2001-12-21_TW469592B_发明专利_TW469592B 半導體裝置中銅內連線之引線接合方法_+++C_D_E_F_G_H_I_a+++.docx

对比文件名称:2001-12-21_TW469592B_发明专利_TW469592B 半導體裝置中銅內連線之引線接合方法

目标专利名称:1295利用导体接触器件CN102150294B

本次调用的模型名称:AI模型

技术特征描述及公开性判断结果对比文件原文引用公开性论述
技术特征A:该器件(1)包括具有至少一个单元(3)、接触区(4)和封装(5)的衬底(2)《隐含公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“在半導體基底上形成一鈍化層用以封住由內連材料所製成的接墊”以及“基底52包括其上成形有裝置的半導體基底”。对比文件公开了半导体基底(衬底)、铜内连(接触区)和钝化层(封装),但未明确提及“单元”。然而,本领域技术人员公知半导体基底上通常形成有多个有源器件(晶体管等)作为单元,且对比文件提及“裝置”,可以合理推断出基底上具有至少一个单元,因此隐含公开。
技术特征B:所述封装包括薄膜并且该薄膜包含氮化硅、碳化硅或氧化铝《未公开》无。对比文件中的封装材料为钽,未涉及氮化硅、碳化硅或氧化铝,本领域技术人员也无法从对比文件合理推断出这些材料,因此未公开。
技术特征C:其中所述封装(5)封装至少接触区(4)《直接公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“鈍化層32覆於基底34的表面,包封住銅內連31”。对比文件明确公开了钝化层(封装)包封住铜内连(接触区),作用与目标专利相同,均为保护接触区,因此直接公开。
技术特征D:将导体(6)设置在封装(5)上《直接公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“此楔形接合製程中使用的引線30是鋁線”以及图3(a)显示铝线设置于钝化层上,并在“在負荷或超音波的激勵下,鋁線30與基底34間形成楔形接合36”。对比文件公开了将铝线(导体)设置在钝化层(封装)上,然后进行焊接,因此直接公开。
技术特征E:在不事先移除导体(6)与接触区(4)之间的封装(5)的情况下将导体(6)与接触区(4)互连《直接公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“楔形接合36不是直接成形在銅內連31的表面。反之,楔形接合36是成形在包封住銅內連31的鉭鈍化層32中”。对比文件公开了导体(铝线)与接触区(铜内连)之间的钝化层未被移除,而是直接通过超声焊接在钝化层上形成接合,从而实现电连接,作用与目标专利相同,因此直接公开。
技术特征F:其中将导体(6)与接触区(4)互连包括超声焊接《直接公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“在負荷或超音波的激勵下,鋁線30與基底34間形成楔形接合36”。对比文件明确使用超音波(超声)焊接进行楔形接合,因此直接公开。
技术特征G:其中所述导体(6)包括金属线《直接公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“此楔形接合製程中使用的引線30是鋁線”。对比文件公开了导体为铝线,属于金属线,因此直接公开。
技术特征H:其中所述金属线是扁平的和/或包含铜、铝或银《直接公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“此楔形接合製程中使用的引線30是鋁線”。对比文件公开了金属线包含铝(铝线),满足“包含铝”的选项,因此直接公开。
技术特征I:其中所述接触区(4)用作用于所述单元(3)的电极《直接公开》对比文件“发明详细说明”部分记载:“銅內連31”作为接垫,用于连接半导体装置。对比文件中的铜内连(接触区)用作连接半导体装置(单元)的电极,提供电连接,作用与目标专利相同,因此直接公开。
技术特征J:其中所述封装(5)封装至少所述接触区(4)和所述至少一个单元(3)《未公开》无。对比文件仅明确公开钝化层包封住铜内连(接触区),未提及封装单元,本领域技术人员不能合理推断出封装也覆盖单元,因此未公开。
技术特征K:其中所述超声焊接工作于≥10kHz与≤80kHz之间《未公开》无。对比文件未公开超声焊接的具体频率,本领域技术人员无法从中推断出该频率范围,因此未公开。
技术特征L:其中所述超声焊接工作于≥30kHz与≤40kHz之间《未公开》无。同特征K,未公开。
技术特征M:其中所述超声焊接工作于35kHz《未公开》无。同特征K,未公开。
技术特征N:一种能够通过根据权利要求1-9中任一项的方法得到的OLED(1)《未公开》无。对比文件涉及半导体装置,未涉及OLED,且方法不同,因此未公开。

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