对比文件名称：2004-11-24_EP1480093A_发明公开_EP1480093A1 Control system, lithographic apparatus, device manufacturing method and device manufactured thereby
目标专利名称：1367获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法CN101059658B
本次调用的模型名称：未指定
### 特征比对表
| 技术特征描述及公开性判断 | 对比文件原文引用（中文翻译） | 公开性论述 |
| 技术特征A：从而通过设定点分布轮廓移动一个部件《隐含公开》 | 对比文件[0007]：“运动控制器基于期望位置、速度和加速度控制运动。运动控制器产生期望电流或电压提供给执行器，使得获得期望位置、速度和加速度。” [0040]：“运动控制器计算设定点电流Is，使用期望位置、速度和加速度以及测量位置。” | 对比文件公开了基于期望位置（设定点）移动部件，虽然未明确使用“设定点分布轮廓”一词，但期望位置随时间变化构成轮廓，本领域技术人员可合理推断出通过设定点分布轮廓移动部件，因此隐含公开。 |
| 技术特征B：所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态《隐含公开》 | 对比文件[0007]：“运动控制器基于期望位置、速度和加速度控制运动。” | 对比文件公开了期望位置、速度和加速度，这些是多个目标状态，隐含了设定点分布轮廓包含这些状态，因此隐含公开。 |
| 技术特征C：每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的《隐含公开》 | 对比文件[0007]：运动控制基于期望位置、速度和加速度，这些是随时间变化的。 | 对比文件虽未明确时间序列，但期望位置、速度、加速度必然随时间变化，每个时刻对应一个目标状态，本领域技术人员可合理推断出每个目标状态在对应目标时间获得，因此隐含公开。 |
| 技术特征D：所述的方法包括按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件《隐含公开》 | 对比文件[0010]：“通过将速度和加速度前馈控制添加到期望电流Is的计算中，系统性能得到改善。计算器32和28分别进行加速度前馈计算和速度前馈计算。” [0014]：“通过添加前馈值到控制器输出，提高精度和速度。” [0040]：“运动控制器计算设定点电流Is，使用期望位置、速度和加速度以及测量位置。” | 对比文件公开了前馈控制系统，并使用了前馈数据（计算出的前馈值）来移动部件，虽然前馈数据是实时计算而非预先存储，但本领域技术人员可合理推断出使用前馈数据（第一组）进行前馈控制，因此隐含公开。 |
| 技术特征E：在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态《隐含公开》 | 对比文件[0010]：“PID控制器24具有输入测量位置p和来自设定点发生器的位置ps之间的误差。” | 对比文件公开了测量位置（部件状态），且移动期间持续测量，隐含了多个时间测量，因此隐含公开。 |
| 技术特征F：比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态，以获得一组误差《隐含公开》 | 对比文件[0010]：“PID控制器24具有输入测量位置p和来自设定点发生器的位置ps之间的误差。” | 对比文件公开了比较测量位置与期望位置获得误差，误差随时间连续，可视为一组误差，因此隐含公开。 |
| 技术特征G：用非线性滤波器滤波所述这组误差《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未提及任何滤波器，更未提及非线性滤波器，因此未公开。 |
| 技术特征H：根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件的前馈数据基于模型计算，不基于误差滤波，因此未公开。 |
| 技术特征I：所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开改进的前馈数据，其前馈数据是固定的模型计算值，未涉及改进，因此未公开。 |
| 技术特征J：所述方法进一步包括使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e)《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开迭代学习过程，因此未公开。 |
| 技术特征K：直到确定在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开阈值条件判断，因此未公开。 |
| 技术特征L：输出满足阈值条件的改进的前馈数据《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开输出改进的前馈数据，因此未公开。 |
| 技术特征M：其中所述的滤波取决于所述这组误差的幅度《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开幅度依赖滤波，因此未公开。 |
| 技术特征N：其中所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征O：其中所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征P：对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征Q：其中在移动期间测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开测量时间与目标时间的对应关系，因此未公开。 |
| 技术特征R：其中所述目标状态包括以下所述的至少一个：所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度《直接公开》 | 对比文件[0007]：“运动控制器基于期望位置、速度和加速度控制运动。” [0010]：“计算器32和28分别进行加速度前馈计算和速度前馈计算，使用期望加速度as和速度vs。” [0019]-[0020]明确使用期望速度、加速度。 | 对比文件明确公开了目标状态包括期望位置、速度、加速度，因此直接公开。 |
| 技术特征S：其中对于所述滤波器进行配置《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开滤波器配置，因此未公开。 |
| 技术特征T：使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征U：其中所述的这组误差由数据点ey(i)的一个阵列表示《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开误差阵列表示，因此未公开。 |
| 技术特征V：其中0≤i≤n《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征W：n是组中的采样数《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征X：所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(ey(i))表示《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征Y：步骤(d)对应于Φ(ey(i))和ey(i)的乘积《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
| 技术特征Z：其中所述的Φ(ey(i))的定义如下：...《未公开》 | 对比文件无相关内容。 | 对比文件未公开，因此未公开。 |
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