistor上方设置bit line BL;
- **well area WELL明确设置在substrate内部**;
- well为P型,可位于lower select transistor与common source line之间。citeturn817968view10turn638376view2
其结构可以概括为:
**bit line → upper select transistor → vertical channel/string → lower select transistor → well area inside substrate**
它的弱点是没有像X1那样直接把这条channel称为 **pillar**,也没有一句话直接说“channel extends from bit line to well”。
因此。
**US20090230454A1,公开日2009-09-17,Micron。**citeturn812348view2
其权利要求13明确限定:
- conductive pillar;
- **data line selectively coupled to a first end of the conductive pillar**;
- source line coupled to pillar的第二端。citeturn888939view6
权利要求15又进一步限定drain select transistor把data line选择性连接到pillar第一端。citeturn888939view6
因此它对:
**“data line → pillar的一端”**
是非常直接的公开。
不足仅在于未检索到第二端明确为“well in substrate”。
### 价值
它非常适合端联系起来。citeturn888939view6
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# 八、A3:US20090121271A1——vertical channel与bit line
**US20090121271A1,Samsung,公开日2009-05-14。**citeturn812348view1
该文件明确:
- 一个串中的memory cell transistors通过vertical channel 116串联;
- vertical channels的上部通过lines 140连接形成 **bit lines**。citeturn888939view5
因此它把:
**vertical channel/string → upper end → bit line**
公开得很明确。
但没有找到“该channel底端直接到well”的充分文字,因此应作为J1/J严格早于2011-08-15。citeturn812348view6
它明确描述:
- 多个pillars从semiconductor substrate向上突出;
- bit line设置在pillars的top surfaces上并连接一排pillars;
- pillar内部具有竖直间隔的source/drain;
- source位于pillar下部及substrate表面;
- channel还能与substrate导电连接。citeturn817968view8
因此其J1、J2非常强,但没有明确的“well”,仍应列为补强文件。
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# 十、早期Micron vertical NAND文件
## US20050133851A1
公开日 **2005-06-23**,Micron。citeturn812348view3
其结构包括:
- substrate中形成多个substrate pillars;
- vertical NAND cells位于pillar侧壁;
- pillar顶部和trench底部分别形成source/drain regions。citeturn817968view4turn817968view5
它属于更早期的“在衬底地形pillar侧壁构成vertical NAND”的技术路线,所以日 **2006-11-23**,Micron。citeturn812348view4
同样公开substrate pillars及其侧壁上的vertical NAND cells,并明确bitline连接NAND串第一端。citeturn817968view6turn817968view7
因此两篇Micron文件更多证明:在临界日前很久,**pillar + vertical NAND + bitline + substrate/P-well体系**本身已经是成熟研究方向,但不建议拿它们单独承担J的完整;
- US20090230454A1。citeturn817968view11
而本次找到的最强文件:
### **US20090310425A1**
**并页面列出的这3篇Patent Citations中。** citeturn817968view11turn812348view0
这点有实际价值。
但应谨慎表述为:
> “Google Patents目标专利页面列示的3篇Patent Citations中未见US20090310425A1。”
**不应仅据此直接断言它在各国全部审查程序中从未被审查员考虑过**,这一点还需要进一步核对目标专利美国同族的完整审查档案。
---
# 十二、最优使用顺。citeturn888939view2turn888939view3
第二层补强可采用:
**US20090310425A1 + US20090230454A1**
其中后者明确使用“data line + first end of conductive pillar”的文字,可专门化解“bit line ≠ data line”的潜在抗辩。citeturn888939view6
再下一层:
**US20090310425A1 + US20110090737A1**
后者非常明确地公开“well area formed/provided inside the substrate”,有利于化解对方对X1中“substrate well / substrate-well region”作过度狭义解释的抗辩。citeturn638376view2turn817968view10
---
# 十三、客观概率评估
| 评价事项 | 我的评估 |
| J1“柱/vertical pillar”已公开 | >99% |
| J2“柱延伸/连接数据线端”已公开 | 98–99% |
| J3“表达,因此该抗辩总体较弱。citeturn888939view1turn888939view6
第二,目标文字使用“**extends from ... to ...**”。如果专利权人主张这必须pillar顶部连接bit line,还明确说顶部drain region与bit line接触,同时底部直接连接substrate well,因此其几何连续关系已经相当强。citeturn888939view2turn888939view3
---
# 十四、最终结论
**这轮英文专利检索对技术特征J的结果很好。**
我认为目前不再是“是否存在有贡献文件”的问题,而是已经找到了一篇可以作为**核心X文件**的:
> **US20090310425A1 — 2009-12-17**
其核心公开可ate well。** citeturn888939view2turn888939view3
这与CN103782344B权利要求7要求的:
**data line → pillar → well in substrate**
在结构上高度重合。目标专利自己的实施例也正是“data lines 232/233 → pillar 204 → p-type silicon well 310”。citeturn888939view1
### 我的最终评级
**技术特征J被2011-08-15之前英文专利成功、完整公开的概率:约97%,评级“极高”。**
其中 **US20090310425A1应列为第一优先同一新颖性/创造性组合中评价。citeturn888939view0 memcite
经过多轮检索、同义词扩展、引证链回溯,并以 2011-08-15 之前公开作为硬性筛选条件,我的结论是:
技术特征 J“其中所述柱从数据线延伸到衬底中的阱”在截止日前已经被现有技术公开的概率极高。
综合置信度:约 99%。
其中最强单篇文献是 US20090310425A1。它不仅公开了垂直柱顶部连接 bit line,而且明确公开同一柱的底部直接连接 substrate well,与 J 的空间结构关系非常接近,基本属于逐项对应。
+1
这里的“99%”是我基于文献文字、结构对应程度和可能的权利要求解释争议给出的检索/比对置信度,不是司法裁判意义上的统计概率。
一、先确定技术特征 J 的严格含义
CN103782344B 本身明确记载:
柱 204 从数据线 232、233 延伸到 p 型硅阱 310;
p 型硅阱 310 形成于 n 型硅阱 312 中;
n 型硅阱 312 又形成于 p 型硅衬底 316 中;
SGD 控制柱与数据线之间的导电,SGS 控制柱与硅阱之间的导电。
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因此,J 不宜宽泛理解成“存在垂直柱+存在位线+存在阱”三个彼此独立的要素,而应严格拆成:
J1:存在垂直延伸的半导体柱/垂直 channel;
J2:该柱的上端延伸到或连接数据线;
J3:该柱的下端延伸至衬底中的 well;
J4:J2、J3 是同一垂直柱的两个端部关系。
这也是我筛选文献时采用的严格口径。
二、最重要的对比文件
1. US20090310425A1 —— 最强,建议作为 J 的第一主证据
名称: Memory devices including vertical pillars and methods of manufacturing and operating the same
申请人: Samsung Electronics
公开日:2009-12-17,明显早于 2011-08-15。
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这是本轮检索中价值最高的一篇。
说明书明确公开:
垂直 pillars PL;
柱的顶部沿 bit lines BL 连接;
柱的底部沿 common source line 连接;
更关键的是,柱的底部还直接连接 substrate well。
+1
另外,制造实施例进一步明确,半导体柱 220 与其下方的 substrate/well region 100 直接接触;bit line 则连接柱顶端的 drain region。
+1
因此其空间关系可以简化为:
bit line → 柱顶部 → vertical pillar → 柱底部 → substrate well
而目标专利 J 是:
data line → pillar → p-type silicon well
二者几乎逐项重合。
对 J 的评价
成功公开概率:98–99.5%,取 99%。
唯一值得预留的小争点是:目标专利采用 data line,该文献采用 bit line。但在这一 NAND 存储器结构中,两者均承担柱顶部数据读写线路的角色,而且目标专利本身也明确将 data line 耦合于柱顶部。
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因此,仅靠“data line 与 bit line 用词不同”来维持 J 的区别,技术上说服力很弱。
2. US20070252201A1 —— 很强的独立备份证据
名称: Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof
Toshiba 系文献
公开日:2007-11-01,优先权日 2006-03-27。
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该文献公开了 pillar-shaped semiconductor 11 的三维 NAND 结构,并设置 bit line、SGD、SGS 和 P-Well。
尤其重要的是其 FIG. 15 实施方式:
说明书明确说明,该实施例中:
pillar-shaped semiconductor layer(body)与 semiconductor substrate 的 P-Well area 直接连接。
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同一文献的存储器总体架构又明确存在 bit line,并且柱状半导体形成垂直串。
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也就是说:
上部:垂直存储串与 bit line 相连;
中间:pillar-shaped semiconductor;
下部:pillar body 与衬底中的 P-Well 直接连接。
需要注意的细节
其一般实施例中存在 N+ source 区,而 FIG.15 专门给出 pillar body 与 P-Well 直接连接的变形。因此,相比 US20090310425A1,需要稍微引用 FIG.15 的具体实施方式来闭合 J,而不是只引用基础结构图。
成功公开概率:约 95%。
3. US20110090737A1 —— 对“衬底中的阱”尤其有价值
名称: 3D non-volatile memory device and method for operating and fabricating the same
Hynix
公开日:2011-04-21,满足截止日期。
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该文献公开:
lower select transistor、多个 memory cells 和 upper select transistor 沿着一个从 substrate 突出的 channel堆叠;
upper select transistor 上方设置 bit line BL;
WELL 明确位于 substrate 内部;
channel 为第一导电类型,WELL 为另一导电类型,并形成相应的结关系。
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制造方法又明确记载:
WELL 是通过向 substrate 60 的 cell area 注入杂质而形成。
因此这里的 WELL 没有“是不是衬底中的阱”的疑问——明确就是形成在衬底内部的阱区。
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这篇的主要解释问题在于其用词是 channel,而不是目标专利的 pillar。但其 channel 是穿过三维存储堆叠并从衬底突出的垂直半导体结构,从技术构造看与“pillar/channel”高度对应。
成功公开概率:约 92%。
4. US20100193861A1 —— 中强证据
名称: Three-Dimensional Memory Device
Samsung
公开日:2010-08-05。
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该文献公开:
vertical channel hole;
其中填充 crystalline/polycrystalline silicon,形成 vertical channel structure 120;
柱顶部形成 drain region 122;
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bit line BL 与 vertical channel structures 电连接。
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而其下部 vertical channel 与 P-type semiconductor layer 102 接合。
因此“bit line—垂直柱—下部 P 型半导体区”的基本构造很接近 J。
但问题是,该文献对下部区域主要称 P-type semiconductor layer,不像前三篇那样清楚地称作“well area / substrate well”。
因此如果严格坚持“衬底中的阱”这一文字限定,它不应排在前三位。
成功公开概率:约 84%。
三、特征比对表
对比文件 公开日 J1:垂直柱/channel J2:柱上端到数据/位线 J3:柱下端到衬底中的阱 J4:同一柱贯通 对 J 的评价 置信度
US20090310425A1 2009-12-17 是,vertical pillars 是,tops connected to bit lines 是,bottoms directly connected to substrate well 是 几乎逐字、逐结构公开 99%
US20070252201A1 2007-11-01 是,pillar-shaped semiconductor 是,bit-line 架构 是,FIG.15 明确 pillar body 与 P-Well 直接连接 是 强公开 95%
US20110090737A1 2011-04-21 是,vertical channel 是,上部为 bit line 是,WELL 明确形成在 substrate 内;与下选择 channel 构成结 基本是 强公开,但需 pillar≈channel 的技术解释 92%
US20100193861A1 2010-08-05 是,vertical channel structure 是,bit line 电连接 部分;直接接 P-type semiconductor layer,但“well”称谓较弱 是 中强 84%
US20100039865A1 2010-02-18 是,pillar/vertical string 是 一般实施例存在 N+ 区介于柱和 P-Well 不完全 有贡献,但不宜单独主张严格 J 55%
US20100258947A1 2010-10-14 是,竖直 semiconductor patterns 是 存在 well region,但与下端关系没有前三篇直接 部分 辅助证据 35%
US20100202206A1 2010-08-12 是,vertical NAND channels 是,bit line 直接接相应 vertical NAND channel 未找到足够明确的 substrate well 对应 否 仅能公开 J1/J2 20%
其中 US20090310425A1 的公开日和早期同族信息均可确认,其公开日为 2009-12-17。
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技术文字则直接把柱顶—bit line 与柱底—substrate well 放在连续描述中。
+1
US20070252201A1 的公开日为 2007-11-01,而 FIG.15 又明确公开柱状 semiconductor body 与 P-Well 的直接连接,因此它是非常有价值的独立备份。
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+1
US20100202206A1 虽然明确公开 bit line 与相应 vertical NAND channel 的直接电连接,但本轮全文核对中没有找到足够明确的“柱底进入 substrate well”披露,所以没有把它人为拔高为 J 的完整对比文件。
Google Patents
+1
四、Internet Archive 专项检索的结果
本轮不是只用专利号搜索。我围绕 Internet Archive/Internet Archive Scholar 做了多组交叉式检索,包括:
vertical pillar + bit line + well、pillar + substrate well、vertical NAND + P-well + bit line、channel + well + substrate + bit line、directly connected to substrate well,以及 US 公开号、专利名称、TCAT/BiCS 等早期三维 NAND 技术线索和引证链。
Internet Archive Scholar 当前连续检索出现了其服务器的短时间访问频率限制,后续页面明确返回“reached the limit for the number of requests”。
Internet Archive Scholar
+1
此外,用精确专利号/精确题名检索 Archive.org 的公开索引,并没有稳定返回上述核心专利的完整存档条目。
因此我没有把“Internet Archive 没搜到某一专利的独立页面”错误解释为“该文献不存在”。Internet Archive 的索引覆盖和抓取状态不能替代专利文献本身的法定公开信息。
本轮最终采取的是:
Internet Archive 用于扩大检索、发现技术脉络和验证遗漏风险;具体技术披露及 2011-08-15 前的公开日期则回到专利公开文本逐项核实。
这比仅依赖 Wayback 的抓取日期更稳妥,因为 Wayback 的某次存档日期并不等于专利的法定公开日。
五、为什么 US20090310425A1 特别危险
把两篇文献压缩成最核心的结构,可以看到几乎是一一对应:
CN103782344B
data line 232/233
↓
pillar 204
↓
p-type silicon well 310
↓
n-well 312
↓
p-type substrate 316
目标专利明确称“pillar 204 extends from data lines … to p-type silicon well”。
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US20090310425A1
bit line BL
↓
top of vertical pillar PL
↓
vertical pillar PL
↓
bottom of pillar PL
↓
substrate well
而且文献不是仅凭附图推断,而是在文字中明确说明柱顶部连接 bit line、底部直接连接 substrate well。
+1
所以对 J 来说,这不是“若干文献组合后才能推出来”的弱证据,而是单篇文献就具有很强的直接公开能力。
六、客观概率评估
我建议将评价分成两个层次:
1. “现有技术中有没有公开 J?”
结论:有。
置信度:约 99%。
US20090310425A1 已经非常充分;US20070252201A1、US20110090737A1 又形成相互独立的交叉验证。
+2
Google Patents
+2
2. “J 在正式无效程序中能否被认定为已公开?”
我的估计仍然很高:
约 95–98%。
之所以不是直接写 100%,主要保留三个可能争议点:
data line 与 bit line 的术语解释;
“extends from … to …”是否被专利权人主张为比“top connected / bottom directly connected”更严格的连续实体限定;
个别文献中需要区分“well”“P-type semiconductor layer”“substrate”三个概念。
但这些风险主要影响第二、第三梯队文献。对 US20090310425A1 来说,因为其已经明确使用 vertical pillar + bit line + substrate well + directly connected 的组合,留下的解释空间非常有限。
+1
最终排序
第一选择:US20090310425A1 —— 99%,最优。
第二选择:US20070252201A1 —— 95%,强独立备份。
第三选择:US20110090737A1 —— 92%,尤其适合强化“well 位于 substrate 内”的解释。
第四选择:US20100193861A1 —— 84%,辅助证明该结构属于截止日前成熟的三维 NAND 技术路线。
因此,如果现在只评价技术特征 J,我认为已经达到了**“基本可以确认在 2011-08-15 前被成功公开”**的程度。最值得直接用于后续无效特征比对表的文献是 US20090310425A1,而不是那些只能分别证明“vertical pillar”或“bit line”的弱文献。
需要特别区分:以上 99% 是 J 单一技术特征的公开概率,不等于 CN103782344B 某项完整权利要求的整体无效概率;后者还取决于其余技术特征能否在同一对比文件或具有合理结合关系的文献中被覆盖。
##后者位于 p 型硅衬底 316 内。citeturn449836view0turn449836view1
因此,我把 J 拆成四个必须同时核查的子关系:
**J1**:存在作为 NAND 串通道的柱/垂直柱;
**J2**:柱的上端到达或连接数据线/bit line;
**J3**:柱的下端到达一个 semiconductor well;
**J4**:该 well 位应技术内容。citeturn815571search0turn815571search2
### arXiv 检索结果比对
| 排名 | arXiv 文献 | arXiv公开时间 | J1 柱/垂直通道 | J2 数据线端 | J3 阱端 | J4 衬底中的阱 | 对特征J的判断 | 对无效的贡献 |
| 1 | Burr et al., “Phase change memory technology”, arXiv:1001.1164 | 2010-01-07 | △。citeturn758495academia1turn758495academia3turn758495academia2turn758495academia0turn812443academia0 |
## 最值得注意:arXiv:1001.1164
这是本轮 arXiv 检索中**唯一值得作为无效检索线索重点保留的文献**。它在 2010 年 1 月 7 日即已提交,显然满足日期限制。citeturn888344search0
该论文明确认识到 NAND Flash 可以依靠 **3-dimensional integration** 维持高密度,并在citeturn757207view0
更重要的是,其参考文献直接列出了四组 2011 年以前的重要 3D NAND 先行技术:
2006 年 Jung 等的 *Three dimensionally stacked NAND flash memory technology using stacking single crystal Si layers...*;2006 年 Lai 等的 *A multi-layer stackable TFT scalable flash memory*。citeturn757207view1
其中最后两篇正是早期 **BiCS / punch-and-plug 垂直 NAND** 路线,因而从技术方向上非常接近 J。
但是,必须严格区分“**arXiv 文献本身公开**”与“**arXiv 文献引用了一篇更强的非 arXiv 文献**”。
对 arXciteturn507509view0
它也出现 bit-line,但 NAND 部分只是一般性说明 NAND 单元串联连接,以及 PCM 电路中 bit-line 的应用,并未把 bit-line 与一个 NAND 垂直柱及。citeturn507509view2
全文中“well”的命中也没有发现目标意义上的 **p-well / silicon well / semiconductor well**;换言之,不能从该论文得到“垂直柱下端延伸进入衬底中的阱”。citeturn507509view1
因此,不能把该论文不同章节中的 “pillar + bit-line + 3D NAND” 几个孤立关键词拼接成特征 J。
## 为什么它仍然很重要
arX NAND、2007 punch-and-plug、2007 vertical array devices**。citeturn757207view0turn757207view1
也就是说,如果任务限定为“只能使用 arXiv 文件”,它不足以击中 J;如果任务是“通过 arXiv 深挖出能够进一步无效 J 的既有技术”,那么它是一个**高价值入口文献**。
###,而不是 arXiv**。citeturn757207view1
## 最终结论
就本轮严格限定的 **arXiv + 公开日早于 2011-08-15** 检索而言:
**没有找到可以高伸至衬底内阱”的决定性限定。citeturn888344search0turn757207view0turn757207view1
因此,**技术特征 J 在 arXiv 范围内被成功公开的概率:约 10%,属于低ell** 的完整连接关系。citeturn757207view1
根据权利要求1所述的设备,其中所述柱包括多晶硅。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
|
检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
本轮严格按权利要求8=权利要求1的A-D+新增K进行:
· A:电荷存储装置串与包括半导体材料的柱相关联;
· B:源极栅极装置耦合到源极,并用于控制串通道与源极之间的导电;
· C:源极选择装置耦合在电荷存储装置串与源极栅极装置之间;
· D:源极选择装置用于控制串通道与源极之间的导电;
· K:所述柱包括多晶硅。
截止日依委托要求机械地采用公开日严格早于2011-08-15。材料判断采取严格口径:仅有“硅”“P型硅”“掺杂硅”不能直接等同于“多晶硅”;栅极、字线或其他导电层为多晶硅,也不能移作柱材料K的证据。
结论:没有找到单篇无争议地同时公开A-D+K的文献,单篇新颖性攻击成功率约20%。首选创造性组合为`US20090230454A1(CN101971324A同族)+US20080253187A1`:前者在同一垂直NAND实施例中明确公开多晶硅导电柱230、柱两侧的电荷存储单元串以及一个源端选择晶体管216;后者明确教导在NAND串源端使用内、外两个串联选择栅210/211,并给出抑制GIDL/泄漏、改善截止和缩小阵列的直接动机。综合无效成功概率评估为89%,达到75%,本轮不启动补充检索。
已实际运行以下中、英、日、韩四语检索,并逐件打开入选文献的Google Patents直页核验说明书、权利要求和公开日。检索结果页会随Google索引及同族折叠变化,故不以动态命中数作为证据;表内URL保留公开日截止条件,便于复核。
|
语言 |
精确检索式 |
Google Patents检索URL |
|
中文 |
("多晶硅柱" OR ("导电柱" "多晶硅")) NAND ("源极选择晶体管" OR "地选择晶体管") |
|
|
英文 |
("polysilicon pillar" OR ("conductive pillar" polysilicon)) NAND ("source select transistor" OR "ground select transistor") |
|
|
日文 |
("ポリシリコン柱" OR "多結晶シリコン柱") NAND ("ソース選択トランジスタ" OR "ソース側選択ゲート") |
|
|
韩文 |
("폴리실리콘 필러" OR "다결정 실리콘 기둥") NAND ("소스 선택 트랜지스터" OR "소스측 선택 게이트") |
为避免“双选择”强限定漏检,还分别去掉第二选择器件词、以“多晶硅+导电柱/半导体柱+NAND+源选择”进行扩展,并用已知公开号、同族及引证关系定向复核。检索出现的2011-08-15以后多晶硅柱文献均按公开日排除,未用来补足K。
|
代号 |
文献、标题及Google Patents直链 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
截止日结论 |
|
D1 |
US20090230454A1, *Memory array with a pair of memory-cell strings to a single conductive pillar*;中文同族CN101971324A |
2008-03-13 |
US:2008-03-13;CN:2009-03-12 |
US:2009-09-17;CN:2011-02-09 |
均明显早于截止日 |
|
D2 |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
明显早于截止日 |
|
|
D3 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
早5日,形式上满足;宜另存官方公开文本证明公开时间 |
1. A、K明确:说明书图2B的制程段记载孔226内先形成电荷俘获层228,再填入conductive pillar ... 230, e.g., of polysilicon。图3说明俘获层228的ONO结构;图4把俘获层分隔为位于柱230两侧的电荷存储节点229。图2B、图4对应段进一步记载,柱230第一侧的单元450形成第一串、相对第二侧的单元450形成第二串。故同一实施例同时具有“与柱相关联的电荷存储装置串”和“柱包括多晶硅”。证据等级:强。
2. 单个源端选择及D:图2A的柱214同样可由多晶硅形成;导电层204、介电层212和柱214在交叉处形成源选择晶体管216。图2C及说明书对应段明确:216通过柱214耦合每个串,并选择性地把柱230下端及其两侧的串耦合至源线200。权利要求15-17又限定源选择晶体管将源线选择性耦合至导电柱第二端,并形成在源选择线与第三柱的交叉处。控制串与源之间导电的功能明确。
3. B/C的实质缺口:该具体结构在源侧只有一个216。若把216认作B,则缺少位于串与B之间的另一个C;若把216认作C,则缺少外侧B。不能用同一个晶体管同时满足权利要求中具有串联位置关系的两个不同装置。
4. 同一实施例判断:A、K、一个源选择晶体管以及源线200、位线290均连续出现在图2A-2C/图4的同一制造和电路实施例;不存在跨实施例拼接。具体电荷存储介质为SONOS俘获层,但权利要求8没有浮栅限定,故不构成缺口。
5. B-D明确且在同一图2实施例:说明书图2记载每个NAND串206的单元208串联在源选择栅210、211和漏选择栅212、213之间。外侧源选择栅211的源连接公共源线216,其漏接内侧源选择栅210;210再接串的第一存储晶体管208。故211直接对应耦合源极的B,210对应位于存储串与B之间的C;选择线214控制两器件,从而控制串通道与源线间导电,对应D。
6. 权利要求原文定位:权利要求13、16均明确第二选择栅与第一选择栅串联,并interposed between the first select gate and a source line;权利要求18又允许两个源侧选择栅接收相同控制信号。器件的物理独立性及位置关系没有歧义。
7. 明确结合动机:摘要、背景及图3-5对应段指出缩小FET会增加GIDL、程序干扰、穿通和泄漏;通过在NAND串端增加extra select gate at each end,每个选择栅可采用较短沟道和较小间距,同时维持或改善截止和抗泄漏性能,并缩小阵列占用。该动机直接针对源端选择结构,不依赖事后分析。
8. 缺口:D2是传统平面NAND电路,未公开垂直柱,当然也未公开柱由多晶硅构成;不能单篇覆盖A/K。
9. A:图2说明存储块为三维/垂直结构,NAND串沿第二方向延伸;图3-5说明柱113表层114充当本体,柱周围的隧穿绝缘层117、电荷存储层118、阻挡绝缘层119及导电材料构成垂直电荷存储晶体管串。
10. B-D:图14明确是图6存储块的变形,并记载每个NAND串的字线与共源线CSL之间存在两条地选择线;一条邻近CSL,另一条邻近字线。权利要求14-16进一步记载第三地选择线、第二地选择线位于第三地选择线与共源线之间,以及存储单元垂直于衬底堆叠。按从串到源的顺序映射,两只地选择晶体管覆盖C和B,并共同控制串通道与CSL之间导电。A-D在图3-6及明确回指图6的图14变形中具有连续实施例基础。
11. K不能成立:图3-4的原文只说柱113的表层114包括第一类型掺杂的硅材料,随后具体称为P型硅;图26-27变形仍称中间层114′为P型硅。页面中“polysilicon”的确出现,但对应的是沿第一方向延伸的导电材料211-291(栅/线)及位线材料331-333,并非柱113。P型描述是掺杂类型,不是晶体结构;不能据此认定多晶硅。
12. 日期风险:2011-08-10只比截止日早5日,依本项目规则可用,但正式程序中宜保存CNIPA公开文本、扉页及下载时间,避免仅依赖Google日期字段。
符号:●明确公开;△部分公开或只能满足两个不同装置中的一个;—未公开;×经核实相关“多晶硅”属于别的部件,不能用于K。
|
文献 |
A 柱相关电荷存储串 |
B 耦合源极的源极栅极装置 |
C 串与B之间的源选择装置 |
D 控制串通道与源间导电 |
K 柱包括多晶硅 |
同一实施例及强弱 |
|
D1 US20090230454A1/CN同族 |
● |
△(单个216可映射为B) |
△(若映射为C则反而缺B) |
● |
● |
A、K及单源选择均为图2A-2C/图4;主基准,证据强 |
|
D2 US20080253187A1 |
— |
●(外侧211) |
●(内侧210) |
● |
— |
B-D均在图2,权利要求13/16复核;主补充,证据强 |
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D3 CN102148059A |
● |
●(邻近CSL者) |
●(邻近字线者) |
● |
× |
A-D为图3-6及图14连续变形;柱只明确P型硅 |
D1有A、K及一个源端选择器件,但不能同时给出B、C两个串联的不同装置;D2无A/K;D3虽最接近地覆盖A-D,却未公开K,而且其多晶硅文字明确指向栅/线而非柱。因此不建议把权利要求8的主攻理由写成任何一篇上述文献单独破坏新颖性。单篇新颖性无效成功率约20%。
以D1为最接近现有技术。D1已经提供多晶硅柱230、柱两侧的电荷存储单元串、源线200以及一个源选择晶体管216。依据D2,在D1串的源端增加一个串联选择FET并调整源线连接:保留D1原有216作为靠近存储串的内侧源选择装置C;新增D2式外侧器件211作为直接耦合源线的源极栅极装置B。两器件受选择线控制,覆盖D;D1的A和K不需改变。
组合动机不是泛泛的“常规替换”:D2明确把双选择栅用于NAND串的源端,目标正是降低GIDL、程序干扰、穿通和其他泄漏,同时改善截止并减少阵列面积。D1本身已有独立的source-select-gate portion 201,存储单元部分220叠置其上;因此把一个选择栅层扩展为两个串联选择栅层,在功能和层次组织上均可实施。二者均为NAND串,D2的教导属于串端电路拓扑,不以平面单元的电荷存储介质为前提。该两篇组合的创造性无效成功率约89%。
可能抗辩及回应:
13. D2是平面NAND,不能直接移植到D1的垂直柱。回应:权利要求8未限定两个源端器件的具体几何形状或工艺;D1已把源选择部分作为独立层段,D2改变的是串联电路关系。增加一个沿同一多晶硅通道形成的选择栅层,不要求改变柱230或电荷存储单元。
14. D1原有216直接接源线,改为内侧器件会改变原结构。回应:D2正是明确教导在原串端选择器与源线之间串入第二器件;源线端点后移是该教导的必然、有限调整,而非重构存储串。
15. D1为SONOS俘获型、D2图2可采用浮栅,技术介质不同。回应:D2的双选择栅效果依赖串端FET及泄漏路径,不依赖存储单元必须为浮栅;其正文还明确单元可为floating-gate、NROM或其他单晶体管非易失单元。权利要求8本身也不限定浮栅。
16. “源极栅极装置”不等于普通源选择栅。回应:D2的外侧211直接耦合公共源线216,并控制存储串通道与源线之间导电,逐项满足B的功能和位置;名称差异不足以消除结构、连接和功能公开。
D3单篇已在垂直柱实施例中覆盖A-D;D1用于证明在同类垂直NAND中把导电柱230具体选为多晶硅是截止日前的已知方案。D3又明确柱材料实施方式“不限于”其举例的P型硅,且多晶硅可以按所需类型掺杂,存在材料选择动机。组合后K可补足,估计成功率约82%。
该备用组合的主要争议是:D3的柱113为带绝缘内层115的本体/表层结构,而D1示例为填孔的多晶硅导电柱;把前者表层改为多晶硅可能影响迁移率、结晶质量和工艺,不能把“P型硅”直接当作已公开多晶硅。因此本组合只能作为备选,不应反过来声称D3单篇已经公开K。
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项目 |
概率 |
理由 |
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单篇新颖性无效 |
20% |
三篇各有实质缺口,CN102148059A的K尤其不能靠推断补足 |
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首选两篇创造性无效 |
89% |
D1精确给A、K及单源选择;D2只需增加有直接动机的第二源端选择器件 |
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备用D3+D1创造性无效 |
82% |
覆盖完整,但多晶硅材料替换的工艺争议较大 |
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权利要求8综合无效成功概率 |
89% |
属于“高度接近且组合动机明确”的80-89档;主要折扣为平面双选择拓扑移用于垂直柱的抗辩 |
最终建议以US20090230454A1(或其中文同族CN101971324A)+US20080253187A1作为主攻组合;CN102148059A用于证明A-D高度接近并作为备用组合基准,同时明确承认其柱材料证据只到P型硅为止。因本轮综合概率已达到75%,依任务规则不制定下一轮补充策略,也不自行启动下一轮。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim8\round1.md
##接近。citeturn198133view0turn822588view0turn999699view0
### 特征比对表
| 优先级 | 中文对比文件 | 公开日 | 对“柱”的公开 | 对“多晶硅”的公开 | 与 K 的对应程度 | 评价 |
| S1 | CN101971324A《具有到单个导电柱的一对存储器单元串的存储器阵列》 | 2011-02-09 | 存储器讨论 NAND 和垂直 NAND 串。citeturn198133view0 |
最关键的是其具体制造步骤:
> “导电柱,例如插塞230,其为例如多晶硅”
并且该导电柱230外围具有电荷捕获层228,柱230、电荷捕获层228和导电层224构成 SONOS 结构。citeturn822588view1
此外,同一结构的下部导电柱214也明确采用例如多晶硅,并作为源极选择晶体管216的沟道。citeturn603097view3
因此,其逻辑关系几乎可以直接写成:
**柱230 → 存储串沟道 → 柱230为例如多晶硅**
这不是依靠合格。citeturn603097view0
说明书记载,在 U 形孔内部填充掺杂半导体,例如多晶硅,由此:
> “形成了由例如多晶硅制成的硅柱31”
并且选择栅区域内的**硅柱34也可用相同多晶硅材料整体形成。citeturn603097view1turn822588view0
更重要的是,这些并非普通接触柱。说明书进一步明确:**硅柱31作为存储单元垂直晶体管的沟道,硅柱34作为选择晶体管沟道,柱34的上端连接位线。** citeturn822588view0
因此,对 K 单独判断:
**柱31/34 + 多晶硅 = 100%文字层面对位。**
其第二绝缘膜以及多级电极。citeturn999699view0
在对应制造步骤中,文献首先形成“柱状非晶硅层180”,然后明确给出替代方案:
> 可以生长多晶硅来替代非晶硅,从而形成多晶硅层180。 citeturn926221view0turn926221view1
因此不能把这里的“多晶硅”误认为仅仅是外围栅材料:**层状沟道 + 电荷存储层**。citeturn999699view0
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### 4. CN101981689A——非常好的独立补强文件
其中国公开日为 **2011-02-23**。citeturn603097view2
该文件的比较例描述一种垂直存储结构,其中沟道硅称为“**硅柱**”,垂直于硅衬底延伸;通孔侧面具有柱411。 citeturn797608view7
所以同样存在非常清晰的材料—构件关系:
**多晶硅 → 硅插塞404 → 构成硅柱411**
**2003-03-05** 公开。citeturn797608view4
这篇文件值得特别保留,因为它不是靠制造工艺间接推导,而是直接作出材料选择:
> “形成器件柱体使用的硅膜可以是单晶硅或多晶硅。” citeturn194208view2
紧接着说明书又描述对 N+/P−/N+ 等柱体膜堆叠进行掩膜和各向异性蚀刻形成柱体。该文献本身涉及非易失性柱形存储器、电荷存储介质以及柱形沟道。citeturn822588view2
因此它对 K 的字面公开甚至比很多后期文件更简洁。
其不足只是整体体系与目标专利后-02-16** 公开。citeturn797608view6
其权利要求1通过半导体层在开口中形成多个**柱形二极管**;权利要求2立即限定第一、第二半导体层可包括多晶硅,权利要求3进一步明确二者包括**多晶硅层**。citeturn797608view5
因此,若只问“在截止日前是否已公开一种包括多晶硅的柱”,答案毫无疑问是肯定的。
但它的柱是柱形二极管,而不是最接近目标专利的 NAND 沟道柱,因此优先级低于前五篇。
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## 检索中主动排除的“假阳citeturn822588view1turn822588view0turn926221view0
## 最优无效使用顺序
如果仅针对技术特征 K,我建议首选 **CN101971324A**。它同时具备“存储器单元串、共享柱、表达非常直接。citeturn198133view0turn822588view1
第二选择是 **CN102089878A**。其优势是“由例如多晶硅制成的硅柱31/34”几乎就是 K 的逐字同义表达,而且硅柱明确构成垂直存储单元及存储器串。citeturn822588view0
第三选择是 **CN101055875A**,优势在于公开时间更早,并且清楚建立“三维存储串的柱状半导体”与“多晶硅层180”的关系。citeturn999699view0turn926221view1
如果需要增强证据冗余,再加入 **CN101981689A + CN1401140A**;CN101978497A 则适合作为证明“多晶硅用于柱形半导体结构早已citeturn797608view7turn194208view2turn797608view5
## 成功公开概率评估
就**技术特征 K 单独**而言,我评估:
**成功证明其在 2011-08-15 前已经公开的概率:约 99%,属于“极高”。**
这里的 99% 是我基于文先中文公开:
**CN101971324A** 明确“导电柱230为例如多晶硅”;citeturn822588view1
**CN102089878A** 明确“硅柱31/34由例如多晶硅制成”;citeturn603097view1
**CN101055875A** 明确柱状层180可形成多晶硅层180;citeturn926221view0
**CN101981689A** 明确由填充多晶硅形成构成硅柱411的硅插塞;citeturn797608view7
**CN1401140A** 更直接明确“形成器件柱体使用的硅膜可以是……多晶硅”。citeturn194208view2
因此,**K 本身基本不存在有效的新颖性防守空间**。真正可能产生争议的不会是“201CN101055875A 应作为非常有价值的早期独立证据保留。**
##道柱**:“柱204包括半导体材料,例如可包括多晶硅”,并且每根柱向 NAND 串中的多个电荷存储装置提供沟道。citeturn665048view0 目标专利的在先技术日/优先权日为 **2011-08-15**。citeturn665048view1
**最终判断:技术特征 K“其中所述柱包括多晶硅”在 2011-08-15 之前的韩文专利文献中已经获得非常明确的公开。就 K 这一单独技术特征而言,我评估成功公开概率约为 `99%`。**
citeturn558981view0turn726520view0turn726520view1 | **直接、明确、几乎逐字对应** | **99%** |
| **2** | **KR20110012806A**《수직 채널 구조의 플래쉬 메모리 소자》 | **2011-02-09** | 摘要直接记”的组合。citeturn726520view3turn558981view1 | **直接语义对应** | **98%** |
| **3** | **KR20100133671A**《수직채널형 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조 방법》 | **2010-12-22** | 明确称沟道CH可为**“필라 형태의 채选为 polysilicon膜(폴리실리콘막)**。citeturn726520view6turn726520view7 | **直接关联公开** | **97%** |
| 4 | KR20100113360A《3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 제조 방법》 | **2010-10-21** | 在垂直沟槽内填充沟道膜25形成从基板向上堆叠的多个存储词。citeturn558981view7turn558981view8 | 强辅助公开 | **85%** |
| 5 | KR20100104908A《3차원 구조의 비휘발성 메모리 소자 및 그 제조방법》 | **2010-09-29** | 明确设置贯穿多层结构的多个**半导体柱PL**,每一柱对应一个存储器串限定多晶半导体一定是硅。citeturn558981view2turn558981view3turn726520view11 | 较强辅助 | **78%** |
| 6 | KR20100093350A《반도체 소자 및 그 형성방법》 | **2010-08-25** | 活性图形133明确可以采用**实心柱状/圆柱状**;同一活性图形可包含少“多晶=多晶硅”的直接限定。citeturn558981view4turn558981view5turn558981view6 | 辅助 | **75%** |
| 7 | KR20110003764A《메탈 소스 라인을 갖는 수직 구조의 비휘발성 메모리 소자의 제조방법》 | **2011-01-13** | NAND型垂直cell string中,沿垂直开口底面和侧壁形成沟道层130,该沟道层明确通过沉积**未掺杂polys直结构,文字对应度较弱。citeturn448761view0turn448761view1turn558981view10 | 辅助,不建议主攻 | **70%** |
## 最强文献:KR20090079694A
这篇文献的证据链最干净。
其制造方法先明确规定:形成填充沟层145,得到多个半导体柱145a**。citeturn558981view0
更重要的是,这些半导体柱并非一般集成电路中的孤立柱结构。说明书记载半导体柱145a以矩阵形式布置,控制栅位于柱两侧,电荷存储层、即可选择存储单元,并明确称该结构实现了**垂直 NAND 结构**。citeturn726520view1turn726520view0
其公开日为 **2009-07-22**,比截止日早两年多。citeturn726520view2
因此其逻辑可以简化为:
**polysilicon → 半导体层145 → 对同一层进行图形化 → 半导体柱145a → 垂直NAND沟成,并明确列举**多晶或单晶结构的 Si**。citeturn726520view3turn558981view1 其公开日为 **2011-02-09**,满足日期限制。citeturn726520view5
**KR20100133671A**则采用另一种几乎同样直接的表达方式:先将沟道CH明确称为“pillar沟道所使用的沟道膜优选为**polysilicon膜**。citeturn726520view6turn726520view7 公开日为 **2010-12-22**。citeturn726520view8
所以即使对 KR20090079694A 的某一表述提出解释争议,仍有两份独立的韩文在先文献从不同结构方案给出相同技术教多晶硅”。citeturn452027search0
**KR100956985B1**确实明确说导电垂直结构15可以选择 polysilicon,但该结构与真正作为晶体管半导体body的结构13之间还设置了第二绝缘膜14,两者在结构和功能风险,我不把它列入一级证据。citeturn452027view0
日期方面也做了反向筛查。例如 **KR20110093309A**虽然技术主题高度相关,但公开日为 **2011-08-18**,晚于要求的 2011-08-15,故严格排除,不用于本次无效证据。citeturn558981view11
## 最终客观评估
就**技术特征 K 本身**,我的综合判断为:
**成功证明“2011-08-15之前已经公开”的概率:约 99%。**
核心原因不是文献数量多,而是 **KR20090079694A 已经形成“要求的全部技术特征;创造性判断则还需要结合最接近现有技术、区别特征及结合启示。memcite
经 K,最佳文献之一** citeturn125437view2turn270850view1 |
| **S+** | **JP2010192517A** | **2010-09-02** | “メモリ柱状半導体層35”沿层叠方向呈柱状延伸 | 明确记载该柱状半导体层“ポリシリコン…にて構成” | **直接、无歧义公开**,且为电荷存储型3D存储单元 citeturn125437view3turn270850view2 |
| **S+** | **JP2010199235A** | **2010-09-09** | “メモリ柱状半導体層34”沿层叠方向呈柱状,并作为存储晶体管主体 | 明确由“ポリシリコン”构成 | **直接公开,结构语境高度吻合** citeturn125437view4turn554338view1 |
| **S+** | **JP2009224565A** | **2009-10-01** | 明确“メモリ柱状半導体37”,侧面设置隧穿层、电荷存储层、阻挡层 | 直接记载“メモリ柱状半導体37は、ポリシリコン…にて構成” | **非常强,且时间早约两年** citeturn125437view1turn270850view4 |
| **S+** | **JP2009224633A** | **2009-10-01** | “メモリ柱状半導体層37”,为3D存储晶体管柱状沟道 | 明确由 polysilicon 构成 | **直接公开 K**;与上一文献技术路线高度相关 citeturn980484view0turn980484view1 |
| **S** | **JP2010161132A** | **2010-07-22** | U 字形半导体层38具有一对相对于衬底垂直延伸的“柱状部38a” | 整个 U 字形半导体层38明确由“ポリシリコン”构成 | **柱状部必然为多晶硅,直接程度很高** citeturn320735view0turn728062view0 |
| **S** | **JP2010199314A** | **2010-09-09** | U 字形半导体层35具有一对垂直“柱状部35a” | 明确记载 U 字形半导体层35由“ポリシリコン”构成;周围设置电荷存储层 | **明确公开 K** citeturn320735view1turn270850view3 |
| **S** | **JP2011060838A** | **2011-03-24** | U 字形半导体层45具有一对垂直“柱状部45A”,作为存储晶体管主体 | 明确由“poly-Si”构成,并由电荷存储层、字线包围 | **直接公开且最接近截止日的强文献之一** citeturn320735view2turn270850view0 |
| **A+** | **JP2007266143A** | **2007-10-11** | 明确为形成“メモリトランジスタの柱状の半導体(ボディ部)”而形成存储器插塞孔 | 默认例,且公开时间极早** citeturn858705view0turn270850view6 |
这里特别值得强调三个证据。
**第一,JP2010192569A 是文字对应度最高的文献。:
**半导体 pillar + polysilicon**
两个构成要素在同一实施例、同一部件上直接关联,而不是从不同段落拼接。 citeturn125437view2
**第二,JP2010192517A 和 JP2010199235A 更进一步采用确定式表述。**前者明确说柱状半导体层35沿层叠方向呈柱状,而且该ilicon 构成。二者都还同时存在电荷存储层。 citeturn125437view3turn125437view4
**第三,早在 JP2009224565A 中,就已经出现“存储柱状半导体37由 polysilicon 构成”的直接记载。**该柱的侧面依次配置隧穿绝缘层、电荷存储层和阻挡绝缘层。因此,“多晶硅存储柱”至少在 2009 年公开时已经不是模糊概念。 citeturn125437view1
## 二、为什么这些文献足以公开“包括多晶硅”
目标特征采用的是:
> 柱 **包括** 多晶硅。
而多篇 JP 文献采用的日文实际上更窄,例如“ポ“由 polysilicon 构成”的确定性表述,证据还要更强。 citeturn125437view2turn125437view3turn125437view4turn125437view1
## 三、最优无效证据选择
如果当前目的只是证明 **K 本身属于现有技术**,我的推荐顺序是:
1. **首选 JP2010192569A**也高度一致。公开日 2010-09-02。 citeturn125437view2turn270850view1
2. **第二选择 JP2010192517A**:明确“柱状”+“由多晶硅构成”,不存在材料选择上的解释空间,并且直接用于电荷存储型三维存储晶体管。 citeturn125437view3
3. **第三选择 JP2009224565A**:公开时间更早,2009-10-01 已明确公开由多晶硅构成的 memory columnar semiconductor,并配有电荷存储层。若希望证明 K 在目标优先日前已长期属于成熟方案,这篇尤其有价值。 citeturn125437view1turn270850view4
**JP2007266143A** 则适合作为时间更早的补强证据。它在 2007 年已经明确提出:用于形成存储晶体管柱状半导体主体的层,可以由默认的非晶硅改为默认实施例,我将其证据等级略低于上述确定式文献,但对 K 的公开仍然相当明确。 citeturn858705view0
## 四、反向筛选结果
我没有为了增加数量而把所有“垂直 NAND/半导体柱”文献都列为 K 的直接证据。例如 **JP2010187000A(Samsung)** 确实涉及垂直 NAND channel 和柱状/圆柱状结构,没有将其作为 K 的有效证据。 citeturn218310view0turn874890view0turn874890view1
## 五、客观概率评估
| 评估事项 | 概率/强度 | 判断 |
| K“柱包括多晶硅”在 2011-08-15 前已被日文专利明确公开 | >99% | 极高 |
| 找到至少一篇能够直接逐项把相关公开追溯到 **2007 年**。 citeturn858705view0turn125437view1turn125437view2turn125437view3turn125437view4turn320735view0turn320735view1turn320735view2
因此,我对**“K 在 2011-08-15 前已被日文专利成功公开”给出 >99% 的极高完整无效组合**。memcite
经包括 polysilicon。citeturn660618view1turn660618view2
**针对 K 这一单独技术特征,我评估其在 2011-08-15 前已被成功公开的概率为 99% 左右,属于“几乎可以确定已有明确公开”。**
而且这里不是只能靠“多晶硅是常规材料”这种间接论证。同技术语境。citeturn481193view7turn930494view1
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## 二、反复检索后得到的高价值英文专利文献
| 排名 | 英文专利文献 | 公开日 | 与技术特征 K 有关的实质公开 | 与目标 K 的对应程度 | 无效价值 |
|---|---|---:|-silicon” | **A++** citeturn481193view7turn930494view1 |
| **2** | **US20090283819A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same* | **2009-11-19** | 明确 semiconductor pillar 17 由诸如 **polycrystalline silicon** 或 amorphous silicon 的半导体形成;该 pillar 作为储串功能均对应 | **A++** citeturn347804view0turn965943view2 |
| **3** | **US20090321813A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same* | **2009-12-31** | 明确:“silicon pillar SP may be formed from … **polysilicon**”;pillar 为柱状、贯穿堆叠体,其上端接 bit的 channel/body。 | **与目标专利结构语境高度一致** | **A++** citeturn393558view0 |
| **4** | **US20100244119A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same* | **2010-09-30** | 说明书明确 semiconductor pillar SP 可采用 **polysilicon**;更强的是其**权利要求6**直接限定:“强 | **A++** citeturn481193view0turn887081view1turn887081view0 |
| **5** | **US20090321813A1** | **2009-12-31** | 除直接规定 polysilicon 外,该 pillar 纵向贯穿 stacked body,底端连 silicon substrate,顶端连 bit line,charge storage layer 环绕柱”的实体对应特别好 | **A++** citeturn393558view0 |
| **6** | **US20100109072A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same* | **2010-05-06** | 明确把 **“semiconductor material, e.g., polysilicon”** 填且属于3D memory string | **A++** citeturn454761view0turn730484view1 |
| **7** | **US20100207190A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing the same* | **2010-08-19** | 明确将掺杂的 **polysilicon** 填入 U-shaped hole;所得 U-shaped silicon member 中位于 through-hole pillar”的因果关系直接明确 | **A++** citeturn481193view2turn580323view0turn580323view1 |
| **8** | **US20110180866A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same* | **2011-07-28** | 明确将掺磷 **polysilicon buried in the U-hole to form完全合格;披露极直接 | **A++** citeturn481193view1turn887081view2turn887081view3 |
| **9** | **US20100155818A1** — *Vertical channel type nonvolatile memory device and method for fabricating the same* | **2010-06-24** | 明确 openings 可采用 rectangular **pillar type**;形成的 channels 23 可由 **polycrystal silicon** 构 | **A+** citeturn481193view3turn887081view6 |
| **10** | **US20110092033A1** — *Nonvolatile semiconductor memory and process of producing the same* | **2011-04-21** | N− semiconductor layer 9 明确由 **polysilicon** 构成;另一段明确同一 layer 9 是 **pillar-shaped**,其邻技术描述对应起来,但指代对象明确一致 | **A+** citeturn481193view4turn887081view7turn887081view8 |
| **11** | **US20080067583A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof* | **2008-03-20** | 明确使用“**pillar shaped amorphous silicon layer (or polysilicon layer)**”,并进一步称可为“**a pillar shaped polysilicon layer**”;该柱形成选择栅的 channel,文献权pillar shaped polysilicon layer”措辞 | **A+** citeturn481193view6turn887081view10 |
| **12** | **US20070252201A1** — *Nonvolatile semiconductor memory device and manufacturing method thereof* | **2007-11-01** | 先形成 pillar-shaped amorphous silicon layers 180,并明确说明可替代地通过生长 **早的直接材料替代公开,具有很好的时间优势 | **A+** citeturn481193view5turn887081view9 |
表中第5项与第3项是同一文献从“材料披露”和“结构匹配”两个角度列示;如果制作正式证据目录,应只计为**一件对比文件**。因此,本轮实际得到的是部 **substrate/well region** 直接接触。citeturn930494view1
这与目标专利说明书所说:
“pillars 204 … may include polysilicon”,而这些柱为 NAND memory device 中一串多个 charge storage devices 提供通道,
在技术对象上几乎完全重合。citeturn660618view2
因此,如果只判断:
**K:柱包括多晶硅**
则 US20090310425A1 单独已经足根 pillar 形成一个 **memory string / NAND flash memory**;顶部还连接 bit interconnect。citeturn965943view2
也就是说,从“柱材料”到“柱在3D NAND串中的功能”均已打通。
**成功公开 K 概率:约 99%。**
若以后还要与技术特征 J“柱从数据线延伸到衬底中的阱”进行交叉柱相连;柱周围配置 charge storage layers。citeturn393558view0
因此它不仅能证明“polysilicon”这个材料选择本身已知,而且能较有力地反驳一种潜在抗辩:
> 现有技术虽然知道 polysilicon,但并至少一种。citeturn887081view1turn887081view0
因此,不需要依赖实施例推断、附图理解或技术常识补充。
**成功公开 K 概率:>99%。**
---
## 四、一个重要的检索排除结果
此次我没有把所有同时出现 “pillar”把它纳入核心清单。citeturn930494view2
这是很重要的筛选原则:
**“gate 是 polysilicon” ≠ “pillar 是 polysilicon”;
“charge storage layer 是 polysilicon” ≠ “pillar 是 polysilicon”。**
上述第一梯队文献不存在这种:目标专利citeturn660618view1turn660618view2;US20090310425A1citeturn930494view1;US20090283819A1citeturn965943view2;US20090321813A1citeturn393558view0;US20100244119A1citeturn887081view1turn887081view0。
---
## 六、对“成功公开概率”的客观评估
**单独针对技术特征 K,我给出 98%–99% 的成功公开概率,中心估计约 99%。**
理由不是文献数量多本身,而是存在以下三个 限定到 semiconductor pillar。citeturn930494view1turn965943view2turn887081view0
第二,这些并非不同技术领域中偶然出现的“多晶硅柱”,而是**3D NAND / vertical nonvolatile memory / charge storage memory string** 中作为沟道主体的柱,与同路线的公开。citeturn481193view5turn887081view9turn481193view6turn887081view10
因此,我认为在无效程序中,专利权人要主张“截至 2011-08-15,技术人员尚不知道/文献没有公开 NAND 串的柱可包括多晶硅”,**基本没有技术事实,因为其权利要求本身直接限定 semiconductor pillar 包含 polysilicon。citeturn930494view1turn887081view0
若需要形成较稳固的证据梯队,我建议按:
**US20090310425A1 → US20090283819A1 → US20090321813A1 → US20100244119A1 → US20100109072A1 → US20100207190A1 / US20110180866A1**
的顺序保留。前四篇已经足对比文件组合匹配”**阶段的程度。
##。citeturn595714view7
因此,K 不是泛指“器件某处有多晶硅”,而应优先寻找:
**垂直 NAND/三维存储结构 → 半导体柱/垂优先权日为 2008-05-13。citeturn544069view0
该文献的披露非常直接:
- 在贯穿叠层结构的 through hole 15 内形成 **semiconductor pillar 17**;
- 明确说明 semiconductor pillar 17 由掺杂半导体形成,例如 **polycrystalline silicon or amorphous silicon**;citeturn595714view4
- 制造方法进一步明确,可将 **N-type polycrystalline silicon** 等材料填入通孔以形成 semiconductor pillar 17;citeturn595714view4
- 更关键的是,该 semiconductor pillar 17 同时起 source、channel、drain 作用;与 word line 及 charge storage layer 配合构成 **NAND flash memory**;
-。citeturn595714view5
这不是“多晶硅用于栅极”的间接披露,而是:
**semiconductor pillar 17 → polycrystalline silicon → 该柱就是02-17。citeturn222105view2
该文件首先明确设置 **semiconductor pillars SP**,柱与电极 WL 之间具有包含 charge storage layer 的叠层。citeturn595714view1
随后直接规定:
> “polysilicon … may be used for the semiconductor pillar SP”
并在制造实施例中再次说明 semiconductor pillar SP 是沟道材料,采用 CVD 填入 string。citeturn544069view1
因此逻辑链非常完整:
**semiconductor pillar → channel → polysilicon → charge-storage NAND string**
几乎不存在把“栅极多晶硅”误限定“pillar includes polysilicon”
**名称:** *Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same*
**申请人:** Toshiba
**公开日:2010-09-30**。citeturn222105view3
它的价值尤其高,因为不仅说明书中反复出现 semiconductor pillar/polysilicon channel,而且原公开权利要求直接规定:
- “first semiconductor pillar”;
- 从属权利要求进一步限定该 **first semiconductor pillar includes at least one selected from polysilicon and amorphous silicon**。citeturn595714view6
同时,说明书把 semiconductor pillar 与 stacked vertical memory、polysilicon channel transistor 明确联系起来。citeturn595714view6
这对 K:
> “所述柱包括多晶硅”
几乎就是逐词对应的英文公开。
**K 单独成功公开概率:98%–99%+。**
---
### 4. US20080237602A1——更早的 2008 年 3D NAND 证据
**名称:** *Three dimensional NAND memory*
**申请人:** SanDisk 3D LLC
**公开日:2008-10-02**;优先权/申请日 2007-03-27。citeturn650346search0turn650346view0
该文献明确属于 **three dimensional NAND strings**,并把垂直 NAND 存储单元的 semiconductor active region 定义为 pillar。citeturn650346search0
尤其是其第四实施方式说明:
- memory cells/select transistors 的 **pillar active regions** 形成于 polycrystalline semiconductor material;
- 可形成 polycrystalline silicon layer;
- 再重结晶成 **large grain polysilicon layer**;
- 随后将该层图形化形成 **pillar active regions**。citeturn914767view2turn914767view3
而且该文件明确把这些 pillar-shaped active regions 放在 **vertical NAND string** 中。citeturn914767view3
唯一需要注意的是,其具体 3D NAND 构造与 CN103782344B 的“单一连续垂直柱穿过多层字线”的实现方式并非完全一致。因此若只判断 K,没有问题;若将其用于整个权利要求的新颖性比对,则需要另外核对其他结构关系。
**K 单独成功公开概率:约 93%–97%。**
---
## 三、非专利文献:Fukuzumi 等,IEDM 2007
Y. Fukuzumi 等人在 IEDM 2007 发表:
**“Optimal Integration and Characteristics of Vertical Array Devices for Ultra-High Density, Bit-Cost Scalable Flash Memory”**
该文献属于早期 BiCS 3D NAND 核心论文,明确讨论 vertically arranged BiCS flash,并采用 **poly-silicon transistor/channel vertical FET**。公开年份为 2007,远早于临界日。citeturn786961search0turn786961search8
其作用更适合于证明:
**在 2007 年,三维 NAND 中采用 polysilicon vertical channel 已经是公开技术路线。**
但从我能够核验到的摘要/目录文本来看,它对“pillar”这一具体词汇的命中不如上述三篇 Toshiba 专利直接。因此若有 US20090283819A1 等文件可用,不建议把这篇论文作为 K 的唯一证据。
**K 单独成功公开概率:约 85%–93%。**
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## 四、特征比对表
| 对比文件 | 公开时间 | “柱”披露 | “多晶硅”披露 | 与 NAND/垂直沟道关系 | 对 K 的评价 | K成功公开概率 |
| US20090283819A1 | 2009-11-19 | 明确 semiconductor pillar 17 | 明确柱可为 polycrystalline silicon;还明确以 N型poly-Si填充形成柱 | 柱直接作为 source/channel/drain,沿柱形成多个 NAND memory cells/string | 完全直接公开,结构高度一致 citeturn544069view0turn595714view4turn595714view5 | 98–99% |
| US20100207194A1 | 2010-08-19 | 明确 semiconductor pillar SP | 明确 polysilicon用于semiconductor pillar SP | 柱为 channel,配合 charge-storage film 构成 U-shaped NAND string | 近乎逐字公开 citeturn222105view2turn544069view1 | 98–99%+ |
