对比文件名称:US2009322447A1_Description_20260219_0541
目标专利名称:190具有变化厚度的电感器CN105493208B
本次调用的模型名称:深度思考与分析模型
### 特征比对表格
| 技术特征描述以及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| 技术特征A《直接公开》 | 段落[0023]: “...on a substrate **24**.” 段落[0023]: “The substrate **24** is typically a chip or die comprising a piece of a semiconductor wafer...” | 对比文件明确公开了承载集成电路的基板(substrate 24)。该基板在对比文件中作为整个BEOL布线结构和有源器件的基础支撑层,其作用与目标专利中作为电感器支撑载体的基板相同。因此,技术特征A被对比文件直接公开。 |
| 技术特征B《未公开》 | 段落[0032]: “The on-chip inductor **20** includes a concentric array of signal lines **50**, **52** that are disposed in the dielectric layers **18**, **19**... and bar vias **54**... The signal lines **50**, **52** have a octagonal geometry with plural concentric conductor turns...” | 对比文件公开了布置在基板上的螺旋电感器(on-chip inductor 20),其包含同心阵列的信号线(即导电螺旋)。然而,目标专利权利要求明确限定该螺旋电感器是“梯度层堆叠电感器”。根据目标专利说明书[0025]-[0036]段,梯度层堆叠电感器的核心特征在于其厚度沿螺旋方向(如最内匝内)连续梯度变化。对比文件中的电感器20由位于不同金属层(Mx+1, Mx+2)的信号线50、52通过通孔54连接构成,但说明书(如[0032]、[0040]-[0043]段)描述其制造采用标准BEOL工艺,信号线在同一金属层内厚度均匀,未提及任何匝内或匝间的厚度梯度变化设计。该电感器是常规的、厚度均匀的多层螺旋电感器,而非具有厚度梯度变化的“梯度层堆叠电感器”。因此,技术特征B未被公开。 |
| 技术特征C《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征C限定了“螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度”。对比文件虽然描述了电感器20的几何形状,但完全没有提及电感器“最内匝”的概念,更没有对最内匝进行“第一部分”的划分并赋予其特定的“第一厚度”。其电感器各部分的厚度由其所处的金属层工艺决定,是均匀的。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征D《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征D限定了“最内匝的第二部分具有在垂直于所述基板的方向上的第二厚度”。如特征C所述,对比文件未公开“最内匝”及其部分划分,也未提及任何特定的“第二厚度”。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征E《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征E限定了“所述第二厚度大于所述第一厚度”。由于对比文件未公开“第一厚度”和“第二厚度”,因此该厚度大小关系也无从谈起。即使考虑电感器20中不同金属层(Mx+1与Mx+2)的厚度可能不同,但这种厚度差异是层间差异,并非目标专利所限定的“最内匝”内部不同部分之间的厚度差异。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征F《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征F限定了“所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在垂直于所述基板的方向上的第三厚度”。对比文件未公开“最内匝的第三部分”及“第三厚度”。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征G《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征G限定了“所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度”。由于对比文件未公开“第一厚度”、“第二厚度”和“第三厚度”,该比较关系未被公开。 |
