对比文件名称：2008-05-22_发明申请_US20080117532A1 UNIT MAGNIFICATION PROJECTION OBJECTIVE
目标专利名称：使用无视差假影的折叠式光学器件的多相机系统 CN110647000B
模型名称：本次评估未指定具体模型名称。
## 特征比对表格 ##
| 技术特征描述以及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| 技术特征A：所述系统包括：多个相机的阵列，其经定位以捕获表示所述目标场景的多个部分的图像数据，所述阵列具有共用的虚拟投影中心<br>**《未公开》** | 对比文件说明书[0038]段：“The projection objective 100 is designed to project an image of a pattern on a reticle arranged in the planar object surface OS (object plane) into a planar image surface IS (image plane) at unit magnification (β=1) without forming an intermediate image.” | 目标专利的“多个相机的阵列”指多个独立的成像通道（每个包含传感器、透镜等），协同工作以从不同视角捕获场景部分并拼接。对比文件公开的是一个单一的、完整的折反射投影物镜系统，用于将掩模版（物体）上的图案以1:1倍率投影到像平面（如晶圆）。该系统虽然包含多个光学元件（透镜、棱镜、反射镜），但它们共同构成一个**单一的成像光路**，目的是将一个完整的物体平面成像到一个完整的像平面，**并非**多个独立相机组成的阵列，也没有“捕获多个部分图像数据”的功能。此外，对比文件中不存在“共用的虚拟投影中心”这一概念。该概念是目标专利为解决视差问题而定义的核心几何关系（如图3A，3B中的点V），使所有相机的视野看起来源自同一点。对比文件的系统设计目标（单位放大倍率投影）与技术特征A所要解决的技术问题（多视角图像拼接与视差消除）完全不同。因此，技术特征A未被对比文件公开。 |
| 技术特征B：所述多个相机中的每一者经定位以捕获所述图像数据的表示所述目标场景的所述多个部分中的各部分的一部分图像数据，且所述多个相机中的每一者包括：图像传感器<br>**《未公开》** | 对比文件说明书[0035]段：“In the following description, the term “optical axis” refers to a straight line or a sequence of straight-line segments through the centers of curvature of optical elements. In the exemplary embodiments, the object may be a mask (reticle) ... the image of the object is projected onto a wafer coated with a layer of a light-sensitive substance serving as a substrate.” | 目标专利中每个“相机”的核心部件之一是“图像传感器”，用于将光信号转换为电信号，从而捕获数字图像数据的一部分。对比文件描述的是一个光学投影系统，其像平面是涂有光敏物质（如光刻胶）的基底（如晶圆），用于接收光图案并发生化学反应。**整个系统没有设置任何用于捕获和输出电子图像数据的图像传感器**。其功能是光学投影和曝光，而非电子图像采集。因此，技术特征B中关于“图像传感器”的部分未被对比文件公开。 |
| 技术特征C：透镜组合件，其包括至少一个透镜，所述透镜组合件具有投影中心<br>**《隐含公开》** | 对比文件说明书[0041]段：“The positive lens group PLG consists, in this order from a prism side facing the prisms P1, P2 to a mirror side facing the concave mirror CM, a piano-convex positive lens L1 ... a negative meniscus lens L2 ... a biconvex first positive lens L3, and a meniscus-shaped second positive lens L4.” 以及附图1、4。 | 目标专利的“透镜组合件”是具有至少一个透镜、用于将光聚焦到图像传感器上的组件，其“投影中心”是一个由透镜光学特性决定的位置概念（如入射光瞳中心）。对比文件明确公开了“正透镜组PLG”，它由多个透镜（L1-L4）按顺序排列组成，其作用正是会聚光线。对于任何由透镜组成的系统，其整体或局部都存在由光学设计决定的投影中心或光瞳中心。本领域技术人员从对比文件公开的包含多个透镜的“正透镜组PLG”可以合理推断，该透镜组作为一个光学组件，必然具有其光学投影中心。因此，技术特征C被对比文件隐含公开。 |
