对比文件名称:US2008246114A1_Description_20260219_0601
目标专利名称:190具有变化厚度的电感器CN105493208B
本次调用的模型名称:深度分析模型
### 特征比对表格
| 技术特征描述以及公开性判断结果 | 对比文件原文引用 | 公开性论述 |
| **技术特征A:包括:基板** <br>《直接公开》 | “Referring to FIGS. 1 and 2, there is illustrated a semiconductor substrate 20. The semiconductor substrate 20 is made of a semiconductor material, such as silicon (Si).”(段落[0023]) | 对比文件明确公开了半导体基板20,例如硅基板,其作为整个微电子组件(包括无源器件)的支撑结构。这与目标专利中“基板”的作用(支撑螺旋电感器)相同。因此,本领域技术人员能够毫无疑义地得出对比文件公开了“基板”这一技术特征。 |
| **技术特征B:以及布置在所述基板上的螺旋电感器,所述螺旋电感器是梯度层堆叠电感器,** <br>《未公开》 | “...inductors 66. The inductor 66 includes a conductive coil 70...”(段落[0033]) | 对比文件公开了电感器66,其包括导电线圈70,因此公开了“布置在基板上的电感器”。然而,目标专利权利要求明确限定所述螺旋电感器为“梯度层堆叠电感器”。根据目标专利说明书(图2及对应描述),梯度层堆叠电感器的核心特征是其厚度(在垂直于基板方向上)沿最内匝从一个点到另一个点以梯度(斜坡)方式增大。对比文件仅描述了电感器66的存在及其大致材料(铜/金)和厚度范围(1-15 μm),但完全没有提及该电感器的厚度是否变化,更未提及任何关于“梯度层堆叠”的结构特征。因此,对比文件未公开“螺旋电感器是梯度层堆叠电感器”这一特定技术特征。 |
| **技术特征C:其中所述螺旋电感器的最内匝的第一部分具有在垂直于所述基板的方向上的第一厚度** <br>《未公开》 | “The inductor 66 includes a conductive coil 70 that is, for example, made of copper and/or gold with a thickness of between 1 and 15 μm...”(段落[0033]) | 对比文件仅笼统地给出了电感器线圈70的厚度范围,并未区分电感器不同匝(如最内匝)的不同部分,也没有指出“最内匝的第一部分”具有一个特定的“第一厚度”。因此,本领域技术人员无法从对比文件得出该具体限定的技术特征。 |
| **技术特征D:,所述最内匝的第二部分具有在垂直于所述基板的方向上的第二厚度,** <br>《未公开》 | 同上,未区分最内匝的不同部分。 | 同上所述,对比文件未对电感器最内匝进行分区,也未赋予不同部分以不同的厚度。因此,未公开“最内匝的第二部分具有第二厚度”。 |
| **技术特征E:其中所述第二厚度大于所述第一厚度,** <br>《未公开》 | 未公开第一厚度和第二厚度。 | 由于特征C和D未被公开,它们之间的厚度比较关系(第二厚度大于第一厚度)自然也未被公开。 |
| **技术特征F:所述螺旋电感器的所述最内匝的第三部分具有在垂直于所述基板的方向上的第三厚度,** <br>《未公开》 | 未区分最内匝的不同部分。 | 对比文件未公开将最内匝划分为三个部分并各自具有不同厚度。 |
| **技术特征G:其中所述第三厚度大于所述第一厚度和所述第二厚度,** <br>《未公开》 | 未公开第一、第二、第三厚度。 | 由于特征C、D、F未被公开,它们之间的厚度比较关系也未被公开。 |
| **技术特征H:并且所述螺旋电感器在垂直于所述基板的方向上的厚度根据所述最内匝中从所述第一厚度到所述第三厚度的梯度而增大。** <br>《未公开》 | 未提及电感器厚度有梯度变化。 | 这是目标专利“梯度层堆叠电感器”的核心定义性特征。对比文件完全没有描述或暗示电感器66的厚度沿其长度(或匝)方向有任何梯度变化。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征I:其特征在于:所述螺旋电感器包括第一导电螺旋和第二导电螺旋,其中所述第一导电螺旋覆盖所述第二导电螺旋,所述最内匝的所述第一部分包括所述第二导电螺旋的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋,所述最内匝的所述第三部分包括所述第一导电螺旋的第一端部和所述第二导电螺旋的一部分,并且所述导电螺旋的最外匝的一部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述第一导电螺旋的一部分。