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对比文件列表
2005-04-07_发明申请_US20050075572A1 Focusing micromachined ultrasonic transducer arrays and related methods of manufacture_+++B_a_c_e_g_l_o_p+++.docx
2026-03-10 19:01
2008-05-29_发明申请_US20080122317A1 MULTI-LAYER TRANSDUCERS WITH ANNULAR CONTACTS_+++B_N_c_d_e_f_g_j_l_m_o_p_q_r_s+++.docx
2026-03-10 19:01
2010-07-01_发明申请_US20100168583A1 ENHANCED ULTRASOUND IMAGING PROBES USING FLEXURE MODE PIEZOELECTRIC TRANSDUCERS_+++B_C_G_O_a+++.docx
2026-03-10 19:01
2012-06-19_发明授权_US08203912B2 CMUTs with a high-k dielectric_+++A_B_E_G_O_f_j+++.docx
2026-03-10 19:01
2012-07-26_发明申请_US20120188849A1 ULTRASONIC SENSOR AND ELECTRONIC DEVICE_+++A_B_C_D_E_F_G_o_p_t+++.docx
2026-03-10 19:01
2012-09-27_发明申请_US20120245408A1 METHODS AND SYSTEMS FOR IMPROVING ACTUATOR PERFORMANCE BY REDUCING TENSILE STRESSES IN PIEZOELECTRIC THIN FILMS_+++B_C_D_F_G_L_O_S_a_e_j_p_r+++.docx
2026-03-10 19:01
2013-05-30_发明申请_US20130134838A1 PIEZOELECTRIC MEMS TRANSFORMER_+++B_C_D_F_G_L_M_N_O_e_p+++.docx
2026-03-10 19:01
2013-07-11_发明专利_JP2013135793A Ultrasonic probe and ultrasonic inspection apparatus_+++A_B_C_D_E_F_G_L_M_N_O_P_R_s+++.docx
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2014-08-21_发明申请_US20140232241A1 PIEZOELECTRIC ARRAY EMPLOYING INTEGRATED MEMS SWITCHES_+++B_C_E_L_M_N_O_a_g_t+++.docx
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2014-12-04_发明申请_US20140354608A1 DEVICES AND METHODS OF SENSING_+++C_D_E_F_a_b_g+++.docx
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2016-04-21_发明申请_US20160107194A1 THREE-PORT PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T+++.docx
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2016-04-21_发明申请_WO2016061406A1 SUPERPIXEL ARRAY OF PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCERS FOR 2-D BEAMFORMING_+++A_B_C_D_E_G_H_I_f_l_m_o+++.docx
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2016-04-21_发明申请_WO2016061410A1 THREE-PORT PIEZOELECTRIC ULTRASONIC TRANSDUCER_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T+++.docx
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2017-04-20_发明申请_US20170110504A1 INTEGRATED PIEZOELECTRIC MICROMECHANICAL ULTRASONIC TRANSDUCER PIXEL AND ARRAY_+++A_B_C_D_F_G_H_I_J_L_M_N_O_P_b_e_k_q_r_s+++.docx
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2017-04-20_发明申请_WO2017066612A1 INTEGRATED PIEZOELECTRIC MICROMECHANICAL ULTRASONIC TRANSDUCER PIXEL AND ARRAY_+++A_B_C_D_G_H_I_L_M_N_e_f_j_o_p_r_s+++.docx
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2018-06-08_发明公开_CN108140115A 集成的压电微机械超声换能器像素和阵列_+++A_B_C_D_E_G_H_I_J_L_M_N_O_f_p_r_s+++.docx