| US20100244119A1 | 2010-09-30 | 明确 first semiconductor pillar | 权利要求直接限定 pillar includes polysilicon or amorphous silicon | stacked vertical memory / polysilicon channel | 权利要求级直接披露 citeturn222105view3turn595714view6 | 98–99%+ |
| US20080237602A1 | 2008-10-02 | 明确 pillar / pillar active region | pillar active regions 由 polycrystalline semiconductor / recrystallized polysilicon形成 | 明确 three-dimensional vertical NAND string | 直接公开,但具体柱架构略有差别 citeturn650346view0turn914767view3 | 93–97% |
| Fukuzumi et al., IEDM 2007 | 2007 | 垂直FET/channel,** citeturn786961search0turn786961search8 | 85–93% | |||
| Inside NAND Flash Memories | 2010 | Internet Archive/Open Library 有书目记录 | 本轮未取得足够明确的原文段落证明“pillar=poly-Si” | NAND专业教材背景 | 只能作背景/检索线索,不建议独立用于K citeturn759774view0turn759774view1 | 不作为主证据 |
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## 五、Internet Archive 检索结果需要特别说明
这次我没有把“在今天的 Internet Archive 页面中能搜到”与“2011-08-15 前已经向公众公开”混为一谈。
Internet Archive 自身区分 Metadata Search、Full-Text Search 和 Wayback Machine Search。citeturn438716view2 我分别围绕专利号、论文标题以及 `semiconductor pillar + polysilicon`、`poly-Si vertical channel` 等进行了回溯;但在目前可访问的 IA/Wayback 索引中,**没有稳定检出上述三篇最强美国专利在临界日前的独立 Wayback 快照**。因此我不会虚构一个 Wayback 时间戳。
而且 Internet Archive 官方说明,`publicdate` 对多数 Archive item 指的是该项目首次完成派生、产生公开格式的时间,**并不等同于原始文献的学术/专利公开日期**。citeturn438716view1 所以,例如某篇 2009 年专利后来才上传到 IA,不能据 IA 的 `publicdate` 否认它在 2009 年已经公开。
本轮在 Internet Archive 生态中能够明确确认的实物书目包括 **2010 年 Springer《Inside NAND Flash Memories》**;Open Library 页面明确记载 201Internet Archive item record** 列为其来源记录。citeturn759774view0turn759774view1 不过在没有核实书中具体页面原文之前,我**不会把它提升为 K 的直接证据**。
也就是说:
**Internet Archive 对本案更适合作为历史技术资料发现、书目直接披露”,再以 US20100244119A1 和 US20080237602A1 作补强。memcite
##、但仍不足以单独构成直接公开**的文献。citeturn361144view0turn212399view1
我对“**arXiv 单独作为证据,成功证明 K 已被直接公开**”的综合评估约为 **25%(合理区间约 15%–35%)**,属于**偏低**。但如果主对比文件已经公开了目标 NAND 的“pillar/柱”结构,而仅缺少“该柱采用多晶硅”这一材料 silicon well。citeturn326490view1
因此,K 在无效比对时至少有三个层次:
> **pillar → semiconductor pillar → polysilicon semiconductor pillar/channel**
这意味着,仅仅找到“polysilicon 薄膜”“polysilicon 栅极”或者“crystalline silicon pillar”,都不能当然等同于 K。
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## 二、反复检索覆盖情况
”的闭合结果。citeturn853667view0
另一方面,对精确短语 **“silicon pillar”** 的 arXiv 检索只有 10 项;截止日前最早且实质相关的 2006 年文献虽然真正公开了 silicon pillars,但正文明确限定为 **single-crystal silicon**。citeturn212399view2turn212399view3
这两条检索路径互相印证:**“多晶硅”文献有,但没有柱;“柱”文献有,但材料不是多晶硅。**
---
## 三、重点候选文献及特征还提到 silicon nanowires 可用于 logic 和 memory applications。citeturn212399view1
因此 D1 与 K 的对应可以写成:
**K:柱包括多晶硅**
→ D1:**细长纳米级半导体沟道包括/由 polysilicon 构成**
/channel。citeturn212399view4
D3 甚至可追溯到 1998 年,标题已经是 **polycrystalline silicon films for memory devices**,但文献研究的是薄膜及晶界导电问题,而非三维柱。citeturn212399view5
D4 在 2010 年明确讨论 **Poly-Si TFT** 以及 channel 中的导电机制,因此对“多晶硅可以充当晶体管沟道材料”这一基础事实证明力不错;问题仍然是其 TFT/显示器语境与三维 NAND 有明显距离。citeturn212399view6
相反,真正出现 “pillar” 的早期文献反而说明为什么不能简单把 “silicon pillar” 当成 K。2006 年 Pasquini 等人的文献明确写出了约 1 μm 高、50 nm 直径的柱阵列。citeturn212399view3 2009 年的 nano-pillar 文献同样直接称其为 **crystalline silicon nano-pillars**。citeturn361144view1 2011 年的 Black Silicon 文献虽然使用了 “whiskers or pillars”,结构分析却明确说明这些 whiskers **all crystalline**。citeturn212399view8
因此,这几篇不能正面证明 K,反而说明在当时技术文献中,作者通常能够区分 **crystalline silicon** 与 **polycrSubmitted 14 August 2011”,涉及 poly-silicon solar cell。citeturn853667view1
但我**没有把它列入核心证据**,有两个原因:第一,它只是太阳能电池 poly-Si layer,与 pillar/NAND 无关;第二,用户限定的是“公开日在 2011-08-15 之前”,而 arXiv 的 submission timestamp 与实际向公众 announcement/可境非常明确。citeturn326490view1
因此,如果对方主张:
> “nanowire 本质上就是细长的柱,所以 D1 已公开 K”
这一主张有一定技术解释空间,但并不稳。尤其穿多层 NAND 器件。citeturn212399view1turn326490view1
**新颖性意义下成功概率:约 15%–30%,中心值约 20%–25%。**
### 2. 作为创造性组合中的辅助提高至约 **50%–60%**。citeturn361144view0turn212399view1
**因此,对实际无效策略而言,我不建议把 arXiv 文献作为 K 的主攻证据。**最合理深挖 arXiv。
根据权利要求1所述的设备,其中: 所述串为多个串中的一者;且 所述源极选择装置为多个源极选择装置中的一者,其中所述多个源极选择装置中的每一者在所述多个串中的对应一者与所述源极栅极装置之间。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
|
检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
检索日期:2026年8月20日。现有技术截止日按公开日严格早于2011年8月15日掌握;申请日或优先权日仅作书目信息,不代替公开日。
权利要求9包含权利要求1的A—D,并增加:L“所述串为多个串中的一者”;M“所述源极选择装置为多个源极选择装置中的一者,其中多个源极选择装置中的每一者在多个串中的对应一者与所述源极栅极装置之间”。本轮继续采用对抗性最严格的拓扑解释:
多个可独立寻址的垂直电荷存储串 → 每串各自的内侧源极选择装置 → 同一个外侧源极栅极装置 → 源极。
对于外侧“一个装置”,本轮只接受同一实施例明确给出:一个单数器件身份、一个共同且物理连续的栅体、多个彼此绝缘的垂直通道,以及各通道串侧端点保持独立。共同控制线、多个晶体管共用偏置、在各柱交点分别形成的多个晶体管,均不自动等同于一个多通道装置。
最终结果:没有发现严格命中。 本轮新增的JPH06177400A/US5391895A说明一个功率器件可封装多个独立垂直FET并以共同栅母线驱动,但其原文仍将支路称为多个独立器件、栅电极为复数,且没有NAND串或两级源侧选择结构。对US20070111409A1族、CN101556955A/US20090256149A1族及US20050145932A1/KR20040074501A族进行同族、引证和原文封闭复核后,也未找到同时满足“单一连续共栅实体+独立垂直串侧端点+同源端两级选择”的早期文本。
最强创造性路径仍为CN102148059A与Samsung下选择板族US20090310425A1/CN101651144A(备选Toshiba的US20110169071A1)组合;综合无效成功概率最终评为74%(合理区间72%—75%)。该点估低于75%,且已经完成用户允许的8轮补充检索,故依上限停止、放弃继续补检;不提出第10轮,也不因共同栅线或连续板而人为上调。
以下检索式均已在Google Patents实际提交,并以 before=publication:20110815 限定公开时间。四个完整短语交集均未返回严格命中;随后以专利号、同义词、发明人、同族和引证页进行封闭核验。检索页的零项或噪声结果,仅代表该精确交集未命中,不作为“绝对不存在”的证明。
|
语言 |
实际检索式 |
Google Patents搜索URL |
结果 |
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中文 |
("源极选择装置包括多个晶体管" OR "选择器件包括多个晶体管单元" OR "一个MOSFET器件包括多个晶体管单元") ("共同栅电极" OR "共用栅板") ("独立沟道" OR "独立漏极") |
无严格命中 |
|
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英文 |
("source select device comprises multiple transistors" OR "selector device includes a plurality of transistor cells" OR "single MOSFET device comprises multiple transistor cells") ("common gate electrode" OR "shared gate plate") ("independent channels" OR "independent drains") |
无严格命中 |
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日文 |
("ソース選択装置は複数のトランジスタを含む" OR "選択装置は複数のトランジスタセルを含む" OR "一つのMOSFET装置は複数のセルを含む") ("共通ゲート電極" OR "共有ゲート板") ("独立チャネル" OR "独立ドレイン") |
无严格命中 |
|
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韩文 |
("소스 선택 장치는 복수의 트랜지스터를 포함" OR "선택 장치는 복수의 트랜지스터 셀을 포함" OR "하나의 MOSFET 장치는 복수의 셀을 포함") ("공통 게이트 전극" OR "공유 게이트 플레이트") ("독립 채널" OR "독립 드레인") |
无严格命中 |
补充实际检索采用了 "single transistor" "independent source regions" "independent drain regions" "common gate"、"a transistor" "plurality of vertical channels" "common gate electrode"、multi-drain vertical transistor,以及对应日、韩同义词;结果主要回到下述边界族或晚公开文件,未产生新的严格命中。
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文献及标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
截止日前? |
严格作用 |
|
JPH06177400A / US5391895A,*Double diamond mesa vertical field effect transistor and manufacturing method thereof* |
1992-09-21 |
JP:1993-09-14 |
JP:1994-06-24;US授权公开:1995-02-21 |
是 |
本轮新增;器件可含多个独立垂直FET并接共同母线,但不是单一连续共栅晶体管,更无NAND两级源选择 |
|
US20070111409A1 / JP2007141916A / KR20070051716A / CN1967850A,*Semiconductor device* |
2005-11-15 |
US:2006-11-02 |
US:2007-05-17;JP:2007-06-07;KR:2007-05-18;CN:2007-05-23 |
是 |
一只NMOS内可有隔离源/漏分支;但为平面SOI,且G1被称为“实质分割” |
|
CN101556955A / US20090256149A1,*Structure for measuring body pinch resistance of high density trench MOSFET array* |
2008-04-10 |
CN:2009-03-26 |
CN:2009-10-14;US:2009-10-15 |
是 |
垂直独立上端、共用下端/共栅;原文明称多个MOSFET |
|
US20050145932A1 / KR20040074501A,*Vertical channel field effect transistors…* |
2003-02-19 |
US:2004-02-17 |
KR:2004-08-25;US:2005-07-07 |
是 |
明称一只晶体管含多个垂直沟道,但共同平面区并联端点,会短接各NAND串 |
|
US20110294290A1,*Nonvolatile semiconductor memory device* |
2010-05-28 |
2010-05-28 |
2011-12-01 |
否 |
虽有两层下部选择板术语,但晚于截止日,排除 |
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2018-04-27 |
2018-04-27 |
2019-10-31 |
否 |
“string-sharing”选择栅仅作检索词线索,不能作无效证据 |
上述表中所有主张现有技术效力的文献,其公开日均严格早于2011年8月15日;两篇晚公开文件明确排除。未以任何文献的优先权日或申请日替代公开日。
· 同一实施例及定位:JPH06177400A说明书[0014]、[0016]、[0031]及权利要求75;对应US5391895A的double-diamond mesa结构。
· 有利证据:[0014]说明源极和栅极可构成具有共同漏极或独立漏极的独立垂直FET;这些源极和栅极也可分别并接共同源母线、共同栅母线,形成包括多个独立器件并联的功率器件。[0016]、[0031]继续描述多个独立垂直FET、共同漏极或单独漏接触。权利要求75以单数“vertical field effect transistor”为主语,限定多个第二mesa、多个栅、共同源接触、至少一个漏以及多个垂直沟道。
· 严格不足:其物理栅为复数,仅通过共同栅母线电连接;说明书同时明确支路是“a plurality of independent devices”。这正是共同控制不等于一个连续栅实体的情形。文献没有电荷存储、NAND串、逐串内侧选择器或同源端相邻两级选择结构,且共同接触可能把支路一端并联。
· 证据强度:对“单数产品/器件可包含多个单元”中等;对M要求的“同一个连续外层源栅装置”弱,不能独立或自然地弥补CN102的争议。
· 同一实施例及定位:图1—5、说明书关于NMOS N1的段落、权利要求1;JP/KR/CN文本与US为同族,不另作多篇证据累加。
· 有利证据:原文以一只NMOS N1为主体,说明其源漏区沿栅宽分为两部分,具有两个独立源区22及两个独立漏区23;部分沟槽隔离PT横穿沟道并隔开相邻源区、漏区及对应沟道。
· 严格不足:该器件是平面SOI逻辑MOS,不是垂直NAND。尤其原文说明隔离结构令栅G1“substantially divided into two parts”,不能据此证明一个物理连续栅体跨多个独立垂直通道。将其与CN102结合,需要同时进行平面转垂直、逻辑FET转源侧选择以及分割栅转连续板,属于多步重构。
· 引证/族谱结论:US、JP、KR、CN同族没有更强版本;其引证仍是逻辑MOS隔离技术,没有回指到垂直NAND源侧两级选择结构。
· 同一实施例及定位:图3A—3B、权利要求1—6;共同漏基层14、源极—体区柱101/201/301及绝缘栅沟槽柱102/202/302/402。
· 有利证据:多个沟槽MOSFET利用共同漏基层14形成共用漏极;大量MOSFET各有独立源极—体区柱,相邻MOSFET共享控制栅,权利要求5—6保留多个相应接触端口。因此它强力证明垂直支路可以共控而不把所有上端短接。
· 严格不足:原文反复称“多个/大量沟槽MOSFET”,而不是一个多通道晶体管;共同栅接触只证明电连接或共同偏置。其是功率器件测试阵列,不含NAND、内侧逐串选择器或源侧两级关系。该族没有JP/KR原文可提供更有利的单数装置定义。
· 同一实施例及定位:US说明书[0143]—[0146]、图33、权利要求13—14及19;KR20040074501A为同族原文。
· 有利证据:权利要求13明确 A transistor comprising a plurality of vertical channels;权利要求19限定沿各垂直沟道侧壁设置栅电极。图33以跨多个鳍112的栅124形成一只并联多沟道晶体管。
· 严格不足:说明书明确该晶体管由多个实施例晶体管并联以提高驱动能力;宽平面区连接多个垂直沟道,图33的共同端区会并联各鳍端点。将不同鳍上端接入不同NAND串将使串侧节点相连,破坏逐串选择及独立位线寻址。该族没有隐藏的JP文本,也没有NAND源侧两级教导。
三组桥梁证据形成互相牵制的边界:US20070111409保留独立端点却牺牲连续栅;CN101556955保留垂直独立端点却明确是多个晶体管;US20050145932取得单数多垂直沟道身份却并联端点。JPH06177400同样停留于多个独立FET加共同母线。没有一篇在同一实施例中同时闭合四个条件。
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特征 |
CN102148059A |
Samsung下选择板族(US20090310425A1/CN101651144A) |
本轮器件语义桥梁 |
最终判断 |
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A 柱相关电荷存储串 |
[0076]—[0081]、图3—5明确柱113、ONO及垂直NAND |
同类垂直柱阵列可佐证 |
通用FET文献不具备 |
CN102强 |
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B 源极栅极装置耦合源并控制导通 |
[0091]—[0096]、图7给出源侧栅及导通控制;“同一个装置”身份有争议 |
LS_PT是跨多柱的实体板,但交点是否仍为多个晶体管有争议 |
JPH为多个独立FET共母线;US20050145932为单一多通道但短接端点 |
功能强,单一装置身份未闭合 |
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C 源极选择装置位于串与B之间 |
[0107]—[0109]、图14的GSL2x/GSL1x提供同源端相邻两级 |
只有一个下选择板级 |
均无NAND两级 |
CN102强 |
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D 内级装置控制串导通 |
图15及操作段落给出不同选择偏置 |
选择晶体管功能一致 |
通用FET仅证明开关 |
CN102强 |
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L 串为多个串之一 |
图6的NS11—NS33及阵列描述明确 |
多个垂直柱/串 |
只有多个通道或支路,不是存储串 |
CN102强 |
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M 每串各一内级,之后为同一个外级源栅装置 |
GSL2x逐串关系与相邻顺序强;GSL1x究竟是一只跨串装置还是多个共线GST不明确 |
连续板跨多个柱有利,但文献称多个下选择晶体管且只有一个源侧级 |
四组边界文献均只满足“单数身份、连续栅、独立端点”中的部分条件 |
实质争议仍在 |
截至本轮,没有一篇截止日前文献在同一实施例中直接、无歧义地公开A—D+L+M全部特征。因此,新颖性攻击不能建立在把“共同线”直接等同于“一个装置”的前提上。
CN102提供A—D、L、多个垂直NAND串及同一源侧的GSL2x/GSL1x相邻两级。Samsung族在同一垂直存储实施例中提供跨全部或多个柱的物理下选择板LS_PT。技术人员有减少源侧选线、简化光刻/对准、统一外级接通以及改善阵列偏置均匀性的动机,二者技术领域、垂直柱工艺及源侧开关功能接近。
但两个关键抗辩没有被最终轮消除:
1. 连续板在各柱交点分别形成沟道,Samsung原文仍把它们称为多个lower select transistors;共同栅板/共同偏置不当然构成权利要求语义中的单一“source gate device”。
2. CN102用GSL1x按行施加差分偏置。改成全局板会丧失该局部选择功能;保留差分偏置则需把板分段,又回到多个装置。该取舍不是无功能代价的等同替换。
因此该组合具有现实可诉性,但仍存在器件边界与功能相容性两项实质争议。
Toshiba族亦在截止日前公开并提供跨块/多柱的源侧导电层,可支持实体板桥梁。其不足与Samsung族相同:只有一个源侧板级,交点仍可解释为多个晶体管,且不能无争议地嫁接CN102的逐串内级+单一外级。强度不高于组合一。
可用JPH族主张“device”在一般器件语境可包含多个垂直FET单元,共同母线控制不排斥单数设备称谓。但该文献反而明确多个独立器件和多个栅,只能作为权利要求解释背景,不能把Samsung的多个下选择晶体管变成一个连续栅体的晶体管。三篇组合还增加跨功率器件与NAND结构的事后拼接风险,不提高点估。
可分别抽取“两级NAND拓扑”“垂直独立支路不短接”和“单一多垂直沟道晶体管”三个概念。然而后两篇定义性结构相冲突:前者靠多个MOSFET保持独立端点,后者靠端点并联取得单一功率晶体管。若同时舍弃这些结构只保留标签,实质上由涉案专利反向拼装,创造性说服力约70%—72%,弱于组合一。
· 单篇新颖性:约60%—65%。 CN102最接近并在同一实施例给出A—D、L及同源端两级结构,但对M的单数外层装置没有直接、无歧义文字;其他早期文献均缺少NAND两级拓扑。
· 创造性:74%。 CN102与Samsung/Toshiba实体板族具有明确领域关联和工艺动机,但“连续共栅板是否等同一个装置”及“全局板是否破坏CN102差分选择”仍是实质争点。本轮器件语义文献不能在同一实施例中同时证明单数身份、连续栅与独立串侧端点。
· 综合无效成功概率:最终74%(合理区间72%—75%)。 这是可诉但低于用户75%门槛的组合型创造性攻击;不符合80%以上的“高度接近且组合明确”尺度。
权利要求9已完成首轮及8轮补充检索。本第9轮为用户限定的第8次补充、也是最终轮;严格检索仍未找到截止日前在同一实施例中满足M核心缺口的文献。依用户设定的上限,现停止并放弃继续补检,不提出第10轮策略。最终汇总应如实采用74%的综合点估,并保留上述装置边界、偏置冲突及同一实施例问题,不得把共同控制线、连续导电层或多个共栅晶体管自动拔高为一只跨多个串的源极栅极装置。
截止日按“公开日严格早于 2011-08-15”执行;优先权日、申请日仅用于核验文献谱系。权利要求9引用权利要求1,拆分如下:
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代号 |
技术特征 |
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A |
电荷存储装置串与包含半导体材料的柱相关联。 |
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B |
源极栅极装置耦合至源极,并控制串的通道与源极之间的导电。 |
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C |
源极选择装置耦合在串与源极栅极装置之间。 |
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D |
源极选择装置控制串的通道与源极之间的导电。 |
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L |
所述串是多个串中的一个。 |
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M |
所述源极选择装置是多个源极选择装置中的一个;多个源极选择装置中的每一个分别位于对应串与“所述”(单数)源极栅极装置之间。 |
M 是本权利要求的唯一实质新增争点。“共同连接到一条 GSL”首先只证明共同控制线;不能不经解释就等同于“一个晶体管装置”。但若连续 GSL 导电层连同其在多个柱周围形成的受控沟道可整体理解为一个多沟道源极栅极结构,则可满足单数“装置”。以下对两种解释均作评价。
实际检索先以较宽式取得垂直 NAND/双源侧选择栅候选,再用权利要求9专用式核对“多个串—共享 GSL/CSL—每串内侧选择器件”的阵列关系。Google Patents 对自动化结果页会间歇性要求验证,故结果页命中后均另行访问候选全文页核验;严格日期通过每篇全文的 Info/事件时间线人工复核。
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语言 |
实际使用检索式 |
Google Patents 可复现链接 |
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中文 |
(NAND 柱 "地选择线" "源极线");精确式:("多个NAND串" 柱 "两条地选择线" "共源线") |
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英文 |
(vertical NAND "ground select" "second ground select" pillar);精确式:("plurality of NAND strings" pillar "two ground select lines" "common source line") |
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日文 |
(NAND "柱状半導体" "ソース選択");精确式:("複数のNANDストリング" 柱状半導体 "二つの接地選択線" "共通ソース線") |
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韩文 |
(수직 NAND "접지 선택 트랜지스터");精确式:("복수의 NAND 스트링" 수직 기둥 "두 개의 접지 선택 라인" "공통 소스 라인") |
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
用途 |
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CN102148059A(英文同族 US20110194357A1) |
非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
CN 2011-02-09;US 2011-01-06 |
CN 2011-08-10;US 2011-08-11 |
主引证;A-D、L 明确,M 有“线/装置”解释争议。 |
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Multiple select gate architecture |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
每串两个串联源侧选择栅及阵列级共同选择线。 |
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Hierarchical common source line structure in NAND flash memory |
2007-12-21 |
2008-12-19 |
2009-07-02 |
证明一个块内多个串共享 GSL、CSL 是公知阵列组织。 |
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CN1519938A(授权文本 CN1292480C) |
非易失性半导体存储装置及其制造方法和半导体集成电路及系统 |
2003-02-05 |
2003-02-14 |
2004-08-11 |
历史辅助;多个相邻选择晶体管,但平面结构且共享源端关系不如前两篇。 |
CN101971324A(2011-02-09 公开)另有“柱/多串”强证据,但仅一层明确源选择晶体管,对 M 不优于 CN102148059A,故未列为首选组合。
3. 柱、串及存储单元(A、L):说明书[0076]及图3-4记载柱113、绝缘层116和导电线211-291等形成 NAND 串;[0077]-[0078]及图5记载 ONO 中氮化硅层118为电荷存储/俘获层,P型硅层114为主体;[0079]-[0081]记载存储块有多个柱113和沿垂直衬底方向延伸的多个 NAND 串,每串含多个晶体管结构。图6及[0084]-[0086]进一步列出 NS11-NS33 九个串。
4. 两个源侧控制级(B-D):图14及[0107]明确“每个 NAND 串”在字线 WL1-WL6 与 CSL 之间有两条 GSL;第一行 NS11-NS13 共同连接 GSL11、GSL21,其他行同理。[0108]-[0109]及图15说明外侧 GSL12/GSL13 邻近 CSL,内侧 GSL22/GSL23 邻近字线,分别施加电压。按图14同构关系,第一行外侧为 GSL11、内侧为 GSL21。故可把外侧 GST/GSL 映射为 B,把内侧 GST/GSL 映射为 C;二者均串联在存储串通道与 CSL 之间。[0091]-[0096]及图7还直接说明 GSL 电压高于 GST 阈值时在柱体114形成沟道N1并把该沟道电连接到 CSL,满足 B、D 的控制导电功能。
5. 同一实施例而非拼凑:图14被[0107]明称为“图6的存储块”的修改,图6又在[0084]明称为图3-5垂直柱结构的等效电路;因此柱/电荷存储结构、多个串和双 GSL 属于同一条明确交叉引用的实施例链。权利要求10记载第一、第二串连接于位线与 CSL;权利要求14-16又记载第二/第三 GSL 的相对位置及串中存储单元垂直于衬底堆叠,形成权利要求层面的交叉印证。
· [0087]-[0088]及图6明确:同一行的 NAND 串“共用地选择线 GSL”,CSL 公共连接到各串。[0069]-[0075]还说明相应导电材料在第一方向连续延伸;因此存在一个跨越多个柱的连续栅线/栅电极结构。
· 但[0085]同时说“每个 NAND 串的地选择晶体管 GST”连接 CSL;亦即在电路抽象上,每一柱与该连续栅电极的交叉区域构成一个物理 GST。一个共同控制线并不自动等于一个晶体管。
· 图14中,对第一行三个串而言,三个内侧 GST 分别位于各自存储串与外侧层之间;GSL21 是它们的共同栅线。外侧 GSL11也是共同栅线,但各柱处仍可画成三个外侧 GST。只有在“源极栅极装置”被解释为包含连续 GSL11 导电层及多个受其控制沟道的整体多沟道结构时,M 的单数装置才被单篇直接覆盖;若严格限定为单个晶体管实例,则 M 留有缺口。
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特征 |
CN102148059A |
US20080253187A1 |
WO2009079783A1 |
结论 |
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A |
图3-5;[0076]-[0081]:半导体柱113、ONO电荷存储层118、垂直串。强 |
平面 NAND,无柱。缺 |
平面浮栅串,无柱。缺 |
由 CN102 完整承担。 |
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B |
图14-15;外侧 GSL/GST 邻 CSL;图7说明电压形成柱沟道并接通 CSL。强 |
图2、[0023]-[0024]:外侧栅211的源接 CSL216。强(无柱) |
[0027]:GST108 的源接 local CSL,栅接 GSL。中 |
功能和位置均属既有设计。 |
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C |
图14、[0107]-[0108]:内侧 GST 位于存储单元与外侧 GST 之间。强 |
[0023]-[0024]:内侧210接存储串,外侧211接CSL,二者串联。强 |
仅单个GST。缺双级 |
CN102、US2008相互印证。 |
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D |
[0091]-[0096]的阈值/沟道/CSL导通机理,并由双 GSL 实施例继承。强 |
[0024]及[0028]:选择栅为FET并改善关断。强 |
GST选择性连接串与CSL。中 |
明确。 |
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L |
图6、14:NS11-NS33,多串。强 |
图2、[0023]:NAND strings 206_1…206_M。强 |
[0028]、[0036]、权利要求11:plurality of strings。强 |
明确。 |
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M |
每行3串共同连接内/外两条GSL;连续外侧导电层可按宽解释为同一装置,但逐柱GST分立。中强/有争议 |
每串210位于对应串与211之间;所有控制栅接共同线214,但文字称“each 211”。中 |
[0028]明确各串共享GSL/CSL,同时[0027]仍逐串称GST108。解释证据 |
共享线明确;单数装置取决于权利要求解释。 |
US20080253187A1 的关键原文位置为图2、[0023]-[0024]及权利要求13-16:NAND strings 206_1…206_M;每串的内侧 source select gate 210 与外侧211串联;211接 common source line 216;权利要求16明确第二选择栅介于第一选择栅和 source line 之间。WO2009079783A1 的[0027]-[0028]及图1明确每串有GST108,且一个块内“each NAND memory cell string shares … the Ground Select Line [and] local Common Source Line”;[0036]、权利要求11再记载 plurality of strings 接同一 local CSL。
主张路径是将图14的内侧 GSL2x/GST 作为“源极选择装置”,外侧 GSL1x及其跨多个柱的连续栅结构作为“源极栅极装置”。图3-6、14的明确交叉引用解决同一实施例问题。若审查者接受“装置”可为共享的连续栅电极加多个受控沟道,A-D+L+M 全部直接、无歧义地出现,单篇可破坏新颖性。
反方最强意见是:文献自己始终称“每个 NAND 串的 GST”,电路图也画成逐串晶体管;GSL只是公共控制线,而非一个共同晶体管。若将“源极栅极装置”严格理解为一个晶体管,则单篇 M 不完整。另可争辩图14只是电路修改、未重复绘出图3的物理柱结构,但[0107]对图6的明确承接使此意见较弱。单篇新颖性成功概率:70%。
CN102已经提供垂直柱、多个串、两层 GSL 及共同GSL;US2008把每串“存储串—内侧210—外侧211—CSL216”的顺序写得完全明白,且 210/211 的栅共同接选择线214。技术人员为增强源侧关断、降低 GIDL(两篇均提出该类目的)而把阵列级共同栅线实现为跨多个串的连续电极,无须改变 NAND 基本拓扑。二者均属 NAND 阵列的源侧选择结构,信号、电压及串联关系相容,组合动机直接。
反方可主张 US2008 为平面浮栅工艺,移植到垂直柱需工艺调整;且两篇仍把每串晶体管分立,不能凭共同信号创造“单一晶体管”。回应是 CN102自身已经完成垂直化和连续GSL层,US2008仅用于确认两个源侧控制级的功能分工,并非要求移植其平面制造工艺。该两篇组合成功概率:78%。
WO2009079783A1用于证明在一个 NAND 块内让多串共享 GSL、CSL 是标准阵列组织,可强化“共享连续栅结构”为常规选择的动机;它同时提醒不能把线与晶体管混同,宜作为技术常识/解释辅证,而非单独补 A、C。CN1519938A权利要求1、5/6、11/12披露串端多个相邻选择晶体管,但无柱且相对源线位置不如 US2008 明确,仅作历史背景。首选诉讼表达应为“CN102 + US2008,WO2009佐证公知共享组织”,避免不必要的三篇拼接。
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路径 |
概率 |
评价 |
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CN102148059A 单篇新颖性 |
70% |
A-D、L及共享两GSL很强;M的单数“装置”存在实质解释争议。 |
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CN102148059A + US20080253187A1 创造性 |
78% |
两篇组合结构、目的和功能高度相容;仅剩“共同线是否足以满足单数装置”的有限争议。 |
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上述组合 + WO2009079783A1作公知常识佐证 |
79% |
共享 GSL/CSL 动机更完整,但不把第三篇作为必需技术特征来源。 |
权利要求9首轮综合无效成功概率:79%。 依统一尺度属于“可用组合、存在有限权利要求解释争议”,已达到 75% 门槛,本轮不启动补充检索。实务上应同时提交图14的彩色标注图:分别标出每串内侧 GST、每串外侧 GST、跨三个串连续的 GSL11/GSL21,并在书面意见中明确“共享栅电极结构”与“逐柱晶体管实例”两个层次,避免以共同控制信号替代结构比对。
本轮以首轮经对抗复核后的 72% 为基线,截止日仍按“公开日严格早于 2011-08-15”执行。权利要求9拆分为:A,电荷存储装置串与半导体柱相关联;B,源极栅极装置耦合到源极并控制串通道与源极之间导电;C,源极选择装置位于串与源极栅极装置之间;D,源极选择装置也控制该导电;L,所述串为多个串之一;M,存在多个逐串源极选择装置,每一个分别位于对应串与“所述”源极栅极装置之间。
本轮严格区分三个层次:公共源线 CSL、共同控制线 GSL/GLSL、跨多个柱的实体栅板。前两者本身不能证明“一个源极栅极装置”。本轮找到的最有价值新增证据是同一三星族的 CN101651144A、US20090310425A1 与 KR20090128776A:其明确披露可保持完整、供阵列中所有竖直立柱使用的一个下选择板 LS_PT,而不只是共同信号线。与 CN102148059A 的双源侧选择级结合后,M 的结构性依据明显增强。
本轮最终综合无效成功概率:76%。 相对复核基线净增约4个百分点,属于“可用的两篇组合、仍有有限装置解释争议”。达到75%门槛,本轮不提出或启动第3轮。
每种语言均先用“单一共同源栅装置+多个逐串选择器”精确式,再用“跨多柱栅板/选择板”结构式检索。精确式在截止日前未得到同时明确记载两个层次的单篇命中;板级式导出上述三星族。结果页命中后,均进入 Google Patents 全文页核验公开日、附图、说明书及权利要求。
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语言 |
实际使用检索式 |
Google Patents 查询URL |
本轮结果 |
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中文(精确) |
("共同源极栅极" OR "共享源极栅极" OR "源极栅极板") ("多个NAND串" OR "多个柱") ("源极选择晶体管" OR "源极选择装置") |
阴性:未见截止日前单篇明确“双层非对称数量关系”。 |
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中文(板级) |
("下选择板" OR "下选择平面" OR "源极栅极板") ("多个竖直立柱" OR "多个柱") ("源极区域" OR "公共源线") NAND |
命中 CN101651144A 族。 |
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英文(精确) |
("common source gate" OR "shared source gate" OR "source gate plate") ("multiple vertical NAND strings" OR "plurality of pillars") ("source select transistor" OR "source select device") |
阴性;较晚文献虽有类似措辞,不具日期资格。 |
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英文(板级) |
("lower select plate" OR "source gate plate" OR "lower global select line") ("plurality of vertical pillars" OR "all vertical pillars") ("source region" OR "common source line") NAND |
命中 US20090310425A1 及同族。 |
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日文(精确) |
("共通ソースゲート" OR "共有ソースゲート" OR "ソースゲート板") ("複数のNANDストリング" OR "複数の柱") ("ソース選択トランジスタ" OR "ソース選択装置") |
阴性。 |
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日文(板级) |
("下部選択プレート" OR "下部選択平面" OR "ソースゲート板") ("複数の垂直柱" OR "複数の柱") ("ソース領域" OR "共通ソース線") NAND |
回收三星族;另核验 JP2010118580A,仅单层 SGS。 |
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韩文(精确) |
("공통 소스 게이트" OR "공유 소스 게이트" OR "소스 게이트 플레이트") ("복수의 NAND 스트링" OR "복수의 기둥") ("소스 선택 트랜지스터" OR "소스 선택 장치") |
阴性。 |
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韩文(板级) |
("하부 선택 플레이트" OR "하부 선택 평면" OR "소스 게이트 플레이트") ("복수의 수직 필러" OR "활성 기둥들") ("소스 영역" OR "공통 소스 라인") NAND |
命中 KR20090128776A。 |
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
日期结论 |
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Memory devices including vertical pillars and methods of manufacturing and operating the same |
2008-06-11 |
2009-05-26 |
2009-12-17 |
合格 |
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3D memory device using vertical pillar as active region, manufacturing method thereof and operating method thereof |
2008-06-11 |
2008-06-11 |
2009-12-16 |
合格 |
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包括竖直立柱的存储器件及制造和操作该存储器件的方法 |
2008-06-11 |
2009-06-11 |
2010-02-17 |
合格 |
三者为同一专利族,实质证据只计一篇,不能人为增加组合数量。报告以 US 公布文本作英文主证,以 CN/KR 文本校核中文和韩文术语。
6. 多个柱、多个串及电荷存储(A、L):US说明书关于图1记载多个竖直柱 PL,每一柱上的晶体管构成一个 cell string CSTR;图3记载柱穿过栅层;权利要求1、4、7分别覆盖竖直通道、下选择栅及电荷存储层。CN文本图1段落同样明确“多个竖直沟道或立柱”,每柱形成单元串。
7. 实体板而非仅共同线(本轮最强增益):US图1段落明确“Gates of the lower select transistors are connected to each other along a lower select plate LS_PT to provide a lower global select line GLSL”;图2-3记载 LS_PT 在水平方向至少部分围绕多个竖直柱。更关键的是图33-39制造实施例明确:最低栅极图案201′可保持完整,LS_PT “operates as a select plate for all vertical pillars in the array”。CN文本图33对应表述为“下选择板LS_PT作为阵列中所有竖直立柱的选择板而操作”。这是一块跨多柱的物理导电图案,不只是导线名称。
8. 控制柱与源区导电(B、D功能):US图6、11记载在 LS_PT 加读电压形成水平/垂直反转区504A、504B,使源区S与竖直柱电连接;并明确将其表示为多个 MOS 晶体管,其栅均耦合至 LS_PT。权利要求3、4也记载下选择栅电压产生使接触区导通的反转层。CN文本图11段落及图6解释完全一致。
9. 同一实施例:图1-3的阵列结构、图6/11的导通机理及图33-39的完整板制造方式均在同一公开文本中,并使用同一组 PL、LS_PT、CSL 标号,非跨实施例臆合。
严格结论:该族确实补足了“跨多个柱的一个实体栅板”这一首轮缺失的结构证据,却仍未单篇披露“多个内侧逐串源极选择装置+该外侧公共栅板”两个串联源侧级。其文字还明确说的是多个 lower select transistors 的栅连接到一个 plate。因此:
· 若“源极栅极装置”可指一个完整栅板及其共同控制的多沟道结构,则它直接强化 M;
· 若“源极栅极装置”被极窄地限定为一个单沟道晶体管,则它仍只是“一块板+多个晶体管”,不能完全消除争议;
· 它不是一般共享 GSL 的重复证据,而是比 WO2009079783A1 更强的实体层/板证据。
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文献/结果 |
核验内容 |
不入选为主证的原因 |
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US20090180324A1,公开2009-07-16 |
图11及说明书记载 selecting devices 100/102,其中一个为 source selecting device,接 common source line;多个柱及电荷存储明确。 |
仅一个源侧选择器件接公共源线;公共源线不是额外源极栅极装置,未补 M。 |
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JP2010118580A,公开2010-05-27 |
多个垂直 memory strings、source-side select transistor layer 20及 SGS 线明确。 |
仍为单个源侧选择级;共同 SGS 线不等于其外侧另一个共享装置。 |
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每串 GST,共享 GSL/CSL。 |
只证明共享控制线与公共源线;本身反而说明 GST 是逐串器件,仍仅作解释背景。 |
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四语精确式 |
检索“共同/共享 source gate device+逐串 source select device+多柱/多串”。 |
截止日前未发现用文字同时明确该非对称数量关系的单篇文献。 |
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较晚命中 |
例如后来文献出现 per-string source select transistor 与 common source/gate plate 的更直白措辞。 |
公开日晚于2011-08-15,全部排除,不参与概率。 |
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特征 |
CN102148059A(首轮主证) |
CN101651144A / US20090310425A1(本轮新增族) |
综合判断 |
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A |
图3-5及[0076]-[0081]:柱113、ONO电荷存储层、垂直 NAND 串。强。 |
图1-3;权利要求1、7:竖直柱/通道、cell string、charge storage layer。强。 |
明确。 |
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B |
图14-15外侧 GSL/GST邻 CSL;图7、[0091]-[0096]说明栅压形成沟道接通 CSL。强。 |
图6/11;权利要求3-4:LS_PT形成反转区并接通源区与柱。强。 |
明确。 |
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C |
图14及[0107]-[0109]:内侧 GST 位于存储单元与外侧 GST 之间。强。 |
仅一个下选择级,缺额外内侧源极选择装置。缺。 |
由CN102承担。 |
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D |
内侧 GST 的阈值及柱沟道控制机理明确。强。 |
下选择板控制源区—柱导电,但并非额外内侧级。中。 |
由CN102承担。 |
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L |
图6、14的 NS11-NS33 多串。强。 |
图1的多个 PL/CSTR。强。 |
明确。 |
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M:多个逐串内侧装置 |
图14中每串有内侧 GST;强。 |
无第二源侧级。缺。 |
CN102承担。 |
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M:同一个外侧源栅实体 |
外侧GSL导电层跨同一行多个柱,但文本仍逐串称 GST。中、有解释争议。 |
LS_PT为可保持完整、供阵列所有柱使用的实体板;强于共享线。但文本亦称多个 lower select transistors。中强。 |
两篇合看形成可诉结构论证,仍非单篇无歧义。 |
CN102148059A 单篇仍是最佳新颖性主张:把内侧 GSL2x/GST 映射为多个源极选择装置,把外侧连续 GSL1x 导电层及其受控沟道整体映射为源极栅极装置。新文献不能倒填进单篇新颖性判断;CN101651144A族自身又缺第二个源侧控制级。故本轮没有找到可无争议单篇覆盖 A-D+L+M 的文献。单篇新颖性成功概率维持约69%-70%。
组合方式是:以 CN102 的垂直柱、双 GSL 源侧级为基础,保留内侧逐串 GST 作为多个源极选择装置;按三星族关于“最低栅极图案保持完整、作为所有竖直柱的下选择板”的明确教导,将外侧源侧栅层解释或实现为跨多个对应柱的共同源极栅极板。每个内侧 GST 均处在对应存储串与该共同板控制的源侧通道结构之间。
结合动机明确:两篇均是垂直柱 NAND,均通过柱周围的水平导电栅层控制柱底至公共源的导通;三星族明确给出保持最低图案完整可减少分割、提供 lower global select 的制造与布线选择。CN102又已有两个源侧级,因此技术人员可让内侧级承担串/行选择,让外侧级采用全局板承担公共源接通,而不丧失选择能力。两者材料、层叠方向、栅绝缘和源侧导通机理相容,不需把平面器件硬移植到垂直工艺。
最强反方意见有三项:
10. 三星族自己称“多个下选择晶体管”,LS_PT只是这些晶体管的共同栅板;共同栅板仍不能凭名称变成一个晶体管装置。
11. CN102的外侧 GSL 按行分设,而三星族的板可供阵列全部柱使用;把前者全局化可能改变未选串偏置和擦除方式,存在事后拼接。
12. 两篇没有一句原文直接说“每一个内侧源选择晶体管位于对应串与同一个共享源栅装置之间”,最终仍依赖结构读取与“device”宽解释。
相应答辩是:权利要求9使用“装置”而未限定单沟道晶体管;本专利权利要求11-12自身允许一个 source gate 至少部分环绕多个相应柱,权利要求15又仅说 source gate 是 source-gate device 的一部分,支持把共同板及多沟道功能区理解为一个装置级结构。三星族不是只给共同电信号,而是明确给出保持完整且包围全部柱的物理板。把该教导用于 CN102 的外层,而由内层维持串选择,正好保留两级功能分工。不过,若无效程序采取“一个装置必须等于一个晶体管实例”的极窄解释,上述答辩会明显变弱。
该两篇创造性组合成功概率:76%-78%;取保守点值76%。 不建议再加入 US20080253187A1 或 WO2009079783A1作为必要第三篇;它们最多证明双级/共享线背景,反会增加拼接负担。
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路径 |
概率 |
本轮评价 |
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CN102148059A 单篇新颖性 |
69%-70% |
无新单篇,维持首轮核心争议。 |
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CN102148059A + US20090310425A1 创造性 |
76% |
新族首次给出“完整的、供所有竖直柱使用的下选择板”直接物理证据,已非一般共享线。 |
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严格单晶体管解释下的敏感性结果 |
71%-73% |
两篇仍均把柱交叉处描述成多个晶体管;这是剩余主要风险。 |
综合考虑本专利自身对跨多个柱 source gate 的用法、三星族的实体板披露及两篇的高度工艺相容性,采用通常的装置级宽解释更有说服力。故权利要求9的最终综合无效成功概率评为76%,较对抗复核基线72%提升约4个百分点,达到停止补检的75%门槛。
本轮沿用对第2轮证据作对抗复核后的 74% 基线,而不是第2轮报告中的76%。截止标准为公开日严格早于2011年8月15日。权利要求9按以下特征审查:A,电荷存储器件串与半导体柱相关联;B,源极栅极装置耦合于源极并控制串通道与源极之间导电;C,源极选择装置位于串与源极栅极装置之间;D,源极选择装置也控制该导电;L,该串是多个串之一;M,多个源极选择装置中的每一个分别位于对应串与同一“所述源极栅极装置”之间。
本轮采用严格的装置口径:共同控制线或一个连续导电层可以同时给多个交点晶体管提供栅电位,但这并不当然等于“一个源极栅极装置”。新增检索要求同一实施例同时明确:(1)跨多个柱的全局/共同实体外层源极栅装置;(2)邻接的按行或逐串内层源极选择级;(3)两级承担不同偏置或选择功能。检索到的最接近新增文献是 CEA 的 WO2010004047A1 家族,其确有“覆盖全部通道的实体第一选择栅块+按行第二选择栅块”,但两级处在存储区的相反两端,且通道条并非垂直于衬底的柱,不能补足M。
第3轮最终综合无效成功概率:74%。 未达到75%门槛,应进入第4轮。现有最可诉组合仍为 CN102148059A(主证)+US20090310425A1/CN101651144A(三星同族板结构);CEA族和US20100214839A1仅作为技术背景、组合动机或权利要求解释的辅助证据,不宜伪装为直接补足M的文献。
四语检索均加上 before=publication:20110815。该过滤条件包含2011年8月14日及更早公开文本,随后又在各候选全文页逐一核对公开日;2011年8月15日及以后文本均排除。四个精确式均未发现截止日前、同一实施例明确满足上述三项严格条件的文献。精确式阴性后,结合目标专利族引证、命中文献同族及分类作回溯核验,得到下述CEA族和两篇平面双选择级文献。
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语言 |
本轮实际使用的精确检索式 |
Google Patents 搜索URL |
结果 |
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中文 |
("共同下选择栅板" OR "全局源极栅板" OR "实体源极栅板") ("按行源极选择栅" OR "局部源极选择栅" OR "逐串源极选择晶体管") ("多个垂直柱" OR "多个NAND串") ("不同电压" OR "独立偏置" OR "分别选择") |
无合格精确命中;回收CN102148059A、CN101651144A等已知族。 |
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英文 |
("common lower select gate plate" OR "global source gate plate" OR "continuous source gate plate") ("row source select gate" OR "local source select gate" OR "per-string source select transistor") ("multiple vertical pillars" OR "plurality of vertical NAND strings") ("different bias" OR "independently biased" OR "separately controlled") |
导出CEA族、US20100214839A1;均不能直接补足M。 |
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日文 |
("共通下部選択ゲート板" OR "グローバルソースゲート板" OR "連続ソースゲート板") ("行ソース選択ゲート" OR "局所ソース選択ゲート" OR "ストリング毎のソース選択トランジスタ") ("複数の垂直ピラー" OR "複数の垂直NANDストリング") ("異なるバイアス" OR "独立バイアス" OR "個別制御") |
无合格精确命中;同族文本未改变拓扑结论。 |
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韩文 |
("공통 하부 선택 게이트 플레이트" OR "글로벌 소스 게이트 플레이트" OR "연속 소스 게이트 플레이트") ("행 소스 선택 게이트" OR "로컬 소스 선택 게이트" OR "스트링별 소스 선택 트랜지스터") ("복수의 수직 필러" OR "복수의 수직 NAND 스트링") ("서로 다른 바이어스" OR "독립 바이어스" OR "개별 제어") |
无合格精确命中;三星族仍只有单一源侧选择级。 |
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
本轮用途/结论 |
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Structure and process for fabricating a microelectronic 3D NAND flash memory device |
2008-07-10 |
2009-07-10 |
2010-01-14;2011-04-06;2011-07-14 |
三件均合格但只计一个专利族;实体全局栅+按行栅证据强,位置关系不合格。 |
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Methods, devices, and systems relating to NAND strings |
2009-02-20 |
2009-02-20 |
2010-08-26 |
合格;同一串源侧两个串联选择晶体管及不同偏置明确,但为平面结构且无跨多柱实体板。 |
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Nonvolatile semiconductor memory device |
2009-12-23 |
2009-12-23 |
2011-06-23 |
合格;每串至少两个接地选择晶体管及跨串对应连接,仍非一个跨多柱外层装置。 |
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Three-dimensional semiconductor memory devices and methods of fabricating the same |
2010-05-28 |
2010-10-29 |
2011-12-01;2011-12-06 |
晚于截止日,排除。 虽披露板状下部导电图形及两层以上源选择线,不得用于本案现有技术。 |
另对目标专利 US20130044549A1/US8797806B2 的87件美国引证及所列外族作日期筛查。截止日前较接近的引证(包括上述Guzzi文献、US20110149655A1、三星族、CN102148059A同族)均未给出更强的“同端双级+同一外层实体装置”证据。
以下定位以 WO2010004047A1/EP2304794A1 的共同说明书、图3和图15及权利要求1为准;EP2304794B1全文页仅用于便于读取相同说明书,不把授权日较晚的B1作为现有技术:
13. 图3及其说明记载第一半导体块110构成共同源极,半导体条120从共同源极延伸到位线接触,形成 m×p 个不同通道;这能证明多个串/通道(L),但条120沿衬底平行方向延伸,并非目标权利要求通常理解的竖直柱(A仅弱对应)。
14. 同一图3说明第一选择栅140为一个块状体,覆盖全部条120;权利要求1亦把140限定为覆盖各通道的第一选择栅。这是本轮最强的“一个实体栅控制多个通道”证据,而非仅有共同控制线。
15. 同一实施例具有 m 个第二选择栅160,每个块覆盖同一竖直行的全部条120。图15等效电路和读写说明表明,第一选择栅连接 m×p 个晶体管,而AG1…AGm分别选择对应行;编程时第一选择栅被置为阻断状态,选中的第二选择栅加导通电压,二者确有不同偏置/选择分工。
16. 决定性缺口是位置:共同源极块110位于条120的一端,第一/全局选择栅140在共同源端;第二/按行选择栅160位于存储控制栅150的另一端、邻接位线接触。故160不位于对应串与同一140之间,两选择级也不在同一源侧。把160移到140内侧会改动说明书明确的阵列拓扑,不能以“常规替换”轻描淡写完成。
因此,CEA族虽同时证明“实体全局栅”“局部按行栅”“不同偏置”,却不能在同一空间关系中直接公开C/M,也没有给出把局部栅迁移至源侧的提示。
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特征 |
CN102148059A(主证,图6、14、15) |
三星族US20090310425A1(图1—11;图26—39另实施例) |
CEA族WO2010004047A1(图3、15、权1) |
结论 |
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A 柱相关电荷存储串 |
[0076]—[0081]、图3—5明确柱113、ONO电荷存储结构及竖直NAND串 |
竖直柱及沿柱形成的存储单元明确 |
多层条120形成3D阵列,但条沿衬底平行延伸 |
CN102/三星强;CEA弱对应 |
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B 源极栅装置耦合源极并控制导电 |
[0091]—[0096]、图7说明GSL电压在柱中形成至CSL的通道N1 |
下选择板LS_PT位于柱与源区之间并控制下选择晶体管 |
共同源极块110旁的第一选择栅140控制全部通道 |
三篇均有功能对应;“装置”数量解释仍需谨慎 |
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C 内层源选择装置在串与外层源栅装置之间 |
[0107]—[0109]、图14:GSL2x邻存储串,GSL1x邻CSL,空间顺序明确 |
只有一个源侧下选择级,不能单篇给出内外两级 |
第二栅160在存储区另一端,不在串与140之间 |
仅CN102直接明确双级顺序 |
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D 内层装置也控制导电 |
图15给GSL1x/GSL2x不同电压,二者共同决定源侧通断 |
单级下选择晶体管承担通断 |
第一栅和第二栅分别阻断/选行,但分处两端 |
CN102强 |
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L 多个串 |
图6的NS11—NS33及[0084]—[0086]明确 |
多柱阵列明确 |
m×p 通道明确 |
强 |
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M 每一串的内层装置分别位于对应串与同一外层装置之间 |
图14可读出每串交点GST及两层连续GSL,但[0085]仍称每串有自己的GST;共同栅层不当然等于一个晶体管装置 |
一个完整LS_PT供全部柱使用,但其物理意义仍是多个柱处下选择晶体管的共同栅;且无相邻内层级 |
有一个覆盖全部通道的140和多个160,但160位于相反端 |
三篇均不直接、无争议地满足;组合仍有结构改造与解释缺口 |
同一实施例方面,CN102的图14明确是对图6等效电路所示阵列的修改,图6又对应图3—5结构,证据链可闭合。三星图1—11的完整LS_PT与图26—39的制造变体不可任意拼成一个实施例;即使LS_PT本身是实体板,也仍只构成各柱交点晶体管的共同栅。CEA图3与图15属于同一阵列结构,但其两选择级分居两端,不能通过视图拼接改变。
· CN102148059A:约69%。 A—D、L及源侧双级最接近;M的“同一装置”是唯一实质争点。若审查者把连续GSL导电层本身解释为源极栅极装置,图14可能接近单篇覆盖;若按晶体管装置解释,[0085]的逐串GST表述反而支持多个装置。
· 三星族:不足60%。 实体LS_PT很强,但只有一个源侧选择级,不能单篇满足C/M。
· CEA族:约55%。 全局块与按行块明确,却位于相反端,且缺少目标意义的垂直柱。
组合动机可表述为:CN102已经提出两级源侧选择及差分偏置;三星族教导将靠近公共源的一层保持为覆盖所有柱的完整LS_PT,以减少图形化步骤并提供共同控制。两者均属竖直NAND、共同源端选择控制,技术领域和材料层级相容。
但反方有三项有力意见:(1)三星完整LS_PT仍只是多个下选择晶体管的共同栅,不能把共同电极拔高为单个晶体管“装置”;(2)CN102图15按行对外侧GSL1x施加不同电压,而三星全阵列完整板不能保持这种按行差分,替换会牺牲CN102选择方案;(3)三星后部图26—39属于不同制造实施例,不能与前部操作图随意拼接。故该组合虽可诉,尚不足75%。
· CN102+CEA族:约71%。 CEA可提供实体全局栅与局部栅不同偏置的动机,但局部栅在漏/位线端、通道为横向条。要补M必须迁移选择级并改造通道方向,后见之明风险高。
· CN102+三星族+US20100214839A1:约73%。 Guzzi文献[0120]—[0127]、[0135]—[0146]及图1明确同一平面NAND串源侧第一/第二选择晶体管;其操作段[0155]以后还给出一开一关等不同偏置。不过第三篇只能强化“双源侧级具有合理功能”,不能消除全阵列板与按行偏置冲突;三篇组合的拼接负担反而增加。
· CN102+US20110149655A1:约70%。 权利要求10—15支持每串至少两个接地选择晶体管及跨串对应连接,但共同连接依旧不等于一个实体外层装置。
按统一尺度,现有证据属于“高度接近但关键装置解释、组合相容性仍有实质争议”,本轮维持 74%,不人为跨越75%门槛。第4轮应停止泛搜“shared GSL”,只寻找截止日前同一附图/实施例同时出现:公共源端—跨多柱完整外板(一个实体装置)—逐行/逐串内层选择级—存储单元串,并明确外板为全局导通/屏蔽、内层为行或串选择,两级可施加不同电压。
优先路线:以H01L27/11582、G11C16/0483及其早期CPC/IPC邻组作分类交叉;反向追踪晚公开的US20110294290A1关于板状下部导电图形/多源选择线的优先权链和引证;追踪CN102、三星族、CEA族及Guzzi族的非专利引证、审查检索报告和同申请人早期族;重点申请人限定 Samsung、Toshiba、Micron、CEA、Hynix。以下仅为第4轮拟执行式,本轮未执行:
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语言 |
第4轮精确检索式 |
预设 Google Patents URL |
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中文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("源极侧串联选择栅层" OR "两个相邻源极选择栅层") ("全局源极栅板" OR "公共下选择板") ("逐行选择" OR "独立偏置") |
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英文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("serial source-side select gate tiers" OR "two adjacent source select gate layers") ("global source gate plate" OR "common lower select plate") ("row selection" OR "independent bias") |
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日文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("ソース側直列選択ゲート層" OR "隣接する二つのソース選択ゲート層") ("グローバルソースゲート板" OR "共通下部選択板") ("行選択" OR "独立バイアス") |
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韩文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("소스측 직렬 선택 게이트 층" OR "인접한 두 소스 선택 게이트 층") ("글로벌 소스 게이트 플레이트" OR "공통 하부 선택 플레이트") ("행 선택" OR "독립 바이어스") |
第4轮若仍只有“共同控制线+多个交点晶体管”或“相反两端选择栅”,不得据此上调概率;只有找到上述同端、相邻、差分功能且同一实施例的实体结构,才足以跨越75%。
本轮以第3轮经对抗复核后的 74%(合理区间72%—75%) 为基线,所有可用现有技术的公开日均要求严格早于2011年8月15日。权利要求9按 A—D+L+M 审查:A,电荷存储器件串与半导体柱相关联;B,一个源极栅极装置耦合源极并控制串通道至源极的导电;C,源极选择装置位于串与该源极栅极装置之间;D,该源极选择装置也控制导电;L,存在多个串;M,存在多个源极选择装置,且每一个分别位于对应串与同一个所述源极栅极装置之间。
本轮只有在同一实施例明确给出如下顺序时才视为跨越M的门槛:各垂直串 → 各自内层源极选择装置 → 同一外层common/global实体栅板或装置 → 源极;同时,内层承担逐串/逐行选择,外层承担全局接通或屏蔽,二者可独立偏置。共同控制线、单层板、相反两端的选择级,以及事后把多个交点晶体管整体化,均不算直接命中。
本轮沿 CEA 的 WO2010004047A1 家族之申请人、发明人、分类、优先权、引证及同族反向追溯,并对 Samsung、Toshiba、CEA 同期3D NAND文献作中、英、日、韩四语检索。新增的最接近证据为:(1)Toshiba 的 US20110169071A1/JP2011142276A,明确一个覆盖整存储块、跨多垂直柱的二维板状源侧选择导电层,但只有一个源侧选择级;(2)EP1019914A1/WO1999017294A1,明确同一源侧两个串联选择晶体管及不同偏置,但属于平面NAND,且没有一个跨多柱外层实体板。两类文献分别补强“外板”和“同端双级”,却仍未在同一实施例或具有直接提示的二篇组合中补足M。
第4轮最终综合无效成功概率维持74%,不人为上调;应进入第5轮。 最强可诉组合仍是 CN102148059A+US20090310425A1/CN101651144A(三星同族),本轮Toshiba文献可替代三星作外板证据,EP1019914A1只能辅助证明双源侧级及差分偏置的已知功能。
四个精确式均实际执行,并以 before=publication:20110815 作第一层过滤,再逐件核对全文页的公开日。精确式没有得到截止日前、同一实施例满足严格门槛的命中;随后实际扩展检索了 common/shared source gate plate/device、source-side gate electrode surrounding plurality of pillars、multiple per-string source select transistors、row/global source gate 及中日韩同义词,并交叉 H01L27/11582、G11C16/0483、H10B43/27 分类。扩展检索得到下述Toshiba和早期平面双级文献,但仍为阴性结构结果。
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语言 |
本轮实际执行的精确检索式 |
Google Patents 搜索URL |
结果 |
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中文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("源极侧串联选择栅层" OR "两个相邻源极选择栅层") ("全局源极栅板" OR "公共下选择板") ("逐行选择" OR "独立偏置") |
无合格精确命中;扩展检索回收CN102、三星族及Toshiba板结构。 |
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英文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("serial source-side select gate tiers" OR "two adjacent source select gate layers") ("global source gate plate" OR "common lower select plate") ("row selection" OR "independent bias") |
无严格命中;同义扩展得到US20110169071A1及EP1019914A1。 |
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日文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("ソース側直列選択ゲート層" OR "隣接する二つのソース選択ゲート層") ("グローバルソースゲート板" OR "共通下部選択板") ("行選択" OR "独立バイアス") |
无严格命中;日文扩展检索定位JP2011142276A,但仅单一源侧级。 |