** <br>《未公开》 | 对比文件描述的电感器66仅提及“a conductive coil 70”(一个导电线圈),未提及其由两个覆盖的导电螺旋构成。文中提到的第一导电层40和第二导电层52(见段落[0028], [0031])用于形成MIM电容器62的极板,并非用于构成电感器的两个螺旋。 | 目标专利的特征I详细限定了电感器由两个覆盖的导电螺旋构成,并且最内匝不同部分以及最外匝部分由这两个螺旋的不同部分以特定方式组合而成。这是实现阶梯状或梯度状厚度变化的具体多层堆叠结构。对比文件仅提及一个导电线圈70,完全没有公开这种由两个独立导电螺旋堆叠构成电感器的结构,更未公开各部分的具体组成关系。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征J:其特征在于,所述第二导电螺旋的第一长度大于所述第一导电螺旋的第二长度。** <br>《未公开》 | 未公开第一和第二导电螺旋。 | 由于特征I中的第一和第二导电螺旋未被公开,它们之间的长度比较关系自然也未被公开。 |
| **技术特征K:其特征在于,所述螺旋电感器进一步包括在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的导电层,其中所述最内匝的所述第二部分包括所述第二导电螺旋的一部分和所述导电层的第一端部且不覆盖所述第一导电螺旋。** <br>《未公开》 | 对比文件有介电层48位于第一导电板44和第二导电板58之间(用于电容器),但这不是电感器结构中的“导电层”。 | 目标专利的特征K引入了位于两个导电螺旋之间的导电层,并限定了其在最内匝第二部分的具体构成。这是实现更复杂厚度变化(如三段阶梯)的结构。对比文件完全没有描述电感器66中存在这样的导电层。因此,该特征未被公开。 |
| **技术特征L:其特征在于,所述导电层包括非连续螺旋。** <br>《未公开》 | 未公开该导电层。 | 由于特征K中的导电层未被公开,其形状(非连续螺旋)自然也未被公开。 |
| **技术特征M:其特征在于,所述导电层包括输入引线、输出引线、或其组合。** <br>《未公开》 | 未公开该导电层。 | 由于特征K中的导电层未被公开,其是否包含引线也未被公开。 |
| **技术特征N:其特征在于,进一步包括形成在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间的钝化层。** <br>《未公开》 | “...a passivation layer 74 (e.g., SiN) may be formed over all of the components on the substrate 20...”(段落[0034]) | 对比文件公开了覆盖所有组件的钝化层74,但其作用是提供环境保护(如防潮),且是覆盖在组件顶部,而非如目标专利所限定的“形成在所述第二导电螺旋与所述第一导电螺旋之间”。目标专利中的钝化层(如图1的112、114)位于导电层/螺旋之间,起到绝缘和/或通孔介质的作用。二者位置和作用均不相同。因此,对比文件未公开目标专利所限定的位于两个导电螺旋之间的钝化层。 |
| **技术特征O:其特征在于,所述第二导电螺旋通过延伸穿过所述钝化层的一部分的通孔电连接至所述第一导电螺旋。** <br>《未公开》 | 未公开位于两个导电螺旋之间的钝化层,也未提及通过通孔连接电感器线圈的不同部分。 | 由于特征N中的特定钝化层未被公开,且特征I中的两个导电螺旋也未被公开,因此通过通孔连接它们的特征也未被公开。 |
| **技术特征P:其特征在于,所述最内匝在垂直于所述基板的方向上的厚度从所述最内匝的所述第一部分到所述最内匝的所述第二部分单调递增。** <br>《未公开》 | 未提及电感器厚度有单调递增变化。 | 这是厚度梯度变化特征(特征H)的一种具体表现或结果。如前所述,对比文件完全没有公开电感器厚度变化。因此,该特征未被公开。 |
### 总结与输出代码
根据上述比对分析,对比文件US2008246114A1仅直接公开了目标专利权利要求中的技术特征A(基板)。其他技术特征(B-P)均未被直接公开或隐含公开。未被公开的原因主要集中在:对比文件仅提及了一个常规的、厚度均匀的电感器线圈,而未公开任何关于“梯度层堆叠”结构、厚度沿匝变化、由多个覆盖的导电螺旋/层构成、以及各部分具体构成关系等技术内容,而这些正是目标专利的核心创新点。
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