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2018-06-18_发明公开_KR20180066096A 통합된 압전 마이크로기계식 초음파 트랜스듀서 픽셀 및 어레이_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_L_M_N_O_P_Q_R_S+++.docx
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2018-06-19_发明授权_US10001552B2 Three-port piezoelectric ultrasonic transducer_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T+++.docx
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EP3362943A1_Description_20260304_2047_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_L_M_N_P_k_o+++.docx
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WO2016061410A1_Description_20260304_2047_+++A_B_C_D_F_G_I_J_K_L_M_N_O_P_Q_R_S_T_e_h+++.docx
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EP3362943A1_Description_20260304_2047_+++A_B_C_D_E_F_G_H_I_J_L_M_N_P_k_o+++.docx

本次调用的模型名称:GPT-4。

对比文件的名称:EP3362943A1_Description_20260304_2047

目标专利的名称:217三端口压电超声换能器CN107107114B

### 特征比对表格

技术特征描述以及公开性判断结果对比文件原文引用公开性论述
**技术特征A**:在第一时间段期间,响应于来自收发器电路的信号,借助于压电微机械超声换能器PMUT的第一电极发射第一超声信号,<br>**《直接公开》**第0091段:“During the transmit mode, ultrasonic signals may be emitted by the PMUT 900 as a result of excitation signals provided by way of the Tx drive electrode to the transmit electrode 913.”<br>图9B的时序图显示了“Transmit Mode”。对比文件明确描述了在发射模式(即第一时间段)期间,通过Tx驱动电极向发射电极913提供激励信号,从而使PMUT 900发射超声信号。这直接公开了在第一时间段借助第一电极(发射电极913)发射超声信号的技术特征。
**技术特征B**:所述PMUT包含安置于腔上方的膜片,<br>**《直接公开》**第0047段:“a piezoelectric ultrasonic transducer 100 may be configured such that it includes a piezoelectric layer stack 110 and a mechanical layer 130 disposed so as to form a diaphragm (which may be referred to hereinbelow as a “PMUT diaphragm” or “deformable diaphragm”) supported by an anchor structure 170 over a cavity 120.”<br>图1A展示了该结构。对比文件明确公开了PMUT包含由锚定结构支撑在腔120上方的膜片(或可变形膜片)。该技术特征被直接公开。
**技术特征C**:所述膜片包含压电层堆叠,<br>**《直接公开》**第0047段:“The piezoelectric layer stack 110 includes a piezoelectric layer 115...”对比文件明确指出膜片包含压电层堆叠110。该技术特征被直接公开。
**技术特征D**:所述压电层堆叠包含压电层、所述第一电极和第二电极,<br>**《直接公开》**第0087段及图9A:“PMUT 900 includes a reference (lower) electrode 912... An inner (upper) electrode 913 is disposed above the piezoelectric layer 915... one or more outer (upper) electrodes 914 are also disposed above the piezoelectric layer 915.”<br>第0087段进一步说明:“the inner electrode 913 is configured as a ‘transmit electrode’, and the outer electrode 914 is configured as a ‘receive electrode’.”对比文件图9A清晰展示了PMUT 900的压电层堆叠包含压电层915、第一电极(内电极913,作为发射电极)和第二电极(外电极914,作为接收电极)。该技术特征被直接公开。
**技术特征E**:所述第一电极与所述收发器电路的第一部分电耦合,<br>**《直接公开》**第0090段:“ultrasonic signals ... may be emitted by PMUT 900 as a result of an excitation signal provided by way of a Tx drive electrode to inner (transmit) electrode 913.”<br>图9A中,内电极913被标示为“Tx drive”。对比文件公开了第一电极(发射电极913)通过Tx驱动电极接收激励信号,该Tx驱动电极是收发器电路(如传感器控制器304、Tx驱动电路)的一部分。