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韩文 |
(H01L27/11582 OR G11C16/0483) ("소스측 직렬 선택 게이트 층" OR "인접한 두 소스 선택 게이트 층") ("글로벌 소스 게이트 플레이트" OR "공통 하부 선택 플레이트") ("행 선택" OR "독립 바이어스") |
无严格命中;三星韩国同族仍只有单一源侧下选择级。 |
17. 对 WO2010004047A1 的发明人 Thomas Ernst、Gabriel Molas、Barbara De Salvo、Stephane Becu,及申请人 CEA,以 NAND/select gate/global/local/row 与上述分类交叉检索,只找到该族及较晚的EP2461351A2等;未发现截止日前同源侧变体。该族仅有2008-07-10法国优先权和2009-07-10 PCT申请,未发现隐藏的更早公开母案。
18. 该族的中、日、韩同族/译文及其引证(包括JP2006155750A、JP2008078404A、JP2008103429A等)没有改变“第一全局栅在公共源端、第二按行栅在位线端”的相反两端结论。
19. 对 Samsung/Toshiba 的 entire memory block plate SGS、source-side conductive layer surrounding pillars、two source select transistors 作申请人及分类交叉,最接近者仍是单层板结构;US20110180866A1等U形柱结构亦只有每端一个选择级。
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
结论 |
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Structure and process for fabricating a microelectronic 3D NAND flash memory device |
2008-07-10 |
2009-07-10 |
2010-01-14;2011-04-06;2011-07-14 |
CEA族;全局实体栅与按行栅明确,但分处相反两端。 |
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Nonvolatile semiconductor memory device and method of manufacturing same |
2010-01-08 |
2010-03-19(US);2010-01-08(JP) |
2011-07-14(US);2011-07-21(JP) |
Toshiba;一个完整二维板状SGS跨多柱,但没有相邻内层源选择级。 |
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NAND-type floating gate memory device with dual source side select transistors and programming method |
1996-06-18 |
1998-04-10(PCT/EP;US为1997-09-30) |
2000-07-19(EP);1999-04-08(WO);1999-06-15(US) |
同一源侧双级和差分偏置强,但为平面串;没有跨多柱外层实体板。 |
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Nonvolatile memory device having vertical channel and method of manufacturing the same |
2008-06-11 |
2008-06-11 |
2009-12-17;2010-02-17;2009-12-16 |
既有主组合的板结构证据;仍只有一个源侧选择级。 |
· 说明书“First Embodiment [Configuration]”、图2—4记载多个存储晶体管沿堆叠方向串联成多个垂直NAND串,每串两端分别接SDTr和SSTr;图3又示每个块内多个串按行列排列。对应A、L。
· 图4及其紧随说明明确:源侧选择晶体管层20含导电层22;22既作为SSTr的栅又作为SGS,并在行、列方向二维扩展成板状、覆盖一个完整存储块。源侧孔24按矩阵贯穿22,柱状半导体层26竖直形成,22隔着绝缘层25环绕各柱。该处是本轮最强的“单一连续实体板跨多个柱”证据,对B及M中的外层物理形态证据强。
· 然而图2—4只示 源线SL—SSTr层20—存储串MS 一个源侧选择级。连续层22在各柱交点形成多个SSTr且共同驱动,文献没有另设逐串/逐行内层源选择装置,更没有 串→内级→同一外板→源。故C、D及M的两级关系未公开。
· 说明书Summary、图4—5及权利要求1明确:series select transistor连接NAND串最后一个存储晶体管,source select transistor再串接于该series select与array Vss之间,空间/电路顺序完全处在同一源侧。图4还示两个NAND串401、402分别具有403/404和405/406两只源侧晶体管,并共享SG2、SG3选择线。
· Summary及权利要求9、13分别要求向两栅施加高低不同电压;图8说明SG3加Vcc、SG2接地。故两个源侧级承担不同偏置/抑制功能,对C、D及“双级有技术动机”证据强。
· 决定性缺口:图4—5是衬底内横向平面浮栅NAND;两级均是每串晶体管,SG2/SG3只是共同控制线。没有垂直柱,也没有一个完整外层实体板跨多个柱。将其与Toshiba/三星板结构合并需要同时改变通道方向、选择级实体边界和分区,属于三篇式重构,不能据此直接满足M。
WO2010004047A1的图3、图15及权利要求1仍是最接近“一个实体全局栅+多个局部栅”的同一实施例:第一选择栅140为覆盖全部通道条120的实体块,m个第二选择栅160分别覆盖同列通道;操作图15显示第一栅连接全部 m×p 个晶体管,而AG1…AGm按行选择并施加不同偏置。但共同源块110与第一栅140在存储区一端,第二栅160在位线一端,中间隔着全部存储控制栅150。因此160不位于对应串与140之间;且主要实施例的通道条沿衬底平行延伸,不是垂直柱。其同族、引证及发明人链未发现可修正该拓扑的截止日前文献。
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特征 |
CN102148059A(图6、14、15) |
三星/本轮Toshiba板结构 |
EP1019914A1(图4、5、8;权1、9、13) |
CEA族(图3、15;权1) |
严格结论 |
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A 柱相关电荷存储串 |
强:柱113、ONO及垂直串 |
强:多垂直柱和电荷存储串 |
弱/无:平面浮栅串 |
弱:3D通道条但非垂直柱 |
主证已满足 |
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B 外层源栅装置耦合源并控制导电 |
强,但“一个装置”的实体边界有争议 |
强:完整LS_PT或板状22位于柱与源之间 |
有外侧source select,但非全局板 |
第一实体栅140邻共同源并控制全部通道 |
功能可满足;数量解释仍争议 |
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C 内层源选择装置在串与外层之间 |
强:图14双GSL层顺序 |
无:只有一个源侧级 |
强:同源侧串联双级 |
无:局部160在相反端 |
仅CN102直接给双级顺序 |
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D 内层装置亦控制导电 |
强:图15差分电压 |
无独立内层级 |
强:SG2/SG3不同偏置 |
两级均控制,但分处两端 |
主证已满足 |
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L 多个串 |
强 |
强 |
图4示至少两个串 |
m×p通道 |
满足 |
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M 每个内装置在对应串与同一外装置之间 |
中:每串交点明确,但连续外栅层是否一个“装置”不明 |
外板实体强,但缺内级 |
同端双级强,但两级均按串且无垂直全局板 |
实体全局+多个局部强,但局部在另一端 |
无单篇直接满足;组合仍有实质结构改造 |
同一实施例审查结论是:Toshiba图2—4内部一致,却只有一个源侧级;EP1019914图4—5内部一致,却没有垂直柱/外板;CEA图3与图15内部一致,却是相反两端。不能跨实施例或跨文献抽取三种优点后声称已经直接公开M。
· CN102148059A单篇:约69%。 A—D、L及源侧相邻双级最强;但图14的连续GSL层既可被解释为共同栅电极,也可被解释为多个柱交点GST的共同控制层。说明书没有清楚把外层限定成一个跨多个串的晶体管装置,M仍是决定性争点。
· US20110169071A1单篇:低于60%。 外板、垂直柱、多串强,但缺少第二源侧级。
· EP1019914A1单篇:低于55%。 同端双级明确,但无垂直柱、无同一外板。
· CEA族单篇:约55%。 全局实体栅、局部栅与不同偏置明确,但局部级在相反端,A也仅弱对应。
组合动机:CN102已经给出垂直NAND的相邻双源侧级及差分电压;三星LS_PT或Toshiba层22教导把公共源侧选择电极保持为覆盖多柱的完整板,以统一驱动并简化图形化。材料、层序和共同源端用途具有技术相容性。Toshiba图4对“板覆盖整个存储块”的表述比一般共同线更直观,可作为三星证据的等价替代或补强。
最强反方意见仍成立:(1)板状层是栅电极,文献在每个柱交点仍称一个SSTr,不能当然把多个晶体管合并为一个“装置”;(2)CN102图15需要按行给GSL1x不同电压,覆盖整个块的完整板无法保留该分区选择,替换不是简单等同;(3)三星/Toshiba只教单一源侧级,没有提示保持内层逐串装置而把外层改成同一实体;(4)权利要求9的语法“每一者……与所述源极栅极装置之间”支持非对称数量关系,后见之明地按电极层重定义装置会被攻击。
· CN102+Toshiba+EP1019914:约73%。 EP文献可证明同端双级及不同偏置本身早已知,Toshiba可证明外层整板,但需把平面双级、垂直外板、CN102分区控制三者拼接;没有文献给出“内层逐串、外层全局”的直接设计提示,三篇组合负担更高。
· CN102+CEA族:约71%。 CEA能补全局/局部不同分工,却要求把局部位线端栅迁移到公共源端并改变通道方向,属于明显拓扑重构。
· Toshiba+EP1019914:约68%。 表面上分别具备垂直全局板与同端双级,但需凭空决定哪一级保持连续、哪一级切分逐串,并解决独立偏置;不如以CN102为主证。
本轮新增文献提高了“完整外板”和“同源侧双级不同偏置”两个子命题的证据冗余,但没有找到把二者结合成权利要求9非对称结构的截止日前明确教导。按统一概率尺度,本轮仍属于“高度接近但组合动机和装置边界存在实质争议”,故最终综合概率严格维持74%(区间72%—75%)。低于75%,触发第5轮。
第5轮应进一步收窄到电路顺序和层级命名,而不再泛搜shared GSL:
20. 反向追踪晚公开但接近的US20110294290A1、US9659656B2等族的韩国优先权、审查检索报告、非专利文献和最早延续/母案;晚公开文本仅作线索,不能作现有技术。
21. 搜索明确序列 string → local/per-string SGS → global/common SGS plate → CSL,并交叉 SGS-L/SGS-G、inner/outer、row/global、first/second source select、independent bias。
22. 重点检索 Samsung、Toshiba、SanDisk、CEA、IMEC、Hynix 2007—2011年的日韩原文、IEDM/VLSI论文引证;若发现非专利文献,另核验2011-08-15前的公开可获得性。
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语言 |
第5轮拟执行精确式 |
Google Patents URL(本轮未执行) |
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中文 |
("多个垂直NAND串" OR "多个柱") ("第一源极选择栅板" OR "全局接地选择栅板") ("第二源极选择栅" OR "局部源极选择栅") ("对应串" OR "逐行") ("独立偏置" OR "不同电压") |
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英文 |
("plurality of vertical NAND strings" OR "plurality of pillars") ("first source select gate plate" OR "global ground select gate plate") ("second source select gate" OR "local source select gate") ("respective string" OR "row select") ("independent bias" OR "different voltages") |
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日文 |
("複数の垂直NANDストリング" OR "複数の柱") ("第1ソース選択ゲート板" OR "グローバル接地選択ゲート板") ("第2ソース選択ゲート" OR "ローカルソース選択ゲート") ("対応するストリング" OR "行選択") ("独立バイアス" OR "異なる電圧") |
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韩文 |
("복수의 수직 NAND 스트링" OR "복수의 필러") ("제1 소스 선택 게이트 플레이트" OR "글로벌 접지 선택 게이트 플레이트") ("제2 소스 선택 게이트" OR "로컬 소스 선택 게이트") ("대응 스트링" OR "행 선택") ("독립 바이어스" OR "상이한 전압") |
只有第5轮找到同一附图/实施例明确显示“各串—各自内级—同一外层实体板—源”,且内、外级承担不同选择/屏蔽功能,才足以把综合概率提升到75%以上;单纯共同控制线或另一个单层板命中不应提高概率。
权利要求9原文为:权利要求1所述设备中,所述串为多个串中的一者;所述源极选择装置为多个源极选择装置中的一者,其中多个源极选择装置中的每一者在多个串中的对应一者与所述源极栅极装置之间。本轮继续按 A—D+L+M 审查:A,柱相关联的电荷存储器件串;B,一个耦合源极并控制串至源极导电的源极栅极装置;C,源极选择装置位于串与该源极栅极装置之间;D,源极选择装置也控制导电;L,多个串;M,每个内层源极选择装置分别位于对应串与同一个所述外层源极栅极装置之间。
日期门槛为公开日严格早于2011年8月15日。申请日、优先权日不能代替公开日。结构门槛仍是同一实施例明确给出:各垂直串 → 各自内层源极选择级 → 同一外层实体源极栅板/装置 → 公共源极,并优选明确“内层局部选择、外层全局接通/屏蔽”的不同偏置。共线、单一选择级、相反两端、平面双级,均只作背景或排除,不直接提高概率。
本轮沿第4轮两类桥接文献——Toshiba 的 US20110169071A1/JP2011142276A(垂直多柱+单一源侧实体板)与 EP1019914A1/WO1999017294A1(平面同端双级)——追踪其申请人、发明人、引证/被引及 G11C16/0483、H01L27/115 的早期分类,并以日韩原文术语复核同期 Samsung/Toshiba/SanDisk 文献。新增最有价值文献是 US20050128807A1:其在同一技术方案中明确“每串同一端至少两个串联选择器+不同电压+跨阵列连续多晶硅选择栅条+三维SONOS NAND”。但是其三维结构是多层水平沟道条,连续栅条在多个串交点处形成的仍是多个选择晶体管的共同栅,不是一个跨多垂直柱的外层晶体管装置;因而只是更强的组合动机桥梁,仍不能直接补足M。
另发现 US20110147801A1 使用“global lower select line”字样,但全文明确该 G_LSL 位于连接区、每一条仅电连接一个栅图案,是上层互连线而不是第二个源侧选择晶体管/实体板。该文献是本轮最重要的术语陷阱,不能因为“global”名称而计入命中。
第5轮最终综合无效成功概率维持74%(合理区间72%—75%),未达到75%,应进入第6轮。 最可诉组合仍为 CN102148059A+三星 US20090310425A1/CN101651144A(或Toshiba US20110169071A1);US20050128807A1可作为同端双级、差分偏置及连续选择栅已知的辅助动机证据,但第三篇不能消除“同一装置”的权利要求解释与板级分区冲突。
以下四个精确式均已在 Google Patents 实际提交,并使用 before=publication:20110815 作第一层过滤;对候选再逐件核对全文页的公开日。四个精确式均无严格结构命中。随后以申请人/发明人、引证链及旧分类扩展,回收下述SanDisk/Matrix、Samsung与Toshiba文献。
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语言 |
实际执行的精确检索式 |
Google Patents 搜索URL |
严格结果 |
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中文 |
("多个垂直NAND串" OR "多个柱") ("第一源极选择栅板" OR "全局接地选择栅板") ("第二源极选择栅" OR "局部源极选择栅") ("对应串" OR "逐行") ("独立偏置" OR "不同电压") |
无同一实施例严格命中;扩展检索得到CN102110690A等板状存储栅文献,功能层错误。 |
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英文 |
("plurality of vertical NAND strings" OR "plurality of pillars") ("first source select gate plate" OR "global ground select gate plate") ("second source select gate" OR "local source select gate") ("respective string" OR "row select") ("independent bias" OR "different voltages") |
无严格命中;分类/被引扩展得到US20050128807A1和US20110147801A1。 |
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日文 |
("複数の垂直NANDストリング" OR "複数の柱") ("第1ソース選択ゲート板" OR "グローバル接地選択ゲート板") ("第2ソース選択ゲート" OR "ローカルソース選択ゲート") ("対応するストリング" OR "行選択") ("独立バイアス" OR "異なる電圧") |
无严格命中;Toshiba发明人链仍只有单源侧板结构。 |
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韩文 |
("복수의 수직 NAND 스트링" OR "복수의 필러") ("제1 소스 선택 게이트 플레이트" OR "글로벌 접지 선택 게이트 플레이트") ("제2 소스 선택 게이트" OR "로컬 소스 선택 게이트") ("대응 스트링" OR "행 선택") ("독립 바이어스" OR "상이한 전압") |
无严格命中;Samsung同期族的global lower select仍为互连或单级选择栅。 |
23. 以 G11C16/0483、旧 H01L27/115 与 multiple series select devices / continuous polysilicon stripes / global lower select line 交叉,沿 EP1019914A1 的被引链定位 US20050128807A1。其同族 WO2005057586A2、CN1906700A、JP2007513455A、KR20070003818A均源自同一2003-12-05美国申请;没有垂直柱变体。
24. 对Toshiba US20110169071A1的发明人 Tsuneo Uenaka、Kazuyuki Higashi及同期JP原文回溯,最接近者仍是JP2011142276A同族和U形串/单个源选择栅文献(如JP2011100921A);未见同一源侧双级。
25. 对Samsung的 Hansoo Kim、Jaehoon Jang、Wonseok Cho 等发明人及KR原词追踪,得到US20110147801A1、US20110065270A1及CN102110690A;前者的G_LSL是连接区互连,后两者偏重三维存储栅/制造,没有双源侧选择级。
26. 对晚公开近似族只能作线索回溯。没有找到能把晚于截止日的US20110294290A1/KR20110130916A之结构提前到截止日前公开的母案或非专利公开;该族仍不得作为现有技术使用。
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文献 |
标题、申请人/发明人 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
严格用途 |
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*Nand memory array incorporating multiple series selection devices and method for operation of same*;Matrix/SanDisk;En-Hsing Chen等 |
2003-12-05 |
2003-12-05 |
2005-06-16 |
同源侧多级、差分偏置、连续选择栅条、3D SONOS的桥梁;但水平沟道且无同一外板装置。 |
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US20110147801A1;同族CN102104034A |
*Three-dimensional semiconductor device and method of fabricating the same*;Samsung;Jae-Joo Shim等 |
2009-12-18 |
2010-11-24 |
2011-06-23(US;CN为2011-06-22) |
垂直柱、共源、一个lower select强;G_LSL只是连接区互连,不是第二选择级。 |
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三维半导体存储装置;Samsung;沈善一等 |
2009-11-17 |
2010-11-17 |
2011-06-29 |
图6A—6C有跨多柱板形子栅,但属于存储字线层;柱直接接共源,无源侧双级。 |
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*Three-dimensional semiconductor memory device and a method of fabricating the same*;Samsung;Sunil Shim等 |
2009-09-15 |
2010-08-17 |
2011-03-17 |
申请人/发明人链阴性结果;着重电荷存储层与制造,未给目标选择拓扑。 |
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*Memory having three-dimensional structure and manufacturing method thereof*;Hanyang |
2009-12-31 |
2010-12-31 |
2011-07-07 |
截止日前,但为多层水平有源层/沟道,没有垂直柱同端双级外板。 |
· 摘要、说明书关于图1及权利要求1、3、14记载多个NAND串102/104/106,存储晶体管具有SONOS/ONO电荷存储介质,且可构成衬底上方至少两层的三维阵列。对应“电荷存储串”“多个串”,但“3D”是多水平存储平面,不能等同于竖直柱。
· 说明书关于图9—12及图14明确:每串在远离位线的底端/共享偏置节点一端设两个或三个串联选择器,各器件可施加不同电压;一器件低于阈值确保关断,另一器件给较高电压以降低泄漏。图14又明确相邻串同一端均有两只选择器。权利要求1要求每串第一端具有多个串联选择器,权利要求3要求三维阵列,权利要求14要求电荷存储介质。这对C、D和“同端双级有常规动机”证据强。
· 背景及图1说明称选择线113、115可像字线一样以连续多晶硅条跨越阵列块,而无需分别接触各串选择晶体管。该处只能证明共同栅条。原文明言这些条连接“some but not all of the block select transistors formed in the NAND strings”,即条与各串交点仍形成多个晶体管,不是“一个外层源极栅极装置”。
· 图15的同一3D实现由水平沟道条402、ONO层404及与其正交的栅条406组成,形成水平薄膜晶体管串;没有穿过源侧栅板的多个竖直柱,也没有外层实体板至少部分包围多柱。因此A仅部分对应、B和M仍缺。把其连续条扩大成全块板、把水平条旋转成竖直柱并赋予内/外非对称数量关系,已非直接替换。
· 图9及说明记载垂直active patterns 180、common source互连CSL、信息存储元件ISE/电荷存储层CS,故A、L强。图6、图9说明至少一个lower select line LSL邻基底,作为ground select transistor之栅,控制CSL与active pattern 180之间连接,对B或C中的一个选择级有对应。
· 图15A、15B、15D及说明称global lower select line G_LSL位于connection region CNR的global interconnection structure中,连接上部互连240/250;每一条G_LSL“electrically … connected to one gate pattern GP”。所以G_LSL只是把外部信号引到已有LSL/栅图案的布线,不在柱周形成额外通道控制器,更没有串→内级→外级→源。
· 将“global”翻成“全局”后与目标外层装置作字面对应,会把互连与晶体管装置混为一谈;该文献不得提高M的覆盖评价。
· 图1—3与说明记载多个竖直型沟道图案115a/115b、数据存储层和共用源极区域130。图6A—6C又记载位于最上层线形子栅135au/135bu下方的同高度子栅横向接触,形成每层板形子栅235a/235b,确有“实体板跨多个柱”的物理形态。
· 然而这些板形子栅属于堆叠的存储单元栅/字线,最上层线形栅靠近位线/漏端;竖直沟道底端直接连接共用源极区域。不存在外层源极选择栅,更无相邻内层源选择器和独立局部/全局偏置。不能仅凭“板形”补B或M。
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特征 |
CN102148059A(既有主证) |
三星/Toshiba单板族 |
US20050128807A1 |
US20110147801A1 |
CN102110690A |
严格结论 |
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A 柱相关电荷存储串 |
强:图3—7、14 |
强:垂直多柱存储串 |
中:SONOS及3D强,但图15为水平沟道条 |
强:active pattern 180+ISE/CS |
强:竖直沟道115+数据存储层 |
主证满足;US2005不可补“柱”。 |
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B 一个外层源栅装置耦合源并控制导电 |
功能强,单数实体边界争议 |
物理板强,只有一个源侧级 |
弱:每串外选器及连续共栅条,不是一个装置 |
只有一个LSL;G_LSL为互连 |
无源侧选择栅 |
未找到无争议单数外装置+双级。 |
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C 内层源选择器位于串与外层之间 |
强:图14相邻双GSL |
无第二源侧级 |
强:每串同源侧至少两个串联选择器 |
无第二源侧级 |
无 |
CN102/US2005证明同端双级已知。 |
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D 内层也控制导电/不同偏置 |
强:图15 |
无独立内级 |
强:图9—12、14分别施压 |
仅单级 |
无 |
技术功能无大缺口。 |
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L 多个串 |
强:NS11—NS33 |
强 |
强:102/104/106 |
强:多个active patterns |
强:多个沟道115 |
满足。 |
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M 各内级分别在对应串与同一外级之间 |
中:外层连续GSL是否“同一装置”有争议 |
外板强但无内级 |
各串有多个选择器,共栅条仍对应多个交点晶体管;非垂直板 |
G_LSL仅互连;无两级 |
板层是存储栅;无两级 |
仍无单篇严格命中;组合需改变实体边界/分区。 |
同一实施例方面,US20050128807A1的电路图1、9—14与三维实现图15均由说明书明确可组合考虑,但图15本身锁定水平沟道条;不能从其“3D”概念抽象出竖直柱。US20110147801A1的LSL与G_LSL可在同一器件中出现,但后二者是“栅图案+其上层引线”的同一电极路径,而不是两个串联晶体管。CN102110690A图6板形栅与共源在同一实施例,但板形栅的存储功能不能改称源选择器。上述阴性判断均不是跨实施例遗漏,而是功能/实体类别不合格。
· CN102148059A:约69%。 A—D、L和源侧双级顺序最强;M仍取决于连续GSL层能否被解释为“一个装置”,而文中逐串GST表述支持反方“多个晶体管共栅”。
· US20050128807A1:约57%。 同端双级、差分偏置、多串和电荷存储均强;却没有竖直柱和同一外板装置,不构成新颖性攻击。
· US20110147801A1:约58%。 垂直多串、共源和一个下选择级强;G_LSL是布线,不是第二级,M明显缺失。
· Toshiba/三星单板族:不足60%。 外板和多垂直柱强,缺少第二源侧级。
组合动机仍可诉:CN102已给相邻双源侧选择层和差分偏置;三星LS_PT或Toshiba导电层22教导将公共源侧选择电极做成跨多柱完整板,以减少图形化和统一控制。二者均为垂直NAND、共同源端、环柱选择栅,材料与层序接近。
但反方意见仍足以阻止概率越过75%:(1)板是共同栅电极,交点仍是每柱一只选择晶体管,未必等于“一个装置”;(2)CN102图15外侧GSL1x按行差分,整块连续板会短接各行控制,替换会损害主证的选择功能;(3)单板文献没有提示保留内层逐串/逐行级并把外层改成单一全局装置;(4)权9的非对称语法——“多个内装置分别……与所述一个外装置之间”——可支持较窄解释。
US20050128807A1确实把“三维电荷存储NAND、同源侧多个选择器、不同电压、跨阵列连续选择栅条”连在一个公开中,比EP1019914A1更能说明双级选择控制可用于三维阵列。它可削弱“在3D NAND中增加第二源侧级没有动机”的抗辩。
然而它并未教导非对称实体层级:其每个串均具有多个选择器,连续条只是它们的共同控制电极;其3D通道又是水平条。要得到目标结构仍须从三星/Toshiba引入整板,决定只将外级全局化而保留内级分区,并解决CN102的按行偏置冲突。第三篇增加了拼接负担,却没有解决决定性装置边界,故不宜上调。
· CN102+US20110147801A1:约71%。 同领域、垂直柱与共源相容,但G_LSL是互连,不能补M;把“global line”当第二晶体管会遭直接原文反驳。
· Toshiba+US20050128807A1:约70%。 前者给垂直整板,后者给双级差分,但需把水平通道方案旋转成垂直柱,并自行决定哪一级连续、哪一级分区,后见之明明显。
· CN102+Toshiba+EP1019914A1/US20050128807A1:约73%。 三篇可分别证明双级、板和偏置是已知子概念,但没有一篇给出逐串内级+同一外板的组合指向;不如首选两篇组合简洁。
本轮新增US20050128807A1显著补强“在三维电荷存储NAND中采用同源侧多选择器及不同电压”的一般动机,但权利要求9的真正分水岭不是双级本身,而是多个内层装置与一个外层装置之间的非对称实体关系。新增Samsung文献反而说明“global lower select line”可能只是互连,不能依名称解决装置问题。依统一概率尺度,本轮仍是“高度接近且可诉,但组合和权利要求解释有实质争议”,最终维持 74%(区间72%—75%)。
第6轮应停止搜索一般的shared GSL,只做以下窄路径:
27. 以晚公开近似族US20110294290A1/KR20110130916A的韩国优先权案为线索,查其审查引用、检索报告、发明人同期申请及可能在2011-08-15前公开的会议论文;晚公开文本本身继续排除。
28. 对US20110147801A1、US20110169071A1和US20090310425A1发明人族作KR/JP全文复核,要求原文明示per-string/row lower select transistor与common/global lower select gate plate为两个串联通道控制级,而不是栅+引线。
29. 查2007—2011 IEDM、VLSI Symposium等Samsung/Toshiba/Hynix 3D NAND阵列论文,要求有公开可验证日期、截面或电路图,同时画出局部选择级、全局板级及两者不同电位;只有摘要不足以证明结构时不采用。
30. 继续交叉旧 G11C16/0483、H01L27/115、日方FI/F-term(含垂直存储串/下部选择栅细分类)与以下四语精确式。相反端、单级板、共线、平面双级继续不得上调。
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语言 |
第6轮拟执行精确式 |
Google Patents URL(本轮未执行) |
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中文 |
("垂直沟道" OR "半导体柱") ("每串第一下选择晶体管" OR "局部源极选择晶体管") ("共同第二下选择栅板" OR "全局源极选择栅板") ("各自偏置" OR "独立控制") ("共同源极") |
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英文 |
("vertical channel" OR "semiconductor pillar") ("per-string first lower select transistor" OR "local source select transistor") ("common second lower select gate plate" OR "global source select gate plate") ("separately biased" OR "independent control") ("common source") |
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日文 |
("垂直チャネル" OR "半導体柱") ("各ストリングの第1下部選択トランジスタ" OR "ローカルソース選択トランジスタ") ("共通第2下部選択ゲート板" OR "グローバルソース選択ゲート板") ("個別バイアス" OR "独立制御") ("共通ソース") |
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韩文 |
("수직 채널" OR "반도체 필러") ("각 스트링의 제1 하부 선택 트랜지스터" OR "로컬 소스 선택 트랜지스터") ("공통 제2 하부 선택 게이트 플레이트" OR "글로벌 소스 선택 게이트 플레이트") ("개별 바이어스" OR "독립 제어") ("공통 소스") |
只有找到截止日前、同一实施例、两个真实串联选择器级且外级本身为跨多柱实体装置的证据,才建议将概率提高到75%或以上;单纯增加“global/shared line”文献不应跨线。
本轮沿第5轮确定的四条窄路径实施:(1)反向追踪晚公开近似族 US20110294290A1/KR20110130916A 的审查引证、韩国优先权和截止日前会议公开;(2)复核 US20110147801A1、US20110169071A1、US20090310425A1 的发明人日韩同期族;(3)核验2007—2011年TCAT、BiCS及垂直NAND会议论文;(4)实际执行中、英、日、韩四语 Google Patents 精确式。公开日必须严格早于2011年8月15日。
权利要求9继续按 A—D+L+M 审查:A,柱相关电荷存储器件串;B,一个耦合源极并控制串至源极导电的源极栅极装置;C,源极选择装置位于串与该源极栅极装置之间;D,内层装置也控制导电;L,多个串;M,多个内层源极选择装置中的每一者分别位于对应串与同一个所述外层源极栅极装置之间。严格结构顺序为:各垂直串 → 各自内层选择装置 → 同一外层实体装置/板 → 公共源极。栅+引线、共同控制线、单个源侧选择级、相反两端、平面双级均不视为命中。
本轮核明:晚公开的 US20110294290A1 本身确有两层板状下部GSL,但公开日为2011-12-01,不能使用;其Google Patents所列六件审查员引证全部早于截止日,却没有一件公开同源侧两层选择板。最接近的 US20100163968A1 仅有源侧平板第一选择栅110和位线侧第二选择栅130,二者分处存储串相反两端;US20100181610A1 也明确每串只有一个lower selection transistor LST接公共源。
截止日前非专利文献同样阴性:2009年VLSI TCAT论文明确“六个NAND单元+顶部一个SSL+底部一个GSL”;2011年4月IRPS论文只研究超薄多晶硅沟道厚度、晶粒、迁移率和可靠性,没有第二源侧选择级或外层共同板的电路/结构教导。
第6轮无严格命中,综合无效成功概率继续维持74%(合理区间72%—75%),不得人为上调。 首选可诉组合仍是CN102148059A+三星US20090310425A1/CN101651144A(或Toshiba US20110169071A1);第6轮结果主要加固了检索完整性和排除链,并未消除“共同板是否一个装置”及“全局板与CN102按行偏置冲突”两项实质争议。
以下四个精确式均已实际提交至Google Patents,服务器正常返回;四语结果均为零精确命中。URL中的 before=publication:20110815 仅作初筛,所有候选仍逐件复核公开日。
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语言 |
第6轮实际检索式 |
Google Patents实际搜索URL |
结果 |
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中文 |
("垂直沟道" OR "半导体柱") ("每串第一下选择晶体管" OR "局部源极选择晶体管") ("共同第二下选择栅板" OR "全局源极选择栅板") ("各自偏置" OR "独立控制") ("共同源极") |
零精确命中;同义扩展回收CN102、三星单板族及晚公开近似族。 |
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英文 |
("vertical channel" OR "semiconductor pillar") ("per-string first lower select transistor" OR "local source select transistor") ("common second lower select gate plate" OR "global source select gate plate") ("separately biased" OR "independent control") ("common source") |
零精确命中;用晚族原句、分类和发明人扩展后得到下述审查引证。 |
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日文 |
("垂直チャネル" OR "半導体柱") ("各ストリングの第1下部選択トランジスタ" OR "ローカルソース選択トランジスタ") ("共通第2下部選択ゲート板" OR "グローバルソース選択ゲート板") ("個別バイアス" OR "独立制御") ("共通ソース") |
零精确命中;Uenaka/Higashi日文同期族仍为单源侧板。 |
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韩文 |
("수직 채널" OR "반도체 필러") ("각 스트링의 제1 하부 선택 트랜지스터" OR "로컬 소스 선택 트랜지스터") ("공통 제2 하부 선택 게이트 플레이트" OR "글로벌 소스 선택 게이트 플레이트") ("개별 바이어스" OR "독립 제어") ("공통 소스") |
零精确命中;韩国优先权/发明人扩展未找到提前公开母案。 |
实际扩展词包括晚族原句 lower gate conductive patterns … plate shape、ground selection lines … sequentially-stacked two or more conductive lines,以及 GSL0/GSL1/global/local/row 的中日韩译词,并交叉 G11C16/0483、H01L27/115及同期申请人。晚公开文本可由扩展检索命中,但加入截止日后没有出现其更早同结构版本。
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项目 |
核验结果 |
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标题 |
*Three-dimensional semiconductor memory device and method for manufacturing the same* |
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发明人/申请人 |
Toshiro Nakanishi、Choong Man Lee;Samsung Electronics |
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韩国优先权 |
KR10-2010-0050479,2010-05-28 |
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美国申请日 |
2011-05-27 |
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公开日 |
US:2011-12-01;KR:2011-12-06,均晚于截止日 |
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Google Patents |
其[0053]—[0060]及图1—3明确多个垂直active pillars AP、charge storage/data storage pattern、多个cell strings CSTR和公共源CSL;[0059]说明下部导电图案121、122用作GSL;[0060]进一步说明121、122可为plate shape,且用作GSL/SSL的导电图案可包括顺序堆叠的两条以上导电线。该证据非常接近“多柱穿过两层源侧选择板”。但它仍具有两个风险:(1)两层板在每柱交点形成多个GST,共同板是否等于单个“装置”仍有解释问题;(2)说明书强调等电位或线/板的可选形态,没有明确内层逐串/逐行、外层全局的不同偏置。更重要的是,其公开日晚于截止日,绝不能进入无效证据组合。
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审查引证 |
优先权日 |
公开日 |
证据核验与排除理由 |
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2003-02-11 |
2008-06-03 |
SanDisk 3D系统架构;多层水平存储阵列,未给垂直多柱同源侧双级板。 |
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2007-03-27 |
2008-10-02 |
SanDisk三维NAND制造;可有跨阵列共同源区,但主体为多存储层/沟道线,不公开两个相邻源侧选择器级。 |
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2008-06-04 |
2009-12-10 |
Samsung vertical-type semiconductor device,着重竖直器件接触/反型公共源;只见一个lower-most select gate。 |
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2008-12-31 |
2010-07-01 |
最接近:图1—3、说明书对应Google全文约第[0192]—[0213]、[0274]—[0295],源侧flat first selection gate pattern 110跨垂直开口,第二选择栅130为顶部平行线;二者分处公共源端与位线端,不是同源侧双级。 |
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2009-01-19 |
2010-07-22 |
图1—2及全文[0145]—[0157]:多个垂直串,每串一个lower selection transistor LST接CSL、一个upper selection transistor接位线;只有单个源侧级。 |
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2009-01-19 |
2012-02-21 |
US20100181610A1的授权文本;结构相同且B2本身晚于截止日,不构成新增证据。 |
六件均由审查员引用;该Google Patents页面没有列出非专利引证。韩国优先权案未显示在2011-08-15前公开的母案、临时公开或同结构分案。审查引证链因此不能把晚族结构的公开时间提前。
· US20110147801A1发明人链。 Jae-Joo Shim、Hansoo Kim、Wonseok Cho、Jaehoon Jang、Woojin Cho的同期族包括US20110065270A1、US20110092038A1及TCAT论文。US20110092038A1(优先权2009-10-19、公开2011-04-21)把最下层一个GSL置于公共源与字线之间;没有第二源侧级。US20110147801A1的G_LSL仍位于连接区,且每条只连接一个gate pattern,属于互连,不是串联晶体管级。
· US20110169071A1发明人链。 Tsuneo Uenaka、Kazuyuki Higashi的JP/US同期族仍以JP2011142276A/US20110169071A1的整块单一源侧导电层22为最接近;JP2011100921A等U形串文献同样只有一个源选择级。
· US20090310425A1发明人链。 Jae-Sung Sim、Jung-Dal Choi在截止日前与垂直NAND直接相关的强证仍是该族本身:LS_PT跨多柱但仅一个lower select;其他同期申请为平面NAND操作、材料或制造,未发现隐藏的双下选择板同族。
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文献 |
可验证公开时间 |
原文/图示核验 |
严格结论 |
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Jang等,*Vertical Cell Array using TCAT (Terabit Cell Array Transistor) Technology for Ultra High Density NAND Flash Memory*,2009 Symposium on VLSI Technology,pp.192—193 |
2009-06-16至18日会议 |
正文明确:cell string有six-NAND cell transistors,SSL transistor at the top and the GSL transistor at the bottom;图5为垂直SONOS串 |
A、L强;只有底部一个GSL,不能补C/M。 |
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Kim等,*Investigation of Ultra Thin Polycrystalline Silicon Channel for Vertical NAND Flash*,IRPS 2011,DOI 10.1109/IRPS.2011.5784464 |
2011-04-10至14日会议 |
摘要/正文主题为77—185Å多晶硅TFT沟道厚度、晶粒尺寸、ON电流、迁移率、亚阈值与可靠性 |
证明垂直NAND沟道工艺背景,不公开源选择级拓扑。 |
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Tanaka等,*Bit Cost Scalable Technology with Punch and Plug Process for Ultra High Density Flash Memory*,2007 VLSI |
2007-06-12至14日会议 |
BiCS垂直柱/多层存储概念;后续同期实现均采用单一源侧选择器 |
不提供两个源侧真实串联控制级。 |
会议论文具有截止日前可获得性,但内容门槛不合格。不得把“论文讨论垂直NAND”与专利的平面双源级事后拼成一个直接结构,也不得用后来的综述图替代会议原文。
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特征 |
CN102148059A(主证) |
三星/Toshiba单板族 |
US20100163968A1 |
TCAT 2009 |
晚族US20110294290A1(仅线索) |
结论 |
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A 柱相关电荷存储串 |
强:柱113、ONO、垂直串 |
强 |
强:垂直active pattern及电荷存储层 |
强:垂直SONOS串 |
强 |
截止日前主证满足。 |
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B 一个外层源栅装置耦合源并控制导电 |
功能强;单数实体边界争议 |
物理板强,只有一级 |
平板110邻公共源,但仍是各交点晶体管共栅 |
单一底部GSL |
两层板中外层很接近 |
合格证据仍没有“同一装置+双级”无争议表述。 |
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C 内层选择器位于串与外层之间 |
图14双GSL强 |
无第二源级 |
第二选择栅在相反/位线端 |
无第二源级 |
两个下部GSL有物理顺序 |
只有晚族接近,但日期排除。 |
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D 内层也控制导电/独立偏置 |
CN102图15强 |
无独立内级 |
两端选择,非目标内外分工 |
无 |
未明确局部/全局差分 |
截止日前由CN102满足功能,不解决M。 |
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L 多个串 |
强 |
强 |
强 |
强 |
强 |
满足。 |
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M 每个内装置在对应串与同一外装置之间 |
中:共同层是否一个装置争议 |
外板强但无内级 |
相反端 |
单级 |
形态接近但晚公开,且两板均可形成多个GST |
无可用单篇严格命中。 |
同一实施例审查方面,US20100163968A1确实在同一图1—3中给平板110和线形130,但存储单元层全部位于二者之间,不能把顶部130迁到源侧。TCAT论文的单GSL结论来自其实际器件图5而非摘要推测。晚族[0059]—[0060]虽是同一实施例,却因日期绝对排除,亦不能借优先权日或会议作者重合补救。
· CN102148059A单篇:约69%。 A—D、L及同源侧双级顺序仍最强;M取决于连续外GSL层是否可解释为单个装置,逐串GST表述为反方提供空间。
· US20100163968A1单篇:约58%。 垂直柱、源侧平板和多串明确,但只在源侧一个选择级;顶部第二级在串的另一端。
· TCAT 2009单篇:低于58%。 实际垂直SONOS器件和公开日期均可靠,但只有顶部SSL/底部GSL各一个。
· US20110294290A1:若日期合格,结构评价可达约72%—75%;但其公开日晚于截止日,法律上必须按0计入本案现有技术组合。
组合动机不变:CN102给相邻双源侧选择层和差分偏置;三星LS_PT或Toshiba层22给跨多柱完整板,均属垂直NAND公共源端,材料及工艺相容。
主要抗辩仍未被第6轮结果消除:(1)完整板只是多个交点GST的共同栅,不当然等于一个晶体管“装置”;(2)CN102图15要求外侧GSL1x按行施加不同电压,整块全局板会短接这些行;(3)单板族没有提示“外层全局、内层逐串/逐行”的非对称数量结构;(4)用晚族证明这种结构后来确曾提出,反而不能证明截止日前已经公开。
· CN102+US20100163968A1:约71%。 平板110可辅助实体板解释,但第二选择器在位线侧;迁移到源侧会跨越全部存储单元,技术改造显著。
· CN102+三星/Toshiba+TCAT 2009:约73%。 TCAT仅证明垂直SONOS及单GSL是实际可行方案,不能补双级非对称关系。
· CN102+三星/Toshiba+US20050128807A1:仍为74%。 第5轮桥梁证明三维NAND中同端多选择器和不同偏置已知,但水平共栅条仍非同一外层装置;第6轮没有找到能关闭该缺口的第三证。
因此本轮没有新的可诉组合可以合理超过既有首选组合。
第6轮已经把最接近晚族的审查引证、发明人同期族及会议公开逐层排除。按统一尺度,现有证据仍属于“高度接近,组合动机可诉,但装置边界与功能相容性存在实质争议”,故综合无效成功概率严格维持74%(区间72%—75%)。
第7轮不应再重复寻找一般two GSL/shared line,建议改向两类证据:
31. 权利要求解释证据。 查截止日前同行专利、技术词典和审查文书,寻找把一个连续source/ground select plate本身称为one select device/apparatus并同时承认每柱交点为晶体管的行业用语。若能证明权9“装置”合理涵盖连续栅层而非单只交点晶体管,CN102图14的单篇/两篇评价可能跨过75%。
32. 日韩审查档案而非全文关键词。 直接查KR10-2010-0050479、US20100163968、US20090310425、JP2011142276的KIPO/JPO/USPTO检索报告及审查意见中引用的图纸;重点看未进入Google正文引证表的韩国/日本公开和NPL。
33. 图纸反向检索。 以晚族图1—3的层号/原句121,122 lower gate conductive patterns、sequentially-stacked two or more conductive lines反向搜同申请人早期PCT、韩文论文、技术演示稿,而不是泛搜“global/local”。
34. 证明CN102分区兼容的背景证据。 搜一个实体板通过局部阈值、局部掺杂或附加内栅实现逐行选择的截止日前文献,以回应“整板会短接CN102按行偏置”的抗辩;该证据即使不直接补M,也可能提高组合相容性。
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语言 |
第7轮拟执行改向式 |
Google Patents URL(本轮未执行) |
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中文 |
("源极选择栅板" OR "接地选择栅板" OR "连续下选择层") ("一个选择装置" OR "单个选择装置") ("多个垂直沟道" OR "多个串") ("交点晶体管" OR "共同栅电极") |
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英文 |
("source select gate plate" OR "ground select gate plate" OR "continuous lower select layer") ("one select device" OR "a single select device") ("multiple vertical channels" OR "plurality of strings") ("intersection transistors" OR "common gate electrode") |
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日文 |
("ソース選択ゲート板" OR "接地選択ゲート板" OR "連続下部選択層") ("一つの選択装置" OR "単一選択装置") ("複数の垂直チャネル" OR "複数のストリング") ("交点トランジスタ" OR "共通ゲート電極") |
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韩文 |
("소스 선택 게이트 플레이트" OR "접지 선택 게이트 플레이트" OR "연속 하부 선택층") ("하나의 선택 장치" OR "단일 선택 장치") ("복수의 수직 채널" OR "복수의 스트링") ("교차점 트랜지스터" OR "공통 게이트 전극") |
第7轮只有在找到(a)截止日前直接的两级实体结构,或(b)足以把CN102连续外GSL层稳健解释为一个“装置”的同期行业/审查证据时,才有理由跨过75%;仅增加共同栅线、单板或晚公开文献仍不得上调。
本轮仅评价权利要求9,即权利要求1的特征A—D,加上:L“所述串为多个串中的一者”;M“源极选择装置为多个源极选择装置中的一者,且每一源极选择装置位于对应串与同一个源极栅极装置之间”。严格结构顺序为:
多个垂直电荷存储串 → 各串各自的内侧源极选择装置 → 同一个外侧源极栅极装置 → 源极。
本轮专门检索是否有截止日前文献把“连续环栅/板栅+多个柱通道”明确认定为一个 single/common multi-channel transistor/device,以避免把“共同控制线”事后等同于“一个装置”。所有采用文献的公开日均严格早于2011年8月15日。
结论:本轮未发现严格命中。综合无效成功概率仍为74%(合理区间72%—75%),未达到75%的启动门槛,应进入第8轮。 新发现中,US20100202206A1/CN101800224A明确“多个垂直NAND沟道+单一共用下选择栅线”,US20050145932A1明确“一个晶体管+多个垂直沟道+共同栅电极”,但两者分别缺少“一个装置”的身份和NAND源侧功能,不能通过拼接术语消除实质缺口。US20110018051A1则明确是每串多个串联GST/MOSFET及共用GSL,不是逐串内级之后的同一外层装置。
以下检索式均已在Google Patents提交,并使用 before=publication:20110815 限定公开日。四语精确短语未返回严格结构命中;随后核对同义词结果及申请人/同族页面,形成第三节候选。
35. 中文
精确式:("单一多沟道晶体管" OR "共同栅多沟道晶体管" OR "共享源极栅装置" OR "块源极栅晶体管") ("多个垂直柱" OR "多个NAND串" OR "多个沟道") ("共同源极" OR "源极线")
36. 英文
精确式:("single multi-channel transistor" OR "common-gate multi-channel transistor" OR "shared source gate device" OR "block source gate transistor") ("plurality of vertical pillars" OR "plurality of NAND strings" OR "plurality of channels") ("common source" OR "source line")
37. 日文
精确式:("単一マルチチャネルトランジスタ" OR "共通ゲート多チャネルトランジスタ" OR "共有ソースゲート装置" OR "ブロックソースゲートトランジスタ") ("複数の垂直柱" OR "複数のNANDストリング" OR "複数のチャネル") ("共通ソース" OR "ソース線")
38. 韩文
精确式:("단일 다중 채널 트랜지스터" OR "공통 게이트 다중 채널 트랜지스터" OR "공유 소스 게이트 장치" OR "블록 소스 게이트 트랜지스터") ("복수의 수직 필러" OR "복수의 NAND 스트링" OR "복수의 채널") ("공통 소스" OR "소스 라인")
· 标题:*Non-volatile memory devices including vertical NAND channels and methods of forming the same*(包括垂直NAND沟道的非易失性存储装置及其形成方法)。
· 申请人:Samsung Electronics;发明人包括KwangSoo Seol、Sukpil Kim、Yoondong Park。
· 优先权日:2009-02-10;US申请日:2010-02-05,公开日:2010-08-12;CN申请日:2010-02-09,公开日:2010-08-11。
· 直链:US20100202206A1;CN101800224A。
· 证据:摘要、发明内容及图3A—3E/图9B相关段落称,多个垂直NAND沟道可电耦合至“a single lower select gate line”,两个分离的上选择栅线与“a single common lower select gate line”配对;权利要求1明确多个相邻垂直NAND沟道耦合至单一选择栅线,权利要求15明确柱状沟道,权利要求18、21、22进一步限定下选择栅线耦合各垂直沟道及单一下选择栅线。CN摘要、说明书及对应权利要求使用“单一共用的下选择栅极线”。
· 同一实施例:是,但同一实施例只有一个源侧下选择级;分离的另一选择级位于上侧/漏侧。
· 严格评价:能证明一条连续/共用源侧选择栅线跨多个垂直NAND沟道,并共同控制导通;文献有意使用“line”,并未把多个沟道与该线共同组成的结构称为一个晶体管或一个源极栅极装置。其也没有在每串与该下栅线之间设置内侧逐串源极选择装置。证据强度:对A、D、L强,对B的“同一装置”仅中等偏弱,对C、M不足。
· 标题:*Vertical channel field effect transistors having insulating layers thereon and methods of forming the same*。
· 申请人:Samsung Electronics;发明人Tai-su Park、Eui-Joon Yoon、U-In Chung、Si-Young Choi、Jong-ho Lee。
· 优先权日:2003-02-19;申请日:2004-02-17;公开日:2005-07-07。
· 直链:US20050145932A1。
· 证据:发明内容明确“a transistor”可包括多个垂直沟道及延伸于各沟道侧壁的栅电极;图33及其说明把多个实施例并联,以一个跨越多个鳍/沟道的栅124和连接各沟道的宽平面源/漏区构成一个晶体管;权利要求13、19直接写明“A transistor comprising a plurality of vertical channels”,权利要求14限定连接多个沟道的平面区。
· 同一实施例:是;但这是一般垂直沟道FET,不是非易失NAND阵列。
· 严格评价:它直接支持“一个晶体管可以有多个垂直沟道”的器件称谓,却未披露电荷存储串、源侧位置、逐串内选择器或源极栅功能。图33把源/漏平面连接起来,若机械移植到需保持独立位线寻址的NAND串,可能造成通路合并,不能无争议地作为M的结构补足。证据强度:仅对“一个多沟道装置”概念强,对A—D、L、M整体弱。
· 标题:*Integrated Circuit Memory Devices Having Vertical Transistor Arrays Therein and Methods of Forming Same*。
· 申请人:Samsung Electronics/University of California;发明人包括Ji-Young Kim、Kang L. Wang、Yong-jik Park、Jeong-hee Han、Augustin Jinwoo Hong。
· 优先权日:2009-07-23;US申请日:2010-06-16;US公开日:2011-01-27;KR公开日:2011-01-28。均早于截止日。
· 直链:US20110018051A1;KR20110010045A。
· 证据:[0049]及图8A披露多个NAND串,每串在源侧具有GST 1406并接GSL/共同源线CSL;[0050]、图9—10把每串的GST替换为“a vertically-stacked array of ground select transistors”,且响应多条垂直堆叠GSL。权利要求7称NAND串包含垂直堆叠GST阵列;权利要求16、18明确每一选择结构含“a plurality of MOSFETs stacked sequentially”,多条导电线为这些MOSFET的栅电极。
· 同一实施例:是。
· 严格评价:该文献很强地证明同一串源侧可以有多个串联选择级及共同GSL/CSL,但文本把它们明确写成每串各自的多个GST/MOSFET;共同栅线没有被认定为位于所有逐串内装置外侧的“一个”多沟道器件。因此不是M的直接命中,也不比CN102148059A消除更多争议。证据强度:A、C、D、L强,B/M不足。
· 标题:*Hierarchical common source line structure in NAND flash memory*;申请人Mosaid Technologies;发明人Hong Beom Pyeon、Jin-Ki Kim。
· 优先权日:2007-12-21;申请日:2008-12-19;公开日:2009-07-02。
· 直链:WO2009079783A1。
· 证据:[0027]—[0028]、图1披露每串GST 108接局部CSL;[0032]—[0036]、图8—9披露一个CSL NMOS 804位于全局CSL与含多个NAND串的局部CSL之间;权利要求1—3、11—13把它称为向一个存储块传送GCSL信号的第一半导体开关/NMOS。
· 严格评价:拓扑上是“多个串→各串GST→共享局部CSL→一个块级开关→GCSL”,但开关804属于外围local switch logic,通过金属局部CSL与各串分隔,并非环绕/横跨多个半导体柱、直接控制这些柱导电的源极栅装置。故只能说明功能层级,不能补足被诉结构。证据强度:对宽泛电气拓扑中等,对A/B/M的实体结构弱。
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特征 |
CN102148059A(前轮主文献) |
US20100202206A1/CN101800224A |
US20050145932A1 |
US20110018051A1 |
WO2009079783A1 |
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A 垂直柱相关电荷存储串 |
明确 |
明确:垂直NAND沟道、存储单元 |
否:一般FET |
明确 |
NAND串明确,但非本案柱上结构 |
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B 同一源极栅极装置耦合源极并控制导通 |
部分:外层GSL连续性强,但“一个装置”身份有争议 |
部分:单一共用下栅线,仍称line |
仅概念:一个多沟道FET,无NAND源侧功能 |
否:每串多个GST、共同GSL |
部分:一个外围CSL开关,位置/结构不符 |
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C 内侧源极选择装置位于串与外侧源栅装置之间 |
明确相邻源侧两级 |
否:源侧仅一层 |
否 |
每串多级存在,但无共享外层装置 |
拓扑部分满足,隔着局部CSL且外层为外围开关 |
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D 内侧选择装置控制串导通 |
明确 |
下选择栅本身明确控制 |
否 |
明确 |
明确 |
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L 多个串 |
明确 |
明确 |
否 |
明确 |
明确 |
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M 每串各有内级,均位于对应串与同一个外层装置之间 |
关键缺口:外层可被解释为多个共线GST |
否:无内级且“线≠装置” |
否:无串/内级 |
否:每串多个GST,共线不等于一个装置 |
仅宽泛拓扑,外开关不是柱上源栅 |
不存在一篇截止日前文献在同一实施例中明确公开A—D+L+M,故本轮未形成稳健的新颖性攻击。
CN102148059A提供多个垂直电荷存储串、同一源侧相邻的两级选择结构及不同偏置/选择分工;US20090310425A1/CN101651144A的LS_PT完整导电板、或US20110169071A1的源侧导电层,提供跨多个垂直柱的实体板。降低源侧控制线数量、以整块统一接通/屏蔽多个串、改善制造对准与控制均匀性,可构成结合动机;二者同属截止日前垂直NAND且位于源侧,工艺概念总体相容。
反方最强意见是:连续板/共同栅电极在每个柱交点仍形成各自晶体管,板本身只是共同电极,不能当然等同于权利要求中的一个“源极栅极装置”;从主文献的多个共线GST重构成一个多沟道器件,可能改变器件边界和独立串导通路径,属于以本专利为蓝本的事后拼装。该组合维持约74%。
前者说明多个垂直NAND沟道可由“单一共用下选择栅线”控制,后者说明一个共同栅可与多个垂直沟道共同构成“一个晶体管”。可主张技术人员为减少选择线及统一源侧控制,会把CN102的外层共同栅实现为一只多沟道器件。
但该三文献组合存在两次关键跳跃:CN101800224A明确称“线”而不是装置;US20050145932A不是存储阵列,其宽源/漏区把各沟道并联,迁入NAND可能损害逐串独立寻址。三篇拼接仅能提供术语解释,不能证明当时技术人员会在CN102同一源侧、逐串内级之后实施同一外层器件。故不超过73%—74%,没有使总体概率上调。
US20110018051A1可加强“同一串源侧多级选择器”的常识,却反而明确每串为多个MOSFET,不能证明共享外层装置;WO2009079783A1可加强“逐串GST+单一块级源线开关”的层级动机,但外开关是外围电路而不是多柱源栅。两组均面临结构位置和器件身份的实质改造,成功率约70%—72%,弱于组合一。
· 新颖性:约60%—65%。没有单篇在同一实施例明确披露严格M。
· 创造性:约74%。最强仍是CN102148059A与连续源侧实体板文献的组合;本轮文献强化了“共同线”和“多沟道晶体管”分别已知,却没有把二者在垂直NAND源侧合并为同一个外层装置。
· 综合无效成功概率:74%(72%—75%)。按照统一尺度仍属于“存在实质缺口”,不得因连续GSL、共同控制线或宽泛功能拓扑人为上调到75%。
第8轮作为八轮上限的最终检索,应只找同一文献/同一实施例中同时出现的四个语义锚点:①明确称“一个晶体管/一个装置”;②该器件的共同栅与多个垂直NAND柱形成多个沟道;③位于源侧;④每串另有内侧源极选择晶体管。沿US20050145932A1、US20100202206A1/CN101800224A的Samsung发明人、KR10-2003-0010402、KR10-2009-0010546、同族和审查引证反查,并核对早期JPO/KIPO记录及可验证NPL。晚公开精确族只能用于术语解释,不能作为现有技术。
39. 中文:("单一晶体管" OR "单一源极选择装置") ("多个垂直NAND沟道") ("共同栅电极") ("每串源极选择晶体管")
40. 英文:("a single transistor" OR "single source select device") ("plurality of vertical NAND channels") ("common gate electrode") ("per-string source select transistor")
41. 日文:("単一トランジスタ" OR "単一ソース選択装置") ("複数の垂直NANDチャネル") ("共通ゲート電極") ("各ストリングのソース選択トランジスタ")
42. 韩文:("단일 트랜지스터" OR "단일 소스 선택 장치") ("복수의 수직 NAND 채널") ("공통 게이트 전극") ("각 스트링의 소스 선택 트랜지스터")
若第8轮仍无上述四锚点的截止日前同一实施例,依用户设定的八轮上限,应停止继续检索并以约74%的创造性攻击概率出具最终报告。
检索日期:2026年8月20日。截止日口径:仅采用公开日严格早于2011年8月15日的文献。
权利要求9为权利要求1的A—D,并增加:L“所述串为多个串中的一者”;M“所述源极选择装置为多个源极选择装置中的一者,其中多个源极选择装置中的每一者在多个串中的对应一者与所述源极栅极装置之间”。本轮按对抗性解释要求,目标拓扑为:
多个彼此可独立寻址的垂直电荷存储串 → 各串各自的内侧源极选择装置 → 同一个外侧源极栅极装置 → 源极。
本轮只把下列结构视为可能补足M的“同一个装置”:文献在同一实施例中明确把结构称为一个 device/transistor,由一个连续栅体控制多个彼此电隔离的垂直通道;每个通道的串侧端仍分别连接对应NAND串,不因共同栅体而短接。仅有共同栅线、共同控制信号或多个共线晶体管,不视为一个装置。
结论:未发现严格命中。 新增最接近的US20070111409A1证明“同一只NMOS晶体管内,源/漏和沟道分支可彼此隔离”,但它是平面SOI器件,且其栅电极被隔离结构“实质分割”;CN101556955A/US20090256149A1证明垂直沟槽阵列可保留独立上端支路而共用下端及控制栅,但原文明确称为“多个MOSFET”;US20050145932A1虽明确“一只晶体管具有多个垂直沟道”,其两端平面区却将各沟道并联,移植到NAND会短接各串。最强无效组合仍未消除“单一外层装置”及不短接相容性争议,综合无效成功概率严格维持74%(合理区间72%—75%),应进入第9轮最终补充检索。
下列四式均已在Google Patents实际提交,并带有 before=publication:20110815。四个严格式页面均显示0项精确结果;之后仅以同义词、专利号和同族页核验边界文献。0项结果只说明完整短语交集没有命中,不等于不存在概念相关文献。
43. 中文
检索式:("多通道晶体管" OR "多个垂直沟道晶体管" OR "环绕栅阵列") ("共同栅极" OR "单一连续栅体") ("独立漏极" OR "电隔离沟道") ("源极选择" OR "块选择")
44. 英文
检索式:("multi-channel transistor" OR "multiple vertical channel transistor" OR "surrounding gate array") ("common gate" OR "single continuous gate body") ("independent drains" OR "electrically isolated channels") ("source selector" OR "block selector")
45. 日文
检索式:("多チャネルトランジスタ" OR "複数垂直チャネルトランジスタ" OR "サラウンドゲートアレイ") ("共通ゲート" OR "単一連続ゲート体") ("独立ドレイン" OR "電気的に分離されたチャネル") ("ソース選択" OR "ブロック選択")
46. 韩文
检索式:("다중 채널 트랜지스터" OR "복수 수직 채널 트랜지스터" OR "서라운드 게이트 어레이") ("공통 게이트" OR "단일 연속 게이트 몸체") ("독립 드레인" OR "전기적으로 절연된 채널") ("소스 선택" OR "블록 선택")
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文献 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
本轮作用 |
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US20070111409A1,*Semiconductor device* |
2005-11-15 |
2006-11-02 |
2007-05-17 |
一只NMOS内独立源/漏及隔离沟道分支;平面且栅体连续性不明确 |
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CN101556955A / US20090256149A1,*Structure for measuring body pinch resistance of high density trench MOSFET array* |
2008-04-10 |
CN:2009-03-26 |
CN:2009-10-14;US:2009-10-15 |
垂直沟槽阵列、独立上端、公共下端/共控;但明确是多个MOSFET |
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US20050145932A1,*Vertical channel field effect transistors…* |
2003-02-19 |
2004-02-17 |
2005-07-07 |
明确一只晶体管含多个垂直沟道;两端并联会短接NAND串 |
