2001-07-12_KR1020010067448A_发明公开_KR1020010067448A 반도체 장치의 구리 상호 접속을 위한 와이어 본딩 방법 및 반도체 장치_+++C_D_E_F_G_H_I_a_j+++.docx

对比文件:2001-07-12_KR1020010067448A_发明公开_KR1020010067448A 반도체 장치의 구리 상호 접속을 위한 와이어 본딩 방법 및 반도체 장치

目标专利:1295利用导体接触器件CN102150294B

本次调用的模型名称:DeepSeek

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断结果对比文件原文引用(翻译成中文)公开性论述
技术特征A:该器件(1)包括具有至少一个单元(3)、接触区(4)和封装(5)的衬底(2)《隐含公开》段落[31]:“基板(52)可以是其中形成有器件的半导体基板。Ta钝化层(54)沉积在基板(52)上并封装铜互连。”对比文件明确公开了衬底(基板)、接触区(铜互连)和封装(Ta钝化层),并提及基板中形成有器件(“장치들”),本领域技术人员可以合理推断这些器件构成至少一个单元,因此该特征被隐含公开。
技术特征B:所述封装包括薄膜并且该薄膜包含氮化硅、碳化硅或氧化铝《未公开》段落[24]:“在本发明的具体实施例中,钽(Ta)被用于封装铜互连材料。”对比文件中的封装材料为钽(Ta),而非氮化硅、碳化硅或氧化铝,且未暗示或公开这些材料,因此该特征未被公开。
技术特征C:其中所述封装(5)封装至少接触区(4)《直接公开》段落[31]:“Ta钝化层(54)沉积在基板(52)上并封装铜互连。”对比文件直接记载了钝化层(封装)封装了铜互连(接触区),公开了该特征。
技术特征D:将导体(6)设置在封装(5)上《直接公开》段落[25]:“Al线(30)楔焊到Ta层上。”对比文件中,铝线(导体)通过楔焊的方式设置在Ta层(封装)上,公开了该特征。
技术特征E:在不事先移除导体(6)与接触区(4)之间的封装(5)的情况下将导体(6)与接触区(4)互连《直接公开》段落[23]:“形成钝化层以封装互连材料,使得线材与钝化层而非互连材料键合。……提供可靠的机械和电互连。”对比文件明确在不事先移除钝化层(封装)的情况下,将铝线(导体)键合到钝化层上,并通过钝化层实现与铜互连(接触区)的电互连,公开了该特征。
技术特征F:其中将导体(6)与接触区(4)互连包括超声焊接《直接公开》段落[25]:“楔焊(36)在负载或超声激励下形成。”对比文件明确指出互连过程采用超声激励(超声焊接),公开了该特征。
技术特征G:其中所述导体(6)包括金属线《直接公开》段落[25]:“Al线(30)……”对比文件中的导体为铝线,属于金属线,公开了该特征。
技术特征H:其中所述金属线是扁平的和/或包含铜、铝或银《直接公开》段落[25]:“Al线(30)……”对比文件中的铝线包含铝,满足“包含铝”的条件,且该特征为选择性特征(和/或),因此公开了“包含铝”的部分,从而公开了该特征。
技术特征I:其中所述接触区(4)用作用于所述单元(3)的电极《直接公开》段落[31]:“利用金属(例如铜)互连作为焊盘,焊盘(50)形成在基板(52)上。”对比文件中的铜互连作为焊盘,用于提供电连接,即用作电极,公开了该特征。
技术特征J:其中所述封装(5)封装至少所述接触区(4)和所述至少一个单元(3)《隐含公开》段落[31]:“基板(52)可以是其中形成有器件的半导体基板。Ta钝化层(54)沉积在基板(52)上并封装铜互连。”对比文件公开了钝化层封装铜互连,且钝化层沉积在基板表面,基板中形成有器件(单元),本领域技术人员可以合理推断钝化层也封装了这些单元,因此该特征被隐含公开。
技术特征K:其中所述超声焊接工作于≥10kHz与≤80kHz之间《未公开》对比文件全文未涉及超声焊接频率的数值范围。对比文件未记载任何关于超声焊接频率的信息,因此该特征未被公开。
技术特征L:其中所述超声焊接工作于≥30kHz与≤40kHz之间《未公开》对比文件全文未涉及超声焊接频率的数值范围。对比文件未记载任何关于超声焊接频率的信息,因此该特征未被公开。
技术特征M:其中所述超声焊接工作于35kHz《未公开》对比文件全文未涉及超声焊接频率的数值范围。对比文件未记载任何关于超声焊接频率的信息,因此该特征未被公开。
技术特征N:一种能够通过根据权利要求1-9中任一项的方法得到的OLED(1)《未公开》对比文件涉及半导体装置,未提及OLED。对比文件不涉及OLED器件,也未公开任何通过该方法获得OLED的技术内容,因此该特征未被公开。

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