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对比文件列表
1996-05-28_US5521036A_发明授权_US5521036A Positioning method and apparatus_+++A_B_C_E_F_R_q+++.docx
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1998-05-26_US5757149A_发明授权_US5757149A Drive control apparatus_+++A_B_C_D_E_F_H_I_J_Q_R_S_U_V_W_k_l+++.docx
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1998-11-03_US5831739A_发明授权_US5831739A Alignment method_+++E_F_R_U_W_v+++.docx
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2000-09-05_US6114670A_发明授权_US6114670A Nonlinear feedforward control for ramp following and overshoot minimization_+++A_B_C_D_E_R_f_q+++.docx
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2001-07-17_US6260282B_发明授权_US06260282B1 Stage control with reduced synchronization error and settling time_+++A_B_C_D_E_F_R_q+++.docx
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2002-03-12_US6355994B_发明授权_US06355994B1 Precision stage_+++A_B_C_D_E_F_q_r+++.docx
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2002-12-11_EP1265106A_发明公开_EP1265106A2 Lithographic apparatus and device manufacturing method_+++A_B_C_E_F_I_R_q+++.docx
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2003-03-06_US2003043354A_发明申请_US20030043354A1 Lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby_+++A_B_C_E_F_I_R_d_h_q_u_v_w+++.docx
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2004-09-02_WO2004074951A_发明申请_WO2004074951A1 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING A PHYSICAL QUANTITY HAVING A PROGRAMMED VARIATION WITH A FEED-FORWARD CONTROL_+++A_B_C_E_F_I_Q_R_U_W_d_v+++.docx
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2004-11-24_EP1480093A_发明公开_EP1480093A1 Control system, lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby_+++R_a_b_c_d_e_f+++.docx
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2004-12-02_US2004238758A_发明申请_US20040238758A1 Control system, lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby_+++A_B_D_E_F_R_c_q+++.docx
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2005-05-12_JP2005123220A_发明专利_JP2005123220A Stage control method, exposure method, stage control unit, exposure device, and device manufacturing method_+++A_B_C_E_F_Q_R+++.docx
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2005-06-07_US6904422B_发明授权_US06904422B2 Adaptive control system having direct output feedback and related apparatuses and methods_+++A_B_C_D_F_e_q_r+++.docx
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2005-09-27_US6949844B_发明授权_US06949844B2 High-speed precision positioning apparatus_+++A_D_E_F_b_c_q_r+++.docx
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2005-10-20_US2005231706A_发明申请_US20050231706A1 Feedforward control with reduced learning time for lithographic system to improve throughput and accuracy_+++A_B_C_D_E_F_H_I_J_K_L_Q_R+++.docx
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2005-11-17_JP2005322720A_发明专利_JP2005322720A Stage controlling apparatus and method therefor, exposure apparatus and method therefor, and device manufacturing method_+++A_B_C_D_E_F_I_J_K_L_Q_R_u_v_w+++.docx
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2004-09-02_WO2004074951A_发明申请_WO2004074951A1 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING A PHYSICAL QUANTITY HAVING A PROGRAMMED VARIATION WITH A FEED-FORWARD CONTROL_+++A_B_C_E_F_I_Q_R_U_W_d_v+++.docx

### 对比文件名称

2004-09-02_WO2004074951A_发明申请_WO2004074951A1 METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING A PHYSICAL QUANTITY HAVING A PROGRAMMED VARIATION WITH A FEED-FORWARD CONTROL

### 目标专利名称

1367获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法CN101059658B

### 本次调用的模型名称

AI语言模型(未指定具体型号)