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CN102148059A,*非易失性存储器件及其操作方法和系统* |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
既有最强主文献,提供A—D、L及有争议的M |
· 同一实施例:图1—5的半导体器件100、NMOS晶体管N1。
· 直接原文:说明书称,The NMOS transistor N1, in which the source-drain region is divided into two parts along the gate width, is configured of an arrangement of two independent source regions 22 and an arrangement of two independent drain regions 23. 部分沟槽隔离膜PT横穿栅G1下的沟道区,并将相邻源区、漏区及相应沟道分开;权利要求1以一个“MOS transistor”为主语,限定一个栅电极及把第一半导体区沿栅宽分成多个部分的部分沟槽隔离。
· 有利点:它直接反驳“一只晶体管内部的多个电流分支必然共用、短接全部端点”的绝对命题;分支可保留各自源/漏区。
· 致命不足:这是平面SOI逻辑MOS,不是垂直柱、NAND存储串或源侧选择结构;更重要的是,另一实施例原文称隔离膜使栅电极G1沿栅宽“substantially divided”。因此它没有无歧义披露“一个物理连续栅体围绕多个垂直独立沟道”。与CN102结合仍需同时完成平面转垂直、逻辑FET转NAND源栅和栅体连续化三项改造。证据强度:对“一个晶体管可含隔离支路”中等偏强;对A—D、L、M整体弱。
· 同一实施例:权利要求1—6及图3A—3B所示2D沟槽MOSFET阵列16。
· 直接证据:共同漏基层14位于衬底上;多个源极—体区柱101、201、301与绝缘栅沟槽柱102、202、302、402交替布置。说明书明确称“若干沟槽MOSFET具有利用共漏基层14形成的共用漏极”,且“大量沟槽MOSFET分别具有独立源极—体区圆柱”;相邻沟槽MOSFET共享控制栅。权利要求5、6还设置两个或四个相应接触电极/端口。
· 有利点:展示垂直导电支路可以保留独立的顶部连接,同时共用底部导电层和栅控制,不发生串侧端点整体短接。
· 致命不足:文献反复、明确地把阵列定义为“多个/大量沟槽MOSFET”,共同栅接触只说明电连接或共同偏置,不能反向证明它们合成一个晶体管或源极栅极装置;且其为功率器件测试阵列,没有电荷存储串、内外两级选择器或源侧位置。证据强度:对“不短接的垂直共控支路”强;对“一个装置”及A—D、M弱。
· 同一实施例:图33及权利要求13—14、19。
· 直接原文:发明内容及权利要求13写明 A transistor comprising a plurality of vertical channels;权利要求19限定沿各垂直沟道侧壁延伸的栅电极。图33以跨多个鳍112的栅124和宽平面区形成一只并联多沟道晶体管。
· 致命不足:说明书明确该晶体管由多个实施例晶体管并联以提高驱动能力;至少一个平面区连接多个垂直沟道,图33两侧的宽平面区把各鳍端点并接。若把每个鳍的上端分别接到不同NAND串,它会把这些串的源侧节点短在一起,破坏逐串选择及独立位线寻址。它也没有存储串及串联内选择器。因此不能用“一个晶体管”标签掩盖电气不相容。证据强度:对“单一多垂直沟道晶体管”强,对M的可实施结构弱。
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特征 |
CN102148059A |
US20070111409A1 |
CN101556955A/US20090256149A1 |
US20050145932A1 |
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A 柱相关电荷存储串 |
明确:[0076]—[0081]、图3—5,柱113/ONO及垂直NAND |
否,平面逻辑MOS |
否,功率沟槽MOSFET |
否,一般垂直FET |
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B 源极栅极装置耦合源并控制导通 |
部分明确:[0091]—[0096]、图7;争议在“同一个装置” |
仅一只多支路NMOS概念,无源侧功能 |
公共下端及共控明确,但文本是多个器件 |
一只多沟道FET明确,但无NAND源侧功能 |
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C 内侧源极选择装置在串与外级之间 |
明确:[0107]—[0109]、图14的GSL2x/GSL1x相邻两级 |
否 |
否 |
否 |
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D 内级控制串导通 |
明确:图15不同偏置;说明书操作段落 |
否 |
否 |
否 |
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L 多个串 |
明确:图6的NS11—NS33及阵列说明 |
否 |
仅多个功率支路,不是存储串 |
多个沟道,但不是多个串 |
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M 每串各一内级,之后为同一个外级装置 |
结构顺序强;外层连续GSL究竟是一个装置还是多个共线GST仍有争议 |
独立支路有利,但平面、栅体可能被分割、无两级 |
不短接有利,但原文明称多个MOSFET、无两级 |
“一个装置”有利,但端点并联短串、无两级 |
没有一篇截止日前文献在同一实施例中直接、无歧义地披露A—D+L+M,故本轮仍没有稳健的新颖性攻击。
仍是最强组合。CN102给出多个垂直NAND串、源侧相邻两级及局部/外层不同偏置;Samsung的LS_PT或Toshiba源侧导电层提供跨多个柱的实体板。减少选线、统一外级接通、改善工艺对准及偏置均匀性提供结合动机,同属垂直NAND源侧结构,工艺大体相容。
抗辩仍未被本轮消除:完整板在每个柱交点形成各自沟道/晶体管,共同板或共同控制线未必就是权利要求单数的“一个装置”;全阵列板还会与CN102按行对外层GSL1x施加差分偏置的功能冲突。把板切分则回到多个装置,把板保持全局则牺牲CN102局部选择功能。
可主张技术人员已知一只MOS晶体管内部可设置相互隔离的独立源/漏支路,因此将CN102的连续外层栅解释或实现为一只多支路器件,不必短接各串。
反方可有力指出:US20070111409是平面SOI且栅本身可能被实质分割,没有跨多个垂直柱的连续板,也没有NAND或两级源选择。组合不是简单替换,而是借被无效专利重构器件边界。该组合约72%—73%,弱于组合一。
三篇可分别提供CN102的两级NAND拓扑、“垂直独立支路+公共下端/共控”和“一只多垂直沟道晶体管”用语。但两篇桥梁文献的技术教导互相拉扯:前者以多个MOSFET保持分支,后者通过并联端点形成一只晶体管。要同时取得“单一装置”和“不短接”,必须舍弃各自定义性结构,属于三篇事后拼接,约70%—72%。
· 单篇新颖性:约60%—65%。CN102最接近,但M的“同一个外层装置”仍非无歧义直接公开。
· 创造性:74%。组合一具备明确技术背景和实体板桥梁,仍有装置边界与偏置功能相容性的实质争议;本轮新文献只分别证明“单一装置”和“不短接”,未在同一垂直NAND实施例中合一。
· 综合无效成功概率:74%(72%—75%)。按统一尺度仍处于实质缺口区间,不能因共同栅、连续导电层或一个多沟道功率FET的宽泛概念人为上调。
第9轮应改变方向,不再重复寻找极罕见的字面“single multi-channel vertical NAND transistor”,而转向截止日前文献对器件边界的明确定义:一个单数 source select device / selector device / power MOSFET device 可由多个晶体管单元或多个独立电流支路组成,这些支路由同一连续栅体/板统一控制,但串侧端子分别保留。同步追查CN103782344B对应族的审查档案、说明书内在定义及其引用文献,判断“device”在本专利语境是否天然涵盖多个共栅晶体管单元;晚公开文件仅作术语线索,不能作为现有技术。
最终轮接受门槛:同一截止日前实施例必须明确(1)单数装置身份;(2)装置包含多个晶体管单元/电流支路;(3)共同且优选连续的栅电极/板;(4)各支路串侧节点独立,不被公共源/漏平面短接;(5)最好明确用于多个NAND串源侧并位于逐串内选择级之后。仅“共同线”“多个GST共线”或功率MOSFET共用全部源漏,仍不计入。
47. 中文:("源极选择装置包括多个晶体管" OR "选择器件包括多个晶体管单元" OR "一个MOSFET器件包括多个晶体管单元") ("共同栅电极" OR "共用栅板") ("独立沟道" OR "独立漏极")
48. 英文:("source select device comprises multiple transistors" OR "selector device includes a plurality of transistor cells" OR "single MOSFET device comprises multiple transistor cells") ("common gate electrode" OR "shared gate plate") ("independent channels" OR "independent drains")
49. 日文:("ソース選択装置は複数のトランジスタを含む" OR "選択装置は複数のトランジスタセルを含む" OR "一つのMOSFET装置は複数のセルを含む") ("共通ゲート電極" OR "共有ゲート板") ("独立チャネル" OR "独立ドレイン")
50. 韩文:("소스 선택 장치는 복수의 트랜지스터를 포함" OR "선택 장치는 복수의 트랜지스터 셀을 포함" OR "하나의 MOSFET 장치는 복수의 셀을 포함") ("공통 게이트 전극" OR "공유 게이트 플레이트") ("독립 채널" OR "독립 드레인")
若最终轮仍没有满足上述门槛的截止日前同一实施例,应依八轮补充检索上限停止继续扩展,并以约74%的创造性攻击概率完成最终汇总;不应把共同控制线拔高为单一晶体管装置。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim9\round1.md;_research\claim9\round2.md;_research\claim9\round3.md;_research\claim9\round4.md;_research\claim9\round5.md;_research\claim9\round6.md;_research\claim9\round7.md;_research\claim9\round8.md;_research\claim9\round9.md
反近。citeturn421762view0turn752669view0turn323758view1
## 一、结论先行
我的检索结论是:
| 技术特征 | 检索结论 | 最佳中文文献 | 成功公开概率 |
| L:所述串为多个串中的一者 | 已被大量早期 NAND 文献直接明确公开 | 日:2004-08-11**,显著早于 2011-08-15。citeturn421762view0 |
### 2. 对技术特征 L 的公开
该文献首先明确说明 NAND 阵列并非只有一条串,而是在位线方向及字线方向布置**多个具有相同电路结构的 NAND 串**。citeturn421762view0
在实施例中又进一步明确:
> “多个NAND串5j、5j+1、5j+2……”形成存储单元组件。
并进一步说明在行方向配置多个 NAND 串。citeturn752669view0turn323758view1
因此:
**L:“所述串为多个串中的一者”——属于直接、明确、无实质争议的公开。**
我给 L 的公开概率 **99%以上**。
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# 三、CN1519938A 对 M 的关键公开
这是本轮检索最有价值的发现。
### 1SG22**。citeturn323758view1
而且不是简单并列两个器件。文献明确解释其电学关系:
> 位线侧和源线侧均由两个栅极构成选择晶体管,**两个选择晶体管实质上串联**。citeturn752669view0
这点非常关键。
因此源极端实际拓扑可以抽象成:
**NAND存储单元串 → SG21 → SG22 → 公共源线CS**
文献进一步明确:
- SG21 的栅极接 **SGS1**;
- SG22 的栅极接 **SGS2**;
- **SG22 的源极连接公共源线 CS**。citeturn323758view1
所以从拓扑关系上看:
> 对应 NAND 串 → 内侧源极选择器件 SG21 → 外侧源极栅控器件 SG22 → 公共源线
与 M 要求的:
> 对应串 → 源极选择装置 → 源极栅极装置
高度吻合。
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# 四、L可以为两个**。citeturn323758view1
因此这不是根据附图“猜出来”的,而是说明书正文明确的实施方式。
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# 五、第二
申请人:Micron Technology
公开日:**2010-12-08**。citeturn323758view2
这篇文献特别值得保留,因为它已经进入与目标专利相当接近的 NAND/三维结构技术背景。
它明确公开:
- NAND 存储器阵列包含 **NAND串206₁~206M**;
- 每一 NAND 串具有电荷存储晶体管;
- **每一 NAND 串的”。citeturn323758view3
因此 M 的:
> “所述源极选择装置为多个源极选择装置中的一者,其中多个源极选择装置中的每一者对应多个串中的一者”
在 CN101911297A 中几源极栅极装置之间”**。citeturn323758view3
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# 六、其他有效中文对比文件
| 文献 | 公开日 | 关键公开 | L | M贡献 | 价值 |
| CN1519938A | 2004-管。公开日为 2008-07-02。citeturn857399search0 |
因此它对 L 和 M 的“一串对应一个源极选择器件”非常直接。
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### CN1777960A
公开日 **连接至源线;SGS 用来控制这些源极端选择门。citeturn857399search2
所以:
**L明确公开,M前半段明确公开;M后半段缺少第二独立source-gate器件。**
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### CN1371101A
公开日早至 **2002-09-25**。
该文献明确记载:
- 单元阵列110含**多个NAND串112**;
- 每个 NAND 串包含第二选择晶体管栅极连接GSL。citeturn857399search1
这进一步证明,在 2011 年以前:
> “多个 NAND 串 + 每串相应设置一个源极侧选择装置”
已经完全属于成熟架构。
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### CN101681677A
公开日 **2010-03-24**。该文献公开每个块包含 NAND 存储器单元串;接地选择装置28通过GSL控制citeturn872095view0
同样强力支持 L 及 M 的“多个对应源极侧选择装置”。
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# 七、为什么 CN1519938A 明显优于普通 NAND 文献
普通早期 NAND 结构通常只是:
**串 → SGS → 公共源线**
例如:
-侧选择晶体管**实质上串联**。citeturn752669view0turn323758view1
所以它是本轮中文检索中真正能向 M 最后一段推进的文献。
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# 八、唯一需要谨慎的“source gate device”解释问题
这也是我不把 M 直接评价成 99% 的原因。
CN103782344B 所属 Mic导通,并由相应 source gate devices 表示。citeturn252631search0turn252631search1
后续同族权利要求也明确把二者区分:
- source gate device 耦合到 source;
- source select device 则**耦合在电荷存储串的沟道与 source gate device 之间**。citeturn252631search3
因此,被无效专利权人最有可能提出的反驳是:
> CN1519938A 的 SG22 仍然只是“第二源极选择晶体管”,并不是 CN103782344B 所定义的特殊“源 串重复这种结构。citeturn752669view0turn323758view1
对于专利新颖性/创造性比对而言,通常应首先看**技术结构及功能,而非名称是否完全一致**。
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# 九、一个很有价值的旁证
我接对应 NAND 串第一存储晶体管。citeturn978624search0turn978624search5
也就是非常清晰的:
**NAND串 → source select gate 210 → source select gate 211 → common source**
其权利要求甚至明确写第二select gate:
> “coupled in series with the first select gate and interposed between the first select gate and a source line”。citeturn420333view0
这不是本次要求的“中文专利文献”,所以我**不把它计作本轮主要中文证据**;但它说明“双源侧串联栅”在 2011 年以前确属成熟 NAND 技了**“每一”“对应NAND串”**这样的表述。citeturn323758view3
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# 十一、最终概率评估
我建议不要把“是否找到文献”和“最终无效机关是否接受术语对应”混成一个数字。
| 判断层级 | 概率 |
|这一解释风险。memcite
##者位于电荷存储串与后者之间。citeturn223977view0
**结论是:L 基本可以确认属于截止日前已经充分公开的常规结构;M 的“多个串—每串对应一个源极选择装置”同样有非常充分的韩文专利证据。M 真正有争议的仅剩最后半句——第二个源侧串联选择器件能否被读取为目标专利的其操作方法”。citeturn154108view0
该文献首先明确,一个存储块包含**多个 NAND strings**,并且块选择信号被路由到块中的**每一个 NAND string**。citeturn834583view0
更关键的是,其明确披露:
> 对于**每一个 NAND string**,一端具有第一组选择器件;另一端具有**至少两个 block selection devices**,该至少两个器件把 NAND string 的另一端耦合到 shared bias node。citeturn497950view0
而说明书进一步明确,该 shared bias node 101 可以是 **global source line**。citeturn497950view2
因此其源侧结构可以抽象为:
**NAND stringᵢ → 源侧选择器件1ᵢ → 源侧选择器件2ᵢ → global source line**
并且不是只针对一个串,而是整个阵列包括多个串,权组选择器件。citeturn497950view1
这与 M 所要求的拓扑:
**stringᵢ → source select deviceᵢ → source gate device → source**
已经非常接近09-30。** citeturn997104view0
该文献的核心技术恰恰是 **dual source side select gate**。其 NAND string 的源侧端部;其中 series select transistor 直接连接 NAND string 最后一只存储晶体管,source select transistor 再连接 array Vss。** citeturn834583view1
而且在双 NAND 单元的实施例中,Google Patents 的韩文/英文文本进一步明确:NAND cells 401、402 **各自具有两个串联的源侧选择晶体管**,分别为 403/404 和 405/406,并把存储晶体管连接到接地电源;靠外的 source-select transistor 再连接 Vss。citeturn327965view2
对应关系可以直接写成:
**NAND stringᵢ → series select transistorᵢ → source00068454A,Micron,公开日 2010-06-23,优先权日 2007-10-18。** citeturn997104view1
该文献明确披露存储阵列包括:
**NAND strings 206₁~206M**,每一个 NAND string 的存储晶体管位于“一个或多个 source select gates”和“一个或多个 drain select gates”之间。citeturn834583view2
随后有一句对 M 极有价值的明确公开:
> 如果对于一个给定 NAND string 使用多个 source select gates,则这些 source select gates **串联连接在该 NAND string 的第一存储晶体管与 common source line 216 之间**。citeturn327965view3
因此它给出的结构实际上是:
**NAND stringᵢ → source-select gate Aᵢ → source-select gate Bᵢ → common source line**
这一结构对 M 的技术实质非常强。
不足仍然是:该文献把两个器件都称为 **source select gate**,没有把第二个特别称作 **source gate device**;而且“多个 source select gates”采用的是可选式表达。
**评价:★★★★☆~★★★★★。**
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## 四、3D NAND 背景最接近的两篇韩国文献
特别值得保留 **KR20100082319A**。其公开日为 **2010-07-16**,申请人为 Toshiba。citeturn997104view2
它明确披露:一个 memory block 包括多行、多列的 **memory strings MS**,并且具有**分别连接到每一个 memory string 一端的 source-side select transistors SSTr**。citeturn834583view3
更进一步,每个 SSTr 的一端连接相应 memory string,另一端连接第一 source line;这些 source line 又跨多个 memory strings 共用。citeturn327965view4
而且这是相当接近目标专利技术背景的立体结构:source-side select transistor layer、垂直柱状半导体层等均有明确公开。citeturn327965view4
所以它对:
**L + M 中“多个串分别对应多个源极选择装置”**
的公开质量非常高,但它在 SST 与 source 之间接的是**source line**,而不是第二个 source-gate transistor,因此不能单独完整覆盖 M 最后一段。
另一个非常值得保留的是 **KR20100087743A**,公开日 **2010-08-05**,同样来自 Toshiba。citeturn997104view3
该文献是明确的垂直/柱状 NAND 结构,每个 memory string 包括 U-shaped semiconductor、word lines、source-side selection gate,并进一步明确:
**each memory string MS includes ... a source side select gate transistor SSTrₘₙ ...,这些晶体管串联在 memory string 的路径中。** citeturn497950view3
因此,这篇也是证明 L 以及 M“每串一个对应源极选择器件”的优质 3D NAND 证据,但仍缺少目标 M 所要求的第二层独立“source gate device”。
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## 五、补强文献
**KR20060074179A**,公开日 **2006-07-03**。citeturn997104view5
它公开了源侧:
**memory cells → first dummy transistor → source select transistor → ground**
即在普通 source-select transistor 和存储串之间还插入了一个晶体管。citeturn902497view0
结构方向与 M 很接近,但第一 dummy transistor 的作用和名称都不属于典型 source-select device,因此证据力度明显低于前三篇。
**KR20050097595A**,公开日 **2005-10-10**。citeturn997104view6
其公开多个 cell strings 共用 word lines,每个 string 连接 source-select transistor,source-select transistors 又连接 common source line;还明确讨论相邻 source-select transistors 的公共或独立 gate bias。citeturn902497view1
它适合证明 **L + M 的“多个串/多个对应 source select transistors”属于常规 NAND 架构**,但没有第二个 source-gate device。
**KR20080029561A**,公开日 **2008-04-03**。citeturn997104view7
其更直白地写道,每个 block 包含多个 bit lines 以及分别对应这些 bit lines 的**多个 strings**;**each string** 包括 DST、SST 和它们之间串联的 memory cells,而**各 string 的 SST source 共同连接 common source line CSL**。citeturn902497view2
同样可非常稳定地证明 L 和 M 的“对应关系”,但不公开第二个源极栅极晶体管。
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## 六、技术特征比对表
| 韩文对比文件 | 公开日栅极装置”之间 | 综合价值 | |||
| KR20070003818A | 2007-01-05 citeturn154108view0 | ✅ 直接 | ✅ 很强 | ◐ 极强结构对应:每串源侧至少两个串联 block select devices,连接至 global source line citeturn497950view0turn497950view2 | ★★★★★ 首选 |
| KR20010015679A | 2001-02-26 citeturn997104view0 | ✅ | ✅ 双 NAND 实施例 | ◐ 极强:string→series select→source select→Vss citeturn327965view2 | ★★★★★ 首选 |
| KR20100068454A | 2010-06-23 citeturn997104view1 | ✅ 206₁~206M | ✅ 每串一个或多个 SGS | ◐ 很强:多个 SGS 可串联在给定 string 与 common source line 之间 citeturn327965view3 | ★★★★☆/★★★★★ |
| KR20100082319A | 2010-07-16 citeturn997104view2 | ✅ 直接 | ✅ 每个 string 对应 SSTr | ❌ 后面直接为 source line,无第二源极栅极器件 citeturn834583view3turn327965view4 | ★★★★☆,3D组合证据 |
| KR20100087743A | 2010-08-05 citeturn997104view3 | ✅ | ✅ each string 对应 SSTr | ❌ 未找到独立第二 source-gate device citeturn497950view3 | ★★★★☆,3D组合证据 |
| KR20060074179A | 2006-07-03 citeturn997104view5 | ✅ | ◐ | ◐ memory string→dummy transistor→SST→ground,但 dummy 的功能定性存在明显争议 citeturn902497view0 | ★★★ |
| KR20050097595A | 2005-10-10 citeturn997104view6 | ✅ | ✅ | ❌ SST 后直接 common source line citeturn902497view1 | ★★★ |
| KR20080029561A | 2008-04-03 citeturn997104view7 | ✅ | ✅ 明确每串 SST | ❌ SST 后直接 CSL citeturn902497view2 | ★★★ |
其中“◐”不是说文献没有公开物理结构,而是说**是否能把文献中的第二个串联源侧选择晶体管解释为 CN103782344B 所称的“源其对应 string 与“the source-gate device”之间。citeturn223977view0
而目标专利其他权利要求甚至把 source gate 描述为至少部分环绕多个串的相应柱,进一步说明其“source gate”可以表现为一种跨多个 pillar/string 的源侧栅极结构。citeturn223977view0
相比之下:
**KR20070003818A**:
string → block select 1 → block select 2 → global source
**KR20010015679A**:
string → series select transistor → source select transistor → Vss
**KR20100068454A**:
string → source select gate 1 → source select gate 2 → common source
三者在**电它同时把“多个 NAND strings”“每串的源侧多个串联选择器件”“shared bias/global source line”连接起来。citeturn834583view0turn497950view0turn497950view2
**KR20010015679A** 则特别适合证明:在目标优先权日前十余年,业界已经明确采用“**NAND string 源侧两个串联控制晶体管**”的结构,因此把第二个源侧控制器件放在第一选择器件与 source 之间并非新结构。citeturn834583view1turn327965view2
而 **KR20100082319A / KR20100087743A** 最适合与前两篇配合:它们把“**3D/柱状存储器 + 多个 strings + 每串对应 source-side select transistor**”获得创造性贡献的空间。citeturn834583view3turn497950view3
因此,**就 L/M 两项新增技术特征本身,我将无效检9整体无效概率。 memcite
经过 中。citeturn556135view0turn556135view1turn556135view2turn556135view3turn830277view0
## 一、先确认 L/M 的准确含义
CN103782344B 的美国同族 US8797806B2 权利要求9与您给出的 L/M 基本逐字对应:
L:所述 string 是多个 strings 中的一个;
M:source select device 是多个 source select devices 中的一个,并且**每个** source select device 都位于多个 strings 中的**对应一个 string**与 source gate device 之间。citeturn758186view0turn758186view1
而其基础权利要求进一步要求 source gate device 与 source select device 是两个不同层次的器件:source select device 位于 string 与 source gate device 之间。说明书的实施例则明确是多个 strings 110,每串底170、172。citeturn758186view0turn758186view2
因此检索 M 时,**不能把普通的“每串只有一个 SGS、SGS 直接连公共源线”当作完整 M**。真正有价值的是:
**string → 第一源极侧选择/控制晶极接近。citeturn186034view1turn834036view1turn883231view0 |
| **2** | **JPH06275800A**,1994-09-30 | **直接公开。** 明确“複数個のNANDセル”。 | **强。** 每个 NAND cell 的源极侧“第二选择手段”本身由 E 型和 D 型两个晶体管**串联**构成;左右,而非空间结构。citeturn186034view0turn834036view0turn694851view0 |
| **3** | **JP2010533929A**,2010-10-28 | **直接公开。** 明确 NAND strings 206₁~206_M。 | **非常强。** 明确“各 source select gate 210”连接**对应的 NAND string 206**;尤其明确说明:若一个 NAND string 使用多个 source select gates,这些 gates 可在公共源线216与该 NAND string 的第一存储晶体管之间**串联连接**。 | **A-/A。** “corresponding”关系甚至比很多文献更直接;不足是串联的两个器件都称 source select gate,没有单独命名 source gate device。citeturn186034view3turn883231view1turn883231view2 |
| **4** | **JP2011504277A**,2011-02-03 | **直接公开。** NAND strings 206₁~206_M。 | **非常强。** 各 source select gate 的漏极接“对应する NANDストリング”;且独立第二组证据。citeturn438461view0turn843231view0 |
| **5** | **JP2007513455A**,2007-05-24 | **直接公开。** 多个 NAND strings。 | **强。文献”的战略价值略低。citeturn186034view2turn834036view3turn967049view1turn830277view1 |
| **6** | **JP2010118580A**,2010-05-27 | **直接且非常强。** 一个 block 明确具有多个 memory strings MS,且每串连接 source-side select transistor SSTr。还是垂直柱状/3D NAND 结构。 | **部分公开。** 明确多个串级源侧器件”文献。citeturn186034view5turn934444view3turn934444view0 |
| **7** | **JP2010526397A**(2010-07-29)、**JP2011502324A**(2011-01-20) | 均能明确支持多个 NAND string。 | 支持“每个源极选择器件对应一个 NAND string”这一 M 的构,而不是单独承担完整 M。citeturn186034view6turn186034view7 |
所有上述公开日均**严格早于 2011-08-15**。
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## 三、最重要的两篇文献详细比对
### 1. JP200体管,后者连接阵列 Vss。citeturn834036view1
更关键的是图4实施例。文献明确说明存在两个 NAND flash memory cells **401、402**,且:
401具有源极侧晶体管 **403、404**;
402具有源极侧晶体管 **405、406**;
两组都是**分别串联**;
两个 NAND cells 还共享相同的选择线 SG1-SG3。citeturn883231view0
因此可以形成非常自然的无效比对:
**目标 M**
对应 string 401
→ 内侧 series select transistor 403
→ 外侧 source select transistor 404
→ Vss
对应 string 402
→ 内侧 series select transistor 405
→ 外侧 source select transistor 406
→ Vss
其中极控制器件之间”**。citeturn883231view0
它的唯一实质性争议是**名称映射**:文献称内侧器件“series select transistor”,外侧称“source select transistor”,而目标案把内侧称“source select device”、外侧称“source gate device”。专利体管,而是 **E型 + D型两个晶体管串联**。citeturn834036view0
详细实施例又明确给出左、右两个 NAND 列:左列源侧为 **S13 + S14** 串联,右列为 **S23 + S24** 串联该 source-side serial selection stage 之间。citeturn694851view0
所以从纯空间关系判断,它也相当接近:
**string₁ → S13 → S14 → source line**
**string₂ → S23 → S24 → source line**
这一存储晶体管之间。citeturn883231view1turn883231view2
JP2011504277A 也几乎相同,明确使用“対応するNANDストリング”,并明确多个 source select gates 可串联在 shared source line 和特定 NAND string 之间。citeturn843231view0
因此,如果专利权人针对 JP2001518696A 辩称“403/405不叫 source select device”,这两篇文献可以反向证明:**多个 source-select devices 逐一对应多个 strings,并在 source source gate device 之间”的二级关系。citeturn977526view0
同样,JP2010118580A 是很好的3D NAND文献:多个 vertical memory strings、每串一个 SSTr、共享 SGS 控制线,而且柱状半导体直接延伸到 source-side transistor layer。citeturn934444view3turn934444view0 但如果只靠它单篇攻击 M,我不会给出“完整公开”的结论。
这种筛选可以避免把“普通 NAND 每串一个 SGS”误当成 M。
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## 六、客观概率多个 NAND strings/cells。citeturn834036view0turn883231view0turn934444view3turn883231view1
**技术特征 M 的“结构/拓扑层面”:约 90%–95%。**
原因是 JP2001518696A、JPH06275800A 已实际展示了“每串两个源侧citeturn883231view0turn694851view0turn883231view1turn843231view0
**若要求单篇日文文献严格、直接且无 定义为不同器件。citeturn758186view0turn758186view2
因此,我对 **L+M 整体“已被2011-08-15以前日文专利文献成功公开”** 的综合判断为:
**约 88%–92%,属于“高概率已公开”。**
这里的概率是**L/M 两项特征本身的公开概率**,不是 CN103782344B 相应完整权利要求最终被宣告无效的概率。完整权利要求还必须处理柱、source/well关系以及基础权利要求中 source gate device 的功能限定。
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## 七、无效检索上的最优选择
就当前的源侧串联晶体管**。citeturn883231view0
**第二选择:JPH06275800A。** 年代极早,而且同样实际实施逐串两级源侧选择器件;非常适合防止对方把 JP2001518696A 解释为特殊编程结构。citeturn694851view0
**第三梯队:JP2010533929A + JP2011504277A。** 二者对“plurality strings”“corresponding string”“multiple source select gates serially coupled”的文字公开最清楚。citeturn883231view1turn843231view0
**JP2007513455A** 技术上也很强,但目标专利的 Google Patents family citation 已明确包含其美国同族 US20050128807A1,因此作为无效证据可以使用,但把 JP2001518696A 和 JPH06275800A 放在它前面。citeturn830277view1turn967049view0
Google Patents 原文可直接核验:urlJP2001518696Aturn186034view1 | urlJPH06275800Aturn186034view0 | urlJP2010533929Aturn186034view3 | urlJP2011504277Aturn438461view0 | urlJP2007513455Aturn186034view2
**最终结论:L 基本可以视为确定已公开;M 也已找到高质量、截止日前的日文结构证据。当前最值得纳正式 claim chart。**
我述是 `string → source select device → source gate device → common source`。citeturn261142view0turn261142view1
说明书还明确披露,同一 block 中各 string 的 source gates 可以连接至单一 source-gate line,并且另一组 source-gate devices 串联在 respective strings 与 common source line 之间。因此,“source gate”并不适合被简单理解成“整个阵列仅有一个物理晶体管”;它更接近一组受共同栅线控制的源侧栅器件。citeturn261142view2
这对解释早期“双源侧选择晶体管”文献非常重要。
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# 二、检索到的最有价值英文对比文件
| 排名 | 英文专利文献 | 公开A1
urlGoogle Patents:US20100315875A1turn881476view1
这是本次检索中我认为**对 M 最值得重点使用**的文献之一。
它直接写明:
- memory cell array 包含 **plurality of memory cell strings having 3 dimensional structure**;
- **each memory cell string** 在一侧至少有两个 first select transistors,在之间。citeturn559106view3turn559106view4
也就是说,其源侧结构可以抽象成:
**common source → 外侧 second select transistor → 内侧 second select transistor → memory cells/string**
此外,该文献直接说 TG1、TG2 位于 **common在 common source line 与 memory cells 之间交换/传输信号。citeturn559106view5
### 对 L/M 的映射
目标:
> string 为 plurality of strings 中的一者。
该文献:
> plurality of memory cell strings having 3 dimensional structure。
**L:直接公开。**
目标:
> each source select device 位于对应 string 与 source gate device 之间。
可作如下结构A1
urlGoogle Patents:US20110194357A1turn881476view0
这件尤其值得重视,因为其:
- 优先权日:2010-02-09;
- **公开日:2011-08-11**;
- 比限制日 **2011-08-15 早4天**,因此符合你给出的公开日限制。citeturn881476view0
其明确写道:
> **At least two ground select lines GSL may be in each NAND string NS.**
也就是**每一 NAND string 中至少两个 ground-select structures**。citeturn559106view0
更关键的是,其还明确给出了两个 source-side select structures 与 common source 的空间顺垂直于 substrate 的方向堆叠。citeturn559106view2
因此,这不是普通平面 NAND 背景,而已经进入与 CN别配置两个串联的源侧控制器件,在 2011-08-15 前尚不常见。”
这个说法基本站不住脚。
我给其:
- L:**98%+**
- M 的结构公开:**90%–95%**
- 若强求 `source gate device` 这一名称:约 **70%–75%**
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# 五、文字关系最干净:US20070047301A1
urlGoogle Patents:US20070047301A1turn881476view4
这是 Micron 自己更早的 **Multiple select gate architecture**。
其说明书直接定义:
> Memory array 200 includes NAND strings 206₁211 之间。citeturn559106view10
真正强的是连接关系:
- 每个外侧 source select gate 211 的 drain 接到**相应** source select gate 210;
- 每个 210 的 drain 接到**相应 NAND string 206** 的第一端接 common source line。citeturn559106view11
因此,它实际上已经逐字形成:
**多个 NAND strings**
↓
**每个 string 对应一个内侧 source select gate 210**
↓
**再对应一个外侧 source select gate 211**
↓
**common source**
如果:
适合做逐项比对
urlGoogle Patents:US20070253253A1turn584705view0
这件 2007-11-01 公开的 Micron 文献非常值得单列。
它明确公开:
- NAND strings 206-1~206-M;
- 每串的 memory cells 位于串联 source select gates NAND string 都相同。** citeturn584705view0
因此:
**common source 216 → 210-0 → 210-1 (“cell-side”) → corresponding NAND string**
这是对2005年的独立证据:US20050128807A1
urlGoogle Patents:US20050128807A1turn881476view3
该文献公开日早至 **2005-06-16**。目标专利自己的 Google Patents 引用网络中也能看到该文献及该公开日。citeturn593045view0
其直接写道:
> 在一个优选实施例中,每一 NAND string 顶端使用一个 selection device,而在**每一 NAND string 的底端使用两个串联 selection devices,并且底部两个器件使用两个独立 gate voltages**。citeturn559106view8
文献还明确说,其 shared bias node 101 可以是 **global source line**。citeturn559106view9
所以本质结构也是:
**NAND string → inner bottom select → outer bottom select → global source**
而且:
- 是 **each NAND string**;
- 是两个**串联**器件;
- 两者具有中。citeturn593045view0
因此,实务上我不会只依赖它作为唯一主证据;更推荐同时采用前述未必被原审重点考虑的 Samsung 垂垂直 NAND
urlGoogle Patents:US20110024816A1turn881476view2
该文献首先明确:
- memory cell array 包括 **plurality of memory cell strings 11**;
- **each memory cell string has a vertical structure**;
- common source line 接这些 strings 的 source side。citeturn559106view7
然后进一步公开:
> GST1 和 GST2 两个 ground-selection transistors 串联布置在 memory cells MC1~MCn 与 common source line CSL 之间。citeturn559106view6
结构就是:
**memory string → GST1 → GST2 → CSL**
或者依具体图中的编号方向相反,但关键是**两个源侧栅已经存在“双源侧选择器件”概念:US5912489A
urlGoogle Patents:US5912489Aturn881476view6
这件历史很早,但很有价值。
其明确说 NAND cells 401、402:
> **each include two source select transistors … in series**,用于把 data storage transistors 与 ground power supply 连接。citeturn559106view14
更细致地,两个器件分别被称为:
- series select transistor 405;
- source select transistor 406;
二者串联,共享中间 source/drain region;外侧 source select transistor 406 的 source 接 Vss。citeturn559106view15
这件文献的意义并非“最接近 3D NAND”,而是证明:
> **在 NAND 串的 source side 使用两个独立栅控晶体管,并使一个位于 string 与另一个 source-side transistor 之间,早在1999---|
| **L:所述串为多个串中的一者** | **明确**:plurality of 3D memory cell strings citeturn559106view3 | **明确**:多个 NAND strings,且为垂直结构 citeturn559106view0turn559106view2 | **明确**:206₁~206M citeturn559106view10 | **明确**:206-1~206-M citeturn584705view0 | **明确**:each NAND string citeturn559106view8 |
| **M1:源极选择装置为多个源极选择装置中的一者** | **明确/实质明确**:每串至少两个源侧 select transistors | **明确/实质明确**:每串至少两个 GSL citeturn559106view0 | **明确**:每串对应 210/211 | **明确**:每串结构相同 | **明确**:每串底部两个 select devices |
| **M2:多个源极选择装置分别对应多个串** | **明确:each memory cell string** citeturn559106view3 | **明确:in each NAND string** citeturn559106view0 | **非常明确:corresponding NAND string** citeturn559106view11 | **非常明确:对应 string,并明确每串结构相同** citeturn584705view0 | **明确:bottom end of each NAND string** citeturn559106view8 |
| **M3:内侧 source select 位于 string 与外侧 source-side device 之间** | **明确**:一个 second transistor 位于另一 transistor 与 memory cells 之间 citeturn559106view4 | **明确的两级 GSL/CSL 次序** citeturn559106view2 | **明确:string→210→211→CSL** citeturn559106view11 | **极明确:string→cell-side 210-1→210-0→CSL** citeturn584705view0 | **明确:两个底部 series devices** citeturn559106view8 |
| **M4:外侧器件就是目标所称 source gate device** | **结构/功能等同,名称不同** | **结构/功能等同,名称不同** | **结构高度等同,名称仍为 source select gate** | **结构高度等同,名称不同** | **端接 common source line。citeturn837138view0
因此:
- 对 **L**:非常强;
- 对“每串一个对应 SGS”:也很强;
- 但只有一个源侧 source”文件。citeturn837138view3turn837138view4
---
# 十二、需要特别重视的“目标1** vertical NROM NAND。citeturn593045view0turn593045view1turn593045view2
这本身非常有意思:**目标专利撰写/审查所处的现有技术背景中,实际上已经存在“多串”“垂直 NAND”“每串 source select”以及“multiple source-side select gates”这些基本技术块。**
但务够早。citeturn559106view3turn559106view4turn559106view5
**第二选择:US20070253253A1 / US20070047301A1。**
这两件最适合证明 M 中“**每个装置对应一个 NAND string**”这一语言关系。特别是 US20070253253A1 的 `common极漂亮的逐项比对证据。citeturn584705view0turn559106view11
**第三选择:US20110194357A1。**
这是非常重要的“临界日前4天”证据,尤其适合证明到 2011 年8月,**垂直 NAND 中每串多个 ground-select structures 已经公开**。citeturn881476view0turn559106view0turn559106view2
**第四选择:US20050128807A1 / US5912489A。**
用于建立技术发展脉络和创造性组合启示:至少从1999/2005年开始,“每串源侧设置两个串联、独立受控的选择晶体管”已经不是新概念。citeturn559106view8turn559106view14
## 最终结论
**技术特征 L:可以认为已经被现有技术非常充分地公开,成功攻击概率极高。**
**技术特征 M:也不是一个干净的/M 的区别,抗辩空间**有限**。citeturn261142view0turn261142view1
**我的最终证据强度评级:L = 极强;M = 强至极强;L+M 合并合理解释下约 90%–95% 已有成功公开基础。**
不过,这,这会是下一步最关键的工作。
检索结论
经过多轮围绕 Internet Archive / Open Library / Archive Scholar 的题名检索、NAND 结构词检索以及“multiple strings / source select / multiple select gates / series-connected source select gates / common source line / source gate”等组合检索,并用截止日前原始专利全文反向核验,我认为:
技术特征 L 几乎可以确定已被 2011-08-15 以前的现有技术公开;技术特征 M 也找到了非常强的结构性公开,但是否属于“完全、直接公开”,主要取决于如何解释“源极栅极装置(source gate device)”。
目标专利同族 US8797806B2 明确说明,一个 NAND 器件可以有多个 strings,每个 string 底部具有 source select device 122,该器件位于串与 source gate 140 之间;同时,各串的 source gates 连接至一个 source gate line。其三维实施例进一步显示,独立 SGS 340/370 位于各柱对应位置,而 source gate 350 位于 SGS 与 silicon well 之间并包围一个 block 中的多个 pillars。
Google Patents
+1
就本次仅针对 L+M 的检索而言,我给出的总体评价是:
L:成功公开概率约 99%。
M:按权利要求文字作较宽的电路/拓扑解释时,成功公开概率约 80%–90%;若严格按照目标专利说明书将 source gate 限定为独立于 SGS、靠近衬底/阱且具有目标专利特定 source-gating 功能的结构,则约为 30%–45%。
综合两者,我认为找到一件截止日前文件被认定为完整公开 L+M 的现实概率约为 60%–70%。现阶段最强攻击文件是 US20070047312A1,其次是 US20070242515A1 / US20080253187A1。
一、Internet Archive 检索得到的最有价值非专利文献
Internet Archive/Open Library 可以确认馆藏 Rino Micheloni, Luca Crippa, Alessia Marelli, Inside NAND Flash Memories。Open Library 明确记载该版出版于 2010 年、Springer,并明确列出了 Internet Archive item record;对应 IA 标识能够进一步追踪到 insidenandflashm00mich。因此时间上毫无疑问早于 2011-08-15。
Open Library
+2
Open Library
+2
Google Books进一步给出出版日期 2010-07-27。
Google Books
该书第2章的可检索文本明确说明 NAND string 中存储单元串联成组,并且在 string 两端设置 selection transistors;图2.2直接画出了多个“NAND string”、SSL、MSL以及 Source Line。文本还说明,共享同一组 wordlines 的多个 NAND strings 构成一个 block。
StudyRes
+1
因此这本 Internet Archive 馆藏文献对 L 是非常干净的非专利证据。但是它的传统 NAND 图示主要是每个串源侧的一个 MSL/源选择晶体管,没有明确给出目标 M 所要求的“串—源选择装置—另一个源极栅极装置”的两个源侧器件串联关系,所以不能单独作为 M 的最佳证据。
Internet Archive 馆藏页:Inside NAND Flash Memories
二、最关键的截止日前结构性文献
最重要的发现是 Micron 在 2007 年已经公开了一组非常接近 M 的 multiple select gate architecture。
US20070047312A1 — 最优文献
公开日:2007-03-01,远早于截止日。
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它不是泛泛说“多个选择晶体管”,而是逐级明确:
Memory array 200 包括 NAND strings 206₁ 至 206M;每一个 NAND string 的源侧设置串联的 source select gates 210、211。
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更关键的是其连接关系:
每一个 source select gate 211 的 source 接 common source line 216;
每一个 211 的 drain 接一个对应的(corresponding)source select gate 210;
每一个 210 的 drain再接对应 NAND string 206 的第一个存储晶体管。
文献甚至明确以 211₁ → 210₁ → NAND string 206₁ 举例。
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因此可抽象成:
String 206ᵢ → source-side device 210ᵢ → source-side device 211ᵢ → common source line 216
而目标 M 的核心拓扑是:
Stringᵢ → source select deviceᵢ → source gate device → source侧
二者的空间/电连接顺序极为接近。
值得注意的是,该文献还允许不同 source select gates 采用不同控制电压。例如靠近 memory cells 的 source select gate 与靠近 source line 的 SGS0 可接受不同偏置,这进一步说明两个器件不是简单画出来的冗余符号,而是具有可区分电气功能的两个串联源侧晶体管。
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US20070242515A1 — 同样非常强
公开日:2007-10-18。
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其内容同样明确:
NAND strings 206₁…206M;
每个 NAND string 位于串联的 source select gates 210、211 与漏侧选择栅之间;
source select gate 211 接 common source line;
211 接“对应的”210;
210 接“对应的”NAND string。
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+1
更有利的一点是,它还明确说 source-select lines 可以耦合,使 source select gates 210、211 的 control gates share a common source select line。
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这对反驳“第二个源侧晶体管不能属于一种共同控制的 source-gate structure”有一定帮助。
US20080253187A1 — 强重复公开
公开日:2008-10-16,prior art date 2005-08-31。
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该文献同样直接写明:
“Memory array 200 includes NAND strings 206₁ to 206M”,每一 NAND string 的源侧有串联的 source select gates 210、211。
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随后进一步给出:
211ᵢ → corresponding 210ᵢ → corresponding NAND string 206ᵢ,而 211 的另一侧连接 common source line 216。
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因此它实际上是 M 的又一件几乎相同的拓扑公开。
三、特征比对表
对比文件 截止日前公开 技术特征 L:所述串为多个串之一 技术特征 M:多个对应源极选择装置,每个位于对应串与源极栅极装置之间 评价
Inside NAND Flash Memories, Micheloni et al. 2010;IA/Open Library 确认 Internet Archive item record
Open Library
明确公开。图2.2及正文存在多个 NAND strings/block
StudyRes
未完整公开。传统结构主要是一侧一个 source-side selection transistor L 的最佳 IA 非专利证据;M 较弱
US20070047312A1, Operation of multiple select gate architecture 2007-03-01
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明确公开:NAND strings 206₁…206M 高度接近/宽解释下直接公开:206ᵢ→210ᵢ→211ᵢ→common source line;每个 210 与对应 string、对应 211 一一对应
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本次最强
US20070242515A1, Multiple select gate architecture with select gates of different lengths 2007-10-18
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明确公开:206₁…206M
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高度接近/宽解释下直接公开:每个 211→对应210→对应string,另一端公共源线;并披露共同 source-select line
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非常强
US20080253187A1, Multiple select gate architecture 2008-10-16
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明确公开
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高度接近/宽解释下直接公开:211ᵢ→corresponding 210ᵢ→corresponding 206ᵢ
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非常强,重复验证 M
US7433231B2 / 相关A1, Multiple select gates with non-volatile memory cells A1 2007-11-01;目标专利引用表列有该族
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公开 NAND string 架构 源侧存在 multiple select gates,但针对 M 的“一一对应”文字不如前三件干净 辅助证据
US20090230454A1, Memory array with a pair of memory-cell strings to a single conductive pillar 2009-09-17,目标专利引用表确认
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明确支持多个三维 strings 每串有 source-select transistor,但未发现与前三件同等明确的第二 source-side device 有利于三维环境/组合论证,M 仅部分
US7940564B2 / 对应A1, Three-dimensional memory device with multi-plane architecture 截止日前;该文献亦列于目标专利引用表
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强支持多 string、三维 NAND/common source 架构 对“双源侧器件串联”的公开不如 Micron multiple-select-gate 系列 适合作为三维/common-source补充
四、M 为什么不是简单给到 95% 以上
问题集中在 “source gate device”的权利要求解释。
如果按照 M 的实际文字作电路拓扑解释,US20070047312A1 几乎可以逐项映射:
NAND string 206ᵢ
→ source select gate 210ᵢ
→ source select gate 211ᵢ
→ common source line 216。
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其中把靠近串的 210ᵢ 对应“源极选择装置”,把位于其外侧、靠近 source line 的 211ᵢ 对应“源极栅极装置”,则 M 的核心关系已经出现。
但目标专利说明书给“source gate”赋予了更具体的实现:source select device 122 明确处在 charge-storage string 与 source gate 140 之间,而 source gate 140 可以控制 string/channel,并且所有 strings 的 source gates 连接到一个 source gate line。
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三维实体结构更明显:独立 SGS 340/370 位于 access-line stack 下方,而 source gate 350 又位于 SGS 与 silicon well 310 之间,并可包围一个 block 的全部 pillars。
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所以专利权人很可能主张:
Micron 的 210、211 都只是“source select gates”,211 并不是本专利所说的独立“source gate”。
这个反驳并非没有力度。
反过来,无效方也有相当强的理由指出:权利要求 M 本身没有把“source gate device”限定成 source-gate tier 350、没有限定必须包围多个 pillars、没有限定必须位于 silicon well 上、也没有在 M 中加入特定 source-gate bias/function。 如果不能把实施例中的这些结构限制全部读入权利要求,那么 Micron 的第二个串联 source-side FET 211 就非常危险。
五、一个必须注意的无效实务问题
这里还有一个降低“新证据冲击力”的因素。
目标专利美国同族自身的 patent citations 已经列有:
US7259991B2 — Operation of multiple select gate architecture;
US7440321B2 — Multiple select gate architecture with select gates of different lengths;
US7433231B2 — Multiple select gates with non-volatile memory cells;
以及 US7940564B2、US20090230454A1 等三维 NAND 文献。
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其中 US7259991B2 就是上述 US20070047312A1 的授权文本。
这不意味着这些文献不能用于中国无效,也不意味着其已经就当前 L/M 组合被实质审查并作出了对专利权人有利的判断;引用列表本身不能证明这一点。但从无效检索策略上说,它意味着“两个 source-side select transistors 串联”并非目标专利审查历史中完全未出现的冷门技术。
因此如果目标是提高真正的无效成功率,我会把继续检索的优先级放在:
寻找 2011-08-15 前明确出现“多个 strings + 每串独立 SGS + SGS 下方/外侧还有一个共同或共同控制的 source gate/source-gate layer/device”的非专利资料或不同专利族。
这类文件一旦找到,价值会明显高于继续堆叠 Micron multiple-select-gate 同族。
最终概率评价
以目前反复检索得到的材料,我的客观评分是:L 单独公开 99%;M 按纯文字/拓扑解释约 85%;M 按目标说明书的较窄 source-gate 结构解释约 35%–45%;L+M 被一件截止日前文献完整认定公开,约 60%–70%。
如果将 US20070047312A1 用作主要文件,我会给它对 L+M 的贡献度评级为 A-/高价值:L 没有什么悬念;M 的“一一对应”和“位于之间”关系非常强,真正剩下的争议几乎只有 211 是否构成权利要求意义上的 source gate device。
若不是要求“单篇新颖性直接公开”,而是允许以创造性方式结合 Micron 双 source-select 结构 + 截止日前的三维 NAND/common-source 文献,整体攻击强度我会提高到约 70%–80%。但这和“一篇文献完整公开 M”是两个不同问题,不应混为一谈。
##宜将其作为 L 或 M 的实质证据。citeturn679150view0turn378110view0turn946632view0turn946632view1
### 1. 先确认 L/M 真正要求的结构
CN103782344B 权利要求9是在权利要求1基础上的进一步限定。权利要求1已经要求:
- 一个电荷存储装置串;
- 一个 **source gate device**;
- 一个独立的 **source select device**;
- source select device 位于电荷存储装置串与 source gate device 之间。citeturn429356view1
权利要求9进一步增加:
**L:** 该串不是孤立的一条串,而是“多个串中的一者”;
**M:** 存在多个 source select devices,并且**每一个 source select device 分别对应多个串中的一个串,且位于该对应串与 source gate device 之间**。citeturn429356view1
说明书把这种关系画得更加清楚:一个 NAND 装置可以包含多个 strings,示例中有 12 个 strings;每一个 string 的底部具有 source select device 122;source select device 122 位于存储单元与 source gate 140 之间;所有串的 source gate 又连接到 source gate line。citeturn429356view0
所以对 M 而言,仅找到通常 NAND 中的“多个串+每串一个普通选择晶体管”还不够 gate。citeturn679150view0turn356037view0turn356037view1turn356037view2turn356037view3
更宽泛地把 NAND 去掉,仅检索截止日前的 `flash memory + string`、`source gate`、`source select`、`common source`、`select device`,也全部作者必须使用“NAND”这一名称。citeturn918231view0turn918231view1turn918231view2turn918231view3turn918231view4
再用 `NAND + memory` 做宽检索,截止日前仍然只有 arXiv:0911.3992;`NAND + cell` 的其他结果实际是 NAND 逻辑门、磁性逻辑等,与 NAND flash memory 无关。citeturn445312view0turn445312view1
此外,arXiv 对 `"vertical NAND"` 总共仅返回 5 篇,最早也是 **2024 年**;`BiCS flash` 无结果;`"vertical channel" + "flash memory"` 的结果列级结构论文。citeturn226602view0turn226602view1turn226602view2
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## 3. 唯一截止日前候选文献的全文核查
### arXiv:0911.3992
**Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories**
Anxiao Jiang et al.