| 技术特征D：以及第一反射性表面，其经定位以将表示所述目标场景的所述多个部分中的一者的入射光朝所述透镜组合件反射，<br>**《直接公开》** | 对比文件说明书[0040]段：“First prism P1 has a first flat surface S1A ... a second flat surface S1B ... and a **third flat surface S1C oriented at an angle to the optical axis and to the object surface for folding the optical axis.** A second prism P2 has ... **a third flat surface S2C oriented at an angle to the optical axis and to the image surface for folding the optical axis.**” 表1和表4中，表面2和表面22被标记为“REFL”（反射）。 | 目标专利的“第一反射性表面”是用于将来自场景的入射光反射向透镜组合件的主要光折叠表面。对比文件中的第一棱镜P1的第三平面S1C和第二棱镜P2的第三平面S2C，其作用正是折叠光轴，将来自物体平面（对于P1）或朝向像平面（对于P2）的光线进行反射。表1和表4明确将表面2和22指定为反射面(“REFL”)。这些表面位于光路中，将入射光反射向正透镜组PLG（对应于透镜组合件）。因此，技术特征D被对比文件直接公开。 |
| 技术特征E：所述第一反射性表面提供于平面内，<br>**《直接公开》** | 对比文件说明书[0040]段：“... **third flat surface S1C** ... **third flat surface S2C** ...” | 目标专利要求反射性表面位于一个平面内。对比文件明确描述了用于折叠光轴的表面S1C和S2C是“flat surface”（平面表面）。因此，这些反射性表面本身是平面，自然“提供于平面内”。技术特征E被对比文件直接公开。 |
| 技术特征F：所述平面位于沿着将所述透镜组合件的所述投影中心与所述虚拟投影中心相连接的线的中点，且以一角度与所述线正交<br>**《未公开》** | 无对应内容。 | 该技术特征定义了实现无视差成像的特定几何约束：镜平面需位于连接真实相机投影中心与虚拟投影中心的线段中点，且与该线段垂直（参见目标专利图3A，3B及说明书[0061]-[0074]段）。这是目标专利的核心发明点。对比文件完全没有提及“虚拟投影中心”这一概念，也没有描述任何将透镜组投影中心与虚拟点相连的线段，更未规定反射表面所在平面必须位于此类线段的中点并与之垂直。对比文件中反射表面的位置和角度是由投影物镜的整体像差校正和光路折叠需求决定的，与目标专利为解决多相机视差问题而设计的特定空间关系有本质区别。因此，技术特征F未被对比文件公开。 |
| 技术特征G：表面，其位于所述阵列与所述目标场景之间，所述表面包括光圈，所述光圈经定位以允许表示所述目标场景的光传递到所述多个相机中的每一者的所述第一反射性表面<br>**《隐含公开》** | 对比文件说明书[0040]段：“First prism P1 has a **first flat surface S1A arranged adjacent to the object surface at a small distance therefrom** ...”； 表1和表4：表面0（物体平面）与表面1（S1A）之间存在5mm的距离。 | 目标专利的该特征描述了一个位于相机阵列和目标场景之间的、带有光圈的表面，其功能是允许场景光进入并到达每个相机的第一反射面。对比文件中，物体平面（OS，即目标场景的类比，如掩模版）与第一棱镜P1的第一平面表面S1A相邻并留有间隙（工作距离）。S1A是透明的（由材料SILUV，即熔融石英制成），允许来自物体平面的光通过并进入光学系统，最终到达反射表面S1C。虽然对比文件未明确使用“光圈”一词，但本领域技术人员可以理解，光学系统中允许光线进入的透明表面或开口即起到“光圈”的作用。S1A表面位于整个光学系统（可类比为“阵列”的入口）与物体平面之间，并允许光传递到反射面S1C。因此，技术特征G被对比文件隐含公开。 |
| 技术特征H：处理器<br>**《未公开》** | 无对应内容。 | 目标专利的“处理器”是用于处理图像数据（如拼接）的电子计算单元。对比文件全文描述的是一个纯光学投影系统，不涉及任何电子图像捕获、处理或存储，因此完全没有提及处理器。技术特征H未被对比文件公开。 |
| 技术特征I：以及存储器，其存储指令，所述指令配置所述处理器以至少部分地基于包含所述目标场景的所述多个部分中的每一者的所述图像数据，产生所述目标场景的所述图像<br>**《未公开》** | 无对应内容。 | 该特征涉及数字图像处理流程：存储指令的存储器和被配置以拼接多部分图像数据生成完整图像的处理器。如前述，对比文件是纯光学曝光系统，不涉及电子图像数据的获取与数字处理。因此，技术特征I未被对比文件公开。 |
| 技术特征J：其中所述多个相机中的每一者的所述图像传感器位于共用平面内。<br>**《未公开》** | 无对应内容。 | 该特征限定了所有相机图像传感器的物理布局。由于对比文件根本不存在“图像传感器”（见特征B论述），因此自然也谈不上它们是否位于一个共用平面内。技术特征J未被对比文件公开。 |
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