对比文件名称：2004-12-02_US2004238758A_发明申请_US20040238758A1 Control system, lithographic apparatus, device manufacturing method, and device manufactured thereby
目标专利名称：1367获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法CN101059658B
本次调用的模型名称：通用大语言模型
### 特征比对表格
| 技术特征描述及公开性判断 | 对比文件原文引用（中文翻译） | 公开性论述 |
| **技术特征A**：从而通过设定点分布轮廓移动一个部件 **《直接公开》** | 段落[0011]：“During manufacture it is necessary to move the substrate into the correct position ... Typically movement is controlled by a motion controller based on desired position, velocity and acceleration.”（在制造过程中，需要将衬底移动到正确位置……通常运动由基于期望位置、速度和加速度的运动控制器控制。）<br>段落[0054]：“The motion controller MC calculates the setpoint current Is using the desired position, velocity and acceleration of the wafer table WT and the measured position.”（运动控制器MC使用衬底台WT的期望位置、速度和加速度以及测量位置来计算设定点电流Is。） | 对比文件明确公开了通过设定点（期望位置、速度、加速度）来控制移动部件（衬底台或掩模台），即通过设定点分布轮廓移动部件。因此直接公开。 |
| **技术特征B**：所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态 **《直接公开》** | 段落[0011]：“...based on desired position, velocity and acceleration.”（基于期望位置、速度和加速度。）<br>段落[0056]：“The setpoint generator SG provides the desired velocity, acceleration and jerk.”（设定点生成器SG提供期望速度、加速度和加加速度。） | 对比文件公开了设定点生成器提供期望位置、速度、加速度、加加速度等多个目标状态，因此设定点分布轮廓包括多个目标状态。直接公开。 |
| **技术特征C**：每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的 **《隐含公开》** | 段落[0050]-[0051]描述了步进模式和扫描模式，其中运动随时间变化，设定点随时间更新。段落[0056]提到setpoint generator根据运动需求提供desired values，这些值必然随时间序列变化。 | 虽然对比文件未明确表述“对应序列的目标时间”，但本领域技术人员能够理解，设定点分布轮廓中目标状态（如位置、速度）是随时间变化的，每个目标状态对应于特定的时间点。因此隐含公开。 |
| **技术特征D**：所述的方法包括按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件 **《直接公开》** | 段落[0014]：“...adding velocity and acceleration feedforward control into the calculation of the desired current Is in the controller 4.”（在控制器4中向期望电流Is的计算加入速度和加速度前馈控制。）<br>段落[0055]：“A feedforward voltage Uff is also calculated by the motion controller MC and is added to the output of the amplifier 6 by a mixer.”（运动控制器MC还计算前馈电压Uff，并通过混合器将其加到放大器6的输出上。）<br>段落[0056]-[0062]详细描述了速度、加速度、加加速度前馈值的计算。 | 对比文件明确公开了使用前馈数据（feedforward values）并通过前馈控制系统（将前馈值加入控制信号）来移动部件，因此直接公开。 |
| **技术特征E**：在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态 **《直接公开》** | 段落[0054]：“The current meter 12 measures the present value Im of the current through the actuator 10.”（电流表12测量通过执行器10的电流的当前值Im。）<br>段落[0048]提到干涉测量装置IF测量位置。控制系统中通常以固定时间间隔进行测量，形成多个时间点。 | 对比文件公开了测量电流（状态），并且通常控制系统中测量是连续或离散时间点进行的，因此直接公开在多个时间测量状态。 |
| **技术特征F**：比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态，以获得一组误差 **《直接公开》** | 段落[0054]：“The present value Im is then subtracted from the setpoint current Is by a mixer 2 to give an error value.”（然后通过混合器2从设定点电流Is中减去当前值Im，得到误差值。）<br>段落[0014]：“A PID controller 24 has an input of the error between the measured position p and a desired position ps from a setpoint generator.”（PID控制器24的输入是测量位置p与来自设定点生成器的期望位置ps之间的误差。） | 对比文件公开了将测量值（电流或位置）与设定点值比较得到误差信号，因此直接公开。 |
| **技术特征G**：用非线性滤波器滤波所述这组误差 **《未公开》** | 对比文件全文未提及非线性滤波器。 | 对比文件未公开任何形式的非线性滤波器，因此既未直接公开也未隐含公开。 |
| **技术特征H**：根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据 **《未公开》** | 对比文件未公开对误差进行滤波，也未公开基于滤波误差产生前馈数据。 | 对比文件的前馈数据是基于系统模型和设定点直接计算得到，而非基于滤波误差，因此未公开。 |
| **技术特征I**：所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件 **《未公开》** | 对比文件未公开改进的前馈数据（指迭代学习得到的）。 | 对比文件的前馈数据是固定的基于模型，没有迭代改进过程，因此未公开。 |
| **技术特征J**：所述方法进一步包括使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e) **《未公开》** | 对比文件未公开迭代更新前馈数据。 | 对比文件没有迭代学习过程，因此未公开。 |
| **技术特征K**：直到确定在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止 **《未公开》** | 对比文件未公开阈值条件。 | 对比文件没有迭代停止条件，因此未公开。 |
| **技术特征L**：输出满足阈值条件的改进的前馈数据 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征M**：其中所述的滤波取决于所述这组误差的幅度 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征N**：其中所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征O**：其中所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征P**：对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征Q**：其中在移动期间测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组 **《隐含公开》** | 段落[0054]描述电流测量是连续的，而设定点电流Is随时间变化。通常控制系统中，测量时间点与设定点更新时间点对应。段落[0050]-[0051]描述步进和扫描模式中，目标位置随时间变化，测量位置也同步进行。 | 虽然对比文件未明确表述该对应关系，但本领域技术人员可以合理推断，在实时控制系统中，测量状态的时间点与设定点分布轮廓的目标时间点是对应的（至少部分对应），因此隐含公开。 |
| **技术特征R**：其中所述目标状态包括以下所述的至少一个：所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度 **《直接公开》** | 段落[0011]：“...based on desired position, velocity and acceleration.”（基于期望位置、速度和加速度。）<br>段落[0056]：“The setpoint generator SG provides the desired velocity, acceleration and jerk.”（设定点生成器SG提供期望速度、加速度和加加速度。） | 对比文件明确公开了目标位置、目标速度、目标加速度作为目标状态，因此直接公开。 |
| **技术特征S**：其中对于所述滤波器进行配置 **《未公开》** | 对比文件未公开滤波器，因此无。 | 无。 |
| **技术特征T**：使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征U**：其中所述的这组误差由数据点ey(i)的一个阵列表示 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征V**：其中0≤i≤n **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征W**：n是组中的采样数 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征X**：所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(ey(i))表示 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征Y**：步骤(d)对应于Φ(ey(i))和ey(i)的乘积 **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
| **技术特征Z**：其中所述的Φ(ey(i))的定义如下：... **《未公开》** | 对比文件未公开。 | 无。 |
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