arXiv 提交:**2009-11-20**
该论文摘要和正文数据移动、block erase 及 wear leveling。citeturn378110view0turn946632view3
但是全文核查得到:
- `string`:**无匹配**;citeturn946632view0
- `select`:**无匹配**;citeturn946632view1
- `source` 出现的内容是图论算法中的“source/sink”,而不是 NAND 源极。citeturn946632view2
因此,不能因为论文提到了“NAND flash”就进一步推定其中已经公开“多个 NAND strings”“每串 source select transistor”乃至 M 所要求的 source-select/source-gate 二级结构。这样推定对新颖性无效理由而言风险很高。
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# 4. 特征比对表
| 对比文检索的直接确认。citeturn356037view0turn356037view1turn356037view2turn918231view0turn918231view1turn918231view2turn918231view3
## 5. 对 L、M 的客观评价
### 技术特征 L
> 所述串为多个串中的一者。
从 NAND 技术常识看,“存储阵列具有中的 12 个 strings。citeturn429356view0
但问题在于,本轮限定的是 **arXiv 截止日前证据**。唯一命中的 0911.3992 没有出现 string,更 NAND 关键词仍是零结果。citeturn408340view1turn408340view2turn408340view3turn918231view1turn918231view2turn918231view3
因此:
**仅依赖 arXiv 证明 M 已被成功公开:极低,约 1%–5%。**
### L+M 同一篇文献完整公开
在新颖性攻击意义下,如果要求一份截止日前 arXiv 文献同时给出 L 和 M,目前 基本没有贡献**。citeturn378110view0turn946632view0turn946632view1
尤其是 **M 不应依赖 arXiv 继续作为主战场**。目前的检索形等数据库。
根据权利要求1所述的设备,其中: 所述串为多个串中的一者;且 所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间。
专利无效检索|正式分析报告
围绕新颖性与创造性的公开日前专利文献检索、特征比对及组合评估
|
检索数据库 |
公开日截止 |
检索轮次 |
综合评估 |
评估概率是基于当前检得证据、通常权利要求解释及无效程序实务的专业判断,不构成审理结果保证;正式提交时应以官方公开文本、译文及著录事项证明固定证据。
本轮围绕“间距为0/不分离/一体形成/单件共同栅体”进行了封闭式核验,并实际执行中、英、日、韩四语Google Patents检索;用于有效性评价的现有技术公开日均严格早于2011-08-15。
没有检出满足特征O的严格命中文献。 本轮最重要的结论不是新增有利文件,而是把第8轮发现的语义边界核实清楚:
· US20100315875A1说明书0067]、图5及韩国原文[KR20100089022A对应段落明确说,两个选择晶体管间距为0 nm意味着二者“不分离而为一个/formed in a single body”。但该试验和术语针对一根半导体柱上纵向串联的TG1、TG2,不是相邻多柱之间的横向关系。
· 同一族又在图3—12及相关段落明确:相邻半导体柱130侧壁的接地选择栅电极162彼此面对并具有距离Dg,各栅电极通过接触塞170连接到共同GSL。故其横向结构是“多个分离栅电极+共同控制线”,恰好反证“共线即一个跨串装置”。
· US20100002516A1的一个GSP虽穿过多个彼此绝缘的半导体图案,但说明书[图1—4对应段落]和权利要求仍称每个串各有GST、多个GST共同接至GSL;且源侧只有一级。它也不能证明一个内级源选择装置跨多个串后再串联一个独立外级源栅装置。
因此,单篇新颖性攻击仍不稳妥。创造性两篇主组合仍为CN102148059A+US20110018051A1;若再以US20100133599A1补连续板状公共栅体的工艺启示、以US20100315875/KR20100089022族补同源端双级及协同驱动动机,才构成多篇拼接的上限情形。两篇主组合仍需把“每串晶体管共线”改造成权利要求要求的“一个跨多个串的内级装置”;多篇上限情形则进一步增加选择性拼接,均存在实质性主体、偏置和后见之明争议。
经最终独立对抗审计,综合无效成功概率确定为 73%(合理区间71%—74%);其中74%仅是三至四篇组合的上限情形,不作为最终点估。该概率未达到75%。已完成8轮补充检索,按用户上限停止/放弃继续补检;不提出第10轮,也不因检索轮次人为上调概率。
权利要求10为A-D+N+O:
· A:柱相关的电荷存储装置串;
· B:源极栅极装置耦合于源极并控制串至源极的导电;
· C:另一源极选择装置位于串与B之间;
· D:该源极选择装置控制导电;
· N:所述串为多个串中的一者;
· O:所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间。
本轮对O沿用前八轮经对抗复核后的严格口径:同一实施例、同一源端必须依次为“多个彼此独立的垂直电荷存储串→一个内级源极选择装置→另一个外级源极栅极装置→源”。内级须有不分离/一体式共同栅体跨过多个独立串沟道,并在文本中被识别为一个device/transistor/selector;仅共同GSL、接触塞共接、每柱各自GST、只有一个连续板选择级、位于漏侧的第二级,均不直接满足O。
检索日:2026-08-20。下列精确式均已提交Google Patents,并限定before=publication:20110815;四式均未返回满足上述验收条件的结果。随后沿US20100315875/KR20100089022族、申请人、发明人、引证/被引及相关JP/KR入口逐项复核。搜索结果中的晚公开案只作线索,未作为现有技术计入概率。
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语言 |
本轮实际执行的精确检索式 |
Google Patents执行页 |
严格结果 |
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中文 |
("间距为零" OR "一体形成" OR "不分离" OR "一体式共同栅体") ("第一接地选择栅" "第二接地选择栅") ("多个垂直NAND串" OR "多个半导体柱") ("源侧" OR "共同源线") |
无严格命中 |
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英文 |
("zero spacing" OR "integrally formed" OR "unseparated" OR "one-piece common gate body") ("first ground select gate" "second ground select gate") ("plurality of vertical NAND strings" OR "plurality of semiconductor pillars") ("source side" OR "common source line") |
无严格命中 |
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日文 |
("間隔ゼロ" OR "一体形成" OR "分離されない" OR "一体型共通ゲート体") ("第1グランド選択ゲート" "第2グランド選択ゲート") ("複数の垂直NANDストリング" OR "複数の半導体ピラー") ("ソース側" OR "共通ソース線") |
无严格命中 |
|
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韩文 |
("간격이 0" OR "일체로 형성" OR "분리되지 않은" OR "일체형 공통 게이트 몸체") ("제1 접지 선택 게이트" "제2 접지 선택 게이트") ("복수의 수직 NAND 스트링" OR "복수의 반도체 필러") ("소스측" OR "공통 소스 라인") |
无严格命中 |
本轮还实际使用了放宽式:中文"不分离而成为一个" 选择晶体管 半导体柱 接地选择栅;英文"formed in a single body" "ground selection" "semiconductor poles";日文"分離されない" 選択トランジスタ 半導体ピラー 共通ゲート;韩文"분리되지 않고 하나" 선택 트랜지스터 반도체 필러 접지 선택 게이트。放宽结果回到US20100315875/KR20100089022族、每柱GST共线或仅一个板状源侧级,没有严格命中。
|
文献 |
标题 |
优先权日/申请日/公开日 |
关键证据定位 |
本轮严格排除理由 |
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Non-volatile memory device having vertical structure and method of operating the same |
2009-02-02/2010-08-20/2010-12-16 |
[0063]—[0067]、图3—5;[0067]称0 nm时选择晶体管formed in a single body;[0063]称相邻柱栅电极间有Dg;[0078]—[0082]、图11—12称栅电极经接触塞170接GSL |
0 nm语义仅针对单柱内纵向TG1/TG2;横向相邻柱明确是有间距的复数栅电极,通过插塞共线,不是一个跨柱内级装置 |
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수직 구조를 가지는 비휘발성 메모리 장치 |
2009-02-02/2010-01-25/2010-08-11 |
韩国原文图12段落:거리가 0 nm ... 분리되지 않고 하나;图3—11段落:栅电极162、接触塞170、GSL1及相邻柱间距Dg;图17—18又分别连接GSL1/GSL2 |
原文确认“一体”的物理界限,也同时确认跨柱并未一体;与US20100315875高度同族,不能重复作为独立结合启示 |
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Non-volatile memory device having vertical structure and method of operating the same |
2009-02-02/2010-02-02/2010-08-05 |
[0007]—[0010]、图1:一串内TG1/TG2同源端串联并“如一个晶体管”协同;[0016]、图2:多个串、共同GSL |
“如一个”是功能协同,不是横向多个串共用一个器件;仍为每串TG1/TG2,与延续申请的物理结构相互印证 |
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Integrated Circuit Memory Devices Having Vertically Arranged Strings of Memory Cells Therein and Methods of Operating Same |
2008-07-02/2009-06-26/2010-01-07 |
图1—4对应段落:多个SP彼此绝缘,每SP形成一串;GSP穿过多个SP并通过栅绝缘层作栅;说明书称每串至少一个GST、二维排列的GST共同接GSL;权利要求相同 |
一体GSP是最接近的共同导体,但文件仍把各交叉处称为复数GST;源侧只有一级,缺少与之串联的独立外级源栅装置 |
|
|
Methods of Manufacturing Rewriteable Three-Dimensional Semiconductor Memory Devices |
2009-12-15/2010-12-15/2011-06-16 |
[图1—2对应段落]:多个柱穿过板状或梳状GSL;每一串包括一个GST,所有GST栅共同连接并等电位 |
提供跨多柱的板状共同栅,却仍称各串一个GST;只有一个源侧选择级,不能补O所需内外两级 |
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Methods of manufacturing a three-dimensional semiconductor device |
2011-09-23/2012-09-14/2013-03-28(A1) |
精确式及后续族谱中的晚文件;重点为牺牲层、钝化层和导电层形成工艺 |
优先权及公开均晚于截止日,且未给出本轮所需两个同源侧共享选择级;双重排除,不计入概率 |
日期结论:前五组文件公开日均严格早于2011-08-15;最后一组明确晚于截止日,仅说明封闭式检索的晚结果,不作为现有技术。未把优先权日或申请日误作公开日。
US20100315875A1[0067]及KR20100089022A图12对应原文把“0 nm”直接解释为两个选择晶体管不再分离而成为一个。这比“共同控制线”“共同偏置”更接近权利要求中的单数装置,可用于请求人主张:若早期结构在相邻柱之间本来没有刻蚀分隔,一个连续栅体及多个沟道可在物理上视为一个多沟道选择装置。
该族中被测试距离的是同一串/同一柱上相邻串联选择晶体管之间的纵向距离。图3—4及[0063]另行定义相邻柱上面对面的接地选择栅电极之间距离Dg,并要求栅长Lg不大于Dg;制造段落又把导电层选择性刻蚀成复数电极162,再用接触塞170连接GSL。换言之,该文件明确区分:
1. 纵向TG1/TG2间距为0,可成为单体;
2. 横向相邻柱的栅电极仍分开,随后经互连共接。
权利要求O要求的是第二种横向关系中的一个装置跨多个串,而不是把第一种纵向一体化规则移植过来。因此,该证据最多是解释规则和改造动机,不能直接补足O;若据此把横向Dg也设为0,已经超出文献实施例并需重新设计刻蚀、绝缘、行选择和接触结构。
US20100002516A1从另一方向证明一个连续GSP可跨多个独立半导体图案,但其作者仍将每个栅—绝缘层—沟道交叉处称为一只GST,并用复数ground selection transistors共同连接一条GSL。故即使存在一个物理共同导体,本领域也未必把多个沟道整体命名为“一只晶体管/一个装置”。该文件同时缺第二源侧级,不能与“0 nm”规则简单拼接而得到权利要求顺序。
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特征 |
CN102148059A |
US20110018051A1 |
US20100315875/KR20100089022族 |
US20100002516A1/US20110143524A1 |
最终结论 |
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A 柱相关电荷存储串 |
图3—7、14:柱113、存储层和垂直串 |
图9—10:多个半导体图案/垂直晶体管阵列,柱式直接性略弱 |
图2—14:多个半导体柱、存储介质和竖直NAND串 |
US20110143524多个垂直柱穿字线;US20100002516为分层SP |
至少CN102及US20100315875族直接 |
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B 外级源栅耦源并控制 |
图14—15:GSL11邻CSL并控制柱沟道 |
最外GST/GSL邻CSL |
TG2邻CSL并控制导电 |
均有邻CSL的GST/GSL,但仅一个源侧级 |
直接 |
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C 内级位于串与外级之间 |
GSL21位于存储串与GSL11之间 |
垂直堆叠GST提供内外次序 |
同一串TG1在存储单元与TG2之间 |
两件单板案均缺同源端第二级 |
前三者直接或较强 |
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D 内级控制导电 |
GSL偏置控制柱沟道 |
多个GSL控制串联GST |
TG1/TG2控制串至CSL信号交换 |
共同GSL控制各串GST |
直接 |
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N 所述串为多个串之一 |
图6、14多个NS |
图9—10多个串/半导体图案 |
图2多串矩阵 |
多个SP或多个PL,各自构成串 |
直接 |
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O 一个内级装置跨多个串并位于外级前 |
双GSL层可能连续,但文本未明确一个跨串器件 |
说明书[0049]—[0050]、权16/18按每串多个MOSFET,共同GSL |
同源端双级,但每柱电极有Dg间距并以插塞共线 |
有连续GSP/板状GSL,但作者称每串GST且只有一级 |
所有合格文件仍存在“一个装置主体”或“第二源侧级”缺口 |
没有一件文献在同一实施例把A-D、N、O全部闭合。US20100315875族的“0 nm单体”实施方式和多柱分离栅结构虽在同一说明书中,但不是同一空间关系;不能把前者文字直接覆盖后者横向间距Dg。
· CN102148059A单篇:约55%。 A-D、N强;O的单一跨串主体仍未明示。
· US20100315875/KR20100089022族单篇:约69%。 多串、同源端TG1/TG2及共同GSL强,但明确为每柱分离电极和每串晶体管。
· US20110018051A1单篇:约69%。 同源端多级GST强,仍按每串多个MOSFET记载。
故不建议以单篇新颖性作为主攻。
主组合:CN102148059A+US20110018051A1。 CN102提供柱穿双GSL及“串→内级→外级→源”的空间顺序;US20110018051A1[0049]—[0050]、图9—10、权利要求16/18提供同源端垂直堆叠GST阵列,并给出通过增加GST改善漏电/选择性能的动机。
辅助启示:
· US20100133599A1提供一个连续板状LSL跨多个柱的工艺可能性;
· US20100315875/KR20100089022族提供TG1/TG2协同、零间距时可一体化的语义和器件动机;
· US20100002516A1提供一个共同导电栅插塞隔着绝缘层控制多个独立半导体图案的物理可行性。
结合动机与相容性: 各文件同属早期3D NAND,均处理源端选择可靠性、GIDL/漏电、栅长与高深宽比填充,技术领域和目的相近;本领域技术人员有动机在CN102双GSL结构中采用连续栅体或增加源端选择级。
仍然不能越过的争议: 上述组合需要至少三次选择性改造:把每串GST共线改成一个跨串装置;把只有一级的连续板复制/重排成内外两级;同时保留独立位线和CN102按行/组偏置能力。没有合格文件直接指示这三项同时完成。US20100002516又明确以复数GST命名,US20100315875族明确跨柱电极有间距,反方可有力主张组合是以权利要求为蓝本的后见拼接。
3. 共同线、共同板或共同插塞不是一个装置。 每个柱沟道与栅介质形成独立晶体管;共同导体只实现共偏置。US20100002516的原始术语直接支持该点。
4. “0 nm=一个”不能横向套用。 US20100315875/KR原文的试验对象是同柱内TG1/TG2,跨柱另有明确Dg和接触塞,属于两种不同几何关系。
5. 连续板与差分选择存在功能冲突。 把按串/按行GST合并为全局一体板,可能丧失选择粒度;若再切分则又回到多个装置。
6. 多篇组合层级过多。 主文献之外再用两至三篇仅解释一个装置,说明关键事实本身并非截止日前明确、直接的通常设计。
请求人可回应装置是较宽的功能性概念,共同栅体、栅介质及多个沟道整体可构成一个多沟道选择装置;但截止日前没有在本案双源侧3D NAND语境中采用这种单数身份的明确文本,故该回应不足以把概率推过75%。
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攻击路径 |
最终点估 |
原因 |
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CN102148059A单篇新颖性 |
55% |
O未明示 |
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US20100315875/KR20100089022族单篇 |
69% |
双级及多串强,但为每柱分离栅电极 |
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CN102+US20110018051 |
73% |
空间顺序和增加GST动机强,单一跨串主体仍缺 |
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CN102+US20100133599 |
71% |
连续板强,但只有一级、偏置相容性有争议 |
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CN102+US20110018051+US20100133599,并用US20100315875族解释一体化动机 |
74%(上限情形) |
多篇拼接覆盖最广,但仍需实质性结构重构,后见之明风险最高 |
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本轮新增“0 nm/一体”核验带来的净增益 |
0个百分点 |
只解释单柱纵向关系,跨柱部分反而是分离栅+共线反证 |
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综合无效成功概率 |
73%(71%—74%) |
采用两篇主组合的可诉强度并对多篇拼接风险加权;低于75%,特征O仍有实质缺口 |
终止决定:已完成8轮补充检索,按用户上限停止/放弃继续补检。权利要求10的最终无效成功概率冻结为73%(合理区间71%—74%);不再制定或执行第10轮检索。
权利要求10按任务口径拆分为 A-D+N+O:A,电荷存储装置串与含半导体材料的柱相关联;B,源极栅极装置耦合到源极并控制串通道—源极导电;C,源极选择装置位于串与源极栅极装置之间;D,源极选择装置控制串通道—源极导电;N,该串是多个串之一;O,所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间。仅使用公开日严格早于2011-08-15的文献。
本轮最强文件仍是 CN102148059A。其图3—7公开多个垂直电荷俘获NAND串和跨多个柱延伸的连续栅层;图14又明确第一行三个串 NS11-NS13 同时连接两条串联的地选择线 GSL21、GSL11,且图15将内侧线定位在字线侧、外侧线定位在共源线侧。然而,这只能直接证明多个逐柱GST共用一条GSL,不必然证明权利要求O所称的一个源极选择装置本身耦合多个串。因此CN102148059A单篇新颖性攻击下调为 55%;最强创造性组合约 74%,本轮综合概率评为 72%,低于75%阈值。
该下调并非单纯采取“单一沟道晶体管”的异常限缩解释。目标专利自身图1B及其对应说明区分:每一串具有各自的源极选择装置122,而共同SGS线150只是耦合一行多个装置的栅;源极栅装置170/172与共同源极栅线176也被分别表述。既然起草人区分“line”和逐串“device”,就不能无条件把CN102148059A的一条共享GSL直接等同于权利要求O中的一个多串device。CN文献没有明说一个选择晶体管的单一沟道同时属于多个串,也没有把横向栅板本身定义成O所要求的一个device。共同线/共同栅板解释仍可用于创造性论证,但不足以支撑高概率单篇新颖性结论。
检索日:2026-08-20。以下检索式均已实际提交;Google Patents检索页均带 before=publication:20110815。窄式命中很少,随后分别以 ground select line / lower select line / plate / intersection 及对应中日韩同义词拆分回查,并逐个打开候选全文、权利要求和附图说明核验。
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语言 |
精确检索式 |
Google Patents检索URL |
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中文 |
("多个NAND串" OR "多个串") ("两条地选择线" OR "两个源极选择栅") ("半导体柱" OR "柱") ("共用" OR "共同连接" OR "平板") |
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英文 |
("plurality of NAND strings" OR "multiple strings") ("two ground selection lines" OR "two source select gates") ("semiconductor pillar" OR "vertical pillar") ("share" OR "commonly connected" OR "plate-shaped") |
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日文 |
("複数のNANDストリング" OR "複数のストリング") ("二つのグランド選択線" OR "二つのソース選択ゲート") ("半導体ピラー" OR "柱状半導体") ("共用" OR "共通接続" OR "プレート状") |
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韩文 |
("복수의 낸드 스트링" OR "복수의 스트링") ("두 개의 접지 선택 라인" OR "두 개의 소스 선택 게이트") ("반도체 기둥" OR "수직 필러") ("공유" OR "공통 연결" OR "평판형") |
实际同义回查式还包括:中文 "同一行" "共用地选择线" "多个柱";英文 "lower select line" plate "semiconductor pillars" strings、"source select line" "at each intersection" "plurality of NAND strings";日文 "下部選択線" "平板" "複数の半導体柱";韩文 "하부 선택 라인" "평판" "복수 개의 반도체 기둥" "스트링"。韩文回查得到KR20100104908A;英文回查得到US20090267128A1、US20100200904A1和US20080253187A1;中文回查锁定CN102148059A。
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文件 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
本轮作用 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
A-D+N强;O只有共享线/逐柱GST,存在实质缺口 |
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Three dimensional nonvolatile memory device and method for forming the same |
2009-03-19 |
2009-03-19 |
2010-09-29 |
平板LSL物理跨越多个柱/串;缺第二源侧级 |
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Multiple select gate architecture |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
两个串联源侧选择级及GIDL/面积动机;平面结构 |
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Three dimensional stacked nonvolatile semiconductor memory |
2008-04-23 |
2009-03-19 |
2009-10-29 |
垂直柱、MONOS、板状共享SGS;缺第二源侧级 |
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Gate fringing effect based channel formation for semiconductor device |
2009-02-09 |
2009-02-09 |
2010-08-12 |
解释“共同选择线—每个交点晶体管”的本领域通常结构;平面且单源侧级 |
日期排除:CN102163457A公开于2011-08-24,US20120171861A1公开于2012-07-05;二者即使优先权较早,也不满足本任务的“公开日严格早于”口径,未用于结论。
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特征 |
同一公开链中的原文/附图定位 |
判断与证据强度 |
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A |
说明书图3—5段:多个柱113贯穿绝缘材料112并连接衬底;柱113、相邻绝缘层116及导电线211—291形成NAND串(Google正文L261—280)。图5明确117隧穿层、118氮化物电荷存储/俘获层、119阻挡层和柱主体114。 |
直接、同一物理实施例,10/10。 |
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B |
图14/15把外侧 GSL11(同理GSL12、GSL13)置于共源线CSL邻侧;图7段说明GSL211施加高于阈值的电压使柱主体114反型形成沟道N1,并把CSL与串沟道电连接(L299—308)。 |
外侧GST/栅为“源极栅极装置”,功能直接,9/10。 |
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C |
图14段明确每串在字线WL1—WL6与CSL之间有两条GSL;图15段区分“邻近CSL”的GSL1x和“邻近字线”的GSL2x(L320—324)。因此内侧GSL21位于存储串与外侧GSL11之间。权利要求14—16亦公开第二/第三GSL、其中一条位于另一条与CSL之间及垂直堆叠。 |
拓扑直接,9/10。 |
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D |
图7段明确地选择线电压反型柱主体、形成/切断沟道并决定串沟道是否与CSL导通(L300—309);图15对两级GSL施加不同电压以抑制GIDL。 |
功能直接,9/10。 |
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N |
图2段称每块包括多个NAND串;图6给出 NS11-NS33 九串;图14延续该九串并按三行列示(L258—260、L288—296、L320)。 |
直接,10/10。 |
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O |
图14原文:“第一行的NAND串NS11-NS13可以连接到地选择线GSL11和GSL21”;图6段又明示同一行NAND串“共用地选择线GSL”(L294—296)。物理上,图3—4的导电材料211在第一方向连续延伸并穿越/邻接沿该方向排列的多个柱,且说明书明确“三个或n个NAND串可连接到一个在第一方向延伸的导电材料”(L267—286)。但这些文字证明的是共同栅线与各柱交点处多个GST;目标专利又区分共同SGS线与逐串device,故不能直接推出“一个device耦合多个串”。 |
共同控制结构强,但O的主体同一性存在实质缺口,4/10。 |
不存在把无关实施例任意拼接的问题:说明书明确图6是“参照图3—5描述的存储块”的等效电路;图7是该块中一串的截面;图14又明确是“图6的存储块”的改型,只在每串的字线与CSL之间增加第二GSL。故A-D、N的物理结构与双GSL电路属于同一连续公开链。可是,同一实施例性不能补足O的主体同一性:即便第二GSL也是连续横向栅层,仍可能只是一个共同电极在三个交点形成三个逐串选择晶体管。图14没有把其中任一交点晶体管表述为同时耦合全部三个串。
7. KR20100104908A(图1—3):图1段公开多个串STR位于BL1—BL4与CSL之间,每串具有LST;图2/3段公开多个半导体柱PL穿过LSL/WL/USL、矩阵排列且“分别对应各串”,并明确“下部选择线LSL可以为平板形式”;柱上端接位线,衬底杂质区/阱105为CSL(Google正文L246—274)。这是“一个物理栅板横跨多个柱/串”的强证据,但仅有一个源侧选择级,不能单篇覆盖C。
8. US20090267128A1(图1—7):柱状有源层AA自源扩散层24到位线BL,穿过板状低层SGS和MONOS字线;每一AA构成NAND串,低层导电层为板状SGS,且源侧选择晶体管由同一SGS与各AA构成(说明书L187—223、L315—324)。同样强证实共享栅板,不公开双源侧级。
9. US20080253187A1(图2、4,权利要求1、7、13—15):多个NAND串206_1—206_M;每串源侧选择栅210、211串联,外栅211接共同源线216,内栅210接首个存储单元;图4又明确两条源选择线414_1、414_2串联在串端与源线之间(说明书L150—166)。其明确动机是以两个较短选择栅维持关断并降低GIDL/漏电、缩小阵列面积(L127、L163—166、L203—205)。缺口是平面而非柱状。
10. US20100200904A1(权利要求1、5、6、18):明确“source select line coupled to each one of the plurality of NAND strings”,并紧接着说明该线在与每个串的交点处包括一个源选择晶体管。该文本一方面支持共同选择线可作为跨多个串的选择结构,另一方面也提醒不能把各交点晶体管在物理上说成同一个沟道晶体管;本报告据此保留O的解释风险。
以图3—7、14—15和权利要求10、14—16可稳定证明:柱式电荷俘获NAND串(A);外侧GSL11/GST为源极栅(B);内侧GSL21/GST处于串与外侧栅之间并控制导电(C、D);NS11是九串之一(N)。O只能主张连续GSL21是一个跨接第一行三个串、且位于这些串与GSL11之间的“选择装置”;但对方可凭目标专利的line/device区分指出,三个交点GST才是三个device,GSL21只是共同电极。因此单篇评估 55%,不作为唯一无效理由。
即使认为CN图14只画电路、未充分展示双GSL层的实体连续形态,KR的平板LSL穿过多个柱,直接给出行业已知的物理实现。将CN已明确的行级双GSL做成KR已知的平板/连续横向导电层,是同类垂直NAND的常规层复制,不改变柱、存储介质、CSL或工作原理;目的仍是对一行多串统一施加选择/抑制电压。不过KR同样没有把平板LSL与各柱交点形成的多个晶体管明确称为“一个多串device”,组合只能以共同实体栅构件属于装置的一部分来论证,评估 74%。
KR给出A、N和跨多个串的板状LSL;US20080253187A1教导在源侧将一个选择级复制为两个串联级,以减少GIDL/漏电并缩小尺寸。两者同属NAND串端选择技术;在KR的LSL与字线之间再设置一层同构选择导电层,工艺上与其交替堆叠导电层/绝缘层完全相容,所得内层共同栅位于多个柱串与外层源栅之间。但两篇都采用共同线/各交点晶体管范式,仍未明确一个device的多串耦合,评估 70%。US20090267128A1可替换KR作另一板状SGS锚点,概率约69%。
· “装置”必须是一个逐串晶体管,不能是共用线。 这是本轮最强抗辩:目标专利图1B本身区分逐串装置122与共同SGS线150。可回应CN的连续导电栅层是实际器件构件且权利要求未明写“单一共同沟道”,US20100200904A1也把跨多个串的source select line作为器件结构的一部分;但该文献同时承认每个交点形成各自晶体管,故本轮没有决定性反证,只能下调概率并补检明确的共同实体device。
· 图14的两条GSL与图3—5的一个GSL不是同一物理实施例。 回应:图14明文称为图6存储块的改型,图6又明文对应图3—5;加入第二层选择导体是该改型的唯一核心变化。可用KR的平板LSL或US20090267128A1的板状SGS补强物理实现常识。
· “地选择”不是“源极栅极”。 回应:外侧GSL紧邻CSL,电压使柱体反型并控制CSL—串通道导通,名称不同但位置、耦合关系和功能完全对应B;内侧GSL则对应C、D。
· GSL只连接一“行”而非所有多个串。 回应:N/O只要求“多个串”,没有要求存储块内全部串;NS11—NS13三个串已构成所述多个串。
· 公开日过近。 CN102148059A的Google Patents元数据为2011-08-10,早于2011-08-15五日,仍严格满足任务口径;不能以其较晚的US/JP/KR同族公开替代日期证明,但中国公开文本本身可用。
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攻击方式 |
概率 |
说明 |
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CN102148059A单篇新颖性 |
55% |
A-D、N直接;O只有共同GSL,不能直接等同一个多串device |
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CN102148059A + KR20100104908A创造性 |
74% |
双级拓扑与板状共享物理结构结合自然,但主体同一性仍有争议 |
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KR20100104908A + US20080253187A1创造性 |
70% |
结构与动机明确;两篇均未明确一个device同时耦合多个串 |
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综合无效成功概率 |
72% |
低于75%阈值,应触发第2轮定向补充检索 |
第二轮不再把“多个晶体管仅共用一条控制线”当作O的充分证据。目标是找到截止日前在同一实施例中明确公开:①一个实体source-select gate/device/plate同时包围、横跨或控制多个垂直柱/串;②该实体装置位于这些串与另一实体共享source-gate/source-side gate plate之间;③两级均在源侧串联。建议精确式如下,全部预设公开日过滤,但留待下一轮子agent实际执行:
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语言 |
第2轮精确式 |
Google Patents策略URL |
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中文 |
("共同源极选择栅板" OR "单个源极选择装置" OR "共享源极选择栅电极") ("多个垂直NAND串" OR "多个半导体柱") ("第一源极选择栅" OR "第二源极选择栅") ("位于之间" OR "包围多个柱") |
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英文 |
("common source select gate electrode" OR "single source select device" OR "shared source-select gate plate") ("plurality of vertical NAND strings" OR "multiple semiconductor pillars") ("first source select gate" OR "second source select gate") ("interposed between" OR "surrounds multiple pillars") |
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日文 |
("共通ソース選択ゲート電極" OR "単一のソース選択素子" OR "共有ソース選択ゲート板") ("複数の垂直NANDストリング" OR "複数の半導体ピラー") ("第1ソース選択ゲート" OR "第2ソース選択ゲート") ("間に配置" OR "複数のピラーを包囲") |
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韩文 |
("공통 소스 선택 게이트 전극" OR "단일 소스 선택 소자" OR "공유 소스 선택 게이트 플레이트") ("복수의 수직 낸드 스트링" OR "복수의 반도체 기둥") ("제1 소스 선택 게이트" OR "제2 소스 선택 게이트") ("사이에 배치" OR "복수 기둥을 둘러싸는") |
检索顺序:先查CN102148059A、KR20100104908A、US20090267128A1的“被引用/引用”早期家族,再用 H01L27/11582、G11C16/0483 与上述实体词交叉;必须查看附图剖面确认两层共享栅板与多个柱的空间关系。仅写“common line connected to gates”、仅一个源侧级、或每柱各自晶体管而没有共同实体device表述的文件,只能列为辅助,不得据其把概率抬至75%。
本轮严格按权利要求10的 A-D+N+O 口径检索,并把O解释为:同一个源极选择装置实体同时耦合多个垂直串,且该实体位于这些串与另一源极栅极装置实体之间。仅有“每串各有一个晶体管,而各晶体管栅极共接一条控制线”的公开,不视为O的直接公开。公开日截止条件为 严格早于2011-08-15。
本轮找到的最强新增证据是 CN101800224A(同族 US20100202206A1、JP2010187000A、KR20100091900A)。其权利要求明确写出“多个相邻的垂直NAND沟道耦接至单一下选择栅极线”,比“多个逐串晶体管共用控制线”更接近一个横跨多个柱的实体栅构件。另一新增文件 US20110024816A1(韩文同族 KR20110012806A)则明确公开每一垂直串在存储单元与共同源线之间串联两个地选择晶体管GST1、GST2。
然而,前一文件只有一个源侧选择级;后一文件虽有两个源侧级,却把GST1、GST2表述为“每一串”的晶体管,公共GSL仍只是控制线,没有明确一个GST实体同时作用于多个柱。截止日前仍未找到在同一实施例中明确公开“两个串联的、各自以单一实体板横跨多个柱的源侧选择装置”。因此:
· 最强单篇新颖性攻击不超过 65%;
· 最强创造性组合为 CN102148059A + CN101800224A,评估 74%;
· 本轮综合无效成功概率评估 74%,仍低于75%,应进入第3轮定向补检。
权利要求10原文为:
根据权利要求1所述的设备,其中:所述串为多个串中的一者;且所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间。
逐项拆分:A,电荷存储装置串与含半导体材料的柱相关联;B,源极栅极装置耦合到源极并控制串通道与源极之间的导电;C,源极选择装置位于串与源极栅极装置之间;D,源极选择装置控制该导电;N,所述串为多个串之一;O,所述同一个源极选择装置耦合于多个串与源极栅极装置之间。
目标专利图1B及相应文字把逐串源极选择装置122与共用SGS线150分开表述;源极栅极装置170/172与共用源极栅线176亦分开表述。因此本轮采取对抗性口径:除非现有技术把横向导电层/板本身定义为选择装置或明确其作为单一实体包围/控制多个柱,否则“共同控制线”不能自动等于“一个多串装置”。
检索日:2026-08-20。下列四个第2轮精确式均实际提交至Google Patents,并使用 before=publication:20110815。检索结果页受Google反自动化机制影响,部分请求不能稳定渲染;为保证可复核性,又用各语种原生短语进行站内/域限定回查,并逐一打开Google Patents候选全文、权利要求、附图说明和同族页核验。该技术限制不影响下列直接全文链接和元数据核验,但不把未成功显示的结果页命中数作为结论依据。
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语言 |
实际提交的精确检索式 |
Google Patents检索URL |
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中文 |
("共同源极选择栅板" OR "单个源极选择装置" OR "共享源极选择栅电极") ("多个垂直NAND串" OR "多个半导体柱") ("第一源极选择栅" OR "第二源极选择栅") ("位于之间" OR "包围多个柱") |
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英文 |
("common source select gate electrode" OR "single source select device" OR "shared source-select gate plate") ("plurality of vertical NAND strings" OR "multiple semiconductor pillars") ("first source select gate" OR "second source select gate") ("interposed between" OR "surrounds multiple pillars") |
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日文 |
("共通ソース選択ゲート電極" OR "単一のソース選択素子" OR "共有ソース選択ゲート板") ("複数の垂直NANDストリング" OR "複数の半導体ピラー") ("第1ソース選択ゲート" OR "第2ソース選択ゲート") ("間に配置" OR "複数のピラーを包囲") |
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韩文 |
("공통 소스 선택 게이트 전극" OR "단일 소스 선택 소자" OR "공유 소스 선택 게이트 플레이트") ("복수의 수직 낸드 스트링" OR "복수의 반도체 기둥") ("제1 소스 선택 게이트" OR "제2 소스 선택 게이트") ("사이에 배치" OR "복수 기둥을 둘러싸는") |
实际回查式还包括:中文 "单一的下选择栅极线" "多个垂直NAND沟道";英文 "pair of first and second ground selection transistors" "pillar shape";日文 "単一の下部選択ゲート線" "複数の垂直NANDチャネル";韩文 "한 쌍의 제1 및 제2 접지 선택 트랜지스터" "기둥 형상"。这些回查分别锁定CN101800224A四国同族和US20110024816A1/KR20110012806A同族;同族文本用于翻译和附图交叉核验,不把同一发明重复计为多份独立证据。
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文件 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
资格与作用 |
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包括垂直NAND沟道的非易失性存储器装置 |
2009-02-10 |
2010-02-09 |
2010-08-11 |
合格;“多个垂直沟道—单一上下选择线”最强实体共享证据 |
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Non-volatile memory devices including vertical NAND channels and methods of forming the same |
2009-02-10 |
2010-02-05 |
2010-08-12 |
CN101800224A同族英文本,不独立叠加 |
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垂直NAND沟道非易失性存储器 |
2009-02-10 |
2010-02-10 |
2010-08-26 |
同族日文本,合格但不独立叠加 |
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수직 낸드 채널을 포함하는 비휘발성 메모리 장치 |
2009-02-10 |
2010-02-08 |
2010-08-19 |
同族韩文本,合格但不独立叠加 |
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Flash memory device having vertical channel structure |
2009-07-31 |
2009-12-22 |
2011-02-03 |
合格;每串两个串联地选择晶体管的最强新增证据 |
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수직 채널 구조의 플래쉬 메모리 소자 |
2009-07-31 |
2009-07-31 |
2011-02-09 |
前项同族韩文本,用于原语核验 |
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Nonvolatile semiconductor memory device |
2009-03-18 |
2010-02-26 |
2010-09-23 |
合格但仅一个源侧LSG;相邻LSG处于不同高度不是同柱串联双级 |
特别排除:US20110294290A1虽公开多个有源柱贯穿地选择线、下部导电图案可为板状、地选择栅可由依次堆叠的两条或更多导电线构成,技术内容非常接近目标,但其优先权日为2010-05-28、公开日为2011-12-01。公开日晚于截止日,不能因优先权较早而纳入本任务现有技术,也未计入概率。
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特征 |
CN102148059A |
CN101800224A / US20100202206A1 |
US20110024816A1 / KR20110012806A |
结论 |
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A:柱式电荷存储串 |
图3—5:柱113贯穿层叠体;隧穿层117、氮化物电荷俘获层118、阻挡层119及字线形成串。 |
说明书图1A/1B、图3A—3E:垂直有源区/沟道穿过栅层;相邻结构包括隧穿绝缘膜、电荷存储层、阻挡膜和控制栅。权利要求15限定柱/圆柱形垂直沟道。 |
图3、图5:柱形沟道区120,存储单元栅和介质层沿柱顺序形成;多个柱各构成垂直串。 |
三者均直接,强。 |
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B:源极栅装置耦合源极并控导电 |
图7、14、15:外侧GSL11邻近CSL;电压使柱体反型并连通CSL。 |
下选择栅LSG位于垂直存储单元下方并连接各垂直沟道;只有一个源侧选择级,不能区分B/C两个实体。 |
图1、2:共同源线CSL与一对GST1、GST2相连;外侧GST2可映射源极栅装置。 |
CN102及US20110024816直接。 |
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C:源极选择装置位于串与源极栅装置之间 |
图14、15:内侧GSL21邻近字线,外侧GSL11邻近CSL,两者在源侧串联。 |
只有一个下选择栅;上选择栅位于位线/漏侧,不能拿来充当源极栅。 |
图2文字明确“一对第一和第二地选择晶体管GST1、GST2串联在存储单元与共同源线CSL之间”;内侧GST1可映射源极选择装置。 |
CN102、US20110024816直接;CN101缺失。 |
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D:源极选择装置控制导电 |
图7及操作段:GSL电压形成或切断反型沟道。 |
LSG选择多个垂直沟道;功能直接但仅单级。 |
图1、2及操作说明:GSL1/GSL2控制对应GST1/GST2,决定串至CSL导通。 |
均直接。 |
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N:所述串为多个串之一 |
图6、14:NS11—NS33多个串。 |
摘要、权利要求1、18、21及图1A明确多个彼此相邻垂直NAND沟道。 |
图1、3明确多个垂直串/多个柱形沟道120。 |
均直接。 |
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O:同一个源极选择装置耦合多个串,且位于这些串与另一源极栅装置之间 |
图14称NS11—NS13共同连接GSL21/GSL11;图3—4导电层横向延伸,但文字仍可解释为多个逐柱GST共用线。 |
摘要及权利要求1、18、21/22直接写“多个垂直NAND沟道耦接至单一下选择栅极线”;图3A—3E显示分离的上选择线与单一公共下选择线成组。它强证实一个实体下栅线跨多个柱,但源侧没有第二栅实体,故缺“位于……与另一源极栅装置之间”。 |
图2明确两个源侧GST串联,但明确是每一串的一对GST;图5仅称导电层150形成栅电极156、158,未明确某一栅电极是连续板并同时包围多个柱。共同GSL不能替代该缺口。 |
没有一篇同一实施例完整覆盖O。 |
CN101800224A中,摘要、权利要求1/18/21/22与图1A、1B、3A—3E共同指向同一基本架构:多个相邻垂直沟道耦接单一上/下选择线;说明书对电荷存储介质和柱形沟道的说明也属于该架构。但其“单一上选择线”处在漏侧,不能与下选择线拼成两个源侧装置。
US20110024816A1中,图1是多个串电路,图2放大同一结构的一串,明确GST1、GST2串联于存储单元与CSL之间;图3、图5给出对应柱形实体和栅层工艺,属于连续公开链。问题不是实施例拼接,而是实体身份:图1/2把GST定义为各串所有,图5没有俯视图或文字证明栅电极156/158中的任一个是“单一板状装置”跨越多个柱。
US20100237400A1的第二实施例虽称下选择栅在两个不同垂直层级交替布置,但其含义是相邻选择栅错层以改善布局,并非同一柱上两个串联源侧栅;不得误读为O。
· CN102148059A:55%。A-D、N直接;O仍是“共同GSL—多个交点GST”的主体同一性问题。
· CN101800224A:62%。A、D、N及“单一下选择栅线跨多个垂直沟道”非常明确,但缺第二源侧源极栅装置,C/O不完整。
· US20110024816A1:65%。A-D、N和同一串内两个源侧GST最清楚,但没有明确一个GST实体同时控制多个柱;共同GSL不足以直接覆盖O。
没有合格文件达到单篇明确全部特征的90—95档,也没有单篇达到80档。
CN102给出柱式电荷俘获串、每串源侧双GSL拓扑及行级共同控制;CN101800224A明确教导多个相邻垂直沟道耦接单一公共下选择栅线。技术人员为统一控制同一行的多个垂直串,并以层叠导电层简化布线,会把CN102的至少内侧GSL实现为CN101的单一公共横向栅层。二者同属垂直NAND、相同柱/栅交叉工艺,电气功能和层叠制造相容,CN102自身还已有横向连续导电层,结合动机较强。
抗辩在于:组合最多显然导向“单一公共栅电极在各柱交点形成多个GST”,未必导向“一个晶体管装置有多个彼此独立的串通道”。目标专利自身的line/device区分给该抗辩现实支点;此外,需要把CN101只有一个源侧公共栅的教导复制到CN102两个源侧级之一,仍带有一定事后选择。因此评估停在74%。
CN101提供单一公共下选择栅跨多个柱;US20110024816提供为了源端可靠关断/控制而在每串设置串联GST1/GST2的结构。把公共下栅层复制为两个垂直相邻的公共栅层,在层叠工艺上直接相容,并得到内层位于多个串与外层源栅之间的空间关系。
反方可指出:US文献没有把两个GST做成共享板的具体教导,CN文献也没有提出源侧双栅问题;从“一个公共层+每串两个晶体管”重构成“两个单一公共装置”依赖两步抽象。故该组合可诉但略弱于首选。
三篇可分别补足双级拓扑、两GST功能和单一公共栅实体,但三篇组合更易遭受“拼图式事后分析”抗辩。可作为对各单项均属公知的辅助证据链,不宜用其把概率人为抬过75%。
11. 共同栅线不等于一个装置。 这是决定性争议。可回应CN101的权利要求以“单一下选择栅极线”作为直接耦接多个沟道的实体结构,CN102的栅层也是物理导电构件;但若“装置”被解释为完整晶体管,多个柱交点仍形成多个晶体管,回应不足以消除风险。
12. 上选择栅不能充当源极栅。 同意。CN101的USG在位线侧,不能用来填补C;本报告没有作此映射。
13. 两个逐串GST不能自然变成两个共享装置。 可从垂直NAND常用层叠公共栅制造、统一行控制和减少布线提出动机;但缺少截止日前“两个公共板同时跨多个柱”的明确图文,仍有后见之明风险。
14. 同族多语公开不是多份独立组合证据。 同意。四国同族仅作原文翻译、日期及图文交叉核验,概率没有重复累加。
15. 晚公开文件能否用优先权日补救。 不能。本任务明确以公开日为截止;US20110294290A仅用于指示下一轮追溯方向,不用于无效理由。
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攻击路径 |
概率 |
统一尺度定位 |
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CN102148059A单篇 |
55% |
O有实质缺口 |
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CN101800224A单篇 |
62% |
缺第二源侧实体 |
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US20110024816A1单篇 |
65% |
双级直接,但共享“装置”不直接 |
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CN102148059A + CN101800224A |
74% |
组合明确,但device/line解释与复制公共层有争议 |
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CN101800224A + US20110024816A1 |
73% |
可用两篇组合,仍有两步重构 |
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综合无效成功概率 |
74% |
低于75%;本轮未发现可把争议压到75%以上的截止日前同一实施例 |
第3轮应围绕晚公开但技术上高度接近的US20110294290A1向前追溯,而不是继续搜索“common line”。具体路径:
16. 追查其韩国优先权申请KR1020100050479、发明人及三星同批申请的引用/被引、分案和更早会议论文;寻找在2011-08-15前公开的同图或前代结构。
17. 交叉分类 H01L27/11582、H10B43/27、G11C16/0483,限定Samsung、Toshiba,并强制同时出现 plate shape、two or more sequentially stacked conductive lines、plurality of active pillars。
18. 只收录附图剖面/立体图或权利要求明确显示:两个源侧导电板各自连续跨多个柱,内板位于多个存储串与外板/共同源之间。仍只有“各串GST共接GSL”的文件降为辅助证据。
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语言 |
第3轮待执行精确式 |
Google Patents策略URL |
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中文 |
("下部栅极导电图案" OR "接地选择栅板") ("板状" OR "单一共用下选择栅") ("依次堆叠的两条或更多导电线" OR "第一和第二接地选择层") ("多个有源柱" OR "多个垂直NAND串") |
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英文 |
("lower gate conductive patterns" OR "ground selection gate plate") ("plate shape" OR "single common lower select gate") ("sequentially stacked two or more conductive lines" OR "first and second ground selection layers") ("plurality of active pillars" OR "plurality of vertical NAND strings") |
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日文 |
("下部ゲート導電パターン" OR "グランド選択ゲート板") ("プレート状" OR "単一共通下部選択ゲート") ("順次積層された二以上の導電線" OR "第1及び第2グランド選択層") ("複数のアクティブピラー" OR "複数の垂直NANDストリング") |
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韩文 |
("하부 게이트 도전 패턴" OR "접지 선택 게이트 플레이트") ("플레이트 형상" OR "단일 공통 하부 선택 게이트") ("순차 적층된 둘 이상의 도전 라인" OR "제1 및 제2 접지 선택층") ("복수의 액티브 필러" OR "복수의 수직 낸드 스트링") |
第3轮不得直接使用US20110294290A1本身,只能借其术语、发明人、申请人和引证链寻找截止日前真正已公开的来源。
本轮严格沿第2轮确定的线索,反向追溯晚公开文件 US20110294290A1 的韩国优先权族、发明人、申请人、引用/被引用、分类及可能母案。公开日界限仍为 严格早于2011-08-15,并继续采用对抗性解释:共同控制线不当然等于一个选择“装置”;O要求的是同一个源极选择装置实体耦合多个串,并位于这些串与另一个源极栅极装置实体之间。
反查确认:US20110294290A1的韩国基础申请为KR10-2010-0050479(2010-05-28),韩国公开 KR20110130916A 为 2011-12-06,美国公开为 2011-12-01;该族只有美、韩成员,没有更早公开的母案、延续或PCT文本。两名发明人Nakanishi Toshiro、Choong Man Lee的截止日前专利回查亦未发现同一双层共享源侧结构。故该晚公开文件只能证明检索概念准确,不能作为现有技术或计入概率。
本轮最强新增合格文件是 US20100133599A1。它在同一实施例中明确公开:多个有源柱、板状低端选择栅LSL、LSL横跨并连接多个有源柱,而且权利要求10写明一个栅电极连接至少四个二维排列的有源柱或至少两个一维排列的有源柱。这比仅写“多个GST共接GSL”更强地证明了共享物理栅实体。然而它只有 一个源侧LSL;另一板状USL位于位线侧,不能充当源极栅装置。因此仍没有截止日前单篇在同一实施例明确公开两个串联的源侧共享实体装置。
综合判断:第2轮首选组合 CN102148059A + CN101800224A 仍为74%;新增的 CN102148059A + US20100133599A1 也评为74%。本轮综合无效成功概率维持 74%,未达到75%,应进行第4轮,但本报告不执行第4轮。
权利要求10依附权利要求1,拆分为:A,柱相关联的电荷存储装置串;B,源极栅极装置耦合源极并控制串通道至源极的导电;C,源极选择装置位于串与源极栅极装置之间;D,源极选择装置控制该导电;N,该串是多个串之一;O,同一个源极选择装置耦合于多个串与源极栅极装置之间。
判定边界如下:
19. 两条GSL共同驱动每柱各自的GST,足以证明双级拓扑和共同控制,但不自动证明任一“装置”是跨多柱的单一实体。
20. 横向连续栅板若在文字、俯视图或权利要求中明确跨越多个柱,可作为“共享实体栅构件”的强证据;仍须另有第二个源侧实体,才能完整覆盖C/O。
21. 漏侧USL/SSL不得移作源侧第二装置;优先权日在截止日前但公开日在截止日后者不得纳入现有技术。
检索日:2026-08-20。下列第2轮末尾指定的四个精确式均已实际提交,限定 before=publication:20110815。复杂结果页受Google反自动化/当前浏览环境限制未稳定呈现,因此又以同样短语作Google Patents域限定检索,并逐一打开候选Google Patents全文、权利要求、附图说明、同族及引用页。没有用未渲染的结果数推导阴性结论;阴性结论仅指经候选全文核验后未发现合格的完整O结构。
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语言 |
实际提交的精确检索式 |
Google Patents检索URL |
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中文 |
("下部栅极导电图案" OR "接地选择栅板") ("板状" OR "单一共用下选择栅") ("依次堆叠的两条或更多导电线" OR "第一和第二接地选择层") ("多个有源柱" OR "多个垂直NAND串") |
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英文 |
("lower gate conductive patterns" OR "ground selection gate plate") ("plate shape" OR "single common lower select gate") ("sequentially stacked two or more conductive lines" OR "first and second ground selection layers") ("plurality of active pillars" OR "plurality of vertical NAND strings") |
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日文 |
("下部ゲート導電パターン" OR "グランド選択ゲート板") ("プレート状" OR "単一共通下部選択ゲート") ("順次積層された二以上の導電線" OR "第1及び第2グランド選択層") ("複数のアクティブピラー" OR "複数の垂直NANDストリング") |
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韩文 |
("하부 게이트 도전 패턴" OR "접지 선택 게이트 플레이트") ("플레이트 형상" OR "단일 공통 하부 선택 게이트") ("순차 적층된 둘 이상의 도전 라인" OR "제1 및 제2 접지 선택층") ("복수의 액티브 필러" OR "복수의 수직 낸드 스트링") |
实际追加回查还包括:英文 H10B43/27 "plate shape" "two or more conductive lines" "active pillars"、"Nakanishi Toshiro" Samsung vertical memory、"Choong Man Lee" "lower gate conductive";中文 "两个下部选择线" "垂直沟道" NAND;日文 "二つの下部選択線" "垂直チャネル" NAND;韩文 "두 개의 하부 선택 라인" "수직 채널"、"제1 및 제2 하부 선택 트랜지스터" "활성 기둥"。分类/原词回查命中的完整双层板结构仍是截止日后的US20110294290A1、KR20110130916A及其他2012年后文件;截止日前命中均只有单层共享板或逐串双GST。
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项目 |
核验结果 |
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标题 |
Three-dimensional semiconductor memory device and method for manufacturing the same |
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申请人 |
Samsung Electronics Co., Ltd. |
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发明人 |
Nakanishi Toshiro;Choong Man Lee |
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韩国基础申请 |
KR10-2010-0050479,申请/优先权日2010-05-28 |
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美国申请 |
US13/117,489,申请日2011-05-27;US20110294290A1公开日2011-12-01 |
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韩国公开 |
KR20110130916A,公开日2011-12-06 |
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族/母案 |
Google Patents family仅显示US、KR;没有更早公开的PCT、母案或延续公开 |
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资格 |
两件A公开均晚于2011-08-15,排除 |
其图1—7/说明书对应段落的技术内容非常接近目标:图1说明多个cell strings位于CSL和位线之间且各含GST;图2—7说明多个active pillars贯穿层叠体;说明书明确下部导电图案121、122用作GSL,可为plate shape,并且作为GSL/SSL的导电图案可包括“sequentially-stacked two or more conductive lines”。这些内容只用于确认目标结构确实存在于该晚公开文本中,不用于无效理由。
Google Patents列出的截止日前主要引用包括JP2008160004A、JP2008181978A、US20080242034A1、KR20090047614A、US20090302377A1、US20100163968A1和US20100181610A1;逐篇回查未发现双层源侧共享实体。被引文件最早也在2015年后,不能提供更早来源。其分类包括H10B43/20、H10B41/20、H10B41/23、H10B41/27、H10B41/35、H10D30/689、H10D30/693和H10D88/00;用这些分类叠加实体词回查,仍未找到截止日前完整O。
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文件 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
资格及作用 |
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Nonvolatile memory device and method for fabricating the same |
2008-12-03 |
2009-12-03 |
2010-06-03 |
合格;本轮最强“板状单一LSL跨多个柱”证据 |
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Semiconductor memory device having insulation patterns and cell gate patterns |
2008-12-31 |
2009-12-30 |
2010-07-01 |
合格;第一选择栅110为平面层且多个柱贯穿,但源侧仅一级 |
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Non-volatile memory device and method for fabricating non-volatile memory device |
2009-01-19 |
2009-12-30 |
2010-07-22 |
合格;多个垂直串、共同LSL,但每串仅一个LST |
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Three-dimensional semiconductor memory device and method for manufacturing the same |
2010-05-28 |
2011-05-27 |
2011-12-01 |
晚公开;仅线索 |
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同一发明的韩国公开 |
2010-05-28 |
2010-05-28 |
2011-12-06 |
晚公开;无日期补救 |
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Semiconductor memory devices having asymmetric wordline pads |
2010-06-24 |
2010-06-24 |
2011-12-30 |
检索词命中“双下选择线”,但晚公开且非本轮可用证据 |
· 图1及说明书“Referring to FIG. 1”段:cell array包括多个strings STR,位于CSL与BL1—BL3之间;每串有LST、UST及串联存储单元。
· 图2A—2C、图3及对应段:最低层栅电极LSL用作lower select line;LSL可为 plate shape;active pillars PL垂直贯穿LSL/WL/USL并作为各串沟道,charge storage layer CS包围每个柱。
· 图8、图9第四实施例:明确“plate-shaped gate electrodes LSL, WL and USL”,多个active pillars贯穿这些板状栅电极。
· 权利要求1、7、10:多个active pillars、相交的多个gate electrodes;权利要求10进一步限定一个gate electrode连接至少四个二维排列柱或至少两个一维排列柱。
· 同一实施例:图1的电路定义与图2A—3实体结构连续;图8—9是明确的板状变型。无论采用第一还是第四实施例,源侧都只有一个LSL;USL仍在漏/位线侧。因此A、D、N和“共享板”强,C/O缺第二源侧实体。
US20100163968A1图1、图2A/2B对应段称第一选择栅110位于最低cell gate与基板之间,具有planar surface,横向延伸;开口140及active pattern 165贯穿该层,电荷存储层157沿柱布置。第一选择栅只形成一个源侧选择级,第二选择栅130在顶部/漏侧。US20100181610A1图1对应段则明确多个strings位于bit lines和CSL之间,每串一个lower selection transistor LST,各LST接共同lower selection line LSL;它仍是“逐串LST+共同线”,没有第二源侧级。
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特征 |
CN102148059A(既有主文献) |
US20100133599A1(本轮新增) |
US20100163968A1 / US20100181610A1 |
US20110294290A1(晚公开线索) |
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A 柱式电荷存储串 |
图3—7:柱113、隧穿层117、电荷俘获层118、阻挡层119及字线形成垂直串。 |
图1、图2A—3:PL为串通道,CS包围各柱。直接。 |
前者active pattern 165及charge storage layer 157;后者多个垂直STR。直接。 |
active pillar AP、data storage pattern 150。直接但日期不合格。 |
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B 源极栅装置耦源并控导电 |
图14/15外侧GSL11邻近CSL,控制反型导通。直接。 |
LSL邻近CSL并控制LST;但仅一个源侧级。 |
均有一个下选择级连接CSL。 |
下部GSL及GST连接CSL。直接但晚。 |
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C 内侧源极选择装置位于串与外侧源极栅之间 |
图14/15的GSL21在字线侧、GSL11在CSL侧,双级拓扑直接。 |
缺;只有一个源侧LSL,USL在位线侧。 |
缺;源侧均只有一级。 |
121/122可构成两条堆叠GSL,技术上接近直接,但晚。 |
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D 源极选择装置控导电 |
GSL电压控制柱通道。直接。 |
LSL/LST选择串。直接。 |
第一选择栅/LST控制串。直接。 |
GSL作为GST栅,直接但晚。 |
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N 多个串 |
图6、14的NS11—NS33。直接。 |
图1多个STR;PL矩阵。直接。 |
多个开口/柱或多个STR。直接。 |
多个二维排列CSTR/AP。直接但晚。 |
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O 同一内侧装置跨多个串且处于多个串与另一源栅装置之间 |
两条共享GSL但文字仍可解释为各柱GST共线;主体同一性有缺口。 |
权利要求10及图8—9强证一个板状栅跨多个柱;但没有第二源侧装置,空间关系不完整。 |
只有一个共享层或共同线,且无源侧第二实体。 |
两个下部图案可为板状,是最接近同篇证据;因公开日晚不能使用。 |
没有新的合格单篇完整公开O。US20100133599A1单篇评估 63%:共享物理实体证据很强,却明确只有一个源侧选择级;US20100163968A1和US20100181610A1不超过60%。US20110294290A1若日期合格会是高价值单篇候选,但公开日缺陷是绝对门槛,不能以其2010年优先权日替代。
CN102提供A-D、N及同一串源侧GSL21/GSL11双级顺序;US20100133599A1明确教导将源侧LSL做成板状、由多个active pillars贯穿,并由权利要求确认一个gate electrode连接多个柱。两者均属三星/同代垂直NAND层叠栅工艺,均采用柱穿横向栅层、共同源线及层叠选择栅,结构、电压控制和制造方式高度相容。技术人员为统一一行/一块中多个垂直串的源侧选择并减少独立布线,有动机把CN102的内侧GSL21实现为US文献的公共板状LSL。
决定性抗辩仍是:组合得到的通常表述是“公共栅板在多个柱交点分别形成多个选择晶体管”,而非“一个晶体管装置含多个独立串通道”。此外,US20100133599A1只教一个源侧板;把其公共板教导选择性复制到CN102两个源侧级中的某一级或两级,仍有事后重构色彩。新增文献使“共享物理层”论证更扎实,但没有消除主体同一性问题,故不越过75%。
· CN102148059A + CN101800224A:仍为 74%。CN101800224A“多个垂直沟道—单一下选择栅线”直接,但也只有一个源侧级。
· US20110024816A1 + US20100133599A1:约 73%。前者提供每串串联GST1/GST2,后者提供公共板LSL;需要把一个公共板复制成两个,存在两步重构。
· 三篇组合(CN102 + US20100133599 + US20110024816):可佐证各子特征公知,但更易被批评为拼图式后见之明,不据此提高概率。
本轮实质增益是找到US20100133599A1:它以图8—9、说明书和权利要求10三层证据明确“一个栅电极跨/连接多个有源柱”,因而较一般“共同LSL”更有利于把横向栅板解释为实体构件。但它没有第二个源侧实体;同时,晚公开的精确结构经同族追溯不能获得更早公开日。故关键缺口没有闭合。
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攻击路径 |
概率 |
理由 |
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CN102148059A单篇 |
55% |
双级拓扑强,O的device/line主体同一性缺口 |
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US20100133599A1单篇 |
63% |
共享板强,但缺第二源侧实体 |
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CN102148059A + CN101800224A |
74% |
第2轮首选,争议未变 |
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CN102148059A + US20100133599A1 |
74% |
新增最强组合;仍需复制公共板教导且“一个装置”解释有争议 |
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综合无效成功概率 |
74% |
低于75%,需第4轮 |
第4轮应停止泛搜“common line”,集中处理两个剩余问题:第一,寻找权利要求/说明书直接把第一、第二两个下选择栅层分别称为公共板/连续栅电极的截止日前文本;第二,沿2011年末—2012年初精确文件(US20110294290A1、KR20110140018A、US20120001345A1/US20120003831A1)的最早韩国申请、审查引用、发明人同期族和非专利文献反查,查明是否有截止日前公开的同图会议论文、技术文集或前代专利。只有优先权申请但未公开者不得使用。
第4轮四语Google Patents待执行式如下:
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语言 |
待执行精确式 |
Google Patents策略URL |
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中文 |
("两个下部选择栅极层" OR "第一和第二下选择栅板") ("每一栅极层横跨多个有源柱" OR "共同连接多个垂直串") ("板状" OR "连续栅电极") |
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英文 |
("two lower selection gate layers" OR "first and second common ground-select plates") ("each gate layer intersects a plurality of active pillars" OR "commonly connected to adjacent vertical strings") ("plate-shaped" OR "continuous gate electrode") |
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日文 |
("二層の下部選択ゲート" OR "第1及び第2共通グランド選択板") ("各ゲート層が複数のアクティブピラーと交差" OR "複数の垂直ストリングに共通接続") ("プレート状" OR "連続ゲート電極") |
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韩文 |
("두 층의 하부 선택 게이트" OR "제1 및 제2 공통 접지 선택 플레이트") ("각 게이트층이 복수의 액티브 필러와 교차" OR "복수의 수직 스트링에 공통 연결") ("플레이트 형상" OR "연속 게이트 전극") |
执行时还应分别加申请人Samsung/Toshiba、分类H01L27/11582/H10B43/27/G11C16/0483和晚公开族发明人,逐一核验最早公开文本;仍不得把共同控制线等同一个装置。
本轮按照比第3轮更严格的解释口径检索和复核:权利要求10的新增特征O不是“多个逐串选择晶体管共用一根控制线”,而应当在同一源端、同一实施例中存在两个串联的实体选择级,其中内侧的单数“源极选择装置”本身耦合多个垂直串,并位于这些串与外侧单数“源极栅极装置”之间。理想证据应进一步显示两个源侧选择级均为横跨多个柱的连续实体层/板,且可分别识别或偏置。
本轮实际执行中、英、日、韩四语Google Patents精确检索,并沿分类号、申请人、发明人及引用/同族链追溯 US20110294290A1、US20100133599A1 及相关三星同期案。没有找到公开日严格早于2011-08-15、又在同一实施例明确公开“同端双级+内级连续实体跨多柱+外级独立+空间顺序明确”的新文件。
最重要的阴性结果是:
22. US20110294290A1及韩国同族的两个或更多堆叠下部导电线最接近目标概念,但分别到2011-12-01、2011-12-06才公开,不能用2010年的优先权/申请日替代公开日。
23. US20100133599A1、其近缘案US20100133598A1以及CN101800224A/US20100202206A1均能证明一个板状下选择栅跨多个柱,却只有一个源侧选择级;另一USL/上选择栅位于漏/位线侧。
24. US20110024816A1明确每串在同一源端串联GST1、GST2,但公开的是每柱各自的一对晶体管;共同控制线不足以证明一个多串实体装置。
25. US20110092038A1出现两层选择图案的变型在漏侧,不能倒置成源侧证据。
26. US20110310670A1的“垂直+横向”两级接地选择结构虽有启发性,但公开日晚于截止日;其母案US12/701,246所对应的US20100202206A1仅公开一个下选择级,不能把延续部分的新内容追溯为母案已公开内容。
因此,第3轮74%的估计下调为本轮点估 73%(合理区间71%—74%)。首选仍为CN102148059A+US20100133599A1(或其单一公共下栅同类CN101800224A),属于可诉的创造性组合,但没有达到75%。CN102148059A单篇仅约55%,不宜主攻新颖性。
权利要求10依附权利要求1,拆分为:
· A:与柱相关联的电荷存储装置串;
· B:源极栅极装置耦合源极并控制串通道至源极的导电;
· C:源极选择装置位于串与源极栅极装置之间;
· D:源极选择装置控制该导电;
· N:该串为多个串中的一者;
· O:一个源极选择装置耦合于多个串与所述源极栅极装置之间。
本轮对O采用以下验收次序:
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层级 |
必要内容 |
处理 |
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实体 |
单一连续选择栅层/板明确横跨、包围或被多个柱贯穿 |
强证据 |
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双级 |
该实体与另一独立源侧选择实体串联,不是位线侧SSL/USL |
必要 |
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位置 |
内级位于多个存储串与外级源极栅装置之间 |
必要 |
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实施例 |
上述关系在同一实施例、同一源端出现 |
必要 |
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排除 |
仅共同控制线、每柱独立GST、漏侧第二级、晚公开文本 |
不能单独覆盖O |
目标专利自身图1B及对应说明把逐串源极选择装置122与共同SGS线150分别命名,也把源极栅装置170/172与共同源极栅线176分别命名。因此,“line/plate”可以是一个装置的栅构件,却不能未经论证就等同于一个多通道“device”。这也是本轮不把“共线”证据拔高为O直接公开的原因。
检索日:2026-08-20。以下四式均已实际提交至Google Patents,限定 before=publication:20110815;检索页请求均正常返回。结果页的动态统计不稳定,故没有用结果数量证明“无结果”,而是逐一打开候选全文、权利要求、附图说明、法律事件、同族及引用页作出下文结论。
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语言 |
实际检索式 |
Google Patents检索URL |
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中文 |
“(两个下部选择栅极层 OR 第一和第二下选择栅板) (每一栅极层横跨多个有源柱 OR 共同连接多个垂直串) (板状 OR 连续栅电极)” |
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英文 |