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### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断对比文件原文引用(翻译)公开性论述
**特征A**:从而通过设定点分布轮廓移动一个部件 **《直接公开》****[p0001]** “METHOD AND DEVICE FOR CONTROLLING A PHYSICAL QUANTITY HAVING A PROGRAMMED VARIATION, WITH A FEED-FORWARD CONTROL”<br>**[p0003]** “the invention concerns a method for the control of a driver that controls the motion of a mechanical part, such as the arm of a robot, a tool of a numerically controlled machine-tool or other.”<br>(翻译:本发明涉及一种控制物理量(按照程序变化)的方法,特别涉及控制机械部件(如机器臂、数控机床的工具)的运动的方法。)对比文件明确公开了通过前馈控制移动机械部件,设定点分布由程序值(目标状态)序列构成,直接对应于“通过设定点分布轮廓移动一个部件”。
**特征B**:所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态 **《直接公开》****[p0008]** “Q_i(t) are the pre-calculated values, function of time, of the physical quantity to be controlled. These are generated by an 'interpolator'... that receives the program to be realized and calculates, at each instant t, the value of the requested quantity.”<br>(翻译:Q_i(t)是预计算的、时间函数的物理量期望值,由插补器生成,插补器接收程序并计算每个时刻t的请求值。)对比文件公开了设定点分布轮廓由多个目标状态(期望值Q_i(t))组成,每个目标状态是部件在特定时刻应达到的状态。
**特征C**:每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的 **《直接公开》****[p0053]** “The variable 't' in the abscissa is actually a discretized variable that replaces the continuous time variable: t counts the sampling time-intervals t_c.”<br>(翻译:横坐标中的变量t实际上是离散化变量,替代连续时间变量:t计数采样时间间隔t_c。)对比文件公开了目标状态Q_i(t)在离散时间点t上获得,每个目标状态对应一个特定的目标时间,形成序列。
**特征D**:所述的方法包括按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件 **《隐含公开》****[p0019]** “it is common practice to adopt a control system with a so-called feed-forward velocity signal as depicted in Fig. 2.”<br>**[p0062]** “The feed-forward signal is obtained with the summation of products: Vf(t) = ∑ c0(i) * vi(t - R - ncol + i)”<br>(翻译:通常采用如图2所示的具有所谓速度前馈信号的控制系统;前馈信号通过乘积求和获得。)对比文件公开了前馈控制系统,必然存在初始前馈数据(如零或初始系数)。虽然未明确提及“第一组前馈数据”,但本领域技术人员可合理推断前馈控制需要初始前馈参数,因此隐含公开。
**特征E**:在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态 **《直接公开》****[p0009]** “Q_m(t) are the measured values of the quantity to be controlled, taken through suitable transducers.”<br>(翻译:Q_m(t)是通过合适传感器测量的被控量实际值。)对比文件直接公开了在移动期间通过传感器多次测量部件的实际状态(Q_m(t))。
**特征F**:比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态,以获得一组误差 **《直接公开》****[p0010]** “e(t) is the error at time t, provided by e(t)=Q_i(t)-Q_m(t).”<br>(翻译:e(t)是时刻t的误差,由e(t)=Q_i(t)-Q_m(t)给出。)对比文件直接公开了将测量值与目标值进行比较获得误差序列。
**特征G**:用非线性滤波器滤波所述这组误差 **《未公开》**无。对比文件仅使用线性FIR滤波器生成前馈信号,未对误差信号进行任何非线性滤波。对比文件未公开任何非线性滤波器,其误差信号仅用于反馈控制或系数计算,不涉及非线性滤波。
**特征H**:根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据 **《未公开》**无。对比文件的前馈系数通过系统辨识(测试或自适应)直接计算,而非基于滤波误差。对比文件没有基于滤波误差产生前馈数据的过程,其前馈信号由FIR滤波器基于目标值导数产生,系数通过最小二乘法确定。
**特征I**:所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件 **《直接公开》****[p0027]** “Object of this invention is to realize a method of control... that allow higher accuracy with respect to that offered... by traditional control systems.”<br>(翻译:本发明的目的是实现一种控制方法,允许比传统控制系统更高的精度。)对比文件公开了其前馈控制方法旨在提高控制精度,因此改进的前馈数据(或系数)被用于更准确地移动部件,直接公开了该作用。
**特征J**:所述方法进一步包括使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e) **《未公开》**无。对比文件没有迭代学习控制方案,其自适应更新(图11)是连续在线更新,不涉及重复相同设定点分布轮廓的迭代。对比文件未公开重复相同轨迹并迭代更新前馈数据的步骤,特征J未公开。
**特征K**:直到确定在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止 **《未公开》**无。对比文件没有迭代停止阈值条件。对比文件没有公开基于误差阈值判断迭代停止的步骤,特征K未公开。
**特征L**:输出满足阈值条件的改进的前馈数据 **《未公开》**无。特征L依赖于K,对比文件未公开阈值条件,故未公开。
**特征M**:其中所述的滤波取决于所述这组误差的幅度 **《未公开》**无。对比文件没有对误差进行幅度依赖滤波。对比文件未公开任何幅度依赖的滤波操作,特征M未公开。
**特征N**:其中所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量 **《未公开》**无。对比文件未公开根据幅度大小进行不同抑制的非线性特性,特征N未公开。
**特征O**:其中所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带 **《未公开》**无。对比文件未公开频带分解滤波,特征O未公开。
**特征P**:对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作 **《未公开》**无。对比文件未公开对每个频带单独滤波,特征P未公开。
**特征Q**:其中在移动期间测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组 **《直接公开》****[p0053]** 离散时间t,测量值Q_m(t)和期望值Q_i(t)在同一时间点上获取。对比文件公开了测量时间与目标时间一致(均为离散采样时间),因此直接公开。
**特征R**:其中所述目标状态包括以下所述的至少一个:所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度 **《直接公开》****[p0055]** “vi(t) = (Qi(t+1)-Qi(t))/tc” 表示速度;<br>**[p0054]** 隐含加速度定义。对比文件公开了目标位置及其导数(速度),加速度作为二阶导数隐含公开,因此直接公开特征R。
**特征S**:其中对于所述滤波器进行配置 **《未公开》**无。对比文件没有配置具有特定传递特性的滤波器。特征S和T共同描述了死区滤波器,对比文件未公开。
**特征T**:使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分 **《未公开》**无。对比文件未公开此类滤波器配置,特征T未公开。
**特征U**:其中所述的这组误差由数据点ey(i)的一个阵列表示 **《直接公开》****[p0010]** e(t)是时间序列;**[p0092]** 描述误差采样序列为N个方程。对比文件公开了误差是离散时间序列数据点,可表示为阵列,直接公开特征U。
**特征V**:其中0≤i≤n **《隐含公开》****[p0092]** “with N rows (j from 0 to N-1)”。(翻译:具有N行(j从0到N-1))对比文件公开了阵列索引从0开始,本领域技术人员可合理推断索引范围0≤i≤n,因此隐含公开。
**特征W**:n是组中的采样数 **《直接公开》****[p0092]** “the redundant linear system [9] of N equations and m unknowns”。(翻译:具有N个方程和m个未知数的冗余线性系统)对比文件公开了采样数N,直接公开特征W。
**特征X**:所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(ey(i))表示 **《未公开》**无。对比文件未公开此类矩阵,特征X未公开。
**特征Y**:步骤(d)对应于Φ(ey(i))和ey(i)的乘积 **《未公开》**无。对比文件未公开该乘积关系,特征Y未公开。
**特征Z**:其中所述的Φ(ey(i))的定义如下:... **《未公开》**无。对比文件未公开该具体公式,特征Z未公开。

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### 公开性代码

基于上述比对,对比文件直接公开的技术特征有:A、B、C、E、F、I、Q、R、U、W;隐含公开的技术特征有:D、V。

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