**对比文件名称:** 2010-04-01_WO2010037048A_发明申请_WO2010037048A1 STRAM WITH ELECTRONICALLY REFLECTIVE INSULATIVE SPACER
**目标专利名称:** 包括位于钉扎层中的功能层的磁性存储元件及其制造方法 CN102986047B
**本次调用模型名称:** DeepSeek最新版模型
### **特征比对表格**
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| **技术特征A**:其包括:钉扎层堆叠,其集成在自旋转移力矩磁阻随机存取存储器STT-MRAM中,《直接公开》 | 第[03]段:“Recently, a new write mechanism, which is based upon spin polarization current induced magnetization switching, was introduced to the MRAM design. This new MRAM design, called Spin-Transfer Torque RAM (STRAM)...” <br> 第[41]段:“FIG. 6 is a schematic diagram of another illustrative spin-transfer torque memory unit 40. This embodiment... includes a synthetic anti-ferromagnetic element forming the reference layer RL.” | 对比文件明确公开了其描述的自旋转移力矩存储器(STRAM,即STT-MRAM的一种常见表述)单元(图6,单元40)。该单元包含参考层(reference layer RL),根据第[42]段描述,该参考层是一种合成反铁磁(synthetic anti-ferromagnetic)结构。在目标专利中,“钉扎层堆叠”即指这种具有固定磁化方向的复合结构(参见说明书[0002]-[0003]段)。因此,对比文件公开了集成在STT-MRAM(即STRAM)中的钉扎层(参考层)堆叠。 |
| **技术特征B**:所述钉扎层堆叠由多个层形成,《直接公开》 | 第[42]段:“The synthetic anti-ferromagnetic element includes a first ferromagnetic layer FM1 and a second ferromagnetic layer FM2 separated by an electrically conductive and non-magnetic spacer layer SP1. ... An anti-ferromagnetic layer AFM is adjacent to the second electrode layer E2.” | 对比文件图6及相应描述明确指出,参考层(即钉扎层堆叠)由第一铁磁层FM1、导电非磁性间隔层SP1、第二铁磁层FM2以及相邻的反铁磁层AFM等多个层形成。 |
| **技术特征C**:所述多个层包括底部钉扎层、耦合层和顶部钉扎层,《直接公开》 | 第[42]段:“The synthetic anti-ferromagnetic element includes a first ferromagnetic layer FM1 and a second ferromagnetic layer FM2 separated by an electrically conductive and non-magnetic spacer layer SP1.” | 对比文件中的合成反铁磁结构,其第一铁磁层FM1和第二铁磁层FM2分别对应于目标专利中的底部钉扎层和顶部钉扎层(或反之,取决于具体设计取向)。中间的导电非磁性间隔层SP1(例如Ru)对应于目标专利中的耦合层(参见目标专利说明书[0005]段)。因此,该结构公开了包含底部钉扎层(FM1)、耦合层(SP1)和顶部钉扎层(FM2)的钉扎层堆叠。 |
| **技术特征D**:第一功能层,其安置于所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层中,《直接公开》 | 第[48]-[49]段:“FIG. 7 is a schematic diagram of another illustrative spin-transfer torque memory unit 50. ... A third ferromagnetic layer FM3 is separated from the second ferromagnetic layer FM2 by a second electrically insulating and electronically reflective layer ER2.” | 对比文件图7的实施例中,在参考层(即钉扎层堆叠)内部,第二铁磁层FM2和第三铁磁层FM3之间设置有第二电子反射绝缘层ER2。第二铁磁层FM2和第三铁磁层FM3共同构成了参考层(钉扎层堆叠)的一部分,ER2层位于这两个铁磁层(即顶部钉扎层内部)之间。这公开了“功能层”(ER2)安置于钉扎层(具体是顶部钉扎层部分)之中。 |
| **技术特征E**:其中所述第一功能层是形成自钽的结晶增强功能层。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 目标专利明确限定第一功能层是“形成自钽的结晶增强功能层”(参见说明书[0038]段)。对比文件公开的电子反射绝缘层(ER2)材料为氧化物或氮化物(如AlO, TiO, TaO, MgO, AlN, TiN等,见第[31]段),其作用是反射电子以降低开关电流(见第[32]段)。对比文件完全没有提及由钽(Ta)形成的层,也未提及该层具有“结晶增强”的功能。因此,该技术特征未被对比文件公开。 |