“(two lower selection gate layers OR first and second common ground-select plates) (each gate layer intersects a plurality of active pillars OR commonly connected to adjacent vertical strings) (plate-shaped OR continuous gate electrode)” |
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日文 |
“(二層の下部選択ゲート OR 第1及び第2共通グランド選択板) (各ゲート層が複数のアクティブピラーと交差 OR 複数の垂直ストリングに共通接続) (プレート状 OR 連続ゲート電極)” |
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韩文 |
“(두 층의 하부 선택 게이트 OR 제1 및 제2 공통 접지 선택 플레이트) (각 게이트층이 복수의 액티브 필러와 교차 OR 복수의 수직 스트링에 공통 연결) (플레이트 형상 OR 연속 게이트 전극)” |
另实际执行下列分类/族谱定向式:
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方向 |
实际检索式 |
Google Patents URL |
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分类+实体 |
“H10B43/27 (two lower selection gate layers OR two ground select transistors) (plate-shaped OR plurality of active pillars)” |
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Nakanishi族谱 |
“assignee:(Samsung Electronics) inventor:(Toshiro Nakanishi) (lower gate conductive patterns OR ground selection lines)” |
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Lee/Chae族谱 |
“assignee:(Samsung Electronics) (inventor:(Myoungbum Lee) OR inventor:(Soodoo Chae)) (lower select line plate shape)” |
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东芝支线 |
“assignee:(Toshiba) (two lower select OR source-side select gate) (vertical channel OR semiconductor pillar)” |
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文件 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
本轮作用 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
合格;A-D、N、同源端双GSL主文献 |
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Nonvolatile memory device and method for fabricating the same |
2008-12-03 |
2009-12-03 |
2010-06-03 |
合格;板状LSL跨多个柱最强实体证据,但仅一个源侧级 |
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Nonvolatile memory device and method of fabricating the same |
2008-12-03 |
2009-12-03 |
2010-06-03 |
合格;近缘案,同样只有一个源侧LSL,不独立叠加 |
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包括垂直NAND沟道的非易失性存储器装置 |
2009-02-10 |
2010-02-09 |
2010-08-11 |
合格;多个垂直沟道耦接单一下选择栅线 |
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Non-volatile memory devices including vertical NAND channels and methods of forming the same |
2009-02-10 |
2010-02-05 |
2010-08-12 |
CN101800224A同族;母案公开内容核验 |
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Flash memory device having vertical channel structure |
2009-07-31 |
2009-12-22 |
2011-02-03 |
合格;每串同源端两个串联GST,缺共享实体 |
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Three dimensional semiconductor memory device and method of fabricating same |
2009-10-19 |
2010-10-08 |
2011-04-21 |
合格;双选择层变型在漏侧,排除误用 |
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Three-dimensional semiconductor memory device and method for manufacturing same |
2010-05-28 |
2011-05-27 |
2011-12-01 |
晚公开;仅作技术线索 |
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US20110294290A1韩国同族 |
2010-05-28 |
2010-05-28 |
2011-12-06 |
晚公开;没有日期补救 |
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Vertically-integrated nonvolatile memory devices having laterally-integrated ground select transistors |
2010-02-05;另有2010-08-27 |
2011-08-26 |
2011-12-22 |
晚公开CIP;不能把新增两级结构追溯为母案公开 |
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Three dimensional semiconductor memory device and method of manufacturing same |
2010-07-05 |
— |
2012-01-05 |
晚公开;且只称至少一层LSL |
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Methods of forming nonvolatile memory devices using selective etching techniques |
2010年 |
— |
2012-01-05 |
晚公开;单一下选择板 |
表中2011-08-15之后公开的文献全部排除在现有技术组合及概率计算之外;列示优先权日仅为族谱追溯,不作为其已经向公众公开的依据。
该案发明人为Toshiro Nakanishi、Choong Man Lee,申请人为Samsung。说明书[0050]—[0052]公开多个串和GST;[0059]—[0060]称下部导电图案121、122可用作GSL并可为plate shape,选择图案可含依次堆叠的两条以上导电线;[0089]、[0091]进一步把下部层121、122用于GSL。它是本轮最接近“双层共享下栅”的文字线索,但仍有两个限制:其一,美、韩公开均晚于截止日;其二,“相邻两导电图案构成一个GSL”也可能是同电位复合栅,而非两个可独立识别的串联装置。
其Google Patents同族仅显示美、韩成员,没有截止日前PCT或母案公开。回查所列早期引用 US20080242034A1、US20090302377A1、US20100163968A1、US20100181610A1、JP2008034456A、JP2008160004A、JP2009277770A及KR100855990B1,没有发现同源端两个共享实体板。US20100163968A1是源侧第一选择栅110和漏侧第二选择栅130;US20100181610A1是每串一个LST连接共同LSL。
US20100133599A1图1及相应说明公开多个strings STR处于CSL与位线之间,每串含LST、UST;图2A—3说明LSL/WL/USL层叠、多个active pillars PL贯穿这些层;图8—9明确plate-shaped gate electrodes。权利要求10进一步限定一个栅电极连接至少四个二维排列的有源柱或至少两个一维排列的有源柱。这是“单一物理栅实体跨多柱”的强证据,但低端仅一个LSL,USL在位线侧。近缘US20100133598A1及引用US20100155818A1也没有第二源侧选择板,因此不能形成第二份独立补强。
该晚公开CIP把横向集成GST置于垂直GST与共同源之间,在概念上可形成同一源端两级。但其母案US12/701,246公开为US20100202206A1,只明确多个相邻垂直NAND沟道耦合单一下选择栅线。未在母案公开文本中找到后来“横向+垂直两级”结构,故不能仅凭CIP主张的早期优先权把新增内容视为截止日前已公开。
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特征 |
CN102148059A |
US20100133599A1 |
US20110024816A1 |
本轮严格结论 |
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A 柱式电荷存储串 |
图3—5:柱113贯穿层叠体;隧穿层117、电荷俘获层118、阻挡层119及字线形成垂直串。 |
图1、2A—3:active pillar PL为串沟道,charge storage layer CS包围柱。 |
图3、5:柱形沟道区120及沿柱形成的存储栅/介质。 |
均直接。 |
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B 外侧源极栅装置耦源并控制导电 |
图7、14、15:外侧GSL11邻近CSL;对GSL施压使柱体反型并接通CSL,见图7对应说明。 |
LSL邻近CSL并控制LST,但源侧仅一级,不能独自区分B/C。 |
图1、2:共同源线CSL与GST1、GST2相连,外侧GST2可对应B。 |
CN102、US20110024816直接。 |
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C 内侧源极选择装置位于串与外级之间 |
图14第一行NS11—NS13连接GSL21/GSL11;图15把GSL21置于字线侧、GSL11置于CSL侧;权利要求14—16支持垂直双级。 |
缺;USL在漏/位线侧。 |
说明书[0048]附近及图2:GST1、GST2串联于存储单元与CSL之间。 |
CN102、US20110024816直接。 |
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D 内级控制导电 |
GSL电压控制柱通道,直接。 |
LST/LSL控制串,直接但仅一级。 |
GST1控制源侧通路,直接。 |
直接。 |
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N 该串为多个串之一 |
图6、14的NS11—NS33。 |
图1多个STR,PL矩阵。 |
说明书[0038]、[0060]—[0061]及附图的多个串/柱。 |
直接。 |
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O 一个内级装置耦合多个串并处于这些串与外级之间 |
图14称NS11—NS13连接GSL21、GSL11;图3—4导电层横向延伸。但可解释为三个逐柱GST共用线,未明说一个多通道device。 |
图8—9及权利要求10强证一个板状栅跨多个柱,但只有一个源侧级。 |
每串的一对GST直接;没有文字或俯视图证明GST1对应的栅为一个连续多柱实体。 |
三篇各补一部分,均非单篇完整;组合仍需把公共板教导复制/移植到双级架构。 |
同一实施例性方面,CN102的图6、14、15属于同一垂直串架构的电路及变型链,能直接建立双源侧级;US20100133599的图1—3与图8—9属于同一基本板状栅/柱架构的实施例及变型,能建立单板跨多柱;US20110024816的图1—5形成从电路到柱体结构的连续公开链。缺口不是任一文件内部随意拼接,而是没有一篇文件在同一实施例把“两个源侧级”和“内级单实体跨多柱”同时说清。
· CN102148059A单篇:约 55%。A-D、N直接,O的device/line主体同一性为实质缺口。
· US20100133599A1单篇:约 60%—63%。一个共享物理LSL跨多柱很强,但明确缺第二源侧级。
· US20110024816A1单篇:约 65%。同源端双GST最强,却是每串独立GST,共同线不足以覆盖O。
没有合格单篇足以高概率破坏权利要求10的新颖性。US20110294290A1及US20110310670A1不能因优先权较早而计入。
CN102提供A-D、N及同一串源侧GSL21/GSL11的双级空间顺序;US20100133599A1教导将源侧LSL制成plate-shaped gate electrode,由多个active pillars贯穿,并在权利要求层面确认一个栅电极连接多个柱。两者均属三星同期垂直NAND、均采用柱穿横向层叠导电层,结构和制造工艺高度相容。为统一控制一行/阵列中的多个串并减少单独布线,技术人员有把CN102内侧GSL21实现为公共板状栅层的动机。
对抗性反驳是:CN102的GSL11/GSL21按行连接并在抑制GIDL的操作中承担差分/选择性偏置;US20100133599的板状LSL可跨较大区域且只提供一个源侧级。把后者全局板直接移植或复制为CN102两个源侧板,可能改变CN102的行级偏置和选择架构。即使形成连续板,在各柱交点仍可被解释为多个晶体管共用一个栅电极,而非一个选择“装置”具有多个串通道。该组合可诉,但仍存在后见之明和术语解释风险,评估 73%(71%—74%)。
· CN102148059A+CN101800224A/US20100202206A1:CN102给双级,后者给“多个相邻垂直NAND沟道耦接单一下选择栅线”;与首选同样缺少第二个源侧公共实体,约 72%—73%。
· US20110024816A1+US20100133599A1:前者给逐串双GST,后者给一个公共板;需要把一个公共板的教导复制到双级中的至少内级,并解决行级/全局偏置,约 71%—72%。
· 三篇组合:虽可分别覆盖“垂直串”“同端双级”“单板跨多柱”,但更易被批评为拼图式后见之明,不据此提高总概率。
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攻击路径 |
点估 |
说明 |
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CN102148059A单篇新颖性 |
55% |
双级直接,O实体身份缺口 |
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US20100133599A1单篇新颖性 |
62% |
共享板直接,缺第二源侧级 |
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US20110024816A1单篇新颖性 |
65% |
双GST直接,缺单一多串实体 |
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CN102148059A+US20100133599A1创造性 |
73% |
最强组合;存在复制板层、偏置改变和device/line解释争议 |
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CN102148059A+CN101800224A创造性 |
72%—73% |
同类公共下栅补强,缺口相同 |
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综合无效成功概率 |
73%(71%—74%) |
低于75%,建议第5轮 |
第5轮不再泛搜“common line”,而应只接受同时显示“同一源端两个独立实体选择级+至少内级连续跨多个柱+空间顺序清楚”的材料。建议按以下顺序:
27. 调取US13/219,178(US20110310670A1)及韩国基础申请KR10-2010-0083682的审查档案,逐项比对母案US12/701,246,确认横向GST何时加入,并追查审查员引用的非专利文献;未公开优先权申请本身仍不能作为现有技术。
28. 沿US20110294290A1的KR10-2010-0050479、发明人Toshiro Nakanishi/Choong Man Lee及Samsung同期项目,查IEDM、VLSI Symposium、IMW、SSD、三星技术文集等截止日前论文/会议公开。目标是找到与图1—7相同的两层下栅图,而非仅证明研发日期。
29. 在KIPRIS、J-PlatPat及Google Patents以H10B43/27、H10B43/35、G11C16/0483叠加“first/second lower plate”“independently biased”“plural pillars”,逐图核验剖面和俯视图;优先Samsung、Toshiba、SanDisk。
30. 对US20120001345A1、US20120003831A1及其他2011年末精确命中案,反查最早公开同族、引用、发明人同期案及非专利公开;若只有未公开优先权申请,明确排除。
第5轮建议四语式(策略式,尚未在本轮执行):
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语言 |
建议式 |
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中文 |
“(第一下选择栅板 OR 第一接地选择栅板) (第二下选择栅板 OR 第二接地选择栅板) (两个板分别贯穿多个柱 OR 每层控制多个垂直串) (独立偏置 OR 串联)” |
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英文 |
“(first lower select gate plate OR first ground-select plate) (second lower select gate plate OR second ground-select plate) (each plate intersects multiple vertical channels OR both plates span plural pillars) (independently biased OR connected in series)” |
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日文 |
“(第1下部選択ゲート板 OR 第1グランド選択板) (第2下部選択ゲート板 OR 第2グランド選択板) (各板が複数の垂直チャネルと交差 OR 両板が複数ピラーを横断) (独立バイアス OR 直列)” |
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韩文 |
“(제1 하부 선택 게이트 플레이트 OR 제1 접지 선택 플레이트) (제2 하부 선택 게이트 플레이트 OR 제2 접지 선택 플레이트) (각 플레이트가 복수 수직 채널과 교차 OR 두 플레이트가 복수 필러를 가로지름) (독립 바이어스 OR 직렬)” |
每式均应追加 before=publication:20110815。只有满足本节严格验收条件的新材料,才可能使概率越过75%;若仍只是共同线、逐串GST、漏侧USL或晚公开族案,应维持不高于74%的判断。
本轮按第4轮提出的新路径,沿三星同期垂直NAND案的申请人、共同发明人、旧分类及引证链反查,并在Google Patents实际执行中、英、日、韩四语严格式。截止日前新增的最接近文件是 US20110147801A1,但其“global lower select line”是连接局部栅图案的上层互连,不是沿柱形成沟道的第二个源侧选择栅实体;该案在器件层面仍只直接公开一个源侧LSL。
因此,仍未找到公开日严格早于2011-08-15、并在同一实施例明确公开以下完整顺序的文件:多个垂直串 → 一个跨多个串/柱的内侧源极选择实体 → 另一独立外侧源极栅实体 → 源极,且两实体具有不同偏置/选择分工。首选组合仍是 CN102148059A+US20100133599A1,综合无效成功概率维持 73%(合理区间71%—74%),低于75%,应进入第6轮。
权利要求10引用权利要求1,并增加:“所述串为多个串中的一者;且所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间。”沿用A-D+N+O标记:
· A:具有柱式沟道/电荷存储结构的串;
· B:源极栅极装置耦合于源极并控制其与串之间的导电;
· C:另一源极选择装置位于串与B之间;
· D:该源极选择装置控制导电;
· N:该串属于多个串;
· O:同一个内级源极选择“装置”耦合多个串,并位于这些串与另一外级源极栅“装置”之间。
本轮不把“多个逐柱晶体管共用一根控制线”当然等同于“一个装置”,也不把global interconnect、共同源线或漏侧双级倒置成两个源侧实体。
截止过滤均设为 before=publication:20110815;候选命中后另行打开Google Patents全文页核验公开日、附图和说明书。
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语言 |
本轮精确检索式 |
结果页 |
严格命中 |
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中文 |
("第一下选择栅板" OR "第一接地选择栅板") ("第二下选择栅板" OR "第二接地选择栅板") ("多个垂直柱" OR "多个垂直NAND串") ("独立偏置" OR "不同电压") |
无 |
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英文 |
("first lower select gate plate" OR "first ground-select plate") ("second lower select gate plate" OR "second ground-select plate") ("plurality of vertical pillars" OR "plurality of vertical NAND strings") ("independently biased" OR "different voltages") |
无 |
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日文 |
("第1下部選択ゲート板" OR "第1グランド選択板") ("第2下部選択ゲート板" OR "第2グランド選択板") ("複数の垂直ピラー" OR "複数の垂直NANDストリング") ("独立バイアス" OR "異なる電圧") |
无 |
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韩文 |
("제1 하부 선택 게이트 플레이트" OR "제1 접지 선택 플레이트") ("제2 하부 선택 게이트 플레이트" OR "제2 접지 선택 플레이트") ("복수의 수직 필러" OR "복수의 수직 NAND 스트링") ("독립 바이어스" OR "상이한 전압") |
无 |
另实际按共同发明人 Hui-chang Moon / Hansoo Kim / Kihyun Kim / Soodoo Chae、申请人Samsung/Toshiba、旧分类脉络 H01L27/11582、H01L21/336、G11C16/0483 及关键词 LSL1/LSL2、GSL1/GSL2、global lower select line 交叉搜索。结果主要回到下列单层/逐串桥接案,或命中2011-08-15之后文件;没有发现新的合格精确案。
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
结论 |
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Nonvolatile memory device and method for fabricating the same |
2008-12-03 |
2009-12-03 |
2010-06-03 |
合格;一个板状LSL跨多个柱,但源侧仅一级 |
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Flash memory device having vertical channel structure |
2009-07-31 |
2009-12-22 |
2011-02-03 |
合格;每串同源端GST1/GST2,缺单一共享实体 |
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Three dimensional semiconductor memory device and method of fabricating same |
2009-10-19 |
2010-10-08 |
2011-04-21 |
合格;阶梯接触工艺/漏侧变型不能补目标源侧拓扑 |
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Three-dimensional semiconductor memory device and method of fabricating the same |
2009-11-03 |
2010-11-03 |
2011-05-05 |
合格;多个GSL横向分区,最低层仍仅一个源侧级 |
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Three-dimensional semiconductor device and method of fabricating the same |
2009-12-18 |
2010-11-24 |
2011-06-23 |
合格;本轮新增,LSL+global LSL实为“局部栅+上层互连”,不是串联双栅实体 |
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Patterning method to realize stepped structure… |
2010-04-05 |
2010-04-05 |
2011-10-12 |
晚公开;排除。其US同族US20110244666A1亦在2011年10月公开 |
晚公开文件不因优先权日在截止日前而取得现有技术资格。
· 图9及其对应说明:CSL作为公共源连接多个active patterns 180;栅图案包括“at least one lower select line LSL”,LSL是GST的栅并控制CSL与active pattern的连接;同段还把USL明确放在位线侧。因此A、D、N及一个源侧选择级直接公开。
· 图14D、图15C/15D及对应说明:global interconnection structure在连接区形成;G_LSL与G_WL连接到预定的上层互连240/250,并明确一个G_LSL电连接一个gate pattern GP。该G_LSL位于连接区且与bit line同层/可同工序形成,是对局部栅的布线,不沿active pillar形成第二个GST沟道。
· “at least one LSL”只是开放式数量措辞;全文及附图未给出两个相邻源侧LSL的具体实施例、串联空间次序或独立偏置。不能以“至少一个”推定权利要求10要求的两个实体。
图1及对应说明公开多个CSTR位于CSL与BL之间,每串一个GST;GSL0—GSL2选择不同串。制造实施例明确最上层导电图案用作SSL、最低层用作GSL,并将最低层GSL横向电隔离以分别加压。故“多个GSL”是同高度的横向分区/逐串选择,既没有两个相邻源侧栅层,也没有一个内层实体同时耦合多个串后再接外层实体。
· US20100133599A1图1、2A—3公开多个STR、active pillars PL及其周围的charge storage layer CS;图8—9明确板状LSL/WL/USL,多柱贯穿。权利要求10进一步要求一个gate electrode连接至少四个二维排列柱或至少两个一维排列柱。这是“单一物理栅跨多柱”的最强合格证据,但最低层只有一个LSL,USL位于位线侧。
· US20110024816A1图2及对应说明明确每串GST1、GST2在存储单元与CSL之间串联;其强项是“同源端双级”,弱项是没有把所有串的内级GST证明为一个连续多柱实体。
· US20110092038A1的核心是形成阶梯接触结构;可见的双选择图案变型不能建立目标同一源端的“共享内级+独立外级”顺序,故本轮不据此增加覆盖。
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特征 |
CN102148059A |
US20100133599A1 |
US20110024816A1 |
US20110147801A1 |
本轮结论 |
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A 柱式电荷存储串 |
图3—7:柱113及隧穿/存储/阻挡层形成垂直串 |
图1、2A—3:PL+CS |
图3、5:柱形沟道及存储结构 |
图7—9:active patterns+信息存储层 |
均直接 |
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B 外级源极栅耦源并控导电 |
图14/15外侧GSL11邻近CSL |
LSL控制LST,但仅一级 |
外侧GST2可对应 |
LSL控制CSL—active pattern,仅一级 |
CN102、US20110024816直接 |
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C 内级位于串与外级之间 |
图14/15的GSL21在串与GSL11之间 |
缺;USL在漏侧 |
GST1/GST2同源端串联 |
缺第二源侧栅;G_LSL是互连 |
CN102、US20110024816直接 |
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D 内级控制导电 |
GSL电压控制柱通道 |
LSL/LST控制通路 |
GST1控制通路 |
LSL/GST控制通路 |
直接 |
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N 多个串 |
图6、14的NS11—NS33 |
图1多个STR及PL矩阵 |
多个柱/串 |
图9多个active patterns |
直接 |
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O 一个内级实体耦合多个串且处于这些串与另一源栅之间 |
两GSL横向延伸,但可解释为多个逐柱GST共线 |
一个板状LSL跨多柱,却缺第二源侧实体 |
有双级,却是每串一对GST |
一个LSL;global LSL不是沟道栅 |
仍无单篇完整;组合必须移植/复制板层 |
没有合格单篇完整覆盖O。CN102148059A约55%;US20100133599A1约62%;US20110024816A1约65%;US20110147801A1约58%—60%。本轮新增案没有改变新颖性结论。
CN102提供A-D、N和同一源端GSL21→GSL11→CSL的双级顺序;US20100133599提供把源侧LSL做成连续板状栅、由多个垂直柱贯穿且一个栅电极连接多个柱的明确教导。二者均为三星同期垂直NAND、柱穿横向层叠栅,材料、制造方法及电压控制相容。为统一驱动多个串并减少独立引线,技术人员具有将CN102内级GSL21实现为公共板层的动机。
最强反方意见仍是:US20100133599只教一个源侧板,复制或选择性移植到CN102双级结构需要事后重构;CN102的行级GSL承担选择/抑制GIDL的差分偏置,改成跨更大阵列的连续板可能破坏选择粒度;即使存在公共栅板,各柱交点仍可能被解释为“多个晶体管共用栅电极”,而非权利要求文字中的“一个装置”。因此组合可诉,但不能稳定越过75%。
备选US20110024816A1+US20100133599A1约71%—72%;CN102+US20110147801A1约69%—71%,后者的global LSL只是布线,反而容易遭受结构性质不同的抗辩。三篇拼合不增加总体概率。
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路径 |
点估 |
理由 |
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CN102148059A单篇 |
55% |
O的实体同一性缺口 |
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US20100133599A1单篇 |
62% |
公共板强,缺第二源侧级 |
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US20110024816A1单篇 |
65% |
双级强,缺公共实体 |
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CN102148059A+US20100133599A1 |
73% |
最强组合,仍需移植板层并解决装置解释 |
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综合无效成功概率 |
73%(71%—74%) |
较第4轮无实质增益,低于75% |
本轮的有效增益是排除了一个容易误读的路径:US20110147801中的G_LSL不是第二选择栅,而是连接局部栅图案的global interconnect。严格缺口未闭合,故维持73%,不人为上调。
31. 调取US20100133599A1、US20110024816A1、US20110104869A1及US20110147801A1的审查IDS/非专利文献,优先追查其未完整显示在Google Patents正文页的KR/JP公开与会议论文;仅接受可验证公开日期的材料。
32. 用电路标签顺序代替泛化术语:搜索 CSL—GSL2—GSL1—WL、CSL—LSL2—LSL1—WL、GGSL/GSL,并要求图中两个源侧层均由多个柱贯穿,而非global wiring。
33. 对2007—2011年IEDM、VLSI Symposium、Samsung/Toshiba/CEA垂直NAND论文逐图核验;必须显示两个源侧实体层及不同偏置,单纯S-SGT背景不计入。
34. 反查晚公开精确案的说明书“背景技术”所列原始论文和早期专利,而不以晚公开案自身作为证据。
拟执行四语式:
· 中文:("CSL" "GSL1" "GSL2") ("垂直NAND" OR "垂直沟道") ("板状栅" OR "多个柱贯穿") ("分别偏置" OR "不同电压")
· 英文:("CSL" "GSL1" "GSL2" OR "CSL" "LSL1" "LSL2") ("vertical NAND" OR "vertical channel") ("plate-shaped gate" OR "penetrated by active pillars") ("separately biased" OR "different voltages")
· 日文:("CSL" "GSL1" "GSL2") ("垂直NAND" OR "垂直チャネル") ("板状ゲート" OR "複数のピラーが貫通") ("個別バイアス" OR "異なる電圧")
· 韩文:("CSL" "GSL1" "GSL2") ("수직 NAND" OR "수직 채널") ("판상 게이트" OR "복수의 필러가 관통") ("개별 바이어스" OR "상이한 전압")
第6轮仍应坚持:单层板、逐串共线、漏侧双级、global interconnect及2011-08-15之后公开文件均不得用于上调概率。
本轮按“器件而非控制线”的严格口径,实际执行中、英、日、韩四语Google Patents检索,并沿US20110147801A1的发明人/同族、旧分类、Samsung—Toshiba—Hynix—SanDisk技术路线及早期双源选择引证链反查。公开日均以严格早于2011-08-15为准。
本轮找到一件此前报告未充分利用、且明显强于一般“逐串双GST”文件的合格文献:US20110018051A1(韩国公开同族KR20110010045A)。其图9—10、说明书[0049]—[0050]及权利要求7—8、16—18在同一技术方案中公开:多个NAND串;源侧“垂直堆叠的接地选择晶体管阵列”;多条垂直堆叠GSL;以及该阵列到共同源线CSL的连接。它因此同时补强“同源端双级”和“多个串/成行GSL”,比仅有一个源侧板的US20100133599A1更接近。
但严格缺口仍未闭合:US20110018051A1的图9显示的是沿侧壁/U形半导体图案形成的每串GST阵列;其文字没有明确说其中某一个GST本身是一个连续多通道器件并跨越多个独立串。row / GSL仍可能只是多个逐串GST共用控制线。它也不是CN102148059A那种多个竖直柱贯穿同一选择板的结构。因此,本轮不把它拔高为O的直接公开。
最强攻击由“CN102148059A+US20100133599A1”升级为“CN102148059A+US20110018051A1,并以US20100133599A1辅助解释连续公共栅实体”。严格综合点估为 74%(合理区间72%—74%),仍低于75%;应启动第7轮,专门核实US20110018051A1图9中各GSL的物理连续性及其是否可被认定为一个多通道选择装置。
权利要求10在权利要求1的A-D基础上增加N、O:
· A:与柱相关联的电荷存储装置串;
· B:源极栅极装置耦合源极并控制串至源极的导电;
· C:另一源极选择装置位于串与B之间;
· D:该源极选择装置控制导电;
· N:该串是多个串中的一个;
· O:一个源极选择装置耦合于所述多个串与另一源极栅极装置之间。
O的严格验收条件是:同一源端、同一实施例中有两个串联选择实体;内侧实体本身跨多个串/柱,且位于多个串与外侧实体之间。仅有global interconnect、共同控制线、逐串各自GST、单一源侧板、漏侧第二级或晚公开文件,均不能单独满足O。
检索日:2026-08-20。以下四式均已实际向Google Patents提交,均限定before=publication:20110815;请求正常返回后再逐篇打开全文、附图、同族和时间线核验。
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语言 |
精确检索式 |
Google Patents执行页 |
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中文 |
("多沟道源极选择晶体管" OR "共用源极选择器件" OR "多个串共用的源极栅结构") ("垂直NAND" OR "垂直沟道" OR "半导体柱") ("第二源极选择" OR "两个接地选择") |
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英文 |
("multi-channel source select transistor" OR "shared source selector" OR "common source gate structure") ("vertical NAND" OR "vertical channel" OR "semiconductor pillar") ("second source select" OR "two ground select") |
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日文 |
("マルチチャネルソース選択トランジスタ" OR "共通ソース選択装置" OR "複数ストリング共通ソースゲート構造") ("垂直NAND" OR "垂直チャネル" OR "半導体ピラー") ("第2ソース選択" OR "二つのグランド選択") |
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韩文 |
("다중 채널 소스 선택 트랜지스터" OR "공통 소스 선택 장치" OR "복수 스트링 공통 소스 게이트 구조") ("수직 NAND" OR "수직 채널" OR "반도체 필러") ("제2 소스 선택" OR "두 접지 선택") |
另实际用Jae-Joo Shim / Hansoo Kim / Wonseok Cho / Jaehoon Jang / Woojin Cho、Ji-Young Kim / Kang L. Wang / Yong-Jik Park,申请人Samsung/Toshiba/Hynix/SanDisk,及G11C16/0483、H01L27/11582、vertical stack of ground select transistors、plurality of GSLs交叉反查同族、引用与近缘案。TCAT/BiCS/VG-NAND早期路线主要仍是单一源侧选择层;没有发现更早的“同端双连续共享板”文件。
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
资格及作用 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
合格;A-D、N及同源端双GSL主文献 |
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Integrated Circuit Memory Devices Having Vertical Transistor Arrays Therein and Methods of Forming Same |
2009-07-23 |
2010-06-16 |
2011-01-27 |
合格;本轮新增最强桥接,源侧堆叠GST/GSL阵列 |
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Memory Semiconductor Device and Methods of Fabricating and Operating the Same |
2009-07-23 |
2009-12-08 |
2011-01-31 |
合格;上述美国案韩文同族,不作为第二份独立教导叠加 |
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Three-dimensional semiconductor device and method of fabricating the same |
2009-12-18 |
2010-11-24 |
2011-06-23 |
合格;但G_LSL是上层互连,器件层仅一个LSL |
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Nonvolatile memory device and method for fabricating the same |
2008-12-03 |
2009-12-03 |
2010-06-03 |
合格;一个板状LSL跨多个柱,源侧仅一级 |
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Multiple select gate architecture |
2005-08-31 |
2008-06-18 |
2008-10-16 |
合格;平面NAND同端多选择栅,只补双级动机 |
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Non-volatile memory with boost structures |
2006-11-13 |
2006-11-13 |
2008-05-15 |
合格;SGS1/SGS2之间的boost可共享,但boost不是源选择装置 |
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Three dimensional NAND memory device with drain select gate electrode shared between multiple strings |
2018-04-30 |
2018-04-30 |
2019-10-31 |
晚公开;其实施例近似“两层SGS各跨多个串”,仅作反向引证线索,排除 |
所有概率只计入截止日前已经公开的文件;没有把优先权日或未公开申请误作公开日。
35. 多个串与电荷存储结构:说明书[0047]、图8A—8B明确存储器包含三个NAND-type strings;每串含三个垂直堆叠电荷俘获存储阵列1402a—1402c,半导体图案65作为各串有源层,串的一端接GST1406、另一端接SST1404。
36. 同源端多级实体:说明书[0049]、图9把图8A中每一排GST1406替换为“vertically-stacked array of ground select transistors 1406′”,并明确该阵列包含多条彼此垂直堆叠的GSL。说明书[0050]进一步说右侧GST阵列响应多条垂直堆叠GSL,且其构造类似源漏串联的选择晶体管阵列。权利要求7把垂直堆叠GST阵列置于存储阵列第二侧;权利要求8使CSL接触覆盖该GST阵列的半导体层。权利要求16规定ground selection structure含多个依次堆叠MOSFET,以多条堆叠导电线作栅、以半导体图案作沟道;权利要求18再把CSL接至该结构上的半导体图案。
37. 同一实施例性:图9明确是图8A多串实施例的变型,[0049]在一段内同时保留多个存储阵列/串并加入堆叠GST阵列,不是把互不相干实施例拼在一起。
38. 仍存的O缺口:图9的多个半导体图案65分别构成各串通道,GSL对应“每排GST”;全文未明确声称某一个GST为一个多通道晶体管,也没有像US20100133599A1权利要求10那样说一个栅电极连接至少两个/四个柱。故它强证“多串+多级+共GSL”,但对“一个装置耦合多个串”仍存在device/line主体之争。
39. 结构相容性限制:其串沿U形/侧壁半导体图案跨越多个竖直字线堆叠,源侧选择阵列位于存储堆叠的横向端部;CN102是柱113贯穿横向导电层。把前者的多GSL阵列移植到后者,需要把横向侧壁选择结构改造成柱穿层结构,不能视为无设计变化。
US20110147801A1的复核结论不变:说明书关于G_LSL的段落称其连接上层互连与一个gate pattern GP;它位于连接区并可与bit line同层形成,是global routing,不是在沟道上形成第二个GST的栅实体。“at least one LSL”也不能推定存在两个相邻LSL。
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特征 |
CN102148059A |
US20110018051A1 |
US20100133599A1 |
严格结论 |
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A 柱相关电荷存储串 |
图3—7:柱113及隧穿层117、俘获层118、阻挡层119形成垂直串 |
[0047]—[0050]、图8A—10:侧壁/U形半导体图案上的垂直堆叠电荷俘获阵列;不是柱穿板 |
图1—3:active pillars PL及CS |
CN102、US20100133599直接;新增案为近似3D路线 |
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B 外级源极栅耦源并控制导电 |
图14/15的外侧GSL11邻接CSL |
权7—8、16—18及图9:GST阵列到CSL;最外侧GST可对应B |
LSL/LST邻接CSL,但仅一级 |
直接或可直接对应 |
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C 内级位于串与外级之间 |
图14/15:GSL21在存储串与GSL11之间 |
[0049]—[0050]:同一源端堆叠多个GST/GSL,内层GST位于存储阵列与外层GST之间 |
缺第二源侧级 |
CN102、新增案直接 |
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D 内级控制导电 |
GSL偏置控制柱沟道 |
GSL控制串联GST阵列;权16明确MOSFET栅/沟道 |
LSL控制LST |
直接 |
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N 多个串 |
图6、14的NS11—NS33 |
[0047]明确三个NAND strings;图9为其变型 |
图1多个STR/PL矩阵 |
直接 |
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O 一个内级实体耦合多个串并位于外级之前 |
GSL横向延伸,但可解释为逐柱GST共线 |
同一实施例有多串、多层GSL和GST阵列;仍未明示一个GST/连续栅体跨多个独立串 |
一个板状LSL跨多柱直接,但缺第二源侧实体 |
仍无单篇无争议覆盖;新增案显著缩小而未消除主体同一性缺口 |
· CN102148059A:约55%,O的device/line同一性缺口不变。
· US20110018051A1:约68%—70%。A的柱式几何较弱,且O仍可能只是逐串GST共GSL;不能稳定破坏新颖性。
· US20100133599A1:约62%,共享板强但明确只有一个源侧级。
没有合格单篇以90%以上把A-D、N、O置于同一实施例。
CN102给出柱式A-D、N及GSL21→GSL11→CSL的空间顺序;US20110018051A1给出多串3D电荷俘获结构、同源端垂直堆叠GST阵列和多条GSL。两者均解决3D NAND源侧可靠关断/选择问题,均以堆叠导电栅控制半导体通道;把CN102每串的双GSL实现为成排堆叠选择结构,有降低工艺种类、统一驱动和抑制漏电的动机。US20080253187A1又说明串联多个源侧选择栅用于减小GIDL/漏电,能作为动机佐证。
最强反方意见是:US20110018051A1的选择阵列位于U形侧壁串的横向端部,CN102的GSL是被竖直柱贯穿的层,替换会改变沟道走向和制造流程;而且两个文件都可能只公开多个逐串晶体管共用选择线,并没有把“一个多通道device”说清。故两篇组合虽较第5轮更可诉,仍有结构移植和权利要求解释争议。
CN102+US20110018051A1+US20100133599A1可分别提供柱式双级、3D同端堆叠GST及一个连续板跨多柱。第三篇可用于解释“公共栅实体”的公知实现,但也使论证更像事后拼图;并且US20100133599的全局板偏置可能冲突于CN102按行选择/差分偏置。因此不因增加第三篇而把总概率推高到75%以上。
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攻击路径 |
点估 |
理由 |
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CN102148059A单篇新颖性 |
55% |
O实体同一性缺口 |
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US20110018051A1单篇新颖性 |
69% |
同源端堆叠GST强;柱式几何及单一多串device不足 |
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CN102+US20100133599A1 |
73% |
连续公共板强;需复制第二级并改变偏置 |
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CN102+US20110018051A1 |
74% |
本轮最强两篇;仍有侧壁/柱结构移植及共线≠单一device争议 |
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三篇辅助组合 |
73%—74% |
覆盖面增大但后见之明风险同步增加 |
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综合无效成功概率 |
74%(72%—74%) |
较第5轮实质补强1个百分点,仍低于75% |
40. 围绕US20110018051A1而非继续泛搜:调取其US12/816,771审查档案、KR10-2009-0121107原文及JP/TW同族,核实图9每一GSL是否是一根物理连续导电体横跨多条半导体图案65;优先寻找申请人或审查员对row of ground select transistors、array、one GSL主体范围的明确解释。
41. 沿精确句反查引证/被引:检索"vertically-stacked array of ground select transistors" "plurality of NAND-type strings"、"plurality of ground select lines" "common source line" "semiconductor patterns",再追Ji-Young Kim、Kang L. Wang、Yong-Jik Park、Samsung/UCLA在2008—2011年的会议论文及同期案。
42. 只接受能闭合O的图文:剖面必须有两个同源端相邻选择层;俯视/透视图必须显示至少内层栅为一个连续导电体,横跨两个以上独立串通道;说明书最好称single/shared/common gate device controlling plural channels。仅“GSL连接多个GST”仍不计。
43. 反查晚公开精确案:以US20190333581A1中两层SGS共享多个串的图文为终点,逐件回查其早期引用和被引家族;晚公开文本本身仍排除。
第7轮建议实际执行四语式:
· 中文:("垂直堆叠的接地选择晶体管阵列" OR "多条堆叠接地选择线") ("多个NAND串" OR "多个半导体图案") ("一根连续栅极" OR "多沟道器件")
· 英文:("vertically-stacked array of ground select transistors" OR "plurality of stacked ground select lines") ("plurality of NAND-type strings" OR "plurality of semiconductor patterns") ("single continuous gate" OR "multi-channel device")
· 日文:("垂直積層グランド選択トランジスタアレイ" OR "複数の積層グランド選択線") ("複数のNANDストリング" OR "複数の半導体パターン") ("単一連続ゲート" OR "マルチチャネル素子")
· 韩文:("수직 적층 접지 선택 트랜지스터 어레이" OR "복수의 적층 접지 선택 라인") ("복수의 NAND 스트링" OR "복수의 반도체 패턴") ("단일 연속 게이트" OR "다중 채널 소자")
各式继续限定before=publication:20110815。只有查到“单一连续实体跨多个串”的明确证据,才宜把概率提升到75%以上。
本轮严格依照第6轮策略,对US20110018051A1及其韩国公开同族KR20110010045A的图9—10、美国权利要求16/18、韩国原文说明书[0094]—[0099]及权利要求7/9进行了主体同一性核验,并沿发明人、Samsung同期案、引证和H10B43/27、G11C16/0483分类链补检。所有用于概率结论的文献公开日均严格早于2011-08-15。
核验结果不支持把某条GSL自动解释成权利要求10所要求的“一个跨多个串的源极选择装置”。韩国原文虽显示接地选择结构GSS含多条堆叠中间布线、多个半导体图案跨过该结构,因而存在“每一层布线为连续导体”的较强物理推断;但[0099]明确把效果表述为增加“构成一个单元串的接地及串选择晶体管的数量”,韩国权利要求7又逐字规定每个GSS/SSS包含“多个依次堆叠的MOSFET”,以所述半导体图案作沟道。美国说明书[0050]同样说右侧GST阵列设置在“each NAND-type string”内。最自然、最可复核的技术含义仍是:每个半导体图案/串形成其自己的多个MOSFET,多个MOSFET共享一条GSL;而不是一只单一多通道MOSFET跨越多个独立串。
本轮新增最相关文件US20100195395A1在同一源端明确公开TG1、TG2两个串联选择晶体管、多个竖直NAND串及行级公共GSL,并称每串内的TG1/TG2可以“如同统一为一个晶体管”一起工作。不过,其图3—12和权利要求7—13又明确为各柱侧壁上的分离栅电极、每串一对TG,公共的是选择线而非跨串晶体管本体;图13—14甚至让TG1、TG2分别由GSL1、GSL2驱动。该文件加强双级选择及结合动机,但反而证明本领域通常会区分“多个晶体管共线”与“一个跨多串装置”。
因此没有找到严格闭合O的新文献。最强组合仍是“CN102148059A+US20110018051A1”,以US20100133599A1补连续公共板、US20100195395A1补同源端双级及统一驱动动机。综合无效成功概率维持 74%(合理区间72%—74%),低于75%,应启动第8轮;不得因连续GSL或共同控制线而越过75%。
权利要求10为A-D+N+O:A,柱相关的电荷存储装置串;B,源极栅极装置耦合源极并控制串至源极导电;C,另一源极选择装置位于串与B之间;D,该源极选择装置控制导电;N,该串为多个串之一;O,一个源极选择装置耦合于多个串与所述源极栅极装置之间。
本轮对O只接受同一实施例、同一源端同时满足:两个串联的物理选择实体;内层实体本身形成单一多通道装置并跨两个以上独立串;内层位于多个串和外层源栅实体之间。连续控制线、global interconnect、每串各自晶体管共栅、只有一层共享板、漏侧第二级均不等同于O。
检索日:2026-08-20。下列四式均已实际提交Google Patents,均使用before=publication:20110815;截止日后文件仅作反查线索,不计入结论。
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语言 |
精确检索式 |
Google Patents检索页 |
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中文 |
("垂直堆叠的接地选择晶体管阵列" OR "多条堆叠接地选择线") ("多个NAND串" OR "多个半导体图案") ("一根连续栅极" OR "多沟道器件") |
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英文 |
("vertically-stacked array of ground select transistors" OR "plurality of stacked ground select lines") ("plurality of NAND-type strings" OR "plurality of semiconductor patterns") ("single continuous gate" OR "multi-channel device") |
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日文 |
("垂直積層グランド選択トランジスタアレイ" OR "複数の積層グランド選択線") ("複数のNANDストリング" OR "複数の半導体パターン") ("単一連続ゲート" OR "マルチチャネル素子") |
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韩文 |
("수직 적층 접지 선택 트랜지스터 어레이" OR "복수의 적층 접지 선택 라인") ("복수의 NAND 스트링" OR "복수의 반도체 패턴") ("단일 연속 게이트" OR "다중 채널 소자") |
另沿Ji-Young Kim、Kang L. Wang、Yong-Jik Park及Samsung同期案,交叉H10B43/27、H10D30/693、G11C16/0483和"operate together as if they were unified as one transistor"反查,引出US20100195395A1、US20100178755A1和US20100181610A1。后两件均只有每串一个源侧LST及公共LSL,没有同源端第二个选择实体。
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
作用 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
A-D、N及双GSL主文献 |
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Integrated Circuit Memory Devices Having Vertical Transistor Arrays Therein and Methods of Forming Same |
2009-07-23 |
2010-06-16 |
2011-01-27 |
同源端堆叠GST阵列;O仍有主体缺口 |
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Memory Semiconductor Device and Methods of Fabricating and Operating the Same |
2009-07-23 |
2009-12-08 |
2011-01-31 |
上件韩国公开同族;用于原文核验,不重复叠加 |
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Non-volatile memory device having vertical structure and method of operating the same |
2009-02-02 |
2010-02-02 |
2010-08-05 |
本轮新增;每串同源端TG1/TG2及多串共GSL |
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Nonvolatile memory device and method for fabricating the same |
2008-12-03 |
2009-12-03 |
2010-06-03 |
一个连续LSL板跨多柱,但只有一个源侧级 |
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Method of fabricating nonvolatile memory device |
2009-01-14 |
2010-01-13 |
2010-07-15 |
筛除:每串一个LST、公共LSL |
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Non-volatile memory device and method for fabricating non-volatile memory device |
2009-01-19 |
2009-12-30 |
2010-07-22 |
筛除:每串一个LST、公共LSL |
未把优先权日当作公开日;概率只使用上述截止日前公开文本。
· 美国[0049]、图9把图8A每排GST替换成位于电荷俘获阵列源侧的“垂直堆叠GST阵列1406′”,包含多条垂直堆叠GSL;同一段保留多个半导体图案65和各NAND串到CSL的连接,故多串、双级、同源端属于同一实施例。
· 美国[0050]、图10却明确称右侧GST阵列设置于each NAND-type string,并响应多条GSL。该表达把器件主体落在每个串上。
· 韩国[0094]说明GSS含作为GSL的多条堆叠中间布线;[0095]说明多个半导体图案65跨过中间布线结构;[0098]把BL接至SSS侧、CSL接至GSS侧,空间顺序明确。
· 决定性反证在韩国[0099]:增加的是“构成一个单元串”的接地/串选择晶体管数量,目的为抑制漏电。不是将多个串合并为一个选择晶体管。
美国权利要求16规定每个GSS/SSS含多个依次堆叠MOSFET,以多条堆叠导电线作栅并以the semiconductor pattern作沟道;权利要求18只进一步把CSL接至GSS上的该半导体图案。韩国权利要求7/9内容一致。单数semiconductor pattern在每个串的语境中形成各自沟道,不能据此把一条GSL上横向排列的多个沟道合并成一个法律意义上的装置。
图9/24的GSL在几何上可能是沿一排延伸的连续中间布线,这是“公共栅电极物理实体”的中强证据;但器件身份仍由每个栅—介质—半导体图案交叉处的MOSFET决定。文献自身反复使用复数transistors/MOSFETs并按串计数。因此,连续层仅可作O的创造性桥接,不能作O的新颖性直接公开。
已定位美国申请12/816,771的Patent Center及USPTO Patent File Wrapper公开入口。入口为动态页面,当前环境没有可用浏览器会话,公开API又要求密钥,未取得可核验的审查意见原件。故本报告没有虚构“审查员确认单一装置”等事实,也不从档案不可得作有利推断;结论以美韩公开全文和附图为准。
44. 说明书[0007]—[0010]、图1:一条竖直NAND串在CSL侧串联TG1/TG2,GSL共同耦合二者,并称二者可如同统一为一个晶体管工作。
45. 说明书[0016]、图2:NS11、NS12、NS21、NS22构成矩阵;GSL1共同耦合第一行多个串各自的TG1/TG2,GSL2共同耦合第二行。
46. 说明书[0040]—[0041]、图3—12:TG1、TG2是至少两个彼此分离的选择晶体管;多个接地选择栅电极162经接触塞170接至GSL1。
47. 说明书[0042]、图13—14:TG1/TG2可由分离的GSL1/GSL2独立操作,确认“成对晶体管”不是跨串的一只晶体管。
48. 权利要求7—13:多个柱、多个NAND串、每串至少一对选择晶体管;每条选择线共同连接一列中各串的该对晶体管;权利要求8还称栅电极分别位于多个柱侧壁。
因此,该文件在A-D、N、同源端双级和公共控制动机上很强,但O所要求的单一多串装置仍缺失。“如同一个晶体管工作”只描述同一串内TG1/TG2的协同功能,不改变其两个分离实体,也没有把不同行/列的TG合并成一只器件。
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特征 |
CN102148059A |
US20110018051A1/KR同族 |
US20100195395A1 |
严格判断 |
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A 柱相关电荷存储串 |
图3—7柱113、层117—119及竖直串 |
图9—10为侧壁/U形图案上的电荷俘获串,柱式较弱 |
图3—12多个半导体柱130及其侧壁竖直NAND串 |
CN102、US20100195395直接 |
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B 外级源栅耦源并控制 |
图14/15外侧GSL11邻CSL |
图9及权7/8、16/18最外侧GST邻CSL |
TG2可作为邻CSL外级 |
直接 |
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C 内级位于串与外级间 |
GSL21位于存储串与GSL11间 |
多个堆叠GST/GSL自然形成内外级 |
TG1/TG2同源端串联;TG1可作内级 |
直接 |
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D 内级控制导电 |
GSL偏置控制柱沟道 |
多条GSL控制串联GST |
TG1/TG2控制CSL与存储单元之间导电 |
直接 |
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N 多个串 |
图6、14多个NS |
图8A—10、韩[0092]—[0099]多个半导体图案/串 |
图2、权7多个NAND串矩阵 |
直接 |
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O 一个内级装置跨多个串并在外级前 |
横向GSL可解释为逐柱GST共线 |
GSL可能连续,但[0050]、韩[0099]、权16指向每串多个MOSFET |
每串TG1/TG2;各栅电极分离,仅GSL共用 |
三件均存在“共线≠单一多通道装置”缺口 |
CN102148059A单篇约55%;US20110018051A1单篇约69%;US20100195395A1单篇约69%。没有一篇合格文件在同一实施例无争议公开A-D、N、O,故不建议以单篇新颖性攻击作为主路径。
CN102148059A+US20110018051A1仍为首选。CN102提供柱穿层的双GSL空间顺序;后者提供多串、同源端堆叠GST阵列及多层GSL,二者共同解决3D NAND的选择可靠性/漏电问题。韩国[0099]给出增加GST数量抑制漏电的直接动机。
US20100195395A1可作为辅助动机:同源端成对TG、共GSL协同工作,并明确适用于多个竖直串。但它同时要求每串独立TG及分离栅电极;若用它解释“一个装置”,会遭遇其自身文字反驳。US20100133599A1可补一个连续LSL板跨多柱,但只有一个源侧级;将其全局板复制成第二级又会改变CN102按行差分偏置。三篇以上组合后见之明风险更高,不能仅以覆盖项数增加概率。
· 抗辩:GSL是线,不是device。回应:可主张连续栅层与多个沟道共同构成多通道场效应装置,并以US20100133599的板状LSL佐证;但美韩原文按每串称多个MOSFET,回应强度有限。
· 抗辩:US20110018051为侧壁/U形串,CN102为柱穿板,移植改变工艺。回应:两者均由堆叠导电层横向控制半导体通道,且都以多GST降低漏电;但几何和偏置差异仍构成实质争议。
· 抗辩:US20100195395的“统一为一个”只在单串内。回应:可以证明共同驱动的技术动机,不能证明跨多个串的单一实体;本报告接受该限制。
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攻击路径 |
点估 |
说明 |
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CN102单篇新颖性 |
55% |
O主体缺口 |
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US20110018051单篇新颖性 |
69% |
同源端多级强;每串MOSFET/共GSL而非跨串单一装置 |
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US20100195395单篇新颖性 |
69% |
多柱、多串、同源端TG1/TG2强;明确分离栅电极 |
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CN102+US20100195395 |
73% |
组合动机明确,但仍只得到逐串TG共线 |
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CN102+US20110018051 |
74% |
最强主组合;连续层推断与器件身份之间仍有争议 |
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加入US20100133599辅助 |
73%—74% |
连续板补强,但第二级复制、偏置冲突及后见之明抵消 |
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综合无效成功概率 |
74%(72%—74%) |
没有严格新命中,不上调 |
49. 只找“连续双板+跨多柱”同一实施例。 必须在源端有两个相邻、独立偏置的实体栅板;至少内板被多个独立竖直通道贯穿或包围,并被文字称为一个shared/common multi-channel source select transistor/device。
50. 围绕US20100195395精确语义追溯。 查其韩文母案、审查档案及向后引用,重点寻找将operate together as if unified as one transistor进一步用于“multiple strings/channels”而不是单串TG1/TG2的早期文件。
51. 补档案证据但不以不可得代替公开。 在可用的Global Dossier/Patent Center环境核US12/816,771及US12/658,072审查意见;仅当申请人或审查员明确把一个连续GSL层认作一只多通道器件时,才补强装置解释。
52. 继续按公开日筛选。 晚公开文件只回查其2006—2011引用链;会议论文须核实公众可得日期,不以投稿/优先权日代替公开日。
第8轮建议四语精确式:
· 中文:("作为一个晶体管一起工作" OR "单一多沟道源极选择晶体管") ("第一接地选择栅" "第二接地选择栅") ("多个垂直串" OR "多个半导体柱") ("连续板状栅")
· 英文:("operate together as if unified as one transistor" OR "single multi-channel source select transistor") ("first ground select gate" "second ground select gate") ("plurality of vertical strings" OR "plurality of semiconductor pillars") ("continuous plate-shaped gate")
· 日文:("一つのトランジスタとして動作" OR "単一マルチチャネルソース選択トランジスタ") ("第1グランド選択ゲート" "第2グランド選択ゲート") ("複数の垂直ストリング" OR "複数の半導体ピラー") ("連続板状ゲート")
· 韩文:("하나의 트랜지스터처럼 동작" OR "단일 다중 채널 소스 선택 트랜지스터") ("제1 접지 선택 게이트" "제2 접지 선택 게이트") ("복수의 수직 스트링" OR "복수의 반도체 필러") ("연속 판형 게이트")
各式继续限定before=publication:20110815。若第8轮仍无同一实施例直接图文,不应再用共同控制线累积推高概率。
本轮严格按照第7轮策略,围绕US20100195395A1的同源端TG1/TG2和“如同统一为一个晶体管工作”表述,追查其美、韩同族、发明人同期案、引证链及中英日韩原文语义;同时检索“共同栅体+多个独立串沟道”的单一多通道选择器件。用于结论的文献公开日均严格早于2011-08-15。
本轮没有找到能够严格闭合特征O的新文献。新增的US20100315875A1及韩国原文KR20100089022A确实在同一源端给出TG1/TG2、多个竖直串和共同GSL,并明确写出二者“像一个晶体管一样联动”。但该表述的主语是每一串内串联的两个选择晶体管;韩国说明书和权利要求又把相邻柱侧壁上的栅电极分别记载,并以接触塞连接至共同GSL。其“共同”对象仍是控制线,不是一个横跨多个独立串的晶体管主体。
另一新增重点US20100002516A1的接地选择插塞GSP物理贯穿多个彼此绝缘的半导体图案,因而是本轮最强的“一个共同栅体跨多个独立沟道”证据;但该文献仍将各交叉处明确称为多个接地选择晶体管GST,并称每个串各有GST。它只有一个源侧选择级,不存在位于该共同栅体外侧的另一个源栅装置。这是对“共同栅体必然等于一个跨串装置”解释的不利语义证据。
因此,权利要求10仍不存在稳妥的单篇新颖性攻击;最强创造性路径仍是“CN102148059A+US20110018051A1”,以US20100195395/US20100315875族补同源端双级及协同驱动动机、以US20100133599A1补连续公共板。多篇组合仍必须把“逐串晶体管共线”改造成“一个跨多串装置”,并处理全局板与按行差分偏置的冲突。综合无效成功概率维持 74%(合理区间72%—74%),低于75%。应执行第9轮即最后一轮补检;若仍无严格命中,应按八轮补检上限停止并冻结不高于74%的结论。
权利要求10为A-D+N+O:
· A:柱相关的电荷存储装置串;
· B:源极栅极装置耦合于源极并控制串至源极的导电;
· C:另一源极选择装置位于串与B之间;
· D:该源极选择装置控制导电;
· N:所述串是多个串之一;
· O:一个源极选择装置耦合于多个串与所述源极栅极装置之间。
对O仅接受同一实施例、同一源端同时具备:两个相邻且串联的物理选择实体;内级实体本身以一个共同栅体跨越两个以上彼此独立的串沟道;各串的数据线端保持独立,不能因共同源/漏而实质短接;内级位于多个串和外级源栅实体之间。共同控制线、全局互连、每串各自GST共栅、一个单板选择级、漏侧第二级,均不自动满足O。
检索日:2026-08-20。以下四个精确式均已实际提交Google Patents,并限定before=publication:20110815;精确式没有返回严格命中。随后以“共同栅极+多个沟道+源极选择晶体管”的各语言同义词放宽检索,并沿命中文献的同族、发明人、引用与被引链复核。晚公开文件只用于反查,未计入概率。
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语言 |
实际执行的精确检索式 |
Google Patents检索页 |
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中文 |
("作为一个晶体管一起工作" OR "单一多沟道源极选择晶体管") ("第一接地选择栅" "第二接地选择栅") ("多个垂直串" OR "多个半导体柱") ("连续板状栅") |
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英文 |
("operate together as if unified as one transistor" OR "single multi-channel source select transistor") ("first ground select gate" "second ground select gate") ("plurality of vertical strings" OR "plurality of semiconductor pillars") ("continuous plate-shaped gate") |
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日文 |
("一つのトランジスタとして動作" OR "単一マルチチャネルソース選択トランジスタ") ("第1グランド選択ゲート" "第2グランド選択ゲート") ("複数の垂直ストリング" OR "複数の半導体ピラー") ("連続板状ゲート") |
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韩文 |
("하나의 트랜지스터처럼 동작" OR "단일 다중 채널 소스 선택 트랜지스터") ("제1 접지 선택 게이트" "제2 접지 선택 게이트") ("복수의 수직 스트링" OR "복수의 반도체 필러") ("연속 판형 게이트") |
放宽式分别为:中文"共同栅极" "多个沟道" "源极选择晶体管" 垂直 NAND;英文"common gate" "separate semiconductor patterns" "ground select transistor" vertical NAND;日文"共通ゲート" "複数チャネル" "ソース選択トランジスタ" 垂直 NAND;韩文"공통 게이트" "복수 채널" "소스 선택 트랜지스터" 수직 NAND。这些检索主要返回晚公开文件、共同线而非共同器件,或只有一个源侧选择级的文件。
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文献 |
标题 |
优先权日 |
申请日 |
公开日 |
本轮作用 |
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非易失性存储器件、其操作方法和包括其的存储系统 |
2010-02-09 |
2011-02-09 |
2011-08-10 |
A-D、N和柱穿双GSL主文献 |
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Non-volatile memory device having vertical structure and method of operating the same |
2009-02-02 |
2010-02-02 |
2010-08-05 |
同源端TG1/TG2、多个串、共同GSL |
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Non-volatile memory device having vertical structure and method of operating the same |
2009-02-02 |
2010-08-20 |
2010-12-16 |
上件延续/相关申请;补组级表述,不重复计权 |
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수직 구조를 가지는 비휘발성 메모리 장치 및 그 동작 방법 |
2009-02-02 |
2010-01-25 |
2010-08-11 |
相关韩国公开原文;核验“一个晶体管”与分离栅语义 |
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Integrated Circuit Memory Devices Having Vertically Arranged Strings of Memory Cells Therein and Methods of Operating Same |
2008-07-02 |
2009-06-26 |
2010-01-07 |
共同GSP跨多个独立图案;只有一个源侧级 |
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Integrated Circuit Memory Devices Having Vertical Transistor Arrays Therein and Methods of Forming Same |
2009-07-23 |
2010-06-16 |
2011-01-27 |
同源端多级GST;每串MOSFET共线 |
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Nonvolatile memory device and method for fabricating the same |
2008-12-03 |
2009-12-03 |
2010-06-03 |
连续公共LSL板;只有一个源侧级 |
US20100315875A1、US20100195395A1和KR20100089022A属于同一技术族/高度相关申请,不能当作三份相互独立的结合启示累加。表内公开日均早于截止日;未把优先权日或申请日误作公开日。
· US20100195395A1说明书[0007]—[0010]、图1:同一竖直NAND串在共源线CSL侧串联TG1和TG2,共同耦合于GSL;文本称TG1、TG2可以operate together as if they were unified as one transistor。这是B-D同源端双级和协同驱动的直接证据。
· 说明书[0016]、图2:NS11、NS12、NS21、NS22形成多串矩阵;GSL1共同连接第一行多个串各自的TG1/TG2,GSL2对应第二行,直接公开N。
· US20100315875A1的摘要、[0007]—[0010]及权利要求进一步写成多个第一选择晶体管组、多个第二选择晶体管组;每个存储单元组仍分别对应其选择晶体管组。所谓“组”没有把多个串的沟道合并成一只晶体管。
· KR20100089022A[相关技术及实施例中TG段落]使用하나의 트랜지스터처럼 서로 연동되어 동작,即TG1/TG2“像一个晶体管一样彼此联动”。语境仍是一条串内的两个串联TG,不是横向多个串共同构成一只器件。
· 图3—12对应段落记载选择栅电极162位于各半导体柱侧壁,并通过接触塞170接至共同GSL。相邻柱同一高度的两个栅电极之间还有间距Dg;“共同”发生在上层连线。
· 关于TG1/TG2之间距的段落明确说明:当间距为0时,它们才“不分离而成为一个”;只要分离,即仍是两个选择晶体管。该陈述针对同一柱上纵向TG1/TG2,但提供了清晰的器件命名习惯:功能协同或共线不会当然消除物理分离。
· 权利要求关于多个柱和第一选择栅电极的表述以复数栅电极对应各柱;图13—14又允许TG1、TG2分别接GSL1、GSL2独立操作。故同族只能补“双级+共同控制动机”,不能直接补O。
US20100195395A1列出的早期引证包括US20090184360A1、US20090140313A1、US20090168533A1和US20090238003A1等;其被引链包括US20100315875A1、US20110018051A1等。逐一以“source/ground select、common gate、plurality strings、two gates”复核后,前者主要涉及存储栅结构、共同控制线或单源侧级,后者回到前几轮已分析的逐串GST共线结构,没有出现严格O。
Google Patents的日文同族/翻译入口未得到可稳定核验的截止日前技术文本,个别编号链接落到不相关主题,故本报告不据此作有利推断;韩国原文足以核对关键术语。
53. 说明书关于图1—4的段落公开多个水平、垂直彼此分离的半导体图案SP,每个图案构成一条存储串;电荷存储栅插塞、串选择栅插塞和接地选择栅插塞穿过多个图案并隔着绝缘层作为栅电极。
54. 关于阵列工作的段落明确写出:多个GST在平面上二维排列,并通过GSP共同连接至一条GSL。因而GSP是一个物理连续导体,可同时控制多个彼此隔离的串沟道。
55. 但摘要、说明书和权利要求均按each string记载至少一个GST,并称ground selection transistors为复数。也就是说,文献作者在同一个物理栅插塞跨多个半导体图案时,仍把每个栅—介质—沟道交叉处识别为各自的晶体管。
56. 其源侧只有一个GST级;多个SST位于相反的数据线侧。若把漏侧SST移到源侧作为第二级,会改变端部连接和选择偏置,不能以常规等同无说明地完成。
因此,该文件可供请求人主张“device是包含共同栅体及多个沟道的整体装置”,却也给专利权人提供很强反驳:本领域在相同物理结构下仍用复数晶体管描述。它不能单独或与CN102无争议地闭合O。
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特征 |
CN102148059A |
US20100195395/US20100315875/KR同族 |
US20100002516A1 |
US20110018051A1 |
严格结论 |
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A 柱相关电荷存储串 |
图3—7柱113、存储层及竖直串 |
图2—14多个半导体柱及竖直NAND串 |
分离半导体图案形成竖直排列串;柱式对应较弱 |
图9—10电荷俘获串,柱式较弱 |
至少CN102、US20100195395族直接 |
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B 外级源栅耦源并控制 |
图14/15外侧GSL11邻CSL |
TG2可作邻CSL外级 |
每串GST邻共同源端,但只有一级 |
最外GST/GSL邻CSL |
直接 |
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C 内级位于串与外级间 |
GSL21位于存储串与GSL11间 |
TG1位于存储单元与TG2间 |
缺同源端第二级 |
堆叠GST自然形成内外级 |
除US20100002516外直接 |
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D 内级控制导电 |
GSL偏置控制柱沟道 |
TG1/TG2控制串至CSL导电 |
单一GST控制导电 |
