**对比文件名称**:US6025261A_Description_20260219_0433
**目标专利名称**:190具有变化厚度的电感器CN105493208B
**模型名称**:DeepSeek-R1
## 特征比对表格
| 技术特征描述以及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| **A. 包括:基板** <br>《直接公开》 | 说明书第2页第10-13行:“A first insulator 206 is formed on a base layer 204. In one embodiment, the first insulator 206 and base layer 204 are respectively an oxide, such as silicon dioxide, and a semiconductor, such as silicon.” | 对比文件明确公开了在基板(base layer 204,例如硅半导体)上形成器件。基板(base layer)是构成电感器的基础支撑结构。该特征在对比文件中的作用与在目标专利中相同,均为提供器件的物理支撑和电气隔离的基础。因此,技术特征A被对比文件直接公开。 |
| **B. 以及布置在所述基板上的螺旋电感器,所述螺旋电感器是梯度层堆叠电感器** <br>《未公开》 | 说明书第2页第4-8行:“FIG. 2A illustrates a plan view of one embodiment of the present invention, an inductive element 203, specifically a rectangular spiral inductor, formed on an integrated circuit (IC) 201.” | 对比文件公开了布置在集成电路(可视为基板)上的螺旋电感器(inductive element 203,矩形螺旋电感器)。然而,目标专利明确限定该螺旋电感器为“梯度层堆叠电感器”,其核心在于导电层的厚度在螺旋延伸方向上(例如从最内匝到最外匝)连续渐变(如梯度)。对比文件全文均未描述或暗示电感器的导体厚度存在任何“梯度”变化。其关注点在于通过空气桥(air bridge)结构和空腔(cavity 213)降低寄生电容,所有导体(如209, 207)的厚度描述均为均匀。因此,对比文件未公开“梯度层堆叠电感器”这一特定结构。 |
| **C. 其中所述螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 目标专利中,“最内匝的第一部分具有第一厚度”是定义厚度梯度的起始点。对比文件未描述螺旋电感器匝的任何部分具有特定的、区别于其他部分的厚度。其导体(如第一导体209、第二导体207)的厚度是整体均匀的,并未按匝进行划分或赋予不同的厚度值。因此,该技术特征未被对比文件公开。 |
| **D. ,所述最内匝的第二部分具有在垂直于所述基板的方向上的第二厚度** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 同上。对比文件未描述最内匝存在具有不同厚度(第二厚度)的第二部分。该特征是构成厚度梯度变化的关键要素之一,在对比文件中没有对应记载。 |
| **E. ,其中所述第二厚度大于所述第一厚度** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 由于对比文件未公开最内匝存在具有不同厚度的第一部分和第二部分,因此更不可能公开这两个厚度之间的大小关系(第二厚度大于第一厚度)。 |
| **F. ,所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在垂直于所述基板的方向上的第三厚度** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 同上。对比文件未描述最内匝存在具有特定厚度(第三厚度)的第三部分。 |
| **G. ,其中所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 由于对比文件未公开最内匝的第一、第二、第三部分及其各自厚度,因此它们之间的大小关系也未被公开。 |
| **H. ,并且所述螺旋电感器在垂直于所述基板的方向上的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大。** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 目标专利此特征的核心在于“厚度根据梯度而增大”,即厚度在空间上(沿最内匝)连续、渐变地增加。这是“梯度层堆叠电感器”的具体体现。对比文件完全没有涉及导体厚度沿螺旋路径变化的概念,其技术思路是保持导体厚度均匀,通过改变导体下方的介质环境(引入空腔)来提升性能。因此,该梯度增厚的特征未被公开。 |
| **I. 其特征在于:所述螺旋电感器包括第一导电螺旋和第二导电螺旋,其中所述第一导电螺旋覆盖所述第二导电螺旋,所述最内匝的所述第一部分包括所述第二导电螺旋的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋,所述最内匝的所述第三部分包括所述第一导电螺旋的第一端部和所述第二导电螺旋的一部分,并且所述导电螺旋的最外匝的一部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述第一导电螺旋的一部分。