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权利要求与技术特征

J 其中所述孔的尺寸取决于紫外发光二极管的紫外光发射量。

K 其中所述多孔板包括印刷电路板。

L 其中所述孔和所述紫外发光二极管以二维阵列布置。

M 还包括一个或多个绝缘窗
N 所述一个或多个绝缘窗使所述一个或多个紫外发光二极管与所述流体绝缘。

O 其中所述一个或多个绝缘窗用从由石英、二氧化硅和玻璃组成的一组中选择的一种材料制造。

P 其中所述腔室的壁被覆盖有一个或多个紫外光反射屏。

Q 还包括基于反馈的电力控制单元
R 所述基于反馈的电力控制单元供应电力给所述一个或多个紫外发光二极管。

S 还包括反馈单元
T 所述反馈单元提供有关所述腔室内物理状态的信息给所述基于反馈的电力控制单元。

U 其中所述反馈单元包括一个或多个紫外光传感器
V 所述一个或多个紫外光传感器提供紫外光强度数据给所述基于反馈的电力控制单元。

W 其中所述反馈单元包括一个或多个流体流动传感器
X 所述一个或多个流体流动传感器提供流体流动数据给所述基于反馈的电力控制单元。

Y 其中所述一个或多个流体流动传感器测量多孔板的温度变化。

Z 其中所述一个或多个流体流动传感器测量所述多孔板内的应变。
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