多GSL控制串联GST |
直接 |
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N 多个串 |
图6、14多个NS |
图2及相关权利要求多个串矩阵 |
多个分离SP、每个构成一串 |
图9—10多个半导体图案/串 |
直接 |
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O 一个内级装置跨多个串并在外级前 |
GSL层可能横向连续,但文中可读为逐柱GST共线 |
每串TG1/TG2;各柱栅电极分离,以共同GSL相连 |
一个GSP跨多个图案,但文中称多个GST,且缺外级源栅 |
连续GSL推断较强,但[0050]、权16/18按每串多个MOSFET |
四者均有主体或第二级缺口 |
没有一篇合格文件在同一实施例明确公开A-D、N、O。CN102148059A单篇的主要争议是横向GSL到底是一个跨多串装置还是逐柱晶体管的共同栅层;US20100195395族和US20110018051明确按每串设置晶体管;US20100002516虽有共同栅体,却缺同源端第二级且使用复数GST。因此不建议以单篇新颖性攻击为主。
CN102148059A+US20110018051A1仍是最强主组合。CN102提供柱穿双GSL的空间顺序,US20110018051提供同源端多级GST及以增加GST抑制漏电的明确动机。US20100195395族可进一步证明两个同源端TG共同驱动、像一只晶体管协同工作的动机;但它同样把各串TG和各柱栅电极分开,不能补“一个跨多串装置”的主体事实。
以US20100002516补共同栅体在物理上有一定相容性:连续导体可隔绝地跨过多个独立半导体图案并共同施加栅压。然而其通道沿水平图案布置,CN102为柱穿板;前者只有一个源侧GST。将其GSP思想移植为CN102中的两个源侧板,需要复制/重排选择级并重新设计接触和偏置,而且文献仍把结果称为多个GST。这使组合易被认定为以权利要求为蓝本的后见之明。
US20100133599A1的连续LSL板也可作辅助,但其全局板偏置与CN102图14/15按行或组差分选择的结构存在冲突。把一个全局连续板改造成双级且只让内级成为跨多串装置,并非简单等尺寸替换。
· 抗辩:共同线/共同栅不等于一个装置。 US20100002516自身在一个GSP跨多个图案时仍称多个GST,KR20100089022又用物理不分离作为“成为一个”的界限。回应:装置可作比单个晶体管更宽的功能性解释,共同栅体、绝缘层及多个通道可组成一个多通道选择装置;但该解释缺少截止日前针对双源侧3D NAND的明示定义,强度中等偏弱。
· 抗辩:“像一个晶体管”只指单串TG1/TG2。 回应:该族可证明共同偏置和协同工作的技术动机,但不能将其横向扩展成跨多个串的主体;本报告不拔高该证据。
· 抗辩:将共同GSP移植到CN102会丧失逐串/逐行选择。 回应:请求人可保留各串独立位线并仅在源端共同关断;不过连续内板和外板的偏置分工、接触及隔离仍需实质改造。
· 抗辩:四篇组合过多、选择性拼接。 回应:各文件同属3D NAND并共同关注漏电和选择可靠性,领域相近;但第三、第四篇只为解释一个术语而加入,后见之明风险确实上升,不能靠文献数量将概率机械推过75%。
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攻击路径 |
点估 |
理由 |
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CN102148059A单篇新颖性 |
55% |
A-D、N强;O的单一跨串主体未明示 |
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US20100195395/US20100315875族单篇 |
69% |
多串、同源端TG1/TG2和共同GSL强;明确为每串分离TG |
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US20110018051A1单篇 |
69% |
同源端多级强;仍按每串多个MOSFET记载 |
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US20100002516A1单篇 |
58% |
共同栅体跨独立图案,但只有一个源侧级且称复数GST |
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CN102+US20100195395族 |
73% |
双级、动机明确,仍没有跨串单一器件 |
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CN102+US20100002516 |
71% |
可补共同栅体的工艺可能性;第二级、几何和器件身份缺口较大 |
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CN102+US20110018051+US20100133599 |
74% |
现有最强覆盖;全局板偏置、共线/单一装置解释仍有实质争议 |
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加入本轮两件辅助文献 |
73%—74% |
同族不独立,US20100002516又带来反向语义;不上调 |
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综合无效成功概率 |
74%(72%—74%) |
未达到75%,需执行最终第9轮 |
第9轮是权利要求10的第八次补充检索,应只追“决定性证据”,不再累积共同线文件:
57. 追晚文件的向后引证,不使用其自身作证。 以晚公开但措辞精确的“string-sharing/shared source select gate electrode”文件(例如US20190333581A1)为入口,只向后追其截止日前引用、母案和非专利文献,查是否存在两个同源端共享选择级的早期原型。
58. 会议论文与审查档案。 查2006—2011年IEDM、VLSI Symposium、IMW及BiCS/VG-NAND/TCAT论文中common multi-channel selector、shared source selector plate,并核US20100195395族档案是否有申请人或审查员明确区分“one transistor/device”与共线多个晶体管。论文须核公开可得日;档案只能解释公开文本,不能用未公开内容作现有技术。
59. 日/韩旧分类与族谱。 沿Samsung、Toshiba、Hynix、SanDisk发明人及旧ECLA、FI/F-term检索zero spacing/unseparated选择栅;重点找同一源端第一、第二源选择栅均为连续实体,其中内层明确被称为一只多沟道器件。
60. 最终验收条件。 同一实施例必须显示两个相邻源侧栅体;内级共同栅体跨多个彼此独立的串通道,各串位线/漏端不短接;外级源栅体与内级物理、偏置可区分;文字把内级整体称为一个device/transistor/selector,而非仅一条line或多个GST。
第9轮四语精确式:
· 中文:("不分离而成为一个" OR "零间距选择晶体管" OR "串共用选择栅电极") ("多个独立串" OR "独立漏极") ("第一源极选择栅" "第二源极选择栅")
· 英文:("unseparated as one transistor" OR "zero-spacing select transistor" OR "string-shared source select gate electrode") ("independent string channels" OR "separate drains") ("first source select gate" "second source select gate")
· 日文:("分離されず一つのトランジスタ" OR "ゼロ間隔選択トランジスタ" OR "ストリング共通ソース選択ゲート電極") ("独立ストリングチャネル" OR "個別ドレイン") ("第1ソース選択ゲート" "第2ソース選択ゲート")
· 韩文:("분리되지 않고 하나인 선택 트랜지스터" OR "간격 0 선택 트랜지스터" OR "스트링 공통 소스 선택 게이트 전극") ("독립 스트링 채널" OR "개별 드레인") ("제1 소스 선택 게이트" "제2 소스 선택 게이트")
各式均限定before=publication:20110815。若最终轮仍未出现满足上述四项验收条件的同一实施例,不应再以共同线、连续单板或晚公开文件上调;应依任务上限停止补检,并将权利要求10无效成功概率冻结在不高于74%。
本报告由各轮独立检索记录汇总形成。Google Patents链接用于检索复核和定位;在无效宣告程序中,应提交符合形式要求的专利公开文本,并对外文关键段落提供准确中文译文。
底层检索记录:_research\claim10\round1.md;_research\claim10\round2.md;_research\claim10\round3.md;_research\claim10\round4.md;_research\claim10\round5.md;_research\claim10\round6.md;_research\claim10\round7.md;_research\claim10\round8.md;_research\claim10\round9.md
我围绕“多个串”“共享/跨多个串的源极选择结构”“源侧两个串联控制器件”“源极栅极/源极选择栅极区别”“共享源极节点”等关键词,对2011年8月15日前公开的中文专利进行了多轮交叉检索。结论是:技术特征N已经被非常明确地公开;技术特征O的组成结构也大量存在于现有技术中,但若严格要求“同一个源极选择装置作用于多个串,并且该装置与另一个独立的源极栅极装置串联”这一完整关系,当前中文文献中尚未找到一篇完全无争议的单篇披露。
目标专利的N、O实际对应权利要求10:N要求“串为多个串中的一者”,O进一步要求“源极选择装置耦合于多个串与源极栅极装置之间”。而目标专利权利要求11、12进一步说明了其典型含义:源极选择栅极可至少部分环绕多个串的相应柱,并位于这些串与源极栅极之间;源极栅极又是另一个独立控制结构。
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+1
一、最有价值的中文对比文件
1. CN101971324A——对“一个源极选择结构对应多个串”最强
公开号:CN101971324A
公开日:2011年2月9日,满足2011年8月15日前的限制。Google Patents确认其优先权日为2008年3月13日。
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这是目前对O前半部分最有价值的中文文献。
其明确记载,在同一导电柱230的两侧分别形成两条串联存储器单元串,这两条串均位于同一个源极选择晶体管216与漏极选择晶体管280之间;进一步明确:
源极选择晶体管216耦合到每一串联耦合存储器单元串,并将导电柱230任一侧上的串选择性地耦合到源极线200。
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因此,可以得到非常清楚的结构:
串1 ─┐
→ 共用源极选择晶体管216 → 源极线
串2 ─┘
这已经非常接近O中的:
“源极选择装置耦合于所述多个串……”
所以:
N:明确公开
O中“多个串—同一个/共享源极选择装置”的关系:明确公开
缺失点:216后面直接是源极线200,没有再明确设置目标专利意义上的独立“源极栅极装置”。
评价:对N/O检索价值★★★★★。
2. CN101595528A——对“串—两个源侧串联控制器件—公共源极”最强
公开号:CN101595528A
公开日:2009年12月2日,优先权日2007年1月30日。
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该文献明确公开存储阵列包含NAND串206₁~206M,并明确说明每条NAND串中的存储单元串联连接在“一个或一个以上源极选择栅极210”与漏极选择栅极之间。更关键的是:
如果针对一个给定NAND串采用多个源极选择栅极210,则这些源极选择栅极串联耦合在共同源极线216与该NAND串之间。
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因此其明确公开:
NAND串 → 第一源侧选择FET → 第二源侧选择FET → 公共源极线
这与目标专利权利要求1/O背后的核心拓扑:
串 → 源极选择装置 → 源极栅极装置 → 源极
极为接近。
关键争议只在于:CN101595528A把两个器件都称作“源极选择栅极”,而目标专利分别命名为“源极选择装置”和“源极栅极装置”。
如果按照结构及功能解释,其中一个源侧串联FET可对应源极选择装置、另一个可尝试对应源极栅极装置;如果严格按照目标专利说明书中的两种不同器件解释,则仍存在名称、功能以及共享范围上的区别。
评价:对O的串联位置关系★★★★★。
3. CN1906700A——目前最适合作为O整体攻击基础的中文文献
公开号:CN1906700A
公开日:2007年1月31日,优先权日2003年12月5日。
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该文献价值很高,而且比CN101595528A更早。
说明书明确公开多个NAND串102、104、106,每条串的一端通过区块选择装置耦合到共享偏压节点101,该共享偏压节点还明确称为全局源极线。
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更关键的是,其大量实施例明确采用:
“在串的底部利用两个串联选择装置”;
甚至公开:
“在串的底部利用多个串联选择装置且每一装置由各自不同电压信号驱动”。
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权利要求1直接要求:
多个串联连接NAND串,并且每一NAND串第一端包括“相应的复数个串联选择装置”。
权利要求9又明确规定成对NAND串的第一端耦合到共享偏压节点;权利要求16进一步明确一组控制信号将多个串耦合到共享偏压节点。
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因此其完整拓扑至少为:
串1 → 选择装置A → 选择装置B →┐
→共享源极/偏压节点
串2 → 选择装置A′→选择装置B′→┘
而控制这些选择装置的选择线是横跨多个串/区块设置的。
因此,若将其中:
内侧选择装置解释为“源极选择装置”;
外侧选择装置解释为“源极栅极装置”;
则N+O已经十分接近。
不足仍在于:它没有像目标专利那样明确把外侧器件单独命名成“source gate device”,也没有最清楚地说“一个物理源极选择晶体管本身同时串接多个NAND串”。
评价:作为N+O整体攻击基础★★★★★。
4. CN101681884A——共享选择栅极跨两个相邻选择晶体管
公开号:CN101681884A
公开日:2010年3月24日,优先权日2007年3月27日。
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这是重要的三维NAND文献。
它公开选择栅极31沿字线方向延伸,并明确:
每个选择栅极31作为位于其左侧和右侧两个相邻选择晶体管的栅极电极。
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同时每个垂直NAND串包括底部选择晶体管35及其上方的垂直存储单元,选择晶体管与源极线连接。
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因此它非常有利于证明:
一个连续/共享选择栅极结构控制多个相邻NAND通道/串
并非目标专利首次提出。
不足是其仍没有目标专利中源侧的“共享源极选择栅极+下面另一个独立源极栅极”的明确两级结构。
评价:对O中“共享选择栅结构”★★★★☆。
5. CN101911297A——垂直柱式NAND结构的重要辅助文献
公开号:CN101911297A
公开日:2010年12月8日,优先权日2008年1月15日。
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其权利要求明确公开:
多个垂直柱;
NAND单位单元;
顶部、底部控制栅极结构被并入选择装置;
中间控制栅极结构形成串装置。
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它对目标专利的“多个柱—多个串—选择栅极”的三维物理结构非常有贡献,但没有清楚给出独立的源极选择装置和源极栅极装置两级关系。
评价:N强,O辅助。
6. CN101652815A——N的直接、无争议证据
公开号:CN101652815A
公开日:2010年2月17日。
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明确写明:
“存储器阵列100包含NAND串109-1、…、109-M。”
并说明每条NAND串位于源极选择栅极113与漏极选择栅极119之间,源极选择栅极113连接共用源极线123。
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因此N:
“所述串为多个串中的一者”
已经属于非常传统、明确的NAND阵列结构。
评价:N★★★★★,O★☆☆☆☆。
7. CN102103889A——截止日前最后阶段的N型证据
公开号:CN102103889A
公开日:2011年6月22日,仍早于2011年8月15日。
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其明确记载:
一系列NAND存储器串120排列在阵列中;
各NAND串两端有选择栅极;
源侧选择栅极SGS将各串选择性耦合到源极线SL。
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可以进一步确认,在目标日期以前,“多个NAND串+源侧选择栅极+公共源极”已经是成熟结构。
二、特征比对表
对比文件 公开日 N:串为多个串之一 O1:源极选择结构作用于/关联多个串 O2:源侧存在两个串联控制器件 O3:第二器件可对应独立“源极栅极装置” 综合价值
CN101971324A 2011-02-09 明确公开 明确公开,极强:一个源极选择晶体管216选择性连接导电柱两侧两条串 未公开 未公开 ★★★★★
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+1
CN101595528A 2009-12-02 明确公开 多串阵列明确,但每串具有相应源选结构 明确公开,极强:多个源极选择栅串联于串和共同源极线之间 可功能映射,但存在解释争议 ★★★★★
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CN1906700A 2007-01-31 明确公开 多个NAND串、共享偏压/源极节点明确 明确公开,极强:串底部两个或多个串联选择装置 可较强地功能映射,但名称不同 ★★★★★
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+2
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+2
CN101681884A 2010-03-24 公开 较强:同一选择栅极31作为左右两个相邻选择晶体管的栅极 否 否 ★★★★☆
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+1
CN101911297A 2010-12-08 较强:多个柱/垂直NAND结构 选择栅结构跨柱,但关系不如CN101971324A直接 否 否 ★★★☆☆
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+1
CN101652815A 2010-02-17 明确公开 每串各自SGS 否 否 ★★☆☆☆,主要证明N
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+1
CN102103889A 2011-06-22 明确公开 每串各自SGS 否 否 ★★☆☆☆,主要证明N
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+1
三、最关键的判断
技术特征N
所述串为多个串中的一者。
这个特征几乎没有继续检索的必要。
CN1906700A早在2007年就明确公开“复数个NAND串”,CN101595528A、CN101652815A、CN102103889A又反复明确公开多个NAND串的阵列结构。
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+2
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+2
我评估N被在先中文专利成功、明确公开的概率:约99%。
技术特征O
所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间。
这个特征应拆成三个事实判断:
① 多个串:已明确公开。
概率约99%。
② 一个/共享源极选择结构与多个串耦合:已找到很强文件。
CN101971324A几乎是正面证据——一个源极选择晶体管216同时选择性耦合导电柱两侧的两个存储串。
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这一子特征的成功公开概率我评估为90%–95%。
③ 该源极选择装置下面还有另一个独立“源极栅极装置”:存在争议。
CN101595528A和CN1906700A已经明确给出两个甚至多个源侧串联选择器件,所以“两个源侧串联FET共同控制串到源极的导通”绝不是新结构。
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+1
真正剩下的是术语及功能界定:目标专利把两个器件分别定义为“源极选择装置”和“源极栅极装置”,且二者均控制通道与源极之间的导通。
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因此:
若采用严格解释,要求第二器件必须是目标说明书中的独立source-gate结构,而不是第二个source-select transistor,则目前中文单篇文献对完整O的明确公开仍不足;
若采用结构/功能解释,只要求存在位于串与源之间的第二个独立栅控晶体管,并同样控制串—源导通,则CN1906700A、CN101595528A已经非常接近完整O。
四、客观概率评估
我建议把概率区分成“技术事实公开”和“单篇文献完整公开”:
判断对象 概率估计
N被在先中文文献公开 ≈99%
“多个串+共享/跨串源极选择结构”被公开 90%–95%
“串+两个源侧串联控制器件+公共源极”被公开 ≈95%
O按宽泛结构/功能解释被单篇中文文献完整公开 约65%–75%
O按目标专利说明书严格区分source select与source gate后,被单篇中文文献直接、无歧义完整公开 约30%–40%
N+O由单篇中文文献严格完整公开 约35%–45%
N+O的全部技术思想通过两篇以上在先中文文献覆盖 约90%以上
这里最重要的是最后两行的区别:现有技术中几乎已经能够拼齐N+O全部结构思想,但“拼齐”与“单篇文献直接、无歧义公开”不是同一回事。
五、当前最优使用顺序
如果目标是继续构造无效证据链,我会把优先级定为:
第一顺位:CN1906700A。
它同时具备“多个NAND串+串底部多个串联选择装置+共享源极/偏压节点”,与N+O整体逻辑最接近。其最大突破口是论证两个串联选择装置中的外侧装置在结构和功能上就是权利要求中的“源极栅极装置”。
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+1
第二顺位:CN101971324A。
专门解决CN1906700A中“一个源极选择结构是否能够对应多个串”的疑问。它明确显示一个源极选择晶体管216控制导电柱两侧两个存储串。
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第三顺位:CN101595528A。
用来强化“两个源侧栅控器件串联在NAND串和共同源极之间”属于在先成熟技术的事实。
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辅助:CN101681884A。
进一步证明三维NAND中“一个共享选择栅极结构跨多个相邻通道/选择晶体管”已经公开。
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最终结论
技术特征N基本可以认定已被充分公开。技术特征O也不是一个整体上完全孤立的新概念:其两个最关键的组成思想——“共享源极选择结构作用于多个串”和“串与源之间设置两个串联源侧栅控器件”——分别已经被CN101971324A以及CN1906700A/CN101595528A非常明确地公开。
目前中文检索真正还没有攻克的唯一窄点是:
在一篇2011年8月15日前公开的中文专利中,同时明确出现“一个共享于多个NAND串的源极选择装置”,其下方再串联一个与其功能区分的独立源极栅极装置。
所以,如果问的是**“N/O的技术思想是否已经被现有技术成功公开”,我给出的综合概率约为85%–90%;如果问的是“仅靠一篇中文文献严格逐字、逐结构直接公开完整N+O”,目前应客观控制在35%–45%**,不宜高估。
经多轮围绕 “복수의 NAND string / vertical NAND / ground select transistor / source select transistor / first/second select transistor / series-connected select transistor / switching transistor / common source line” 等韩文及英文同义表达检索,并沿 Google Patents 的同族、引用及被引用文献继续反查后,已经找到几件对技术特征 N、O 有实质贡献的韩国专利文献。
一、结论先行
目前检索结果中,最值得作为技术特征 N+O 核心对比文件的是 KR20100089014A,其次是 KR20110012806A 和 KR100790823B1。
尤其是 KR20100089014A:公开日为 2010-08-11,严格早于 2011-08-15;其不仅公开了“多个半导体柱+多个垂直 NAND 串”,还在源极侧明确设置一对 TG1、TG2 接地选择晶体管,二者位于存储单元与公共源极线之间并串联,而且明确用于控制公共源极线与存储单元之间的信号传输。更重要的是,其另一实施例还允许第一、第二接地选择晶体管分别由 GSL1、GSL2 控制、独立动作,因此不能简单地把 TG1/TG2 视为完全不可区分的单一器件。
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+1
该文献还明确记载:存在矩阵排列的多个半导体柱和多个 NAND 串,公共源极线共同连接多个 NAND 串的一端,选择线共同连接同一行 NAND 串的选择晶体管。由此,技术特征 N 属于非常明确的公开。
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+1
因此,以目前韩国文献检索结果判断:
N 单独被成功认定公开:约 98%–99%。
O 按通常的电气拓扑/功能解释被认定公开:约 85%–93%。
N+O 由单篇韩国文献共同公开:约 85%–90%。
如果对 O 作非常狭窄解释,即要求“一个物理上跨越多个柱/多个串的共用源极选择栅极+其下方独立源极栅极”,则下降到约 60%–70%。
这里评估的是N、O 两项技术特征的现有技术公开强度,不是权利要求10整体被无效的最终概率;权利要求10还引用权利要求1,整体新颖性判断仍须同时覆盖权利要求1的全部限定。
二、为什么 O 是本次检索的真正难点
CN103782344B 权利要求1要求存在两个源侧器件:
电荷存储串 → 源极选择装置 → 源极栅极装置 → 源极。
并且二者均被配置为控制通道与源极之间的导电。权利要求10进一步限定“串为多个串中的一者”,以及“源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间”。
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这里存在一个对无效非常关键的解释问题。权利要求9明确写的是“多个源极选择装置中的每一者”分别对应多个串;而权利要求10改成单数的“源极选择装置耦合于所述多个串……之间”。同时,权利要求11、12又进一步描述源极选择栅极和源极栅极可以至少部分环绕多个串对应的多个柱。
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所以,对 O 有两种可能理解:
较宽解释:只要在多个 NAND 串的源极侧存在两个可区分的串联栅控器件,第一级位于 NAND 存储串与第二级之间、第二级再通向公共源极,并共同控制通道—源极导通,即可对应 O。
较窄解释:不仅要有两个器件,而且“源极选择装置”本身必须是物理意义上同时跨接/围绕多个垂直柱的一个共用栅极构件,再在其下方设置独立源极栅极。
前一种解释下,韩国现有技术很强;后一种解释下仍有争议余地。
三、核心韩国对比文件及特征比对
韩国文献 公开日 技术特征 N 技术特征 O 关键公开内容 证据价值
KR20100089014A Samsung 2010-08-11 ◎明确 ◎高概率 多个垂直半导体柱、多个 NAND 串;源侧 TG1、TG2 成对、相邻、串联布置于存储单元与 CSL 之间,并控制二者间信号;另有 TG1/TG2 分别控制的实施方式 ★★★★★ 最强
KR20110012806A Samsung 2011-02-09 ◎明确 ◎/○ 明确“多个垂直存储单元串”;GST1、GST2 一对晶体管串联布置在多个存储单元和公共源极线 CSL 之间 ★★★★★
KR100790823B1 Samsung 2008-01-03 ◎明确 ◎拓扑明确 多个 cell string;第3、第4选择晶体管串联布置于最末存储单元和第2选择晶体管之间,第2选择晶体管源极接公共源线 ★★★★☆
KR20010015679A Spansion 2001-02-26 ○ ◎拓扑明确 NAND 串源侧明确设置“series select transistor+source select transistor”两个串联选择晶体管,一个接最后存储晶体管、另一个接 Vss ★★★★☆
KR20060074179A Hynix 2006-07-03 ◎明确 △补强 明确多个 NAND 串;存储单元与 source-select transistor 之间增加第一 dummy transistor ★★★☆☆
KR20050097595A Hynix 2005-10-10 ◎明确 ×/△ 明确多个 cell strings、多个 source-select transistors 和公共源极线,但只有一个明确源侧选择级 ★★☆☆☆
符号含义:◎=直接明确公开;○=较强公开;△=需要功能/结构对应解释;×=不足以单独公开。
四、最重要的三篇文献
1. KR20100089014A——目前最优单篇
这是本次检索中对 N+O 最接近目标结构的韩国文献。
其公开日为 2010-08-11。
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对于 N,其权利要求/说明书直接公开:
多个半导体柱;
半导体柱矩阵排列;
沿多个柱形成多个 NAND strings;
公共源极线共同连接多个 NAND 串的另一端;
同行 NAND 串的选择晶体管还可以通过公共选择线控制。
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+1
因此:
N:“所述串为多个串中的一者” → 明确公开,无实质争议。
对于 O,文献明确公开 NAND 串包括一对接地选择晶体管 TG1、TG2。TG1、TG2位于:
Memory Cells → TG1 → TG2 → Common Source Line
TG1/TG2布置在公共源极线与存储单元之间并与存储单元串联,而且明确用于控制公共源极线与存储单元之间的信号传输。
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这与目标专利可以作如下映射:
目标源极选择装置 ← 靠近 memory cells 的 TG1
目标源极栅极装置 ← 靠近 CSL 的 TG2
尤其值得注意的是,该文献不是只能让 TG1、TG2永远作为完全相同的一个器件工作。另一实施例明确公开第一、第二接地选择晶体管可分别连接第一、第二接地选择线而分开独立动作。
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这显著提高了把 TG1/TG2认定为两个独立栅控装置的成功率。
我的评价:
N:99%
O——按功能/拓扑解释:90%–95%
O——按“必须是物理上跨越多个串的单一共用源极选择栅”狭义解释:65%–75%
因此这是当前最值得放在无效理由核心位置的韩国文献。
2. KR20110012806A——非常强的第二篇
公开日为 2011-02-09,符合日期限制。
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该文献首先明确记载存储阵列包括多个 memory cell strings,每一个串均为垂直结构。
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更关键的是,其图2实施例明确规定,普通单个 GST 可以改为:
一对 GST1、GST2,串联设置在多个存储单元与公共源极线 CSL 之间。
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因此可以直接形成:
存储串 → GST1 → GST2 → CSL
如果分别将 GST1/GST2 对应为目标的“源极选择装置”和“源极栅极装置”,O 的电气结构几乎完整。
主要薄弱点只有一个:该实施例明确说 GST1/GST2 的栅极可共同连接同一个 GSL。
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因此,如果专利权人主张目标专利两个器件必须能够彼此独立控制,这篇比 KR20100089014A 略弱;但权利要求10文字本身并没有明确要求两个栅极必须使用不同控制线。
评价:N 99%;O 85%–90%。
3. KR100790823B1——O 的“不同器件串联”补强证据非常好
公开日 2008-01-03。
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这篇虽然不是最接近的垂直柱结构,但其源极侧电路关系极有价值。
文献明确公开多个 cell strings,并且每个串中具有 ground select transistor,同时在它与离位线最远的源侧存储单元之间增加 switching transistor;甚至可以设置第一、第二两个 switching transistors 串联。
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更明确的实施方式直接记载:
第2选择晶体管的源极连接公共源极线;
多个存储单元串联;
第3、第4选择晶体管的通道串联在最后一个存储单元与第2选择晶体管之间;
存储器阵列具有多个这样的 cell strings。
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也就是:
Memory string → 3rd select → 4th select → 2nd select → CSL
它非常有利于证明:在目标优先权日前,“在 NAND 串与公共源极侧选择器件之间再设置一个或多个独立栅控选择器件”的设计思想已经属于现有技术。
其缺陷主要不是 N/O,而是如果拿它直接打击权利要求10整体,它不像 KR20100089014A 那样同时贴近“垂直半导体柱”这一母权利要求特征。
五、早期文献 KR20010015679A 也值得保留
KR20010015679A 的公开时间早至 2001-02-26。Google Patents 显示其后授权为 KR100494377B1。
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其摘要非常直接:
series select transistor 和 source select transistor 在 NAND string 的源侧端部串联连接;series select transistor 接 NAND string 最后一个存储晶体管,source select transistor 接 Vss。
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其附图还明确描述在闪存阵列中设置两个 16-word NAND flash memory cells。
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因此它对 O 的“两个源侧选择器件串联”这一基本技术思想是非常早、非常干净的公开。
不足之处是:
它不是垂直柱 NAND,而且“source gate device”并非其原始术语,因此更适合作为 O 的技术启示/补强文献,不如 KR20100089014A 适合作为 N+O 的单篇首选。
六、次级文献及为什么不宜作为主证据
KR20060074179A 于 2006-07-03 公开。其说明书直接说 NAND flash memory array 具有多个 strings,因此 N 没有问题;同时又在源极选择晶体管与存储单元之间加入第1 dummy transistor。
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其源侧关系实际为:
Memory cells → DT1 → SST → source
这在拓扑上很像 O,但 DT1 的设计身份是“dummy transistor”,主要用于降低选择晶体管对相邻存储单元的干扰,因此直接把 DT1 等同于目标的“源极选择装置”存在解释风险。故我只给 △,不建议作为 O 的首要证据。
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KR20050097595A 于 2005-10-10 公开,并明确公开多个 cell strings、多个 source select transistors 以及公共源极线。
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+1
因此它对 N 很强,但其基本串结构仍是:
string select transistor → cells → source select transistor → CSL
并没有第二个独立源侧选择/栅极级,因此不能单独解决 O。
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七、反向筛查结果:哪些看似相关但实际上不够好
我还专门沿“早期 3D NAND / vertical channel”方向反查,避免只找到平面 NAND。
例如 KR20110049187A/KR101040154B1 的确是截止日前的 3D flash 技术,KR20110049187A 于 2011-05-12 已公开,文献具有垂直通道和公共源极线,但其核心在于降低公共源极线电阻,并未给出像 TG1/TG2 那样明确的双源侧栅控级,因此不应为了“3D”标签而把它列为 O 的强证据。
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KR20090047614A 也属于早期垂直器件,明确允许在存储晶体管两侧设置 string-select 和 ground-select transistor,但目前能够确认的公开仍主要是传统两端选择结构,没有明确的第二源侧选择级。
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这两类文献可以证明“垂直 NAND/公共源极/选择晶体管”本身很早已知,但对于本次专门检索的 O,不如前三篇。
另外,KR20100089022A 也于 2010-08-11 公开,但 Google Patents 显示其与 KR20100089014A 存在直接优先权关系,技术内容高度相关。因此我将其作为同族/关联补强保留,而没有人为把它算成第二件独立强证据。
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八、最终概率评估
综合目前反复检索结果,我会把证据强度分成三层。
判断对象 成功公开概率 评价
N:串为多个串中的一者 98%–99% 多篇韩国文献文字明确公开“plurality of NAND/cell strings”,基本不存在缺口
O:通常/功能性解释 85%–93% KR20100089014A、KR20110012806A、KR100790823B1均出现两个或更多源侧串联栅控器件
O:极严格物理结构解释 60%–70% 风险在于目标权10可能被解释为一个共用的 source-select gate/device 同时跨越多个串,且须与 source gate 明确区分
N+O由至少一件截止日前韩国文献共同覆盖 85%–90% KR20100089014A 是目前最强单篇
仅凭这些 N/O 文献直接证明权10整体缺乏新颖性 不能据此直接给高概率 尚须把权1的“半导体柱、电荷存储串、source gate/source select 的全部功能限定”等一并纳入单篇比对
最推荐的无效证据顺序
KR20100089014A——首选。 用“多个垂直 NAND 串+TG1/TG2双源侧选择晶体管+独立控制实施例”直接主攻 N、O。
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KR20110012806A——第二强。 用“多个垂直串+GST1/GST2 串联于 cells 与 CSL 之间”进行平行补强。
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KR100790823B1——解释 O 的重要补强。 用其“多个串+额外第3/第4选择晶体管+公共源侧第2选择晶体管”证明源极侧设置多个独立串联选择器件并非新的构思。
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KR20010015679A——进一步证明双源侧选择栅极早已有之。
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综合判断:就技术特征 N、O 本身而言,目前韩国现有技术已经相当强,尤其是 KR20100089014A。真正剩余的不确定性不是“N 有没有公开”,甚至也不是“源极侧有没有两个串联选择晶体管”,而是无效程序中是否会把权利要求10的“所述源极选择装置耦合于所述多个串……”解释成一种非常具体的、单个物理栅极同时围绕/跨接多个垂直柱的结构。 若不采用这种极窄解释,我认为 N+O 被认定为已由优先权日前韩国文献公开的概率约 85%–90%。
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经过多轮按“日文关键词—同族—引用关系—3D NAND 分类—源侧双选择栅结构”反查后,本轮检索中,最值得用于技术特征 N、O 的日文文献是 JP2010192569A。它与 N、O 的结构关系明显强于普通“多个 NAND 串 + 单个 SGS”的文献。
先明确目标特征的含义:N、O来自 CN103782344B 权利要求10。权10要求“所述串为多个串中的一者”,并进一步要求“所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间”。权11、12又进一步说明,源极选择栅和源极栅均可至少部分环绕多个串对应的柱,甚至明确到两个串/两个柱。因此,O 的较严格理解并不是简单的“每个串各有一个源侧选择晶体管”,而更接近对多个串起作用的源极选择结构,且其源极侧还有另一源极栅极结构。
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一、最重要的日文对比文件:JP2010192569A
JP2010192569A,东芝,公开日 2010-09-02,明显早于 2011-08-15。
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这篇文献的第三实施方式非常关键。
它明确说明,SP1、SP2不再连接成U形,而是各自成为独立的直线形 NAND string;同时半导体基板侧设置源极配线。换言之,同一器件中明确存在多个相互独立的 NAND 串。
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更重要的是,在存储堆叠 ML 与半导体基板之间设置了下侧选择栅 LSG,并且明确将该下侧选择栅做成两层:
靠近存储单元串一侧的 LSGA(lower upper-layer selection gate);
靠近基板/源极侧的 LSGB(lower lower-layer selection gate)。
文献明确说 LSGA、LSGB具有不同阈值,并分别对应不同的选择栅晶体管。对于 SP1、SP2,LSGA 对应 LSGT1,而 LSGB 对应 LSGT2;对于 SP3、SP4同样如此。
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因此沿着源极方向可以得到非常接近目标专利的结构链:
多个 NAND strings → LSGA / LSGT1 → LSGB / LSGT2 → source wiring / substrate
这正是 O 所要求的:
多个串 → 源极选择装置 → 源极栅极装置 → 源极
的核心空间及串联关系。
而且,该文献并非只是偶然画出两个栅层。它明确指出,两层下侧选择栅具有不同阈值;虽然允许使用一层,但采用两层可提高存储单元的选择性并稳定操作。也就是说,两层源侧栅是明确、积极记载的实施方案,不是从附图反推得到的隐含结构。
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“多个串共享”这一点也有很强依据
同篇文献前面的实施方式明确说明,选择栅 SG 对相邻的两个贯通孔 H1、H2 共同设置(共通に設けられている);两个相邻贯通孔穿过同一选择栅。
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文献进一步明确记载,第2、第3半导体柱可共享选择栅 SG并连接至共同源极配线 M0,通过双选择栅结构区别选择不同柱。
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+1
第三实施方式又明确说,除改成独立直线 NAND strings 外,其余结构可以与前述装置110相同,并可以将这种直线结构应用于之前描述的各实施方式。
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因此,将“共享选择栅”与第三实施方式的“独立直线 NAND strings + 双层下侧选择栅”结合阅读,有比较强的文字基础,而不是跨文献拼接。
二、第二重要文献:JPH06275800A
JPH06275800A,东芝,公开日 1994-09-30。
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这篇早期文献虽然不是3D竖直 NAND,但对 O 的“源侧设置两个串联控制器件”非常有价值。
其摘要和说明书明确记载:
存在多个 NAND cells/strings;
NAND 串与 source line SL 之间设置第二选择手段;
该第二选择手段不是一个晶体管,而是由增强型晶体管和耗尽型晶体管串联组成。
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具体实施例更明确:
左侧串的源侧第二选择手段为 S13 + S14 串联;
右侧串为 S23 + S24 串联。
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因此,它非常清楚地证明:早在1994年,日本 NAND 专利已经公开了
NAND string → first source-side controlled transistor → second source-side controlled transistor → source line
这一基本结构。
它的问题在于:这些源侧晶体管主要是每个 NAND 串分别设置,而不是像 CN103782344B 权10/11那样容易理解为一个公共栅结构控制多个柱。因此,它对 O 是很好的辅助文献,但没有 JP2010192569A 那么适合单篇攻击。
三、JP2010034112A:对 N 和“多个串共享源侧栅”很强
JP2010034112A,东芝,公开日 2010-02-12。
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这篇文献明确:
形成多个贯通孔,矩阵排列;
每个贯通孔中具有一个竖直 silicon pillar;
一个 pillar 周围串联多个存储单元形成一个 memory string;
多个这样的 memory strings 在 X、Y 方向矩阵排列。
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因此技术特征 N 几乎是直接逐字对应。
源极侧也很有价值。其结构为:
memory cells → lower selection gate LSG → cell source CS
而且 LSG 不是每柱一个孤立栅,而是明确为平行于 XY 平面的板状导电层;cell source CS同样是连接多个堆叠块的单一板状层。多个 pillar 穿过这些结构并连接 cell source。
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所以它强烈公开:
多个竖直 NAND strings + 公共/共享的源侧选择栅
但缺点也很明确:只找到一层独立源侧选择栅 LSG,没有第二个明确的“source gate device”位于 LSG 与 source 之间。因此单独针对 O 不如 JP2010192569A。
四、JP2011049206A:再次确认“多个串 + 公共板状 SGS”
JP2011049206A,东芝,公开日 2011-03-10,符合日期限制。
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其结构非常清楚:
source layer 12 → source-side selection gate SGS → WL stack → drain-side selection gate SGD
其中 source layer、SGS 和 WL 均形成板状层;多个 memory holes 以矩阵排列,各 silicon body 穿过 SGS 和多层 WL,其下端连接 source layer。一个 silicon body 上的串联存储单元构成一个 memory string,多个 memory strings 再以矩阵形式排列。
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所以:
N:明确公开;
O 中“一个源侧栅作用于多个串”:很强;
O 中“源极选择装置与源极之间还有另外一个源极栅极装置”:没有明确第二层,因此只能作为辅助。
五、JP2010118580A:对 N 较强,对 O 较弱
JP2010118580A,东芝,公开日 2010-05-27。
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它明确记载一个 memory block 中具有多个 memory strings MS,每个 memory string由串联的 MTr1~MTr4构成,并连接 source-side select transistor SSTr 和 drain-side select transistor SDTr;每块可具有多行、多列 memory strings。
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因此 N 没有实质困难。
但它仍主要是常规的:
memory string → SSTr → source
结构,没有像 JP2010192569A 那样明确给出两个串联的下侧栅,因此对 O 只能提供背景性贡献。
六、特征比对表
日文对比文件 公开日 技术特征 N:串为多个串之一 技术特征 O:源极选择装置位于多个串与源极栅极装置之间 评价
JP2010192569A 2010-09-02 明确公开:SP1、SP2等为独立直线 NAND strings
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高度接近/可主张明确公开:ML与基板之间存在两层 LSGA、LSGB,分别构成串联的源侧选择晶体管;前述实施方式还明确 selection gate 被多个柱共享
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★★★★★ 首选
JPH06275800A 1994-09-30 明确公开多个 NAND cells 部分至较强:每一串源侧选择手段由两个晶体管串联,但没有充分体现一个公共器件作用于多个3D串
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★★★★
JP2010034112A 2010-02-12 明确公开:多个竖直 memory strings 矩阵排列
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部分公开:板状 LSG作用于多个串并位于串与 cell source之间,但仅明确一层 LSG
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★★★★
JP2011049206A 2011-03-10 明确公开:多个 memory strings矩阵排列
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部分公开:公共板状 SGS 位于多个串和 source layer之间,但无独立第二 source gate
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★★★
JP2010118580A 2010-05-27 明确公开:block包括多个 memory strings
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较弱部分公开:有 source-side select transistor,但未找到权10意义上的公共“双源侧栅” ★★☆
JP2011009409A 2011-01-13 公开直线 NAND string/多柱3D结构 部分公开:具有 lower selection gate 与 source line,但没有检索到明确的双层源侧栅
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+1
★★☆
七、最优技术特征映射:JP2010192569A
如果直接针对 N+O,我建议采用如下比对逻辑:
CN103782344B 技术特征 JP2010192569A 对应内容 判断
N:所述串为多个串中的一者 第三实施方式明确 SP1、SP2各自构成独立的直线形 NAND string;同时还有SP3、SP4等
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明确公开
存在多个彼此独立的串 SP1~SP4对应多个可区别选择的半导体柱/串
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明确公开
O:源极选择装置耦合于多个串与源极栅极装置之间 ML与基板/source侧之间设置 LSG,LSG明确包括靠近ML的 LSGA 和靠近基板侧的 LSGB
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高度对应
源极选择装置 可将靠近 memory string 的 **LSGA / LSGT1(或LSGT3)**对应源极选择装置 强对应
源极栅极装置 可将更靠近 source/substrate 的 **LSGB / LSGT2(或LSGT4)**对应源极栅极装置 强对应,但存在名称解释空间
两器件串联控制 source方向导通 LSGA、LSGB沿同一半导体柱上下排列,具有不同阈值,并明确构成不同 selection gate transistors
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+1
明确结构性公开
对“多个串”起作用 前述实施方式明确 selection gate SG对相邻贯通孔共同设置,并且多个柱共享 selection gate;第三实施方式说明除直线化外可沿用前述结构
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+1
较强公开
八、客观概率评估
这里需要把 N 与 O 分开,因为二者证据强度不同。
技术特征 N:成功认定为已公开的概率约 97%~99%。
理由很简单:JP2010192569A、JP2010034112A、JP2011049206A、JP2010118580A等多篇日文公开均明确存在多个 NAND/memory strings,其中一个串仅是多个串之一。几乎不存在实质解释障碍。
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+2
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+2
技术特征 O:以 JP2010192569A 为主证据,成功认定为已公开的概率,我评估约 80%~88%,中心值约 84%。
最有利的地方有三个:
第一,文献不是仅仅公开一个 SGS,而是明确公开两层源侧选择栅 LSGA、LSGB;第二,两层栅在物理上都位于 memory stack 与 substrate/source之间;第三,它们明确对应不同选择晶体管,且具有不同阈值,并用于多个半导体柱的选择。
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+1
主要剩余风险不是结构缺失,而是名称和权利要求解释:JP2010192569A把 LSGA、LSGB都称作“selection gate”,没有把更靠源极的一层直接命名为“source gate device”。而 CN103782344B 则把两层分别命名为“source select device”和“source gate device”。不过目标专利自身对“source gate device”的限定主要是其位置、与source耦合以及控制柱/串与source之间导电的功能,而不是要求一个特殊名称的器件;权11、12又明确表现为两个分别环绕多个柱的源侧栅结构。
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因此,如果按照结构+功能进行对应,JP2010192569A 很强;如果采取极严格解释,要求 prior art 必须明确把 LSGB识别成一种与普通“select gate”性质不同的独立“source gate device”,则 O 的把握会下降到大约 65%~75%。
一个需要特别注意的实务因素
Google Patents 的 CN103782344B 页面显示,JP2010192569A 已列入目标专利的引用文献,并标有 examiner-cited 标记。
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这意味着它不是一篇完全未被审查体系注意到的新文献。因此,如果用于正式无效,不能仅写“JP2010192569A有双选择栅”,而应把重点放在:
“第三实施方式 + [0478]~[0493]附近的直线独立 NAND strings + 下侧双层 LSGA/LSGB + 前述共享选择栅结构”
这一具体组合上,说明现有审查很可能没有针对权10中特有的‘多个串—源极选择装置—源极栅极装置’关系逐项展开判断。
最终结论
就目前针对日文专利文献的反复检索结果而言,我的排序是:
JP2010192569A > JPH06275800A ≈ JP2010034112A > JP2011049206A > JP2010118580A / JP2011009409A。
其中,JP2010192569A 是目前最有希望单篇同时覆盖 N+O 的日文文献。对于 N,可以认为基本已经“检索穿”;对于 O,也已经不是单纯依赖两篇文献拼接,而是找到了一篇同时具有“多个独立直线 NAND 串 + 两层源侧栅 + 多柱共享选择栅基础”的2010年日本公开。
综合评估:
N成功公开概率:97%~99%;
O成功公开概率:80%~88%;
N+O由 JP2010192569A 同一文献成功建立对应关系:约82%~86%。
若进一步允许以 **JP2010192569A 为主文献,JPH06275800A证明“两个源侧串联控制晶体管”属于早已公开的 NAND 架构,JP2010034112A证明“板状公共源侧选择栅控制多个竖直 strings”**作补强,则用于后续创造性论证时,N+O这组特征的现有技术基础会明显强于仅依靠单篇文献。
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经多轮检索并对命中文献逐篇核对后,我认为:技术特征 N 基本可以确定已经在 2011-08-15 之前的英文专利文献中明确公开;技术特征 O 也找到了非常强的单篇文献,其中 US20100207194A1 是本轮最重要的新对比文件。
特别需要注意,N/O 对应的是 CN103782344B 权利要求10,而不是权利要求9。权利要求9是“多个串分别具有对应的多个源极选择装置”,权利要求10则进一步要求一个源极选择装置耦合于“多个串”与源极栅极装置之间。因此,对 O 的高质量公开不能只满足“每个串都有自己的 SGS”,最好能够证明一个共用的源侧选择栅结构作用于多个串。目标专利自身的实施例也体现了这一点:单个 SGS 340/370 可围绕一列中的八个柱,而更靠近源侧的 source gate 350 可围绕一个块中的全部柱。
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一、检索结论
本轮我反复采用了以下几组英文概念交叉检索:
plurality of NAND strings / multiple strings / source select gate / source-side selection gate / series-connected source select gates / dual source-side select gate / lower selection gate / shared selection gate / common select line / semiconductor pillars / rectilinear NAND string / source line / source gate
并进一步沿目标专利引用文献、强命中文献的同族及引用网络反向扩展。对于同一专利族存在多个英文公开的,优先保留截止日前最清晰、技术披露最强的美国英文文本,避免简单堆叠同族文件。
最重要结论
第一优先级:US20100207194A1
这是目前针对 N+O 最值得使用的单篇英文文献。
其公开日为 2010-08-19,明显早于 2011-08-15。
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第三实施例明确记载:
SP1、SP2 不再构成 U 形串,而是分别形成独立的直线型 NAND string;
source line 设置在半导体衬底中;
在存储堆叠 ML 与衬底之间设置 lower selection gate LSG;
LSG 又明确包括上下两个不同层:LSGA + LSGB;
LSGA 对应 SP1、SP2,并形成 LSGT1;LSGB 位于其下并形成 LSGT2。
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因此从存储串向源极方向,其结构顺序可以直接读成:
多个独立 NAND strings → LSGA/LSGT1 → LSGB/LSGT2 → substrate source line
更关键的是,该专利前文还明确说其 selection gate 是延伸的导电构件,而且共同设置于相邻的第一、第二 through holes,即已经存在“一个选择栅导电结构共同作用于多个柱/多个存储通道”的概念。
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这与目标专利:
plurality of strings → source select device → source gate device → source
的空间和电连接层级非常接近。
唯一需要预先防范的争议是:US20100207194A1 把 LSGA、LSGB 都称作“selection gate”,没有把外侧 LSGB 明文命名为“source gate device”。但是目标权利要求1对 source gate device 本身主要采取位置+功能限定——其耦合至源并控制 string channel 与 source 之间的导电,而不是要求其名称必须叫“source gate”。
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因此,如果按照功能和电路位置解释权利要求,“LSGB/LSGT2 = source gate device”的论证力度较高。
二、高价值英文对比文件
符号含义:◎=强直接公开;○=有较强贡献但存在解释环节;△=部分公开/适合作为组合文献。
排名 英文专利文献 公开日 特征N 特征O 主要贡献及评价
1 US20100207194A1 – Non-volatile semiconductor memory device and method for manufacturing same 2010-08-19 ◎ ◎/○+ SP1、SP2各自为独立直线 NAND string;源线位于衬底;string 与 source 之间存在两层 lower selection gates:LSGA→LSGB;LSGA对应多个柱。是目前最接近 N+O 单篇公开的文献。
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2 US5999452A – Dual source side polysilicon select gate structure... 1999-12-07 ◎ ○+ 明确公开 string 端部串联两个源侧晶体管:“series select transistor”接 NAND string,“source select transistor”接 Vss,即 string→内侧选择晶体管→外侧源极晶体管→source;两个 NAND cells 还共享 SG1-SG3。结构逻辑非常强。
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3 US20090230454A1 – Memory array with a pair of memory-cell strings to a single conductive pillar 2009-09-17 ◎ ○+ 同一柱两侧形成两个 memory-cell strings,而且同一个 source select transistor 216 选择性耦合该柱两侧的两个串到 source line。对“一个源极选择装置作用于多个串”这一 O 的核心非常强;不足是其后直接连接 source line,没有第二 source-gate device。
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4 US20080253187A1 – Multiple select gate architecture 2008-10-16 ◎ ○+ 明确有 NAND strings 206₁…206M;每个串源侧具有串联的 source select gates 210、211,连接次序为 string→210→211→common source line。对 O 的“两个串联源侧控制器件”几乎是直接公开,但器件是逐串设置。
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5 US20080310233A1 – Multiple select gates with non-volatile memory cells 2008-12-18 ◎ ○+ NAND strings 206-1…206-M;source select gate 210-1 被明确称为 cell side select gate,紧邻存储串,其外侧还有 210-0,两者串联。可清楚建立 string→inner source select→outer source-side device。
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6 US20090011560A1 – Multiple select gate architecture with select gates of different lengths 2009-01-08 ◎ ○+ 多个 NAND strings;每串有串联 SGS 210、211;211 接 common source line,210 位于 string 与 211 之间。与目标 O 的拓扑关系高度一致。
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7 US20050128807A1 – NAND memory array incorporating multiple series selection devices... 2005-06-16 ◎ ○ 明确 plurality of NAND strings,并在 NAND string 另一端配置至少两个 series/block select devices,再接 shared bias node;还明确讨论相邻 NAND strings 与共享 bias node。对“多串+多源侧串联器件”是很早的基础公开。
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8 US20070047312A1 – Operation of multiple select gate architecture 2007-03-01 ◎ ○ NAND strings 206₁…206M;源侧 210、211 串联,211 接 common source line,210 位于 NAND string 与 211 之间。属于非常明确的早期双源侧选择栅技术。
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+1
9 US20100124116A1 – Non-volatile semiconductor storage device 2010-05-20 ◎ △/○ 3D NAND,明确 plurality of memory strings;多个源侧选择晶体管的控制栅共同连接到延伸的 SGS,且 SGS 跨越多个 memory blocks。对“共享源极选择栅结构作用于多个垂直串”非常有价值,但缺乏第二个 source-gate device。
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10 US20110175157A1 – Nonvolatile semiconductor memory device and method for manufacturing same 2011-07-21 ◎ △ 截止日前很近的一篇 3D NAND 文献。明确 semiconductor pillars 构成 plurality of memory strings,源侧选择栅 SGS 位于 stacked body 与 source lines 之间;证明此种“多柱/多串+共同源侧 gate layer”在优先权日前已成熟。
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11 US20060261404A1 – Vertical NROM NAND flash memory array 2006-11-23 ◎ △ 很早公开 vertical NAND strings、pillars,以及 string 与 source line 之间的 select transistor。对 N、柱式 NAND 和源侧选择结构强,但只有一级明确源侧选择器件。
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12 US20090180324A1 – Semiconductor Constructions, NAND Unit Cells... 2009-07-16 ◎ △ 明确 NAND strings 206₁…206M、charge-storage devices 和 NAND string select device,且属于立体 NAND 构造。可支持 N 和基本源侧选择结构,但并不能单独给出 O 所需双层源侧器件。
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这里还有一个值得注意的事实:目标专利 Google Patents 页面自身的现有技术网络中已经包含 US20060261404A1、US20090180324A1、US20090230454A1 等非常接近的早期英文技术路线;因此这些不是凭关键词偶然找到的远端文献,而是与目标技术发展脉络高度接近的现有技术。
三、最关键的特征比对
下面以当前最强的 US20100207194A1 为主表。
CN103782344B 技术特征 US20100207194A1 对应公开 评价
N:所述串为多个串中的一者 第三实施例明确 SP1 与 SP2 不连接,每根半导体柱各自形成独立 rectilinear NAND string;整个装置显然包含多个这样的串。
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直接明确公开,≈100%
多个串与半导体柱相对应 SP1、SP2、SP3、SP4 等半导体柱分别构成直线 NAND strings。
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直接公开
源侧存在选择结构 lower selection gate LSG 明确位于 stacked body ML 与 semiconductor substrate/source line 之间。
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直接公开
源侧至少存在两个串联控制层 LSG 明确包含 LSGA + LSGB;分别构成 LSGT1、LSGT2,而且阈值不同。
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直接公开
O:源极选择装置耦合于多个串与源极栅极装置之间 从 NAND strings 沿源侧向衬底的物理顺序为 strings → LSGA/LSGT1 → LSGB/LSGT2 → substrate source line。因此将 LSGT1 对应“source select device”、LSGT2 对应“source gate device”时,连接关系完全对应。
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高度接近直接公开
一个选择栅结构作用于多个串 selection gate 被制成延伸的导电构件,并明确commonly provided for adjacent through holes;第三实施例又将各柱转换成独立 NAND strings。
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+1
对 O 的“plurality”限定非常强
outer device 是否就是“source gate device” 文献称 LSGB/LSGT2 为 lower selection gate/transistor,而非字面名称“source gate”;但其位于 source 一侧并作为场效应选择晶体管控制串至 source 的通道。 主要争议点
四、两个非常有价值的交叉佐证
1. US20090230454A1 ——解决“O中的多个串共享一个源极选择装置”
这篇文献的重要性比一般 NAND 文献高很多。
它明确指出:
同一 conductive pillar 一侧有第一串;
另一侧有第二串;
两个串都位于同一个 source select transistor 216与 drain select transistor 之间;
source select transistor 216 选择性地把该柱、以及柱两侧的两个串一起耦合到 source line。
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因此:
多个串 ← 单一 source select transistor
这一关系实际上已经明确公开。
其仅缺:
source select transistor → 独立 source gate device → source
中的中间第二器件。
2. US5999452A ——解决“O中的两级源侧串联器件”
US5999452A 在 1999 年已经明确提出:
NAND string → series select transistor → source select transistor → Vss
并解释 series select transistor 接最后一个 NAND memory transistor,而 source select transistor 接 Vss。
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两个 NAND cells 401、402还共享 SG1-SG3,并且每个 NAND cell 都配置两级串联源侧晶体管。
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所以,在目标专利之前十多年,已经存在非常明确的:
string-side selection device + source-side second gate device
这一电路思想。
五、最优使用顺序
如果现在专门针对 N/O 做无效,我建议证据优先级如下:
首选单篇:US20100207194A1
这是目前最应该首先精读附图15并做正式 claim chart 的文件。它同时具备:
3D NAND + semiconductor pillars + plurality of independent strings + shared gate structure + two source-side lower selection gate layers + source line in substrate
这些因素同时出现,在本轮英文检索中是最接近目标 O 的。
第一备选组合:US20100207194A1 + US5999452A
前者解决:
多个垂直 NAND strings + 共用 lower select gate + 两层 lower gates。
后者进一步明确:
内侧 series select transistor + 外侧 source select transistor + source/Vss 的串联拓扑。
这个组合对于反驳“LSGB 不能解释为 source gate device”的抗辩很有价值。
第二备选组合:US20090230454A1 + US20080253187A1
这组逻辑也很干净:
US20090230454A1:一个 source selector 控制多个 strings;
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US20080253187A1:string → inner source select gate 210 → outer source select gate 211 → common source line。
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也就是说,一篇解决 O 的“多个串共享/共同作用”,另一篇解决“两个源侧控制器件的串联位置关系”。
六、客观概率评估
我这里的“概率”是基于检索结果对技术特征已被现有技术公开的证据强度评价,不是对最终无效决定的统计预测;最终还受权利要求解释、证据组合方式以及其他权利要求特征影响。
判断事项 当前评估
特征 N 已被 2011-08-15 前英文文献明确公开 ≈99%+
“多个 NAND strings / 多个柱式 strings”被明确公开 ≈99%+
“两个串联的源侧选择/控制器件”被明确公开 ≈99%
“一个共用源侧选择栅结构作用于多个 strings”被明确公开 ≈95%
特征 O 按功能+位置解释,被单篇文献公开 约85%–92%
N+O 由 US20100207194A1 单篇整体公开 约82%–90%
若严格要求外侧器件必须明文称为“source gate”,而不能称 second/lower source selection gate 约60%–70%
N+O 通过两篇截止日前文献组合证明属于已知技术配置 约95%+
我的综合判断
N:基本没有继续检索的实质障碍,属于已经成功公开。
O:目前已经从“需要依靠多篇拼接”提升到了“存在较强单篇文献可主张直接公开”的程度。 最关键的是 US20100207194A1。其风险不在结构位置,而在术语解释:专利权人可能主张 LSGB/LSGT2 只是第二个“selection gate”,并不是目标权利要求意义上的独立“source gate device”。
但这种抗辩并不特别强,因为目标权利要求1本身对 source gate device 使用的是与 source 的耦合位置和控制 channel-source conduction 的功能限定,而并非通过特殊材料、器件类型或独特内部结构定义。
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因此,我目前对**“N+O 在截止日前现有技术中已经实质公开”给出的综合置信度约为 90%**;若以创造性组合而非严格单篇新颖性标准评价,则证据强度可提高到 95%左右或以上。
就本次英文检索而言,最值得进一步作为核心证据精做附图级比对的不是此前的 US20060261404A1,而是 US20100207194A1;US5999452A、US20090230454A1、US20080253187A1 应作为三个不同方向的强化证据。
检索结论
我围绕 Internet Archive / Archive Scholar 进行了多轮检索,并进一步沿 Archive Scholar 的论文引用链、题名、作者、器件名称和技术同义词反向追踪,再用专利全文数据库核对公开日和连接拓扑。最终判断:技术特征 N 基本可以认定已被充分公开;技术特征 O 也找到了非常强的 2011-08-15 以前文献,尤其是 2007—2009 年 Micron 的 multiple-select-gate 系列。
需要特别区分两种解释:
如果“源极栅极装置”按功能/拓扑理解,即源侧第二个受栅极控制的器件,则 N+O 被单篇现有技术成功公开的概率约 90%–95%。
如果将“源极栅极装置”狭义限定成 CN103782344B 说明书中特殊的 3D vertical NAND 中位于 SGS 与硅阱之间、并可共同围绕多个 pillar 的独立 source-gate tier,则上述早期 planar multiple-select-gate 文献虽然连接关系一致,但物理结构不同,单篇直接公开 O 的概率下降至约 60%–70%;采用“3D NAND 文献 + 双源侧选择栅文献”组合攻击时,我估计达到 80%–88%。这些百分比是基于证据匹配程度的专业评估,并非司法统计数据。
目标专利本身明确描述:一个 NAND 器件具有多个 strings,source select device 122 位于 charge-storage devices 与 source gate 140 之间;进一步的实体结构中,SGS 340/370 下方、硅阱 310 上方另设 source gate 350。目标家族追溯到 2011-08-15 提交的 US13/210,194。
TREA
一、目前最强的单篇文献
D1:US20090011560A1 — Multiple select gate architecture with select gates of different lengths
公开日:2009-01-08。
这是本轮我认为对 N+O 最强的单篇文件之一。文件明确记载 memory array 200 包含 NAND strings 206₁~206M,因此 N 是逐字级公开。更重要的是,它明确给出了源侧连接:
NAND string → source select gate 210 → source select gate 211 → common source line 216
具体地,211 的 source 接 common source line 216,211 的 drain 接 210 的 source,而 210 的 drain 接对应 NAND string 的第一个存储晶体管。也就是说,210 物理上明确位于 NAND string 与第二个源侧受控器件 211 之间。
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+1
如果对应解释为:
210 = 权利要求中的“源极选择装置”;
211 = 权利要求中的“源极栅极装置”;
则 O 的拓扑关系几乎完全重合。
评价:N 99%;O 92%(宽解释);N+O 单篇命中约 92%。
D2:US20080253187A1 — Multiple select gate architecture
公开日:2008-10-16。
该文献同样明确公开 NAND strings 206₁~206M,并明确各 string 位于两个串联的 source select gates 210、211 与两个 drain-side select gates 之间。
Google Patents
+1
其权利要求的文字尤其有价值:
第一选择栅与存储串第一存储单元串联;第二选择栅与第一选择栅串联,并位于第一选择栅和 source line 之间。
换成目标特征的语言,其拓扑即:
string — 第一源侧选择器件 — 第二源侧选择器件 — source
这对 O 是非常直接的结构公开。
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评价:N 99%;O 92%–95%(宽解释);N+O 单篇约 92%。
我会把它与 D1 并列作为首选对比文件。
D3:US7433231B1 — Multiple select gates with non-volatile memory cells
公开/授权日:2008-10-07。
说明书明确:
memory array 200 包含 NAND strings 206-1 至 206-M;
每一 NAND string 的源侧均设有串联的 source select gates 210-0、210-1;
210-1 邻接 NAND string;
210-0 接 common source line;
所以形成:
NAND string → 210-1 → 210-0 → common source line。
而且明确说明这种 source-select-gate 结构对各 NAND string 均相同。
Justia Patents
其权利要求还明确要求“一对串联的 source select gates 位于 NAND string 的 source side”,并分别连接 source line 与 memory string。
Justia Patents
评价:N 99%;O 90%–93%;N+O 单篇约 90%。
D4:US20070047312A1 — Operation of multiple select gate architecture
公开日:2007-03-01。
这是时间更早而且非常值得用于无效的文件。它明确公开 memory array 200 包含 NAND strings 206₁~206M,每条 string 均位于两只串联 source select gates 210、211 的一侧。
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+1
其权利要求进一步明确:
first source select gate 位于 string 与 source line 之间;
second source select gate 位于 first source select gate 与 source line 之间。
因此也是:
string → 第一源侧选择装置 → 第二源侧选择装置 → source line。
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评价:N 99%;O 91%;N+O 单篇约 90%。
从时间和技术成熟度看,这篇很适合作为证明“这种串联源侧双栅拓扑早已是已知方案”的基础证据。
二、较早且具有独立佐证价值的文献
D5:US6266275B1 — Dual source side polysilicon select gate structure...
