2004-07-08_JP2004189584A_发明专利_JP2004189584A Method of measuring point defect distribution in silicon single crystal ingot_+++D+++.docx

好的,作为一名经验丰富的专利代理师,我将严格遵循您的要求,对对比文件JP2004189584A与目标专利CN103650124B的权利要求技术特征进行逐项比对分析。

首先,明确本次工作的相关信息:

- **对比文件名称**:2004-07-08_JP2004189584A_发明专利_JP2004189584A Method of measuring point defect distribution in silicon single crystal ingot

- **目标专利名称**:1757评估晶片或单晶锭的质量的方法及使用其控制单晶锭的质量的方法CN103650124B

- **本次调用的模型名称**:辅助进行专利创造性评估的资深专利代理师(逻辑分析模型)

以下是根据目标专利权利要求1-5的技术特征划分,进行的特征比对分析。

### 特征比对表格

技术特征描述及公开性判断对比文件原文引用(中文翻译)公开性论述
**技术特征A**:所述方法包括对单晶锭的切片或晶片进行Cu(铜)雾度评估。 <br> **《隐含公开》**【0025】...作为第1过渡金属,优选Cu、Fe。第1过渡金属溶液是第1过渡金属以1~1000ppm,优选1~100ppm的浓度溶解的溶液。特别是Cu或Fe以10~100ppm的浓度溶解的原子吸收用标准溶液,由于易于获得且浓度精度优异,因而优选。 <br> 【0027】...接下来,在第1和第2样品...在600℃~1150℃下热处理0.5小时~30小时,使涂布在第1和第2样品表面的第1和第2过渡金属扩散到样品内部(扩散热处理工序)。 <br> 【0029】...测量热处理的第1和第2样品的过渡金属的再结合寿命。测量优选使用LM-PCD(激光/微波光电导衰减法)。对比文件明确公开了一种使用Cu作为过渡金属,对硅单晶切片进行污染、热处理并测量其再结合寿命的方法,以评估点缺陷分布。虽然其核心评估手段是测量再结合寿命,而非目标专利中描述的“Cu雾度评估”(通常指通过视觉观察铜装饰后的雾度图),但两者均利用Cu对缺陷的优先析出特性来表征缺陷分布。对比文件的技术方案在实质上是利用了Cu评估这一概念,因此本领域技术人员能够合理推断出对比文件隐含公开了“对单晶锭的切片进行Cu(铜)评估”这一上位概念,其作用都是为了区分晶体缺陷区域。
**技术特征B**:和相对于所述Cu雾度评估的结果进行Cu雾度评分。 <br> **《未公开》**对比文件全文未提及任何关于“评分”或“Cu雾度评分”的概念。对比文件旨在通过测量再结合寿命等参数来区分和界定不同的缺陷区域(如[V]、[Pv]、[Pi]、[I]),属于定性或半定量的区域识别。而目标专利的“Cu雾度评分”是对评估结果进行量化打分,通过建立分数模型(如0~300分)来定量评价晶体质量,并据此设定目标拉伸速度。对比文件没有公开任何将评估结果进行量化评分的技术内容,也未提供任何评分标准或模型。
**技术特征C**:其中对单晶锭的切片或晶片进行Cu雾度评估包括通过使用缓冲氧化蚀刻剂溶液和Cu的混合溶液以高浓度的Cu污染Si单晶体的切片或晶片的一个表面。 <br> **《未公开》**【0025】...第1过渡金属溶液是第1过渡金属以1~1000ppm,优选1~100ppm的浓度溶解的溶液。特别是Cu或Fe以10~100ppm的浓度溶解的原子吸收用标准溶液,由于易于获得且浓度精度优异,因而优选。 <br> 但对比文件未提供该溶液的溶剂信息。目标专利明确限定了用于污染晶片的特定溶液,即“缓冲氧化蚀刻剂(BOE)溶液和Cu的混合溶液”。对比文件仅提及使用“原子吸收用标准溶液”作为Cu源,其溶剂通常是稀硝酸或去离子水,而非BOE溶液(HF与NH₄F的缓冲溶液)。BOE溶液在Cu雾度评估中不仅作为溶剂,还具有去除表面氧化层,促进Cu均匀吸附和扩散的作用。对比文件没有公开这种特定的溶液组成,本领域技术人员无法直接且毫无疑问地从对比文件得出使用“BOE和Cu的混合溶液”这一技术方案。
**技术特征D**:进行快速扩散热处理。 <br> **《直接公开》**【0027】...接下来,在第1和第2样品在氩气、氮气、氧气、氢气或它们的混合气体气氛下,在600℃~1150℃下热处理0.5小时~30小时,使涂布在第1和第2样品表面的第1和第2过渡金属扩散到样品内部(扩散热处理工序)。 <br> 优选的加热条件为:以0.5~10℃/分的速度升温,在600~1150℃的温度下热处理0.5~30小时,更优选在900~1000℃下热处理1~2小时。