对比文件名称:2005-02-17_US2005035466A_发明申请_US20050035466A1 Wire bonding method for copper interconnects in semiconductor devices
目标专利名称:1295利用导体接触器件CN102150294B
本次调用的模型名称:GPT-4o
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断结果 | 对比文件原文引用(中文翻译) | 公开性论述 |
| 特征A:该器件(1)包括具有至少一个单元(3)、接触区(4)和封装(5)的衬底(2)《直接公开》 | 段落[0031]:“衬底52可以包括其中形成有器件的半导体衬底。焊盘50使用金属(例如铜)互连作为焊盘形成在衬底52上。然后将Ta的钝化层54沉积在衬底52上,封装铜互连。” | 对比文件公开了衬底(Substrate 52)、器件(devices,相当于单元)、接触区(Cu interconnect/bonding pad)以及封装(passivation layer),因此直接公开了技术特征A。 |
| 特征B:所述封装包括薄膜并且该薄膜包含氮化硅、碳化硅或氧化铝(未公开) | 段落[0024]:“钽(Ta)被用于封装铜互连材料。” | 对比文件使用的封装材料是钽,而非氮化硅、碳化硅或氧化铝,且未暗示这些材料,因此未公开技术特征B。 |
| 特征C:其中所述封装(5)封装至少接触区(4)《直接公开》 | 段落[0024]:“然后将Ta层沉积在衬底上,图案化并蚀刻以封装铜焊盘。” | 对比文件明确公开了钝化层(封装)封装铜焊盘(接触区),因此直接公开技术特征C。 |
| 特征D:将导体(6)设置在封装(5)上《直接公开》 | 段落[0025]:“如图3(a)所示,该楔形键合过程中使用的导线30是铝线。... 钝化层32覆盖在衬底34的表面上,封装铜互连31。” | 对比文件公开了将铝线(导体)设置在钝化层(封装)上,并进行键合,因此直接公开技术特征D。 |
| 特征E:在不事先移除导体(6)与接触区(4)之间的封装(5)的情况下将导体(6)与接触区(4)互连《直接公开》 | 段落[0023]:“导线与钝化层键合,而不是与互连材料键合。... 在半导体器件(互连材料)和导线之间提供了可靠的机械和电连接,钝化层设置于其间。” | 对比文件公开了导线直接键合到钝化层上,通过钝化层与接触区实现电连接,而不事先移除钝化层,因此直接公开技术特征E。 |
| 特征F:其中将导体(6)与接触区(4)互连包括超声焊接《直接公开》 | 段落[0025]:“在负载或超声激励下形成铝线和衬底34之间的楔形键合36。” | 对比文件公开了使用超声激励(超声焊接)形成键合,因此直接公开技术特征F。 |
| 特征G:其中所述导体(6)包括金属线《直接公开》 | 段落[0025]:“该楔形键合过程中使用的导线30是铝线。” | 对比文件公开了导体为铝线,属于金属线,因此直接公开技术特征G。 |
| 特征H:其中所述金属线是扁平的和/或包含铜、铝或银《直接公开》 | 段落[0025]:“该楔形键合过程中使用的导线30是铝线。” | 对比文件公开了导体包含铝,满足“包含铝”的条件,因此直接公开技术特征H(由于“和/或”关系,只要满足其中之一即公开)。对比文件未公开扁平形状,但不影响公开性。 |
| 特征I:其中所述接触区(4)用作用于所述单元(3)的电极《直接公开》 | 段落[0031]:“焊盘50使用金属(例如铜)互连作为焊盘形成在衬底52上。” | 对比文件中的焊盘(接触区)用于提供电连接,本领域技术人员可以理解其作为电极的功能,因此直接公开技术特征I。 |
| 特征J:其中所述封装(5)封装至少所述接触区(4)和所述至少一个单元(3)(未公开) | 段落[0024]:“然后将Ta层沉积在衬底上,图案化并蚀刻以封装铜焊盘。” 段落[0025]:“钝化层32覆盖在衬底34的表面上,封装铜互连31。” | 对比文件仅明确公开了钝化层封装接触区(铜焊盘/互连),未明确公开封装单元(器件)。虽然钝化层覆盖衬底表面,但图案化后可能仅覆盖焊盘区域,且未提及封装器件,因此不能直接或隐含公开技术特征J。 |
| 特征K:其中所述超声焊接工作于≥10kHz与≤80kHz之间(未公开) | 对比文件未提及超声焊接的频率。 | 对比文件未公开任何超声焊接的频率数值或范围,因此未公开技术特征K。 |
| 特征L:其中所述超声焊接工作于≥30kHz与≤40kHz之间(未公开) | 对比文件未提及超声焊接的频率。 | 对比文件未公开任何超声焊接的频率数值或范围,因此未公开技术特征L。 |
| 特征M:其中所述超声焊接工作于35kHz(未公开) | 对比文件未提及超声焊接的频率。 | 对比文件未公开任何超声焊接的频率数值或范围,因此未公开技术特征M。 |
| 特征N:一种能够通过根据权利要求1-9中任一项的方法得到的OLED(1)(未公开) | 对比文件涉及半导体器件,未涉及OLED。 | 对比文件未公开任何关于OLED的内容,因此未公开技术特征N。 |
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