公开/授权日:2001-07-24。
这篇的重要性在于它证明“双源侧控制晶体管”并不是 2007 年后才出现。
其摘要及说明书明确:
在 NAND string 末端设置一个 series select transistor;
再串联一个 source select transistor;
series select transistor 接 NAND string 最末存储晶体管;
source select transistor 再接 array Vss。
因此其结构实质是:
NAND string → series-select transistor → source-select transistor → Vss。
Justia Patents
+1
说明书图 4 还明确涉及两个适合构成 flash memory array 的 NAND cells,权利要求同样同时涉及第一、第二 multiword NAND cells。
Justia Patents
不足在于其器件命名为“series select transistor + source select transistor”,而不是目标专利的“source select device + source gate device”。
评价:N 90%–95%;O 80%–85%;作为证明技术常识/演进历史的证据价值很高。
三、另一条很有价值的组合攻击路线
D6:US20090161437A1 — Hierarchical common source line structure in NAND flash memory
公开日:2009-06-25;授权文本 US7978518B2 于 2011-07-12 公开。
Google Patents
该文件明确公开:
NAND flash cell block 包括 plurality of NAND flash memory strings;
各 string 接 local common source line;
local common source line 又通过 第一 semiconductor switch 与 global common source line 选择性连接。
因此已有:
多个 NAND strings → local source path → semiconductor switch → global source
这样的源侧分级控制结构。
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它与 O 不像 D1–D4 那样“逐器件位置完全吻合”,因为这个 semiconductor switch 位于 block/local CSL 层级,而不是紧靠每条 NAND string 的 SGS。因此:
N:99%;O:约 60%–70%;作为组合文献:很强。
特别适合用来反驳“在多个 strings 与公共源之间进一步加入一个独立可控器件没有技术启示”的观点。
四、Internet Archive / Archive Scholar 中找到的非专利资料
Internet Archive 本轮比较有价值的线索之一是 2002 年的 vertical-channel SONOS NAND 文献。Archive Scholar 能建立到该早期论文的 Wayback 记录,表明 vertical-channel / NAND array 在很早时期已经进入公开学术资料体系。不过它主要有利于“垂直 NAND string 属于既有方向”,而不能单独证明 O。Archive Scholar 当前连续访问触发了其限流,因此我没有把“当前无法重新打开”误判成“档案不存在”。
Scholar Archive
价值更高的是 Kang 等人的:
“Improving Read Disturb Characteristics by Using Double Common Source Line and Dummy Switch Architecture in Multi Level Cell NAND Flash Memory with Low Power Consumption”
该论文发表于 2011 年 4 月,显然早于 2011-08-15。论文明确提出 double common source line + dummy switch 的两种新 NAND 结构,用来改善 read-disturb,并在 40 nm MLC NAND 上进行了实验验证。
Seoul National University
这一点与目标专利的技术目的尤其接近:CN103782344B 家族明确解释 source gate/source-select 架构用于在读取时隔离 deselected strings,从而降低 read disturb stress。
TREA
不过,我目前能够可靠取得的 Kang 论文摘要没有充分展开 dummy switch 的准确物理连接图,因此在正式无效材料中,我建议把它定位成“技术动机/组合启示”,而不要仅凭摘要声称其单篇直接公开 O。
五、技术特征比对表
对比文件 公开日 N:所述串为多个串之一 O:源极选择装置位于多个串与另一源侧栅控装置之间 综合价值
US20090011560A1 2009-01-08 明确公开:206₁~206M 极强:string→210→211→CSL ★★★★★
US20080253187A1 2008-10-16 明确公开:206₁~206M 极强:第二选择栅明确位于第一选择栅与 source line 之间 ★★★★★
US7433231B1 2008-10-07 明确公开:206-1~206-M 极强:string→210-1→210-0→CSL ★★★★★
US20070047312A1 2007-03-01 明确公开:206₁~206M 极强:两个串联 source-select gates,位置关系明确 ★★★★★
US6266275B1 2001-07-24 较强:多个 NAND cells/array 强:string→series select→source select→Vss,但名称不同 ★★★★
US20090161437A1 2009-06-25 明确公开:plurality of NAND strings 中强:多个 strings→local CSL→semiconductor switch→global CSL ★★★★
US20050259468A1 2005-11-24 明确公开:NAND strings 206₁~206M 弱:仅一个常规 source-select gate ★★★
Kang et al., JJAP 2011-04 NAND 架构明确 中等:double CSL + dummy switch,但摘要不足以锁定 O 的精确位置 ★★★★
US20050259468A1 对 N 的公开尤其干净:其说明书明确写出 memory array 200 包含 NAND strings 206₁~206M,并逐串设置 source select gate 210,但没有第二个独立的源侧栅控器件,因此更适合作为 N 或常规 SGS 的辅助证据。
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六、客观概率评估
技术特征 N
成功公开概率:98%–99%。
这一点已经不存在明显检索缺口。至少 US20070047312A1、US20080253187A1、US20090011560A1、US7433231B1、US20050259468A1 都直接描述“多个 NAND strings”,不是依赖推理。
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+3
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+3
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+3
技术特征 O
我建议采用两层评价:
第一层——只按照 O 的文字和器件功能/连接关系理解:成功公开概率约 90%–95%。
因为 D1–D4 已经反复、明确地公开:
多个 NAND strings
↓
每条 string 的第一 source-side controlled device
↓
第二 source-side controlled device
↓
source/common source line
其中 D1 的连接关系甚至逐端子写明,几乎不存在拓扑推断。
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第二层——如果专利权人主张“source gate device”必须是 CN103782344B 特有的三维 source-gate tier:单篇直接公开概率约 60%–70%。
目标说明书的确存在更具体结构:source gate 350 位于 SGS 340/370 与 silicon well 310 之间,并可以围绕一个 block 中的多个 pillars;这比早期 planar 双 source-select gate 更具体。
TREA
这种情况下,更适合走:
早期 vertical NAND/TCAT 等 3D 架构 + US20070047312A1/US20080253187A1/US20090011560A1 双源侧栅结构 + Kang 2011 read-disturb/dummy-switch 技术动机
的创造性组合路线。2009 年 TCAT 已公开 vertical NAND flash string,而 Kang 2011 明确针对 NAND read disturb 提出 double CSL/dummy switch。
ResearchGate
+1
最终建议
就 N、O 两个技术特征本身而言,本轮检索结果已经相当强。 最优证据优先顺序我建议定为:
D1:US20090011560A1 ≈ D2:US20080253187A1 > D3:US7433231B1 > D4:US20070047312A1 > D5:US6266275B1。
尤其值得强调:并不是靠两篇文献拼出 N 和 O。D1、D2、D3、D4 本身均能在同一篇文件中找到“多个 NAND strings + 两个串联源侧选择器件”的完整拓扑。 真正可能发生争议的只剩一个问题——早期文件称外侧器件为第二 “source select gate”,而 CN103782344B 称之为 “source gate device”。这会成为专利权人最可能利用的术语/结构抗辩点,而不是连接关系本身。
因此,我对**“N+O 的核心连接关系在 2011-08-15 前已经公开”的综合把握给 约 92%;对“存在一篇完全按 CN103782344B 的 3D source-gate tier 结构逐项原样公开 N+O”**的把握则约 60%–70%。就后续无效检索资源配置而言,下一步最值得继续深挖的不是普通“multiple strings + SGS”,而是 2010–2011 年以前的 vertical pillar NAND + 独立下部 source gate/第二 SGS + shared source-gate layer 这一窄范围。
TREA
+1
经多轮反向检索、同义词检索、结构术语检索以及候选全文核验后,本轮在 arXiv 中没有找到公开日在 2011-08-15 之前、能够直接且明确公开技术特征 O 的文献;对于技术特征 N,也没有找到明确写出“NAND string 为多个 strings 中之一”的截止日前 arXiv 文献。
就 arXiv 这一单一数据库而言,结论偏消极:N 尚有非常弱的“常规 NAND 阵列隐含公开”争辩空间;O 基本没有有效证据。N+O 组合不建议以 arXiv 文献作为无效主证据。
一、检索覆盖情况
我采用了几组相互独立的检索路径。arXiv 官方检索对精确短语 "NAND flash" 共返回 101 篇文献,按最早公开顺序,第一篇是 arXiv:0911.3992,2009-11-20;第二篇已经是 arXiv:1110.4245,2011-10-19,超过 2011-08-15 的截止时间。也就是说,在 arXiv 元数据中明确出现 "NAND flash" 的文献里,截止日前实际上只有 0911.3992 这一篇。
arXiv
进一步放宽到 NAND memory,结果仍然相同:最早是 0911.3992,第二篇即为 2011 年 10 月的 1110.4245,并没有发现隐藏在二者之间的其他截止日前 NAND 结构论文。
arXiv
我又针对 N/O 的结构关系分别检索了 "NAND string"、"source select transistor"、"source-select transistor"、"source select gate"、"string select transistor"、"selection transistor" NAND、"source side select" NAND、"source-side select" NAND、"ground select transistor"、"common source line" 等变体。尤其是与 O 最接近的 "source select transistor"、"source select gate"、"string select transistor" 均为 0 条 arXiv 检索结果。
arXiv
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arXiv
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对 3D/垂直 NAND 路线继续反查,"3D NAND" 在 arXiv 中最早的结果是 2018 年;"vertical NAND" 最早甚至到 2024 年。因此,不能用现代 arXiv 3D NAND 文献倒推其在 2011 年前已通过 arXiv 公开。
arXiv
+1
同时对截止日前的早期 3D NAND 经典术语 BiCS、TCAT、Bit Cost Scalable 作了反向核验,arXiv 官方检索均未找到相应 NAND 条目。
arXiv
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arXiv
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二、截止日前最接近的 arXiv 文献
1. arXiv:0911.3992 — Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories
这是本轮最值得核验的一篇,因为它是 "NAND flash" 检索中唯一明确早于截止日的 arXiv 文献,v1 日期为 2009-11-20。
arXiv
但全文内容明显偏向编码、数据移动和磨损均衡。论文只是在背景部分说明 NAND flash 由 floating-gate cells 组成,并指出 NAND cells 被组织为 blocks,每个 block 又划分为多个 pages。
arXiv
关键问题是,我进一步全文核验后:
"string":全文无命中;
arXiv
"select transistor":全文无命中;
arXiv
"source line":全文无命中;
arXiv
"series":全文无命中。
arXiv
因此,这篇论文最多只能证明截止日前 arXiv 已有文献一般性讨论 NAND flash,不能据此直接证明 N,更不能证明 O。
2. arXiv:1108.2741 — Compressed Encoding for Rank Modulation
该文的 arXiv PDF 标明 arXiv:1108.2741v1,13 Aug 2011;arXiv 检索页给出的 submitted 日期为 2011-08-12,因此处于截止日期边缘,但仍早于/接近 2011-08-15。
arXiv
+1
问题是其技术内容完全是 flash cell 的 rank modulation 编码。摘要和正文讨论的是多个 cell 的相对电荷等级及编码方法,并不讨论 NAND 阵列电路结构。
arXiv
全文核验进一步确认:
NAND、string、source 和 select transistor 均没有匹配。
arXiv
+3
arXiv
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arXiv
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所以它对 N/O 没有实质无效贡献。鉴于其时间非常靠近截止日,即使要讨论严格意义上的公众可获得时间,也完全没有必要依赖它。
三、特征比对表
对比文件 公开时间 NAND相关公开 N:所述串为多个串中的一者 O:源极选择装置位于多个串与源极栅极装置之间 无效贡献
arXiv:0911.3992 Storage Coding for Wear Leveling in Flash Memories 2009-11-20 明确提到 NAND flash、blocks、pages、floating-gate cells 未直接公开。全文甚至没有 string;最多只能以普通 NAND 阵列常识作非常弱的隐含解释 未公开。无 source select transistor、source line 或相应串联位置关系 很低
arXiv:1108.2741 Compressed Encoding for Rank Modulation 2011-08-12/13 一般 flash memory/rank modulation 未公开;全文无 NAND、string 未公开;全文无 source、select transistor 基本无贡献
arXiv:1103.6051 Atomistic Simulations of Flash Memory Materials Based on Chalcogenide Glasses 2011-03-30 相变/硫系玻璃材料层面 未公开 未公开 无实质贡献
arXiv:1107.3372 Snake-in-the-Box Codes for Rank Modulation 2011-07-18 Flash 编码 未公开 未公开 无实质贡献
截止日前其他 "NAND flash" arXiv 文献 — 未发现;下一明确命中已为 2011-10-19 — — —
其中 1103.6051 的摘要明确是 Ge₂Sb₂Te₅ 等 flash-memory materials 的原子模拟,而 1107.3372 明确是 rank-modulation 编码,因此可以在标题/摘要层面排除其对 NAND 串物理结构的贡献。
arXiv
+1
四、对 N 的客观评价
N:所述串为多个串中的一者。
目前最接近的是 0911.3992。它明确讲 NAND flash、block、page,而且普通 NAND flash 实际上通常当然包含大量 NAND strings;但该论文自身没有出现 string,也没有给出多个 NAND strings 的结构图或电连接描述。
arXiv
+1
因此,如果无效理由要求从该文献自身“直接、明确”得出 N,我认为证据较弱。若允许结合本领域技术人员对 conventional NAND flash 的通常理解,可以尝试主张这是其内在结构,但这已经明显从“明确公开”向“隐含/常识补足”移动。
仅基于本轮截止日前 arXiv 文献:
N 被成功认定为已公开的概率:约 10%–20%。
这里的 10%–20%主要来自“generic NAND flash 是否能够被认定为必然隐含 conventional multiple-string array”的争辩空间,而不是因为找到了直接文字。
五、对 O 的客观评价
O:所述源极选择装置耦合于所述多个串与所述源极栅极装置之间。
这一特征远比 N 更具体,它至少要求证明:
多个串 → 源极选择装置 → 源极栅极装置
之间特定的耦合/位置关系。
而截止日前最接近的 0911.3992 不仅没有第二个“源极栅极装置”,甚至连 select transistor、source line、string 都没有出现。
arXiv
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arXiv
+2
对相关术语进行独立 arXiv 检索,"source select transistor"、"source select gate"、"selection transistor" NAND、"source-side select" NAND 均没有相应 arXiv 条目。
arXiv
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arXiv
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arXiv
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所以这里不存在仅靠术语变化即可补足的问题,而是缺少整个电路拓扑关系的公开。
仅基于本轮截止日前 arXiv 文献:O 被成功认定为已公开的概率约 0%–3%。
六、最终结论
评价对象 arXiv 截止日前证据强度 成功公开概率
N 单独 很弱;仅 generic NAND flash 可作隐含公开争辩 10%–20%
O 单独 极弱;没有找到源极选择装置与另一源极侧装置之间的位置关系 0%–3%
N + O 同时由一篇 arXiv 文献公开 本轮未发现 约 0%–1%
将 arXiv 作为 N/O 的无效主证据 不推荐 低
**因此,本轮 arXiv 检索的实质结论不是“找到了新的强对比文件”,而是较有把握地排除了 arXiv 作为 N/O 的高价值证据来源。**尤其是 O,继续在 arXiv 上投入检索的边际收益已经很低。
这并不意味着 2011-08-15 前不存在公开 N/O 的技术资料。恰恰相反,从 NAND 技术的发展路径看,更值得继续深挖的是当年的 IEDM、VLSI Symposium、IEEE EDL/TED、ISSCC,以及 Samsung/Toshiba/SanDisk/Micron/Hynix 的专利族;早期 BiCS、TCAT 等材料在 arXiv 缺席,本身说明这类半导体器件现有技术在当时主要不是通过 arXiv 传播。arXiv 官方检索确实显示 3D NAND/vertical NAND 的相关条目要很多年后才集中出现。
arXiv
+1
如果把本次结果与此前谷歌专利、日韩中英文专利及互联网档案馆的检索结果合并,arXiv 不会改变 N/O 当前最优无效组合的排序,也不应作为核心证据加入组合。
一种包括源极栅极的设备,其包括: 多个电荷存储装置串,每一串包括与包括半导体材料的一相应柱相关联的相应多个电荷存储装置; 漏极选择栅极,其至少部分地环绕所述多个串的所述相应柱,其中所述漏极选择栅极在所述多个电荷存储装置串与相应数据线之间; 源极栅极,其至少部分地环绕所述多个串的所述相应柱,所述源极栅极耦合到源极,且经配置以控制所述柱与所述源极之间的导电;及源极选择栅极,其至少部分地环绕所述多个串的所述相应柱,其中所述源极选择栅极在所述多个电荷存储装置串与所述源极栅极之间,且经配置以控制所述柱与所述源极之间的导电。
根据权利要求11所述的设备,其中: 所述多个串包括两个串;且 其中所述漏极选择栅极、所述源极栅极及所述源极选择栅极中的每一者至少部分地环绕与所述两个串相关联的两个柱。
根据权利要求11所述的设备,其中所述多个串包括串块的子块,其中所述子块通过扩散区域而与所述串块的相邻子块分离。
根据权利要求11所述的设备,其中: 所述漏极选择栅极包括漏极选择装置的一部分;且 所述源极选择栅极包括源极选择装置的一部分。
根据权利要求11所述的设备,其中所述源极栅极包括源极栅极装置的一部分。
一种包括源极栅极的设备,其包括: 多个块,每一块包括多个串,每一串包括与从衬底延伸的一相应柱相关联的多个电荷存储装置,所述柱包括半导体材料;及导电部件,其耦合到所述衬底在多个所述块的群组之间,其中所述导电部件经配置以偏置所述串的共用源极; 其中所述柱中的相应一者包含: 漏极选择装置,其与所述相应柱相关联且耦合于所述相应电荷存储装置串与数据线之间; 源极选择装置,其与所述相应柱相关联且耦合到所述相应串;及源极栅极装置,其与所述相应柱相关联且耦合于所述源极选择装置与所述共用源极之间,其中所述源极选择装置及所述源极栅极装置经配置以实质上控制所述柱与所述共用源极之间的导电。
根据权利要求16所述的设备,其中: 所述衬底包括p型衬底;且 所述导电部件耦合到所述p型衬底中的n+型扩散区域。
根据权利要求17所述的设备,其进一步包括所述p型衬底中的多个n+型扩散区域,其包含所述n+型扩散区域。
根据权利要求16所述的设备,其中所述导电部件具有从所述衬底突出的壁形状。
根据权利要求16所述的设备,其中所述导电部件包括半导体材料。
根据权利要求20所述的设备,其中所述导电部件包括多晶硅。
根据权利要求16所述的设备,其中所述导电部件包括金属。
一种包括源极栅极的方法,其包括: 将第一漏极选择栅极偏置为高于0伏的第一电压,所述第一漏极选择栅极至少部分地环绕第一多个电荷存储装置串的相应柱,其中所述第一漏极选择栅极在所述第一多个串与相应数据线之间; 将第二漏极选择栅极偏置为大致0伏,所述第二漏极选择栅极至少部分地环绕第二多个电荷存储装置串的相应柱,所述第二漏极选择栅极在所述第二多个串与所述数据线之间,每一串包括与从共用源极延伸的包括半导体材料的一相应柱相关联的相应多个电荷存储装置; 将所述共用源极偏置为大致0伏; 将源极栅极偏置为高于所述第一电压的第二电压,所述源极栅极至少部分地环绕所述第一多个串及所述第二多个串的所述相应柱,其中所述源极栅极在所述电荷存储装置与所述共用源极之间; 将第一源极选择栅极偏置为所述第一电压,所述第一源极选择栅极至少部分地环绕所述第一多个串的所述相应柱,其中所述第一源极选择栅极在所述第一多个串与所述源极栅极之间; 将第二源极选择栅极偏置为大致0伏,所述第二源极选择栅极至少部分地环绕所述第二多个串的所述相应柱,其中所述第二源极选择栅极在所述第二多个串与所述源极栅极之间; 将多个第一存取线偏置为高于所述第二电压的第三电压,所述第一存取线至少部分地环绕所述第一多个串的所述相应柱,其中所述第一存取线在所述第一漏极选择栅极与所述第一源极选择栅极之间; 将第一存取线中的选定一者偏置为介于0伏与所述第一电压之间以读取至少部分地由所述选定第一存取线环绕的所述第一多个串中的电荷存储装置;及将多个第二存取线偏置为所述第三电压,所述第二存取线至少部分地环绕所述第二多个串的所述相应柱,其中所述第二存取线在所述第二漏极选择栅极与所述第二源极选择栅极之间。
一种包括源极栅极的方法,其包括: 将第一漏极选择栅极偏置为高于0伏的第一电压,所述第一漏极选择栅极至少部分地环绕第一多个电荷存储装置串的相应柱,其中所述第一漏极选择栅极在所述第一多个串与相应数据线之间; 将第二漏极选择栅极偏置为大致0伏,所述第二漏极选择栅极至少部分地环绕第二多个电荷存储装置串的相应柱,所述第二漏极选择栅极在所述第二多个串与所述数据线之间,每一串包括与从共用源极延伸的包括半导体材料的一相应柱相关联的相应多个电荷存储装置; 将所述共用源极偏置为介于0伏与所述第一电压之间; 将源极栅极偏置为大致0伏,所述源极栅极至少部分地环绕所述第一多个串及所述第二多个串的所述相应柱,其中所述源极栅极在所述电荷存储装置与所述共用源极之间; 将第一源极选择栅极偏置为介于0伏与所述第一电压之间,所述第一源极选择栅极至少部分地环绕所述第一多个串的所述相应柱,其中所述第一源极选择栅极在所述第一多个串与所述源极栅极之间; 将第二源极选择栅极偏置为介于0伏与所述第一电压之间,所述第二源极选择栅极至少部分地环绕所述第二多个串的所述相应柱,其中所述第二源极选择栅极在所述第二多个串与所述源极栅极之间; 将多个第一存取线偏置为高于所述第一电压的第二电压,所述第一存取线至少部分地环绕所述第一多个串的所述相应柱,其中所述第一存取线在所述第一漏极选择栅极与所述第一源极选择栅极之间; 将第一存取线中的选定一者偏置为高于所述第二电压的第三电压以将至少部分地由所述选定第一存取线环绕的所述第一多个串中的电荷存储装置编程;及将多个第二存取线偏置为所述第二电压,所述第二存取线至少部分地环绕所述第二多个串的所述相应柱,其中所述第二存取线在所述第二漏极选择栅极与所述第二源极选择栅极之间。
一种包括源极栅极的方法,其包括: 允许第一漏极选择栅极浮动,所述第一漏极选择栅极至少部分地环绕第一多个电荷存储装置串的相应柱,其中所述第一漏极选择栅极在所述第一多个串与相应数据线之间; 允许第二漏极选择栅极浮动,所述第二漏极选择栅极至少部分地环绕第二多个电荷存储装置串的相应柱,所述第二漏极选择栅极在所述第二多个串与所述数据线之间,每一串包括与从衬底中的共用源极延伸的包括半导体材料的相应柱相关联的相应多个电荷存储装置; 将所述衬底偏置为高于0伏的擦除电压; 允许所述共用源极浮动; 允许源极栅极浮动,所述源极栅极至少部分地环绕所述第一多个串及所述第二多个串的所述相应柱,其中所述源极栅极在所述电荷存储装置与所述共用源极之间; 允许第一源极选择栅极浮动,所述第一源极选择栅极至少部分地环绕所述第一多个串的所述相应柱,其中所述第一源极选择栅极在所述第一多个串与所述源极栅极之间; 允许第二源极选择栅极浮动,所述第二源极选择栅极至少部分地环绕所述第二多个串的所述相应柱,其中所述第二源极选择栅极在所述第二多个串与所述源极栅极之间; 将多个第一存取线偏置为大致0伏,所述第一存取线至少部分地环绕所述第一多个串的所述相应柱以擦除所述第一多个串中的电荷存储装置,其中所述第一存取线在所述第一漏极选择栅极与所述第一源极选择栅极之间;及将多个第二存取线偏置为大致0伏,所述第二存取线至少部分地环绕所述第二多个串的所述相应柱以擦除所述第二多个串中的电荷存储装置,其中所述第二存取线在所述第二漏极选择栅极与所述第二源极选择栅极之间。
我按您的问题理解为:分析本专利各独立权利要求之间的技术关系,并判断独立权利要求11、16、23、24、25相对于权利要求1分别增加或改变了哪些技术限定。
该专利共有 6项独立权利要求:权利要求1、11、16、23、24、25。其中,权1、11、16属于设备权利要求;权23、24、25属于方法权利要求。权2-10从属于权1,权12-15从属于权11,权17-22从属于权16。
可以把整个权利要求体系理解成:
权1:最基础的“源极栅极 + 源极选择装置 + 垂直存储串”核心结构
↓
权11:在权1基础上进一步阵列化,并增加漏极选择栅极及环绕柱结构权16:在权1基础上进一步扩展到“块—串—衬底—共用源极”的系统级结构
再由上述阵列结构延伸出三种操作方法:
权23=读取方法
权24=编程方法
权25=擦除方法
因此,这6项独立权利要求并不是简单的一条逐级从属链,而是一个“基础结构—两种结构扩展—三种操作方法”的并行保护体系。
尤其要注意:法律形式上权11、16、23、24、25均不从属于权1。所以严格来说,不能说它们必然等于“权1+附加特征”;下面所谓“相对于权1增加限定”,是从技术特征比对角度进行的。
权利要求1的技术核心非常集中,主要有三个组成部分:
电荷存储装置串与一个包括半导体材料的柱相关联。
源极栅极装置:
耦合到源极;
被配置为控制电荷存储装置串中的通道与源极之间的导电。
源极选择装置:
位于/耦合于电荷存储装置串与源极栅极装置之间;
同样被配置为控制通道与源极之间的导电。
因此,权1真正重要的拓扑关系可以简化成:
电荷存储串 → 源极选择装置 → 源极栅极装置 → 源极
其中,源极选择装置和源极栅极装置共同参与控制垂直通道与源极之间的导通。
权利要求11仍然是“包括源极栅极的设备”,在技术实质上与权1最接近,可以理解为对权1的阵列化和结构具体化。
相对于权1,主要增加以下限定:
| 新增限定 | 权11的具体内容 |
|---|---|
| ① 单一串变为多个串 | 设置“多个电荷存储装置串” |
| ② 每个串进一步限定内部结构 | 每一串包括与相应半导体柱相关联的多个电荷存储装置 |
| ③ 新增漏极选择栅极 | 漏极选择栅极位于电荷存储装置串与相应数据线之间 |
| ④ 漏极选择栅极的空间结构 | 至少部分地环绕多个串的相应柱 |
| ⑤ 源极栅极的空间结构 | 源极栅极至少部分地环绕多个串的相应柱 |
| ⑥ 源极选择栅极的空间结构 | 源极选择栅极至少部分地环绕多个串的相应柱 |
| ⑦ 完整的数据线侧结构 | 增加“数据线—漏极选择栅极—电荷存储串”的上端结构 |
因此,权11实际上把权1的:
“存储串—源极选择装置—源极栅极—源极”
扩展成了更完整的:
数据线 → 漏极选择栅极 → 电荷存储装置串 → 源极选择栅极 → 源极栅极 → 源极
同时明确这些栅极至少部分环绕半导体柱。
权11相对于权1最主要的新增技术点可以概括成三个:
多串阵列 + 漏极选择栅极 + 环绕柱的栅极结构。
因此,在无效检索中,如果一篇文献已经公开权1的结构,但没有:
漏极选择栅极;
多串;
环绕柱的栅极布置,
则通常还不足以完整公开权11。
权16同样属于设备权利要求,但它不是简单重复权11,而是沿另一个方向进一步限定,即:
从单个存储串扩展到块级结构、衬底和共用源极结构。
相对于权1,主要增加:
| 新增限定 | 权16 |
|---|---|
| ① 增加“多个块” | 设备包括多个块 |
| ② 每个块包括多个串 | 从单串扩展到块级阵列 |
| ③ 每串包括多个电荷存储装置 | 且分别与相应柱相关联 |
| ④ 明确柱从衬底延伸 | 半导体柱“从衬底延伸” |
| ⑤ 新增导电部件 | 导电部件耦合到衬底 |
| ⑥ 导电部件的位置 | 位于多个块的群组之间 |
| ⑦ 导电部件的功能 | 用于偏置多个串的共用源极 |
| ⑧ 增加漏极选择装置 | 位于相应存储串与数据线之间 |
| ⑨ 明确源极选择装置与柱/串的关系 | 与相应柱相关联,并耦合到相应串 |
| ⑩ 明确源极栅极位置 | 位于源极选择装置与共用源极之间 |
| ⑪ 联合控制 | 源极选择装置和源极栅极装置被配置为实质上控制柱与共用源极之间的导电 |
因此,权16相比权1最突出的新增部分不是“环绕栅极”,而是:
多个块 + 多个串 + 衬底 + 共用源极 + 共用源极偏置导电部件 + 漏极选择装置。
这一点对无效检索很重要。
权11关注的是:
阵列中的栅极几何关系——尤其是“栅极环绕柱”。
权16关注的是:
存储器的块级结构和源极架构——尤其是“多个块、衬底、共用源极及其偏置结构”。
所以:
权11和权16是两个并列的具体化方向,并不是权16=权11再加限定。
权23开始已经由“设备”切换为“方法”。
其技术实质是读取操作方法。
它采用两个串组:
第一多个串;
第二多个串;
并加入:
第一、第二漏极选择栅极;
第一、第二源极选择栅极;
源极栅极;
共用源极;
第一、第二存取线。
在结构之外,权23最重要的新增限定是具体偏置条件。
主要包括:
第一漏极选择栅极偏置为高于0 V的第一电压;
第二漏极选择栅极约为0 V;
共用源极约为0 V;
源极栅极施加高于第一电压的第二电压;
第一源极选择栅极为第一电压;
第二源极选择栅极约为0 V;
多个第一存取线施加高于第二电压的第三电压;
第一存取线中的选定存取线施加0 V与第一电压之间的电压;
利用该选定存取线读取至少一部分电荷存储装置;
第二组存取线保持第三电压。
因此:
权23=权1所体现的源极控制架构 + 漏极侧选择结构 + 两组串 + 字线/存取线 + 一套读取偏置方案。
其中真正体现权23与其他方法权利要求区别的核心是:
“选中第一串组进行读取,同时使第二串组处于非选中状态”的电压控制关系。
权24同样是方法权利要求,但与权23对应的是编程操作。
其基本阵列结构与权23非常接近,但偏置条件不同。
主要新增:
第一漏极选择栅极:高于0 V的第一电压;
第二漏极选择栅极:约0 V;
共用源极:位于0 V与第一电压之间;
源极栅极:约0 V;
第一源极选择栅极:位于0 V与第一电压之间;
第二源极选择栅极:位于0 V与第一电压之间;
多个第一存取线:施加高于第一电压的第二电压;
选定的第一存取线:施加高于第二电压的第三电压;
通过该选定存取线对至少部分电荷存储装置进行编程;
第二串组的存取线保持第二电压。
所以权24相对于权1真正增加的是:
两串组结构 + 漏极选择结构 + 存取线结构 + 专门用于编程的三级电压关系。
特别是:
V3 > V2 > V1 > 0
以及将较高的编程电压施加至选定存取线,是权24区别于权23的重要特征。
权25是第三个方法独立权利要求,对应的是擦除操作。
其新增技术限定与权23、24明显不同,核心不是精确建立多个栅极电压,而是大量采用浮置状态。
主要包括:
第一漏极选择栅极浮动;
第二漏极选择栅极浮动;
衬底施加高于0 V的擦除电压;
共用源极浮动;
源极栅极浮动;
第一源极选择栅极浮动;
第二源极选择栅极浮动;
第一多个存取线约为0 V;
利用第一存取线擦除第一多个串中的电荷存储装置;
第二多个存取线约为0 V;
擦除第二多个串中的电荷存储装置。
并且仍然包含:
第一、第二多个串;
相应半导体柱;
漏极选择栅极;
源极栅极;
源极选择栅极;
存取线至少部分环绕相应柱等阵列结构。
因此:
权25=阵列结构 + 衬底擦除电压 + 漏极选择/源极选择/源极栅极/共用源极浮置 + 字线约0 V。
这明显属于一种衬底高压、栅极浮置式擦除控制方案。
| 独立权利要求 | 类型 | 相对于权1的主要技术方向 | 最核心新增限定 |
|---|---|---|---|
| 权1 | 设备 | 基础结构 | 存储串+源极选择装置+源极栅极装置 |
| 权11 | 设备 | 阵列化/栅极几何 | 多串+漏极选择栅极+各栅极环绕柱 |
| 权16 | 设备 | 块级/源极架构 | 多块+衬底+共用源极+源极偏置导电部件+漏极选择 |
| 权23 | 方法 | 读取 | 两串组+漏/源选择+字线+读取偏置关系 |
| 权24 | 方法 | 编程 | 两串组+漏/源选择+三级编程电压关系 |
| 权25 | 方法 | 擦除 | 衬底擦除电压+多个栅极/共用源极浮置+字线约0 V |
如果目的是对 CN103782344B 做无效检索,不宜把后面的独立权利要求机械地理解成“权1+若干特征”。
更准确的拆解是:
权1的核心检索点:
源极栅极与源极选择装置串联设置在存储串与源极之间,并共同控制柱/通道与源极之间的导通。
在此基础上:
权11重点追加检索:“漏极选择栅极 + 环绕柱 + 多串阵列”;
权16重点追加检索:“多个块 + 共用源极 + 衬底 + 块间导电部件偏置共用源极”;
权23重点追加检索:“读取状态下各栅极/字线的具体偏置组合”;
权24重点追加检索:“编程状态下 V3>V2>V1 的选中/未选中字线偏置组合”;
权25重点追加检索:“衬底擦除电压 + DSG/SG/SSG/共用源极浮置 + 字线约0 V”。
从技术层级看,权11和权16才是与权1最直接对应的两个“结构型加强版本”;权23-25则不是单纯的权1加限定,而是把相应存储阵列放到读取、编程、擦除三个不同工作状态下进行方法保护。
有必要先说明:本专利的从属权利要求不是按“权2对应权12、权3对应权13”这样的编号一一平移设置。更准确地说,是围绕三个设备型独立权利要求1、11、16,分别从不同层面追加限定;而且,权1分支中某些从属限定,到了权11或权16中已经被提升为独立权利要求的基本特征。权2-10均直接从属于权1;权12-15均直接从属于权11;权17、19、20、22直接从属于权16,权18进一步从属于权17,权21进一步从属于权20。
权1是“电荷存储装置串—源极选择装置—源极栅极装置—源极”的基础架构。在此基础上,权2—10分成几类:
| 权项 | 追加限定 | 性质 |
|---|---|---|
| 权2 | 增加位于电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置 | 补全漏极侧结构 |
| 权3 | 设备包括存储器装置 | 产品类型 |
| 权4 | 设备包括存储系统 | 产品类型 |
| 权5 | 每一电荷存储装置包括浮动栅极晶体管 | 存储单元类型 |
| 权6 | 每一电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管 | 存储单元类型 |
| 权7 | 柱从数据线延伸到衬底中的阱 | 柱的纵向结构 |
| 权8 | 柱包括多晶硅 | 柱材料 |
| 权9 | 多个串分别对应多个源极选择装置,每个源极选择装置位于对应串与源极栅极装置之间 | 每串独立源极选择 |
| 权10 | 一个源极选择装置耦合于多个串与源极栅极装置之间 | 多个串共享源极选择结构 |
其中最值得注意的是:
权5与权6是两个替代实施方式,而不是递进关系;权9与权10也是两种不同的多串源极选择架构,而不是权10进一步限定权9。
权11本身已经把权1的基础结构扩展成:
多个串 + 漏极选择栅极 + 源极栅极 + 源极选择栅极 + 相应半导体柱。
所以,权1下面的某些从属特征到了权11这里已经进入独立权利要求11本身,而不再单独设置一个完全相同的从属权利要求。
权2在权1基础上增加:
漏极选择装置,耦合于电荷存储装置串与数据线之间。
到了权11,独立权利要求本身已经直接出现:
漏极选择栅极,位于多个电荷存储装置串与相应数据线之间。
因此,权2的“漏极侧选择结构”实际上已经被权11的独立权利要求吸收。
权14进一步明确:
漏极选择栅极包括漏极选择装置的一部分;
源极选择栅极包括源极选择装置的一部分。
所以这里存在非常清晰的概念对应链:
权2:漏极选择装置
↓
权11:漏极选择栅极
↓
权14:明确漏极选择栅极属于漏极选择装置的一部分
这是三个权利要求组之间非常重要的术语转换关系。
这一组是第二个最重要的对应关系。
权9规定:
串属于多个串之一;
源极选择装置属于多个源极选择装置之一;
每一个源极选择装置设置于相应串与源极栅极装置之间。
本质上是:
每个串具有对应的源极选择控制结构。
权10则规定:
串属于多个串之一;
源极选择装置耦合于所述多个串与源极栅极装置之间。
相比权9,更偏向一种:
多个串共同与该源极选择结构发生关系
的实施方式。
因此权9与权10实际上构成两个不同的多串组织方案。
权12规定:
多个串包括两个串;并且漏极选择栅极、源极栅极和源极选择栅极中的每一个,至少部分地环绕与两个串相关联的两个柱。
所以权12不是简单重复权9或权10,而是将“多串—选择结构”的关系进一步转化成:
两个串 + 两个柱 + 栅极至少部分环绕两个柱
的具体三维结构。
从技术内容而言:
权9/10解决“多个串与源极选择结构怎样连接”;
权12解决“多个串对应的柱与各栅极在空间上怎样布置”。
因此是同一技术主题的不同层次限定,并非完全相同特征。
权14:
源极选择栅极包括源极选择装置的一部分。
权15:
源极栅极包括源极栅极装置的一部分。
于是可以形成下面这个对应关系:
| 权1分支用语 | 权11分支用语 | 桥接权利要求 |
|---|---|---|
| 漏极选择装置(权2) | 漏极选择栅极(权11) | 权14 |
| 源极选择装置(权1、9、10) | 源极选择栅极(权11) | 权14 |
| 源极栅极装置(权1、9、10) | 源极栅极(权11) | 权15 |
因此,权14、15的一个重要作用,就是把权11中的“栅极”结构与权1中的“装置”概念建立明确的包含关系。
这是一个比较容易误判的地方。
权13限定:
多个串包括串块的子块;
子块通过扩散区域而与串块的相邻子块分离。
重点是:
利用扩散区域形成串块/子块之间的空间分隔。
权17是在权16的基础上规定:
衬底包括p型衬底;
导电部件耦合到p型衬底中的n+型扩散区域。
进一步规定:
p型衬底中具有多个n+型扩散区域;
导电部件包括该n+型扩散区域。
因此三者都涉及:
块/串阵列附近的扩散区域
但功能不同:
权13的扩散区域:重点在于分隔相邻子块;
权17/18的n+扩散区域:重点在于与导电部件、共用源极偏置结构发生关系。
所以只能认为:
权13 ↔ 权17/18属于“扩散区域/块级结构”这一技术主题上的对应。
不能在无效比对中直接说:
权13的“扩散区域”等同于权17/18的“n+型扩散区域”。
还必须证明二者的位置、结构和功能关系。
限定:
柱从数据线延伸到衬底中的阱。
限定:
柱包括多晶硅。
而权16的独立权利要求本身已经限定:
每一串包括与从衬底延伸的相应柱相关联的多个电荷存储装置,并且柱包括半导体材料。
所以:
权7/8的“柱结构、柱材料”主题,到了权16中部分已经进入独立权利要求16本身。
但是要特别注意:
权20、21不是权8的对应权项。
因为:
权8的“多晶硅”限定对象是柱;
权20、21的半导体材料/多晶硅限定对象是导电部件。
两者即使材料相同,技术对象完全不同。
这一点在做无效特征表时不能合并。
权17—22基本上全部围绕权16中新出现的:
位于多个块群组之间、用于偏置多个串的共用源极的导电部件
进行具体化。
可以表示为:
权16:导电部件
│
├─ 权17:p型衬底 + 导电部件耦合至n+扩散区域
│ └─ 权18:进一步存在多个n+扩散区域,
│ 且导电部件包括该n+扩散区域
│
├─ 权19:导电部件具有从衬底突出的壁形状
│
├─ 权20:导电部件包括半导体材料
│ └─ 权21:进一步限定半导体材料为多晶硅
│
└─ 权22:导电部件包括金属
这里有两组真正的递进关系:
权18从属于权17,因此是:
p型衬底
n+型扩散区域
导电部件与该扩散区域的关系
多个n+型扩散区域以及导电部件包括该扩散区域
这是严格的累加限定。
权20:
导电部件包括半导体材料。
权21:
导电部件包括多晶硅。
因此是典型的:
半导体材料 → 多晶硅
上位概念向下位材料的进一步限定。
它们之间不要误认为是顺序递进。
从衬底突出的壁形状。
属于几何形态限定。
属于第一种材料路线:
半导体材料 → 多晶硅。
属于第二种材料路线:
金属。
所以权20/21与权22实际上构成:
半导体导电部件 vs 金属导电部件
两种替代实施方式。
权19则是形状限定,在技术上可能与权20、21或22同时存在,但由于权利要求的从属关系没有交叉引用,法律保护范围上不能直接把它们自动叠加。
这个结构与权20/21、22有些类似。
电荷存储装置包括浮动栅极晶体管。
电荷存储装置包括电荷陷阱晶体管。
因此:
权5 = floating-gate路线;
权6 = charge-trap路线。
二者均直接从属于权1,并没有“权6进一步从属于权5”。
所以这是两个并列的存储单元实现方案。
从无效角度也应分别寻找:
浮栅型3D NAND;
电荷陷阱型3D NAND。
权3限定:
设备包括存储器装置。
权4限定:
设备包括存储系统。
这两项并没有在权11、权16分支中设置对应的从属权利要求。
它们基本上属于:
对权1设备的产品层级/应用载体限定
而不是核心存储阵列结构限定。
因此从技术对应关系看,权3、4相对孤立。
权1:基础源极控制结构
│
┌──────────┬───────────┬────────────┬─────────────┐
│ │ │ │
权2 权5/6 权7/8 权9/10
漏极选择 存储单元 柱结构/材料 多串源极选择
│
│ ↓部分被吸收 ↓部分被吸收 ↓多串化
│
▼
权11:多串 + DSG + SG + SSG + 柱
│
├─权12:两个串/两个柱 + 三类栅极环绕柱
│
├─权13:串块子块 + 扩散区域分隔
│ │
├─权14:DSG/SSG属于相应选择装置 │ 技术主题联系
│ ▼
└─权15:SG属于源极栅极装置 权17/18:n+扩散区域
↑
│
权16:多块 + 共用源极 + 衬底 + 导电部件
│
├─权17 → 权18:p型衬底/n+扩散区域
├─权19:壁形
├─权20 → 权21:半导体 → 多晶硅
└─权22:金属
| 权1分支 | 权11/16分支 | 对应程度 | 理由 |
|---|---|---|---|
| 权2 | 权14 | 强 | 漏极选择装置 ↔ 漏极选择栅极属于该装置的一部分 |
| 权9/10 | 权12、14、15 | 较强 | 均围绕多串、源极选择结构和源极栅极结构 |
| 权13 | 权17/18 | 中等/弱 | 均涉及扩散区域,但位置和功能不同 |
| 权7/8 | 权16独立项本身 | 部分对应 | 均涉及柱及衬底/半导体柱,但限定并不完全相同 |
| 权5/6 | 无 | 无直接对应 | 浮栅/电荷陷阱路线仅在权1分支 |
| 权3/4 | 无 | 无直接对应 | 存储器装置/系统的产品类别 |
| 无 | 权19—22 | 无直接对应 | 专门限定权16新增的“导电部件” |
后续如果要逐项评价全部权利要求,不宜把权2—10、12—15、17—22分别独立检索。更高效的做法是按下面几条“技术特征族”统一检索:
DSG族:权2—权11—权12—权14;
SSG/SG族:权1—权9/10—权11—权12—权14/15;
柱结构族:权7/8—权11—权12—权16;
块/扩散区域族:权13—权16—权17/18;
导电共源结构族:权16—权17/18/19/20/21/22;
存储介质族:权5与权6分别检索浮栅、charge-trap。
这样比单纯按权利要求编号检索更容易发现同一篇现有技术同时击中多个从属权利要求,也更适合后续建立“最佳对比文件—覆盖权项”矩阵。
可以,但要区分“整项无效理由可直接援引”和“其中某个技术特征的论证可以复用”。因为权12—15从属于权11,权17—22从属于权16,它们并不从属于权2—10,所以权2—10被无效,并不会当然导致权12—22被无效。对权12—15仍须先解决权11,对权17—22仍须先解决权16;能够引用的只是权2—10中针对相同技术特征的证据和论证。权利要求的实际从属关系及限定可见权利要求书第1—2页。
如果要求达到“基本可以直接引用原无效理由、只需很少补充”的程度,最适合的是权14。
如果允许“部分引用后,再针对新增特征补充论证”,则还包括权12。
权13、15、17—22原则上不能直接引用权2—10的新增特征无效理由来完成无效论证。 特别是权21与权8虽然都出现“多晶硅”,但限定对象不同,不能直接套用。
| 后续从属权利要求 | 可引用权2—10中的哪一项 | 可复用程度 | 结论 |
|---|---|---|---|
| 权12 | 权9、权10 | 部分 | 可引用“多个串、源极选择结构”的论证,但仍须单独证明“两串”及三个栅极均至少部分环绕两个柱 |
| 权13 | 无 | 很低 | 不宜直接引用 |
| 权14 | 权2;必要时结合权9/10 | 高 | 最适合直接引用 |
| 权15 | 权2—10无真正对应项 | 低 | 主要应引用权1关于源极栅极装置的论证,而不是权2—10 |
| 权17 | 无 | 很低 | 需新论证p型衬底+n+扩散区 |
| 权18 | 无 | 很低 | 需新论证多个n+扩散区及导电部件关系 |
| 权19 | 无 | 无 | 壁状导电部件是新特征 |
| 权20 | 无 | 无 | 导电部件为半导体材料是新特征 |
| 权21 | 权8表面相似 | 不能直接引用 | 权8的多晶硅是“柱”,权21是“导电部件” |
| 权22 | 无 | 无 | 导电部件包括金属是新特征 |
权2相对于权1增加的是:
“耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置”。
权14则规定:
“漏极选择栅极包括漏极选择装置的一部分;且源极选择栅极包括源极选择装置的一部分。”
因此,如果导致权2无效的对比文件已经明确公开的是漏极选择晶体管/漏极选择装置及其栅极,而不只是抽象地公开一个“选择功能”,那么权14关于“漏极选择栅极属于漏极选择装置的一部分”的部分,完全可以直接引用权2的证据和论证。
例如原无效理由已经写明:
D1公开漏极选择晶体管,其设置在NAND串与位线之间,该晶体管的栅极由漏极选择线控制……
那么针对权14就没有必要重新从头论述,可以写成类似:
关于“漏极选择栅极包括漏极选择装置的一部分”的限定,参见针对权利要求2的评述。D1所公开的漏极选择晶体管即为漏极选择装置,其栅极构成该漏极选择装置的一部分。
权14后半部分:
“源极选择栅极包括源极选择装置的一部分”
如果权9或权10的无效理由中已经明确识别了源极选择晶体管及其栅极,也可以直接引用。否则,更稳妥的是引用权1中关于源极选择装置的基础论证,再补一句MOS选择晶体管的栅极即构成其一部分。
所以:
权14是权2—10中已有无效理由复用价值最高的后续从属权利要求。
权12在权11基础上增加两层东西:
一是:
多个串包括两个串;
二是:
漏极选择栅极、源极栅极及源极选择栅极中的每一者至少部分环绕与两个串相关联的两个柱。
权9和权10已经涉及:
多个串;
源极选择装置;
多个串与源极选择结构之间的关系。
所以,权9/10被无效后,其论证可以直接用于证明:
“多个串”和源极侧选择结构属于现有技术。
但是权9/10没有解决权12最关键的几何限定:
三类栅极均至少部分地环绕两个串对应的两个柱。
因此,不能写成:
“权9/10已无效,所以权12也无效。”
正确写法应当是:
多串及源极选择架构参见对权9/10的评述;此外,D1/D2进一步公开两个串对应的两个柱以及漏极选择栅极、源极栅极和源极选择栅极至少部分环绕该两个柱……
换言之,权12可以节省相当一部分论述,但仍必须补一个重要特征。
权13新增的是:
多个串包括串块的子块,子块通过扩散区域与串块的相邻子块分离。
权2—10没有真正对应的:
串块;
子块;
相邻子块;
用扩散区域分隔子块。
因此,即使权2—10全部无效,对于权13的新增限定仍基本需要重新寻找或重新论证现有技术。
权15规定:
“源极栅极包括源极栅极装置的一部分。”
权1本身已经具有:
“源极栅极装置”。
因此权15与权1的对应性远强于与权2—10的对应性。
虽然权9、10也再次使用“源极栅极装置”这一概念,但权9、10真正新增并被评价的内容是多串及源极选择装置的组织关系,并不是:
“源极栅极是不是源极栅极装置的一部分”。
所以无效请求中最好不要写:
“权15的理由见权9/10。”
而应写:
“权15关于源极栅极装置的公开参见权1的评述;D1进一步明确……”。
如果D1已经将该装置公开成MOS结构,那么这项限定通常并不难处理,但法律论证来源应当是权1,而不是权2—10。
这是一个尤其容易混淆的问题。
权7是:
柱从数据线延伸到衬底中的阱。
而权17、18是:
p型衬底;
导电部件耦合到p型衬底中的n+型扩散区域;
多个n+型扩散区域;
导电部件包括该n+型扩散区域。
虽然两者都涉及“衬底”,但限定对象和技术关系完全不同。
因此:
权7无效的理由不能直接用来证明权17或18无效。
最多只能把对比文件中已经介绍过的衬底结构作为背景引用,仍必须单独证明:
p型 + n+扩散区 + 导电部件与扩散区之间的特定关系。
权19新增:
导电部件具有从衬底突出的壁形状。
权2—10中没有“导电部件”,更没有“壁形”。
因此必须独立论证。
这个问题在实际无效请求中很容易出现形式上的错误。
权8:
柱包括多晶硅。
权20:
导电部件包括半导体材料。
权21:
导电部件包括多晶硅。
虽然权8和权21都出现:
“包括多晶硅”
但它们的限定对象完全不同:
权8:半导体柱;
权21:用于偏置共用源极的导电部件。
因此:
权8的无效理由不能直接用于权21。
例如,对比文件公开“多晶硅沟道柱”,并不能证明其还公开了“由多晶硅形成的共用源极偏置导电部件”。
只有当导致权8无效的同一篇文献另外还明确公开该导电部件本身也是多晶硅时,才能使用同一篇证据,但此时仍需要另行指明新的公开位置,而不是简单引用权8的评述。
权22:
导电部件包括金属。
权2—10没有对应的金属导电部件限定,因此需要单独处理。
第一类——可直接引用:权14。
可以写:
对于本项限定中的漏极选择装置及其栅极关系,参见针对权利要求2的评述;对于源极选择装置及其栅极关系,参见针对权利要求1/9/10的评述。上述选择装置均为通过栅极控制导通状态的选择晶体管,所述选择栅极显然构成相应选择装置的一部分。因此……
这是最适合做“交叉引用、避免重复”的权项。
第二类——可以部分引用:权12。
可引用:
权9/10的“多个串+源极选择架构”
但必须另外证明:
两个串 + 两个柱 + DSG/SG/SSG均至少部分环绕两个柱。
第三类——不建议直接引用:权13、15、17—22。
其中权15应主要回引权1;权13及17—22均存在权2—10没有覆盖的实质新增特征,应当独立评价。
权2 → 权14;
权9/10 → 权12的部分特征;
权9/10 → 权14中源极选择装置部分(前提是原理由明确公开其栅极结构)。
除此之外,不要机械搬用。尤其应避免两个看起来相似、实际却不能复用的组合:
权8“柱为多晶硅” ≠ 权21“导电部件为多晶硅”;
权7“柱延伸至衬底中的阱” ≠ 权17/18“p型衬底中的n+扩散区域/导电部件”。
如果下一步是为了撰写CN103782344B完整无效请求书,最有效的做法是以现有权2—10的每一条无效理由为纵轴,我可以进一步整理成一张 “权2—10 → 权12—15/17—22可直接援引的证据段落/不可援引的新增特征”矩阵,这样后续可以直接据此写各从属权利要求的无效理由。
可以,但要区分“整项无效理由可直接援引”和“其中某个技术特征的论证可以复用”。因为权12—15从属于权11,权17—22从属于权16,它们并不从属于权2—10,所以权2—10被无效,并不会当然导致权12—22被无效。对权12—15仍须先解决权11,对权17—22仍须先解决权16;能够引用的只是权2—10中针对相同技术特征的证据和论证。权利要求的实际从属关系及限定可见权利要求书第1—2页。
如果要求达到“基本可以直接引用原无效理由、只需很少补充”的程度,最适合的是权14。
如果允许“部分引用后,再针对新增特征补充论证”,则还包括权12。
权13、15、17—22原则上不能直接引用权2—10的新增特征无效理由来完成无效论证。 特别是权21与权8虽然都出现“多晶硅”,但限定对象不同,不能直接套用。
| 后续从属权利要求 | 可引用权2—10中的哪一项 | 可复用程度 | 结论 |
|---|---|---|---|
| 权12 | 权9、权10 | 部分 | 可引用“多个串、源极选择结构”的论证,但仍须单独证明“两串”及三个栅极均至少部分环绕两个柱 |
| 权13 | 无 | 很低 | 不宜直接引用 |
| 权14 | 权2;必要时结合权9/10 | 高 | 最适合直接引用 |
| 权15 | 权2—10无真正对应项 | 低 | 主要应引用权1关于源极栅极装置的论证,而不是权2—10 |
| 权17 | 无 | 很低 | 需新论证p型衬底+n+扩散区 |
| 权18 | 无 | 很低 | 需新论证多个n+扩散区及导电部件关系 |
| 权19 | 无 | 无 | 壁状导电部件是新特征 |
| 权20 | 无 | 无 | 导电部件为半导体材料是新特征 |
| 权21 | 权8表面相似 | 不能直接引用 | 权8的多晶硅是“柱”,权21是“导电部件” |
| 权22 | 无 | 无 | 导电部件包括金属是新特征 |
权2相对于权1增加的是:
“耦合于所述电荷存储装置串与数据线之间的漏极选择装置”。
权14则规定:
“漏极选择栅极包括漏极选择装置的一部分;且源极选择栅极包括源极选择装置的一部分。”
因此,如果导致权2无效的对比文件已经明确公开的是漏极选择晶体管/漏极选择装置及其栅极,而不只是抽象地公开一个“选择功能”,那么权14关于“漏极选择栅极属于漏极选择装置的一部分”的部分,完全可以直接引用权2的证据和论证。
例如原无效理由已经写明:
D1公开漏极选择晶体管,其设置在NAND串与位线之间,该晶体管的栅极由漏极选择线控制……
那么针对权14就没有必要重新从头论述,可以写成类似:
关于“漏极选择栅极包括漏极选择装置的一部分”的限定,参见针对权利要求2的评述。D1所公开的漏极选择晶体管即为漏极选择装置,其栅极构成该漏极选择装置的一部分。
权14后半部分:
“源极选择栅极包括源极选择装置的一部分”
如果权9或权10的无效理由中已经明确识别了源极选择晶体管及其栅极,也可以直接引用。否则,更稳妥的是引用权1中关于源极选择装置的基础论证,再补一句MOS选择晶体管的栅极即构成其一部分。
所以:
权14是权2—10中已有无效理由复用价值最高的后续从属权利要求。
权12在权11基础上增加两层东西:
一是:
多个串包括两个串;
二是:
漏极选择栅极、源极栅极及源极选择栅极中的每一者至少部分环绕与两个串相关联的两个柱。
权9和权10已经涉及:
多个串;
源极选择装置;
多个串与源极选择结构之间的关系。
所以,权9/10被无效后,其论证可以直接用于证明:
“多个串”和源极侧选择结构属于现有技术。
但是权9/10没有解决权12最关键的几何限定:
三类栅极均至少部分地环绕两个串对应的两个柱。
因此,不能写成:
“权9/10已无效,所以权12也无效。”
正确写法应当是:
多串及源极选择架构参见对权9/10的评述;此外,D1/D2进一步公开两个串对应的两个柱以及漏极选择栅极、源极栅极和源极选择栅极至少部分环绕该两个柱……
换言之,权12可以节省相当一部分论述,但仍必须补一个重要特征。
权13新增的是:
多个串包括串块的子块,子块通过扩散区域与串块的相邻子块分离。
权2—10没有真正对应的:
串块;
子块;
相邻子块;
用扩散区域分隔子块。
因此,即使权2—10全部无效,对于权13的新增限定仍基本需要重新寻找或重新论证现有技术。
权15规定:
“源极栅极包括源极栅极装置的一部分。”
权1本身已经具有:
“源极栅极装置”。
因此权15与权1的对应性远强于与权2—10的对应性。
虽然权9、10也再次使用“源极栅极装置”这一概念,但权9、10真正新增并被评价的内容是多串及源极选择装置的组织关系,并不是:
“源极栅极是不是源极栅极装置的一部分”。
所以无效请求中最好不要写:
“权15的理由见权9/10。”
而应写:
“权15关于源极栅极装置的公开参见权1的评述;D1进一步明确……”。
如果D1已经将该装置公开成MOS结构,那么这项限定通常并不难处理,但法律论证来源应当是权1,而不是权2—10。
这是一个尤其容易混淆的问题。
权7是:
柱从数据线延伸到衬底中的阱。
而权17、18是:
p型衬底;
导电部件耦合到p型衬底中的n+型扩散区域;
多个n+型扩散区域;
导电部件包括该n+型扩散区域。
虽然两者都涉及“衬底”,但限定对象和技术关系完全不同。
因此:
权7无效的理由不能直接用来证明权17或18无效。
最多只能把对比文件中已经介绍过的衬底结构作为背景引用,仍必须单独证明:
p型 + n+扩散区 + 导电部件与扩散区之间的特定关系。
权19新增:
导电部件具有从衬底突出的壁形状。
权2—10中没有“导电部件”,更没有“壁形”。
因此必须独立论证。
这个问题在实际无效请求中很容易出现形式上的错误。
权8:
柱包括多晶硅。
权20:
导电部件包括半导体材料。
权21:
导电部件包括多晶硅。
虽然权8和权21都出现:
“包括多晶硅”
但它们的限定对象完全不同:
权8:半导体柱;
权21:用于偏置共用源极的导电部件。
因此:
权8的无效理由不能直接用于权21。
例如,对比文件公开“多晶硅沟道柱”,并不能证明其还公开了“由多晶硅形成的共用源极偏置导电部件”。
只有当导致权8无效的同一篇文献另外还明确公开该导电部件本身也是多晶硅时,才能使用同一篇证据,但此时仍需要另行指明新的公开位置,而不是简单引用权8的评述。
权22:
导电部件包括金属。
权2—10没有对应的金属导电部件限定,因此需要单独处理。
第一类——可直接引用:权14。
可以写:
对于本项限定中的漏极选择装置及其栅极关系,参见针对权利要求2的评述;对于源极选择装置及其栅极关系,参见针对权利要求1/9/10的评述。上述选择装置均为通过栅极控制导通状态的选择晶体管,所述选择栅极显然构成相应选择装置的一部分。因此……
这是最适合做“交叉引用、避免重复”的权项。
第二类——可以部分引用:权12。
可引用:
权9/10的“多个串+源极选择架构”
但必须另外证明:
两个串 + 两个柱 + DSG/SG/SSG均至少部分环绕两个柱。
第三类——不建议直接引用:权13、15、17—22。
其中权15应主要回引权1;权13及17—22均存在权2—10没有覆盖的实质新增特征,应当独立评价。
权2 → 权14;
权9/10 → 权12的部分特征;
权9/10 → 权14中源极选择装置部分(前提是原理由明确公开其栅极结构)。
除此之外,不要机械搬用。尤其应避免两个看起来相似、实际却不能复用的组合:
权8“柱为多晶硅” ≠ 权21“导电部件为多晶硅”;
权7“柱延伸至衬底中的阱” ≠ 权17/18“p型衬底中的n+扩散区域/导电部件”。
如果下一步是为了撰写CN103782344B完整无效请求书,最有效的做法是以现有权2—10的每一条无效理由为纵轴,我可以进一步整理成一张 “权2—10 → 权12—15/17—22可直接援引的证据段落/不可援引的新增特征”矩阵,这样后续可以直接据此写各从属权利要求的无效理由。