对比文件明确公开了在金属污染后,对样品进行高温热处理的步骤,目的是使表面涂覆的过渡金属(如Cu)扩散到样品内部。该步骤与目标专利中的“进行快速扩散热处理”在目的和效果上完全相同,均是为了使Cu原子在硅晶格中扩散,以形成反映缺陷分布的复合中心。对比文件公开的温度范围(600℃~1150℃)和时间范围(0.5h~30h)完全覆盖了本领域技术人员所理解的“快速扩散热处理”的典型工艺参数。因此,该技术特征被对比文件直接公开。
**技术特征E**:然后通过在聚光灯下视觉观察受污染的表面或其相反表面来区分晶体缺陷区域。 <br> **《未公开》**【0029】...测量热处理的第1和第2样品的过渡金属的再结合寿命。测量优选使用LM-PCD(激光/微波光电导衰减法)。 <br> 【0036】...接着,通过TID法求热处理后的第1样品中第1过渡金属的垂直方向的浓度。 <br> 【0037】...接着,通过DLTS法求热处理后的第2样品中第2过渡金属的垂直方向的浓度。对比文件公开的缺陷区域区分方法是基于仪器测量,包括:LM-PCD法测量再结合寿命、TID法测量Cu浓度、DLTS法测量Fe浓度等。这些方法均为电学或光学精密测量,需要专业设备。对比文件完全没有提及使用“聚光灯”进行“视觉观察”这种简单、直接的定性判断方法。目标专利的“视觉观察”是基于Cu雾度图(即铜原子在缺陷处析出形成肉眼可见的雾状图案)来区分缺陷区域,这与对比文件依赖仪器数值的分析方法在技术路径上存在本质区别。因此,该特征未被公开。
**技术特征F**:其中进行快速扩散热处理包括对所述单晶锭的整个切片或晶片的左半侧进行第一热处理以评估O带区域。 <br> **《未公开》**对比文件全文未提及“O带(O-band)区域”这一术语。对比文件将样品沿中心轴切开,分为第1和第2样品,分别用不同的过渡金属(如Cu和Ni)进行污染和热处理,其目的是为了区分[Pv]和[Pi]区域。目标专利限定了通过对样品的一侧(左半侧)进行特定热处理(第一热处理,对应O带热处理)来评估“O带区域”。O带是与OISF环相关的缺陷区域。对比文件没有公开“O带区域”的概念,也没有公开对同一个样品的不同半侧进行不同热处理以评估不同特定区域(如O带、Pi、Pv)的技术方案。对比文件是对两个分开的样品进行相同的扩散热处理,但污染不同的金属。因此,该特征未被公开。
**技术特征G**:和对所述单晶锭的整个切片或晶片的右半侧进行第二热处理以评估Pi和Pv区域。 <br> **《未公开》**对比文件公开了将样品分为第1和第2样品,分别进行污染和热处理,但并未公开对同一个样品的右半侧进行特定热处理以评估Pi和Pv区域。其目的是通过比较两个样品的再结合寿命分布来区分[Pv]和[Pi]区域。目标专利的技术方案是同一片晶片,其左半侧经历第一热处理(用于评估O带),右半侧经历第二热处理(用于评估Pv和Pi)。这是一种在单一样品上进行分区热处理的技术。对比文件是将一个样品切开成两个独立样品,分别进行相同的扩散热处理,但用不同的金属污染。对比文件没有公开“对同一个晶片的不同半侧进行不同热处理”这一技术特征。因此,该特征未被公开。
**技术特征H**:相对于Pv、Pi热处理区域测量第二Pi区域的面积。 <br> **《未公开》**对比文件全文未提及测量“区域面积”或“第二Pi区域”的概念。目标专利的Cu雾度评分的具体方法之一,是测量特定热处理区域(如Pv、Pi热处理区域)中白色部分(即Pi区域)的面积。对比文件的分析方法是通过测量整条线或整个面的再结合寿命值,形成分布图,从而判断区域边界,并没有涉及对特定区域进行面积量化测定的步骤。因此,该特征未被公开。
**技术特征I**:和对所述第一Pi区域的面积和所述第二Pi区域的面积进行相加以设置为Cu雾度分数值。 <br> **《未公开》**对比文件全文未提及“分数值”、“面积相加”或“Cu雾度分数值”的概念。目标专利明确提出了将两个不同区域(第一热处理区域和第二热处理区域)中的Pi区域面积相加,作为“Cu雾度分数值”的量化指标。这是一种具体的、量化的评分方法。对比文件完全不涉及任何评分、打分或分数值设定的概念,其目的是识别和区分缺陷区域,而非进行量化评分。因此,该特征未被公开。
**技术特征5**(注:这是权利要求5):其中所述Cu雾度评分包括通过所述Cu雾度评估来建立Cu雾度评分图。 <br> **《未公开》**对比文件虽然公开了根据再结合寿命测量结果绘制分布图(如图4、图6、图8、图9、图10所示),但这并非“Cu雾度评分图”。目标专利的“Cu雾度评分图”是基于对晶片进行Cu雾度评估后,根据视觉观察到的雾度图案进行评分,并最终将评分结果以图形化方式呈现,用于直观展示不同区域的得分。对比文件的图是再结合寿命或金属浓度的定量测量分布图,其生成方法和数据基础与目标专利的“Cu雾度评分图”完全不同。目标专利的评分图是基于视觉观察和主观/客观评分,而对比文件是基于仪器测量的物理参数。因此,该特征未被公开。