| 技术特征H《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征H限定了“所述螺旋电感器在垂直于所述基板的方向上的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大”。这是“梯度层堆叠电感器”的核心结构特征。对比文件中的电感器20没有任何关于其厚度沿螺旋路径(尤其在最内匝内)连续梯度变化的描述或暗示。其厚度是分立的、层状的(signal lines 50, 52在不同层),而非连续的、渐变的梯度。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征I《未公开》 | 段落[0032]: “The on-chip inductor **20** includes a concentric array of signal lines **50**, **52** that are disposed in the dielectric layers **18**, **19** above dielectric layer **14** and bar vias **54** defined in dielectric layer **18** between the signal lines **50**, **52**.” | 技术特征I进一步限定了梯度层堆叠电感器的具体层叠结构:包括相互覆盖的第一和第二导电螺旋,并明确了最内匝不同部分及最外匝部分与这两个螺旋的包含关系。对比文件中的电感器20包含信号线50和52,它们可被视为导电螺旋。然而,说明书并未描述信号线50“覆盖”信号线52;相反,它们位于不同的金属层(Mx+2和Mx+1),并通过居中的条形通孔54连接([0032]段)。这种“通过通孔垂直连接”的结构与“一个螺旋直接覆盖在另一个螺旋之上”的层叠关系不同。更重要的是,对比文件完全没有公开目标专利中这种层叠结构与最内匝特定部分(第一部分、第三部分)厚度之间的对应关系。因此,技术特征I未被公开。 |
| 技术特征J《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征J限定了“所述第二导电螺旋的第一长度大于所述第一导电螺旋的第二长度”。对比文件未提及信号线50和52的长度比较关系,也未将长度与电感器最内匝的特定部分关联。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征K《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征K限定了在两层导电螺旋之间还包括导电层,并明确了最内匝第二部分包含该导电层。对比文件中的电感器20结构为信号线50、52加连接通孔54,没有描述在信号线50和52之间还存在一个独立的“导电层”。段落[0039]-[0043]描述的制造过程也未体现此结构。因此,该特征未被公开。 |
| 技术特征L《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征L限定了所述导电层包括非连续螺旋。由于对比文件未公开技术特征K中的“导电层”,因此该进一步限定特征自然也未被公开。 |
| 技术特征M《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征M限定了所述导电层包括输入/输出引线。由于对比文件未公开技术特征K中的“导电层”,因此该进一步限定特征自然也未被公开。 |
| 技术特征N《未公开》 | 段落[0022]: “... dielectric layers **12**, **14**, **18**, **19**.” 段落[0044]: “Dielectric layers **12**, **14**, **18**, **19** may comprise any organic or inorganic dielectric material...” | 技术特征N限定了在第二与第一导电螺旋之间形成有钝化层。对比文件中,电感器20的信号线50、52嵌入在介电层18、19中([0032]段)。这些介电层提供电隔离,其作用类似于钝化层。然而,目标专利中的钝化层(如图1的112、114)特指位于不同导电螺旋或层之间、可能包含通孔的绝缘层,用于实现特定的层叠和电连接。对比文件并未明确描述在信号线50和52之间存在一个独立的、专门用于隔离两者的“钝化层”;信号线50和52是分别形成在不同介电层(18, 19)中的导体,它们之间的介电层18同时充当了层间介质和通孔54的载体。这种广义的介电层与目标专利中特指的、位于特定导电层之间的“钝化层”在结构和功能定位上并不完全相同。更重要的是,该特征与技术特征I、K等关联,用于构建特定的厚度梯度结构,而对比文件无此背景。因此,技术特征N未被公开。 |
| 技术特征O《未公开》 | 段落[0032]: “... bar vias **54** defined in dielectric layer **18** between the signal lines **50**, **52**.” | 技术特征O限定了通过延伸穿过钝化层的通孔实现电连接。对比文件中,条形通孔54在介电层18中,并连接信号线50和52([0032]段)。这确实公开了通过通孔连接不同层导体的特征。然而,该通孔所穿过的“介电层18”如上所述,并非目标专利中特指的、位于两层特定导电螺旋之间的“钝化层”。此外,该连接结构是电感器20内部不同匝间连接的一部分,用于形成螺旋路径,其作用与目标专利中为实现厚度梯度而设置的层间连接(可能位置和目的不同)并不必然等同。在缺乏目标专利整体梯度层叠结构的情况下,孤立地看通孔特征不足以构成公开。因此,技术特征O未被公开。 |
| 技术特征P《未公开》 | 无相应内容 | 技术特征P限定了“最内匝在垂直于所述基板的方向上的厚度从所述最内匝的所述第一部分到所述最内匝的所述第二部分单调递增”。这是对厚度梯度变化方式的进一步明确。如前所述,对比文件根本没有公开“最内匝”、“第一部分”、“第二部分”以及它们之间具有差异的厚度,更不用说厚度单调递增的关系。因此,该特征未被公开。 |
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