| **技术特征F**:其中所述第一功能层保护所述钉扎层堆叠免于穿过所述多个层的高温材料扩散。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 目标专利说明书记载,功能层的主要作用之一是“保护钉扎层堆叠免于穿过多个层的高温材料扩散”(参见[0027]段)。对比文件中电子反射绝缘层(ER2)的作用是“反射自旋电子...以降低开关电流”(第[32]段),以及“减少层间扩散”(第[43]段)。但“减少层间扩散”是使用合成反铁磁结构带来的优点之一,并非ER2层的功能。ER2层本身的功能与防止高温扩散无关。因此,该作用未被对比文件公开。 |
| **技术特征G**:其中所述结晶增强功能层促进晶体形成。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 如特征E所述,对比文件未公开由钽形成的“结晶增强功能层”,因此自然也未公开该层“促进晶体形成”的功能。目标专利中该功能具体指增强耦合层Ru或隧穿势垒MgO的结晶(参见[0038]段),对比文件未提及任何层具有此作用。 |
| **技术特征H**:其中安置所述第一功能层的所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层包括第一层和第二层,所述第一功能层插入于所述第一层与第二层之间。《直接公开》 | 第[49]段:“A third ferromagnetic layer FM3 is separated from the second ferromagnetic layer FM2 by a second electrically insulating and electronically reflective layer ER2.” | 对比文件图7明确示出,第二电子反射绝缘层ER2插入在第二铁磁层FM2和第三铁磁层FM3之间。这两个铁磁层构成了钉扎层堆叠(参考层)的一部分。这直接公开了功能层(ER2)插入于同一钉扎层(顶部钉扎层)内的两个子层(FM2和FM3)之间。 |
| **技术特征I**:其进一步包括第二功能层,所述第二功能层安置于与安置所述第一功能层的所述底部钉扎层或所述顶部钉扎层相对的钉扎层中。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 对比文件图7虽然在参考层(顶部钉扎层区域)内有一个ER2层,并在自由层FL和电极E1之间有另一个ER层,但后者并不位于钉扎层堆叠内。目标专利要求“第二功能层”也安置于钉扎层中,且与第一功能层所在的钉扎层(顶部或底部)相对。对比文件没有公开在底部钉扎层(即FM1层所在部分)中也插入有功能层。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征J**:其中所述第二功能层由不同于所述第一功能层的材料形成。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 由于技术特征I未被公开,因此其从属特征J自然也未被公开。 |
| **技术特征K**:其中所述第二功能层由相同于所述第一功能层的材料形成。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 由于技术特征I未被公开,因此其从属特征K自然也未被公开。 |
| **技术特征L**:其进一步包括与所述第一功能层安置于同一底部钉扎层或顶部钉扎层中的第二功能层。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 对比文件图7中,在参考层(顶部钉扎层区域)内部,仅在FM2和FM3之间设置了一个ER2层。没有公开在同一钉扎层(如顶部钉扎层)中存在两个或以上的功能层。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征M**:其进一步包括反铁磁层、隧穿势垒层、自由层和/或罩盖层。《直接公开》 | 第[42]段:“An anti-ferromagnetic layer AFM is adjacent to the second electrode layer E2.” <br> 第[41]段:“...an electrically insulating and non-magnetic tunneling barrier layer TB separating the free magnetic layer FL from the reference magnetic layer RL.” <br> 第[41]段明确包括自由层FL。 | 对比文件图6、7明确公开了存储器单元包含反铁磁层(AFM)、隧穿势垒层(TB)和自由层(FL)。罩盖层(capping layer)虽然是MTJ常见结构,但对比文件文本未明确提及,然而“和/或”表示选择性包含,因此公开了反铁磁层、隧穿势垒层、自由层即已满足该特征。 |
| **技术特征N**:其中所述存储元件集成在选自由以下各项组成的群组的电子装置中:机顶盒、音乐播放器、视频播放器、导航装置、通信装置、个人数字助理PDA、固定位置数据单元和计算机。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 对比文件虽然描述了自旋转移力矩存储器单元,但其说明书中并未提及将该存储元件具体集成到任何上述列举的特定电子装置中。该特征属于具体的应用领域限定,未被对比文件公开。 |
| **技术特征O**:其中所述STT-MRAM装置集成在至少一个半导体裸片中。《未公开》 | 未找到相关内容。 | 对比文件描述了存储器单元的结构,但未提及该装置是否集成在半导体裸片(semiconductor die)中。该特征涉及具体的制造和封装形式,未被对比文件公开。 |
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