这构成了第一电极与收发器电路的第一部分(发射驱动部分)的电耦合。该技术特征被直接公开。
**技术特征F**:且所述第一电极和所述第二电极中的每一者安置于所述压电层的第一表面上或附近,<br>**《直接公开》**第0087段:“An inner (upper) electrode 913 is disposed above the piezoelectric layer 915... one or more outer (upper) electrodes 914 are also disposed above the piezoelectric layer 915.”对比文件明确说明内电极913和外电极914都安置在压电层915的上方(即上表面)。这直接公开了第一和第二电极均安置于压电层的第一表面(上表面)上或附近。
**技术特征G**:所述第一表面与所述腔对置<br>**《直接公开》**第0087段:“a reference electrode disposed between the piezoelectric layer and the cavity, and one or both of a receive electrode and a transmit electrode disposed on or proximate to a first surface of the piezoelectric layer, the first surface being opposite from the cavity.”对比文件说明书第0087段明确界定了“第一表面”(即安置接收电极和/或发射电极的表面)是与腔对置的表面。结合图9A,电极913、914所在的压电层915上表面正是与腔920对置的表面。该技术特征被直接公开。
**技术特征H**:和在第二时间段期间,借助于所述第二电极接收第二超声信号,所述第二电极与所述收发器电路的第二且不同的部分电耦合,其中所述第一时间段和所述第二时间段至少部分地重叠。<br>**《直接公开》**第0091段:“During the receive mode, a reflection of the ultrasonic signals ... may be received by the PMUT 900. The received reflection ... may generate a surface charge or voltage in the receive electrode 914 that is coupled with pixel input electrode 937.”<br>图9B的时序图显示了“Receive Mode”与“Transmit Mode”在时间上重叠。对比文件明确描述了在接收模式(第二时间段)期间,通过接收电极914接收反射的超声信号。接收电极914通过像素输入电极937连接到传感器像素电路936(属于收发器电路的接收/读出部分),这与连接到发射电极913的Tx驱动部分(图9A中的Tx drive)是不同的部分。图9B的时序图直接显示了发射模式和接收模式在时间上至少部分重叠。该技术特征被直接公开。
**技术特征I**:其进一步包括同时地借助于所述第一电极发射所述第一超声信号并借助于所述第二电极接收所述第二超声信号。<br>**《直接公开》**图9B的时序图显示“Transmit Mode”和“Receive Mode”在时间上重叠。由于发射模式和接收模式在时间上重叠(如图9B所示),这意味着PMUT可以在同一时间段内同时执行发射(通过第一电极)和接收(通过第二电极)操作。本领域技术人员能够毫无疑义地从该时序安排中得出可以同时发射和接收的结论。该技术特征被直接公开。
**技术特征J**:其中:所述第一电极安置于所述膜片的内部部分中,且所述第二电极安置于所述膜片的外部部分中,所述外部部分接近于所述腔的壁且处在所述壁与所述第一电极之间。<br>**《直接公开》**第0087段及图9A:“An inner (upper) electrode 913 is disposed above the piezoelectric layer 915... one or more outer (upper) electrodes 914 are also disposed above the piezoelectric layer 915.”<br>图9A图示了内电极913位于中心区域(内部部分),外电极914位于外围区域(外部部分),围绕内电极913。对比文件图9A清楚地展示了第一电极(内电极913)位于膜片的中心内部区域,第二电极(外电极914)位于膜片的外部区域,且外电极914在内电极913的外围,必然处于腔的壁与内电极之间。本领域技术人员结合PMUT的常规结构(膜片悬置于腔上方)可以理解,外电极所在的外部部分接近腔的壁。该技术特征被直接公开。
**技术特征K**:其中所述第二电极的一部分延伸超出所述腔的所述壁。<br>**《隐含公开》**图9A显示外电极914通过一条引线连接到像素输入电极937,该连接似乎延伸到了图示的腔区域之外。第0087段提到外电极可以“partially or completely around the perimeter”。对比文件图9A显示外电极914有部分结构(连接引线)延伸到了中心圆形区域(通常对应腔上方的膜片悬置区域)之外。本领域技术人员结合PMUT制造常识(电极需要引出连接)可以合理推断,第二电极(外电极)的一部分会延伸超出其下方腔的边界(壁),以便进行电连接。因此,该技术特征被隐含公开。
**技术特征L**:其中所述膜片包含第三电极,所述第三电极安置于所述压电层与所述腔之间。<br>**《直接公开》**第0087段:“PMUT 900 includes a reference (lower) electrode 912 disposed below a piezoelectric layer 915 and above a cavity 920.”对比文件明确公开了PMUT 900包含一个参考(下部)电极912,其位于压电层915下方和腔920上方,即安置于压电层与腔之间。该电极对应于目标专利中的第三电极。该技术特征被直接公开。