** <br>《未公开》 | 说明书第2页第13-20行:“Then, a first conductor 209 is formed on the first insulator 206... The first conductor 209 is then patterned... Next, a second insulator 210 is formed over the first insulator 206... a second conductor 207, substantially defining the inductive element 203, is formed and patterned on the integrated circuit 201... The second conductor 207 is electrically coupled to the first conductor 209 by the via holes 211.” | 对比文件公开了第一导体(209)和第二导体(207),它们通过通孔(211)电连接,共同形成电感器。然而:1. 对比文件并未明确描述这两个导体是“螺旋”形状,尽管电感器整体是螺旋形,但导体209主要作为互连和下层路径,其形状未明确为螺旋。2. 对比文件未描述“第一导电螺旋覆盖第二导电螺旋”的层叠覆盖关系。二者之间隔有第二绝缘层210,并通过通孔连接,是垂直互联关系而非直接的覆盖。3. 最重要的是,对比文件完全没有涉及“最内匝的第一部分、第三部分”与不同导电螺旋的包含关系(如第一部分仅包括第二导电螺旋端部等)。这些具体结构限定在对比文件中无任何对应描述。因此,该技术特征未被公开。 |
| **J. 其特征在于,所述第二导电螺旋的第一长度大于所述第一导电螺旋的第二长度。** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 对比文件未对第一导体209和第二导体207的“长度”进行比较或描述。其附图中显示导体207构成了电感器的主螺旋路径,而导体209作为下层连接路径,长度较短,但文本并未将此作为技术特征进行描述或比较。因此,该特征未被公开。 |
| **K. 其特征在于,所述螺旋电感器进一步包括在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的导电层,其中所述最内匝的所述第二部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述导电层的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋。** <br>《未公开》 | 说明书第2页第15-16行:“Next, a second insulator 210 is formed over the first insulator 206.” | 对比文件在第一导体209和第二导体207之间形成的是“第二绝缘层210”,这是一个绝缘介质层,而非“导电层”。目标专利中的“导电层”是作为螺旋电感器导电通路的一部分,用于构建厚度梯度。两者材料、功能和结构作用完全不同。因此,该技术特征未被公开。 |
| **L. 其特征在于,所述导电层包括非连续螺旋。** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 由于对比文件未公开“在第二与第一导电螺旋之间的导电层”,因此更不可能公开该导电层具有“非连续螺旋”的形状。 |
| **M. 其特征在于,所述导电层包括输入引线、输出引线、或其组合。** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 同上。由于对比文件未公开目标专利所定义的“导电层”,因此该导电层包含引线的特征也未被公开。对比文件中的输入输出引线功能可能由导体209或207实现,但并非作为所述“导电层”的一部分来描述。 |
| **N. 其特征在于,进一步包括形成在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的钝化层。** <br>《隐含公开》 | 说明书第2页第15-16行:“Next, a second insulator 210 is formed over the first insulator 206.” 结合本领域公知常识。 | 对比文件明确在第一导体209和第二导体207之间形成了“第二绝缘层210”。在半导体制造领域,这种位于金属层之间、用于电气隔离和保护的绝缘层(如二氧化硅)通常被称为“钝化层”或介电层。其作用与目标专利中“钝化层”的作用相同,均为隔离上下导电层,防止短路并提供保护。因此,本领域技术人员能够毫无疑义地认识到该“第二绝缘层210”即相当于“钝化层”。该技术特征被对比文件隐含公开。 |
| **O. 其特征在于,所述第二导电螺旋通过延伸穿过所述钝化层的一部分的通孔电连接至所述第一导电螺旋。** <br>《直接公开》 | 说明书第2页第16-20行:“Then, via holes 211 are formed in the second insulator 210. The via holes 211 are filled with a conductor... The second conductor 207 is electrically coupled to the first conductor 209 by the via holes 211.” | 对比文件明确公开了在第二绝缘层(即钝化层)210中形成通孔(via holes 211),并用导体填充,从而使第二导体207电连接至第一导体209。这直接对应于目标专利中“通过延伸穿过钝化层的一部分的通孔电连接”的技术特征。两者作用完全相同,均为实现不同层导体间的垂直互连。因此,该技术特征被对比文件直接公开。 |
| **P. 其特征在于,所述最内匝在垂直于所述基板的方向上的厚度从所述最内匝的所述第一部分到所述最内匝的所述第二部分单调递增。** <br>《未公开》 | 无相应内容。 | 该特征是对最内匝厚度变化趋势的进一步限定。如前述对特征C、D、E、H的分析,对比文件完全未公开最内匝存在具有不同厚度的第一部分和第二部分,因此“厚度单调递增”这一变化趋势也无从谈起。 |
<<<A>>><<<o>>>