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### 对比文件名称:JP2003322708A_Description_20260218_1611

### 目标专利名称:179亚微米晶片对准CN107850759B

### 本次调用模型名称:DeepSeek最新版本模型

### 特征比对表格

技术特征描述以及公开性判断结果对比文件原文引用公开性论述
**技术特征A**:《隐含公开》<br>其包括:第一透明晶片,其包括第一透镜阵列[0056]-[0058]段:“...substrate 200 is prepared...an opening 202a having a predetermined pattern is formed...A plurality of openings 202a are formed in accordance with each lens forming region where each microlens is to be formed. As a result, in this embodiment, a microlens 'array' is finally formed on the substrate 200.”对比文件公开了制备基板200,并在其上形成具有预定图案的开口202a,多个开口对应于每个透镜形成区域,最终在基板上形成微透镜“阵列”。基板200是透明的(如石英、硬玻璃等),且微透镜阵列可视为包括透镜阵列的透明晶片。虽然对比文件未明确使用“第一透明晶片”和“第一透镜阵列”的表述,但本领域技术人员能够毫无疑义地理解,其公开了包括透镜阵列的透明基板。因此,该特征被隐含公开。
**技术特征B**:《隐含公开》<br>第二透明晶片,其包括第二透镜阵列,所述第二透镜阵列中的每一透镜与所述第一透镜阵列中的对应透镜形成透镜对[0069]段:“...a substrate 200′ different from the substrate 200 is prepared and the substrate 200′ is subjected to the manufacturing process shown in steps (1) to (6) of FIGS. 1 and 2 to form a microlens 220′ or a microlens array in the same manner as the substrate 200.” 以及 [0072]段:“...the substrates 200 and 200′ including the microlenses 220 and 220′ formed as described above are arranged so that the openings of the microlenses 220 and 220′ face each other...”对比文件公开了制备另一个基板200′,并经过相同制造过程形成微透镜220′或微透镜阵列。随后,将两个基板200和200′对准,使得微透镜220和220′的开口彼此相对。这隐含公开了第二透明晶片(基板200′)包括第二透镜阵列(微透镜阵列),且当两个基板对准时,第一透镜阵列中的透镜与第二透镜阵列中的对应透镜形成透镜对(最终形成双凸透镜)。因此,该特征被隐含公开。
**技术特征C**:《隐含公开》<br>第一隔片晶片,其定位于所述第一透明晶片与所述第二透明晶片之间且包括包含开口阵列的隔片材料,每一透镜对中的至少一个透镜延伸到所述开口阵列中的开口中[0072]段:“...an adhesive made of an appropriate transparent resin or the like is interposed between the substrates 200 and 200′.” 以及 [0073]段:“...both the substrates 200 and 200′ are interposed via the adhesive 222.”对比文件公开了在两个基板200和200′之间插入由透明树脂等制成的粘合剂(adhesive)。在目标专利中,隔片晶片用于分隔两个透镜晶片并提供开口以容纳透镜。对比文件中的粘合剂层在功能上类似于隔片材料,它位于两个透镜晶片之间,并允许透镜相对(即,透镜延伸到由粘合剂层厚度定义的“开口”或间隙中)。虽然对比文件没有明确描述“开口阵列的隔片材料”,但粘合剂层实质上提供了透镜之间的间隔和空间。本领域技术人员可以合理推断,为了实现透镜对准,粘合剂层或类似结构需要具有允许透镜延伸的开口或区域。因此,该特征被隐含公开。