**技术特征M**:其中所述第三电极被配置为与所述第一电极和所述第二电极中的每一者一样的参考电极。<br>**《直接公开》**第0087段:“PMUT 900 includes a reference (lower) electrode 912...”对比文件明确将下部电极912称为“参考电极”(reference electrode)。该电极作为公共参考电极,与第一电极(发射电极913)和第二电极(接收电极914)一起构成三端口结构。该技术特征被直接公开。
**技术特征N**:其中所述参考电极的电压箝位到接地或其它参考电压。<br>**《直接公开》**第0048段:“the lower electrode 112 ... may be grounded, connected to a constant bias voltage (e.g., a reference voltage)...”对比文件说明书第0048段明确描述了PMUT的下部电极(即参考电极)可以接地或连接到恒定的偏置电压(例如参考电压)。这实质上限定了参考电极的电压被箝位到接地或其他参考电压。该技术特征被直接公开。
**技术特征O**:其中:所述膜片受锚定结构支撑并在所述腔上方延伸,所述膜片经配置以在所述PMUT接收或发射超声信号时,经历挠曲运动和振动中的一者或两者并在第一挠曲模式中操作。<br>**《隐含公开》**第0047段:“a diaphragm ... supported by an anchor structure 170 over a cavity 120.”<br>第0048段:“The deformable diaphragm over the cavity 120 may bend and vibrate in response to the reflected ultrasonic pressure wave impinging on a surface of the PMUT...”对比文件公开了膜片由锚定结构支撑在腔上方(特征B已公开),并且在超声信号作用下会弯曲(bend)和振动(vibrate),即经历挠曲运动和振动。虽然对比文件未明确提及“第一挠曲模式”这一术语,但本领域技术人员能够理解,PMUT在超声频率驱动下工作的主要且基本的振动模式就是其基阶挠曲模式(第一挠曲模式)。因此,该技术特征被隐含公开。
**技术特征P**:其中,在所述第一挠曲模式中,所述第一电极和所述第二电极中的每一者经历包含拉伸和压缩应力的交替周期的相应的第一振荡负载循环和第二振荡负载循环。<br>**《直接公开》**第0044段:“each of the transmit electrode and the receive electrode may experience a differing orientation of mechanical stress or strain during bending. For example, where one electrode is disposed proximate to an interior region of the diaphragm and the other electrode is disposed proximate to an outer region of the diaphragm, a first portion of the piezoelectric layer proximate to the first electrode may be under tension at the same time that a second portion of the diaphragm layer proximate to the second electrode is under compression.”对比文件第0044段明确描述了在弯曲期间,发射电极和接收电极会经历不同方向的机械应力或应变(例如一个区域拉伸,同时另一个区域压缩)。这直接对应于在振动(挠曲模式)中,两个电极各自经历包含拉伸和压缩应力交替周期的振荡负载循环。该技术特征被直接公开。
**技术特征Q**:其中所述第一振荡负载循环和所述第二振荡负载循环大致同相。<br>**《未公开》**无相关内容。对比文件没有提及或暗示第一电极和第二电极所经历的应力循环是同相的。实际上,第0044段描述的例子(一个电极下区域拉伸,另一个电极下区域同时压缩)更倾向于暗示它们可能是反相的。因此,本领域技术人员无法从对比文件中直接或隐含地得出“大致同相”的结论。
**技术特征R**:其中所述第一振荡负载循环和所述第二振荡负载循环异相。<br>**《未公开》**无相关内容。虽然对比文件第0044段提到了一个电极下区域拉伸而另一个电极下区域压缩的可能性,但这只是一种示例性描述,并未明确断言在所有配置或操作模式下两个电极的负载循环一定是异相的。对于图9A所示的特定电极布局(均在上表面),其应力状态可能取决于具体的振动模态。因此,不能毫无疑义地或通过合理推断得出它们“异相”的确定结论。
**技术特征S**:其中所述第一振荡负载循环和所述第二振荡负载循环异相180°。<br>**《未公开》**无相关内容。对比文件完全没有涉及两个电极负载循环之间具体的相位差数值(如180°)。该技术特征未被公开。
**技术特征T**:其中所述第二电极经配置以在所述第一时间段期间处于发射模式中且在所述第二时间段期间处于接收模式中。<br>**《未公开》**第0087段:“In the illustrated implementation, the inner electrode 913 is configured as a ‘transmit electrode’, and the outer electrode 914 is configured as a ‘receive electrode’.”对比文件明确将第二电极(外电极914)配置为专用的“接收电极”(receive electrode),并未描述或暗示该电极可以在发射模式和接收模式之间切换。技术特征T要求同一电极在不同时间段切换功能,这与对比文件中公开的专用电极配置不同。因此,该技术特征未被公开。

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