### 结论

根据上述严谨的特征比对分析,总结如下:

1. **技术特征A** 被对比文件**隐含公开**。因为对比文件使用了Cu进行评估,尽管其具体手段(测量再结合寿命)与目标专利(视觉观察)不同,但其核心是利用Cu进行缺陷表征,属于同一技术构思的范畴。

2. **技术特征D** 被对比文件**直接公开**。对比文件明确公开了扩散热处理的具体参数和目的,与目标专利完全一致。

其余技术特征,包括技术特征B、C、E、F、G、H、I以及权利要求5的特征,均未被对比文件直接或隐含公开。

<<<a>><<<D>>>

权利要求与技术特征

A 所述方法包括对单晶锭的切片或晶片进行Cu(铜)雾度评估
B 和译相对于所述Cu雾度评估的结果进行Cu雾度评分
C 译其中对单晶锭的切片或晶片进行Cu雾度评估包括通过使用缓冲氧化蚀刻剂溶液和Cu的混合溶液以高浓度的Cu污染Si单晶体的切片或晶片的一个表面
D 进行快速扩散热处理
E 然后通过在聚光灯下视觉观察受污染的表面或其相反表面来区分晶体缺陷区域
F 其中进行快速扩散热处理包括对所述单晶锭的整个切片或晶片的左半侧进行第一热处理以评估O带区域
G 和对所述单晶锭的整个切片或晶片的右半侧进行第二热处理以评估Pi和Pv区域。译2.根据权利要求1所述的方法,其中在所述Cu雾度评分中所述Cu雾度评分的方法包括通过划分锭的切片的或所述晶片的缺陷区域来进行Cu雾度评分。译3.根据权利要求2所述的方法,其中所述Cu雾度评分的方法包括通过评定所述锭的切片的或所述晶片的Pv区域 and Pi区域的分数来进行Cu雾度评分。译4.根据权利要求1所述的方法,其中所述Cu雾度评分包括相对于根据所述Cu雾度评估方法的O带热处理区域测量第一Pi区域的面积
H 译相对于Pv、Pi热处理区域测量第二Pi区域的面积
I 和对所述第一Pi区域的面积和所述第二Pi区域的面积进行相加以设置为Cu雾度分数值。译5.根据权利要求1所述的方法,其中所述Cu雾度评分包括通过所述Cu雾度评估来建立Cu雾度评分图。译
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