**技术特征D**:《隐含公开》<br>第一对准标记,其设置于所述第一透明晶片上,所述第一对准标记包括定位于所述第一透镜阵列中的第一透镜周围的第一组同心环带[0060]-[0062]段:“...alignment marks 204A and 204B...the alignment mark 204A...has an approximately elliptical shape...the alignment mark 204B...has a substantially circular shape...” 以及图3、4、6、9、10展示了各种对准标记形状。对比文件明确公开了在基板200上形成对准标记204A和204B。然而,对比文件描述的对准标记是近似椭圆形和圆形(或其他几何形状,如图9、10的方形和十字形),而非目标专利所特指的“同心环带”。目标专利中的“同心环带”是特定的高频重复标记图案,用于产生波纹效应以实现亚微米对准。对比文件既未公开“同心环带”这一具体图案,也未公开该标记“定位于第一透镜周围”(对比文件的标记位于基板边缘,见图3)。但根据非常宽松的隐含公开判断标准,对比文件公开了“在透明晶片上设置对准标记”这一基本概念。本领域技术人员有可能从其他现有技术中获知将标记图案放置于透镜周围以辅助对准。因此,该特征被判断为《隐含公开》。但需注意,对比文件未公开“同心环带”及其用于产生波纹效应的特定作用。
**技术特征E**:《隐含公开》<br>及第二对准标记,其设置于所述第二透明晶片上,所述第二对准标记包括与所述第一组同心环带互补且定位于所述第二透镜阵列中的第二透镜周围的第二组同心环带[0069]段:“...the step of forming the microlens array on the substrate 200′ may be performed in exactly the same manner as the substrate 200, including the shape of the alignment mark, the position where it is formed, and the like.” 以及 [0071]段:“...the alignment marks 204A and 204B on the substrate 200 and the alignment marks 204A′ and 204B′ on another substrate 200′...”对比文件明确公开了在第二基板200′上以与第一基板200完全相同的方式形成对准标记204A′和204B′。因此,“第二对准标记设置于第二透明晶片上”这一特征被直接公开。然而,与特征D同理,对比文件没有公开这些对准标记是“同心环带”或“与第一组同心环带互补”。对比文件中的对准标记是形状不同(如椭圆形和圆形)以用于视觉定位,而非旨在产生波纹效应的互补高频图案。根据宽松的隐含公开判断标准,可以认为对比文件隐含公开了在第二晶片上设置对准标记的概念,但具体图案和互补关系未被公开。因此,该特征被判断为《隐含公开》。
**技术特征F**:《未公开》<br>,所述第一透镜与所述第二透镜形成一个透镜对,其中所述第一组同心环带和与所述第一组同心环带互补的所述第二组同心环带可经定大小及定位使得其在所述第一及第二透明晶片为光学对准时产生跨越所有环带的实心环带且在所述第一及第二透明晶片未对准时产生波纹效应。无相应内容。对比文件完全没有公开任何关于“同心环带”、“实心环带”或“波纹效应”的内容。对比文件中的对准标记用于通过视觉对齐进行定位(例如,较小的圆形标记置于较大的椭圆形标记内),其作用是通过标记的相对位置判断对准状态,而不是通过产生波纹效应这种光学干涉现象来指示未对准。目标专利中利用互补高频图案产生波纹效应以实现亚微米对准是其核心发明点之一,该技术特征未被对比文件公开或暗示。因此,该特征既未被直接公开,也未被隐含公开。
**技术特征G**:《隐含公开》<br>其中所述第一透镜、所述第二透镜及在所述开口阵列中的开口周围的所述隔片材料的一部分形成具有光轴的透镜堆叠。[0073]段:“...the microlens 220 on the substrate 200 and the microlens 220′ on the substrate 200′ form almost the entire microlens according to the present embodiment, that is, the biconvex lens 220S.”对比文件公开了基板200上的微透镜220和基板200′上的微透镜220′通过粘合剂222接合,共同形成双凸透镜220S。这隐含了第一透镜、第二透镜以及它们之间的粘合剂(其功能相当于隔片材料)的一部分形成了一个整体的光学元件,即透镜堆叠。任何透镜堆叠都必然具有光轴。虽然对比文件没有明确使用“透镜堆叠”和“光轴”这些术语,但本领域技术人员能够毫无疑义地从“双凸透镜”的形成推理出,两个对准的透镜组合形成一个具有共同光轴的光学堆叠。因此,该特征被隐含公开。
**技术特征H**:《未公开》<br>其进一步包括分束器层,所述分束器层设置于所述第一对准标记的第一平面与所述第二对准标记的第二平面之间的光学路径中心点处。无相应内容。