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权利要求与技术特征
权利要求 1
A
具有压电膜， 所述弹性波装置具备： 高声速支撑基板，由氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化硅、氮氧化硅、DLC膜或金刚石、或者以这各材料为主成分的材料、以这各材料的混合物为主成分的材料中的任意一者构成
B
低声速膜，其层叠于所述高声速支撑基板上，且由氧化硅、玻璃、氮氧化硅、氧化钽、或者在氧化硅添加了氟或碳或硼而成的化合物、或者以这各材料为主成分的材料中的任意一者构成
C
所述压电膜，其层叠于所述低声速膜上，由LiTaO3或LiNbO3构成
D
IDT电极，其形成于所述压电膜的一面，
E
在将以IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，层叠于所述高声速支撑基板上且在所述压电膜之下形成的所述低声速膜的膜厚被设为0.1λ～0.5λ的范围。
权利要求 2
F
其中，在所述压电膜进行传播的弹性波的能量的一部分分布在所述低声速膜以及所述高声速支撑基板中。
权利要求 3
G
其中，在将以IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述压电膜的膜厚被设为1.5λ以下。
权利要求 4
H
其中，在将以IDT电极的电极周期所确定的弹性波的波长设为λ时，所述压电膜的膜厚被设为0.05λ～0.5λ的范围。
权利要求 5
I
其中，所述压电膜由欧拉角(0±5°，θ，ψ)的单晶LiTaO3构成，欧拉角(0±5°，θ，ψ)位于以SH波为主成分的弹性表面波模式的机电耦合系数为2％以上的范围。
权利要求 6
J
其中，所述压电膜的欧拉角(0±5°，θ，ψ)位于以SH波为主成分的弹性表面波模式的机电耦合系数为2％以上、且以成为寄生的SV波为主成分的弹性表面波模式的机电耦合系数成为1％以下的范围。
权利要求 7
K
其中，所述低声速膜的固有声阻抗小于所述压电膜的固有声阻抗。
权利要求 8
L
其中，在所述压电膜以及所述IDT电极之上形成有电介质膜，弹性表面波在所述压电膜进行传播。
权利要求 9
M
其中，在所述压电膜以及所述IDT电极之上形成有电介质膜，弹性边界波在所述压电膜与所述电介质膜的边界进行传播。