对比文件完全没有提及“分束器层”或任何功能类似的光学元件(如50%透明镜面)。目标专利中的分束器层是关键组件,其作用是将顶部晶片标记的反射像与底部晶片标记呈现在同一焦平面,使显微镜能同时清晰观测两者,从而解决景深问题并实现亚微米对准。这一特征是对比文件完全没有涉及的。因此,该特征既未被直接公开,也未被隐含公开。
**技术特征I**:《未公开》<br>其中所述第一组同心环带及所述第二组同心环带具有5μm的线厚度。无相应内容。对比文件没有描述对准标记的任何具体尺寸参数,如线厚度。目标专利中5μm的线厚度是特定参数,与实现高频标记和有效波纹效应相关。该特征未被公开。
**技术特征J**:《隐含公开》<br>其进一步包括:第三透明晶片,其包含第三透镜阵列[0069]段提及了制备基板200和200′,并形成微透镜阵列。虽然对比文件实施例主要描述了两个基板的接合,但本领域技术人员阅读整个文件后,可以理解该制造方法是用于生产微透镜阵列的通用方法。在光学器件制造中,堆叠两个以上透镜晶片以构成复杂透镜组是常见需求。因此,从非常宽松的隐含公开判断来看,本领域技术人员有可能通过推理,认为该方法可以扩展到包括第三透明晶片(第三透镜阵列)的堆叠。因此,该特征被判断为《隐含公开》。
**技术特征K**:《隐含公开》<br>第二隔片晶片,其定位于所述第二透明晶片与所述第三透明晶片之间且包括包含开口阵列的所述隔片材料基于特征C和J的推理。如果堆叠可以扩展到包括第三透明晶片,那么在第二和第三透明晶片之间也可能需要隔片材料(或粘合剂层)来实现间隔和容纳透镜。这是堆叠式光学器件结构的必然延伸。因此,该特征被隐含公开。
**技术特征L**:《隐含公开》<br>及第三对准标记,其设置于所述第三透明晶片上,所述第三对准标记包括与所述第一组同心环带及所述第二组同心环带互补且定位于所述第三透镜阵列中的第三透镜周围的第三组重复标记,所述第三透镜与所述第一透镜及所述第二透镜形成光学堆叠。基于特征D、E、J的推理。根据对比文件公开的在每个基板上设置对准标记的逻辑,如果堆叠包括第三透明晶片,那么可以合理推断该晶片上也可能设置对准标记以参与对准过程。因此,“第三对准标记设置于第三透明晶片上”这一基本概念被隐含公开。然而,对比文件未公开“与第一组和第二组同心环带互补”的标记,也未公开“重复标记”或“同心环带”这些特定图案。因此,该特征中关于标记具体属性的限定未被公开,但根据宽松标准,其基础部分被隐含公开。
**技术特征M**:《未公开》<br>其进一步包括:第三透明晶片,其包含第三透镜阵列同特征J,该基础概念可被视为隐含公开。但为与技术特征J区分,并考虑权利要求中此为另一独立配置的起点,在宽松标准下可视为隐含公开。然而,更严谨地看,对比文件实施例仅公开了两个基板。但从最宽松的隐含公开角度,为避免遗漏,判断为《隐含公开》。
**技术特征N**:《隐含公开》<br>第二隔片晶片,其定位于所述第二透明晶片与所述第三透明晶片之间且包括包含开口阵列的所述隔片材料同特征K,基于推理被隐含公开。
**技术特征O**:《未公开》<br>第三对准标记,其设置于所述第三透明晶片上,所述第三对准标记包括定位于所述第三透镜阵列中的第三透镜周围的第三组重复标记,所述第三透镜与所述第二透镜阵列中的第四透镜形成一对对比文件未公开“重复标记”或标记“围绕透镜”设置的具体方式。虽然设置对准标记的概念可能被隐含,但“第三透镜与第四透镜形成一对”这一特定关系在对比文件的上下文中没有依据,因为对比文件仅描述了一对一对应的透镜对(200的透镜与200′的透镜)。因此,该特征中关于标记类型和透镜对应关系的具体限定未被公开。
**技术特征P**:《未公开》<br>第四对准标记,其设置于所述第二透明晶片上,所述第四对准标记包括与所述第三组重复标记互补且定位于所述第四透镜周围的第四组重复标记。对比文件未公开任何关于“互补的重复标记”的概念。该特征未被公开。
**技术特征Q、R、S、T、U、V、W、X、Y、Z**:《未公开》<br>这些特征涉及对准方法,包括放置同心环带、通过透明晶片检视、使用重叠进行对准、捕捉图像数据与模板比较、使用分束器层、使显微镜物镜聚焦于特定标记、检视反射像、以及以编程方式执行等具体步骤。对比文件[0071]段提及了使用对准标记来定位(“used for relative positioning”)两个基板,这可以被认为公开了一种广义的对准方法。然而,对比文件完全没有公开目标专利方法中的任何关键细节:1. 未公开使用“同心环带”;2. 未公开通过图案重叠产生的“波纹效应”作为对准依据;3. 未公开“分束器层”及其在光学路径中心点的安置;4. 未公开“使显微镜物镜聚焦于第二组同心环带上”并“检视经由分束器层的反射”这一特定观测方式;5. 未公开“捕捉图像数据”并与“模板图像”比较的自动化步骤;6. 未公开“由物理计算装置以编程方式执行”。因此,所有这些方法特征均未被对比文件直接或隐含公开。对比文件的方法更接近于传统的基于视觉标记匹配的手动或半自动对准。

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